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電子部件的檢查裝置的制作方法

文檔序號(hào):6005483閱讀:169來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:電子部件的檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種電子部件的檢查裝置。
背景技術(shù)
一直以來(lái),已知有一種測(cè)定發(fā)光元件等電子部件的特性,根據(jù)其結(jié)果對(duì)電子部件進(jìn)行分類的裝置(參照專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)2007-192576號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的技術(shù)課題近年來(lái),電子部件有時(shí)使用硅等粘著性好的樹(shù)脂材料。例如,基于提高耐氣候性的觀點(diǎn),有時(shí)在發(fā)光元件中設(shè)置采用硅構(gòu)成的透鏡。但是,在測(cè)定使用了這種粘著性好的樹(shù)脂材料的電子部件的特性的情況下,配置在測(cè)定位置的電子部件就會(huì)貼在周圍的部件上,有可能影響測(cè)定的進(jìn)行。本發(fā)明就是鑒于上述實(shí)際情況而提出的,其主要目的在于,提供一種能夠抑制電子部件貼付的電子部件的檢查裝置。解決課題的技術(shù)手段為了解決上述課題,本發(fā)明的電子部件的檢查裝置包括具有內(nèi)部空間的外廓部件、探針、和注入器。在所述外廓部件上,形成與所述內(nèi)部空間相連的第一通孔,按照塞住該第一通孔的方式配置電子部件。所述探針與在所述外廓部件上配置的所述電子部件的端子接觸,對(duì)所述電子部件通電。所述注入器從在所述外廓部件上形成的與所述內(nèi)部空間相連的第二通孔向所述內(nèi)部空間注入氣體。根據(jù)本發(fā)明,由于氣體從第二通孔向外廓部件的內(nèi)部空間注入,因此,按照塞住第一通孔的方式而配置的電子部件容易從外廓部件上脫離。所述電子部件具有呈凸?fàn)钔怀龅耐範(fàn)畈浚鐾範(fàn)畈勘徊迦胨龅谝煌字?。這樣,就能良好地配置電子部件。本發(fā)明還包括輸送所述電子部件的部件輸送部,從而在所述外廓部件上裝卸所述電子部件,在所述部件輸送部上形成用于插入所述探針的插入孔。這樣就能使探針從部件輸送部一側(cè)接觸電子部件的端子。本發(fā)明還包括輸送所述探針的探針輸送部,從而在所述插入孔中插拔所述探針。 這樣,就能在任意的時(shí)刻使探針接觸電子部件的端子。在所述電子部件被安裝在所述外廓部件上之后,所述探針與所述電子部件的端部接觸。這樣就能抑制當(dāng)探針接觸電子部件的端子時(shí)電子部件的位置偏離。所述電子部件是發(fā)光元件,所述外廓部件的至少一部分采用具有透光性的透光部件構(gòu)成,本發(fā)明還包括接受從所述發(fā)光元件發(fā)出的光的受光器、該受光器按照所述透光部件位于該受光器和所述第一通孔之間的方式而配置。這樣,從發(fā)光元件發(fā)出的光透過(guò)透光部件,被受光器接受。所述受光器包括積分球該積分球具有使透過(guò)所述透光部件的光射入的射入窗; 和配置了受光元件的射出窗。這樣,從發(fā)光元件擴(kuò)散的光通過(guò)積分球內(nèi),被受光元件檢測(cè)出來(lái)。所述發(fā)光元件具有呈凸?fàn)钔怀龅耐哥R部,所述透鏡部被插入所述第一通孔。這樣, 光就會(huì)從透鏡部朝向內(nèi)部空間射出。所述外廓部件包括所述透光部件;和安裝有所述透光部件、且形成有所述第一通孔及所述第二通孔的臺(tái)部件。這樣,不必在透光部件上形成通孔。本發(fā)明的電子部件的檢查裝置包括臺(tái)部件、具有透光性的透光部件、探針、注入器、和受光器。在所述臺(tái)部件上,形成沿著一個(gè)方向貫通的第一通孔,按照在該臺(tái)部件的所述一個(gè)方向的第一側(cè)塞住所述第一通孔的方式配置發(fā)光元件。所述透光部件安裝在所述臺(tái)部件的所述一個(gè)方向的第二側(cè)、且在該透光部件和所述臺(tái)部件之間形成與所述第一通孔相連的內(nèi)部空間。所述探針與在所述臺(tái)部件上配置的所述電子部件的端子接觸,對(duì)所述電子部件通電。所述注入器從在所述臺(tái)部件上形成的與所述內(nèi)部空間相連的第二通孔向所述內(nèi)部空間注入氣體。所述受光器按照所述透光部件位于該受光器和所述第一通孔之間的方式配置,且接受從所述發(fā)光元件發(fā)出的光。這樣,由于氣體從第二通孔被注入在臺(tái)部件和透光部件之間形成的內(nèi)部空間,因此,按照塞住第一通孔的方式而配置的發(fā)光元件容易從臺(tái)部件上脫離。從發(fā)光元件發(fā)出的光透過(guò)透光部件,被受光器接受。本發(fā)明的電子部件的檢查裝置包括具有內(nèi)部空間的外廓部件、探針、注入器、特性測(cè)定部、定位部、和分類動(dòng)作部。在所述外廓部件上,形成與所述內(nèi)部空間相連的第一通孔,按照塞住該第一通孔的方式配置電子部件。所述探針與在所述外廓部件上配置的所述電子部件的端子接觸,對(duì)所述電子部件通電。所述注入器從在所述外廓部件上形成的與所述內(nèi)部空間相連的第二通孔向所述內(nèi)部空間注入氣體。當(dāng)對(duì)所述電子部件通電時(shí),所述特性測(cè)定部測(cè)定所述電子部件的特性。所述定位部根據(jù)所述電子部件的特性,決定所述電子部件的收納位置。所述分類動(dòng)作部使所述電子部件移動(dòng)至所述收納位置。這樣,由于氣體從第二通孔被注入外廓部件的內(nèi)部空間,因此,按照塞住第一通孔的方式而配置的電子部件容易從外廓部件上脫離。從外廓部件上脫離的電子部件被收納在與特性對(duì)應(yīng)的收納位置。


圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的電子部件的檢查裝置的俯視圖。圖2是該實(shí)施方式中的發(fā)光特性測(cè)定部的側(cè)視圖。圖3A是該實(shí)施方式中的部件輸送部的側(cè)視圖。圖;3B是該實(shí)施方式中的部件輸送部的主視圖。圖3C是該實(shí)施方式中的部件輸送部的俯視圖。圖4A是該實(shí)施方式中的探針輸送部的側(cè)視圖。圖4B是該實(shí)施方式中的探針輸送部的主視圖。圖4C是該實(shí)施方式中的探針輸送部的俯視圖。
圖5A是該實(shí)施方式中的外廓部件的俯視圖。圖5B是該實(shí)施方式中的外廓部件的主視圖。圖5C是該實(shí)施方式中的外廓部件的截面圖。圖6A是該實(shí)施方式中的透光部件的俯視圖。圖6B是該實(shí)施方式中的透光部件的截面圖。圖7A是該實(shí)施方式中的臺(tái)部件的俯視圖。圖7B是該實(shí)施方式中的臺(tái)部件的截面圖。圖8是該實(shí)施方式中的電氣特性測(cè)定部的側(cè)視圖。圖9A是該實(shí)施方式中的外廓部件的俯視圖。圖9B是該實(shí)施方式中的外廓部件的側(cè)視圖。
圖9C是該實(shí)施方式中的外廓部件的截面圖。圖10是該實(shí)施方式中的位置調(diào)整機(jī)的俯視圖。圖11是該實(shí)施方式中的電子部件的檢查裝置的方塊圖。圖12A是被該實(shí)施方式中的電子部件的檢查裝置檢查的發(fā)光元件的側(cè)視圖。圖12B是被該實(shí)施方式中的電子部件的檢查裝置檢查的發(fā)光元件的俯視圖。圖12C是被該實(shí)施方式中的電子部件的檢查裝置檢查的發(fā)光元件的背面圖。圖13表示該實(shí)施方式中的凸輪輪廓。圖14是該實(shí)施方式中的主控制部所保持的圖表的例子。符號(hào)說(shuō)明1,電子部件的檢查裝置10,主控制部12,發(fā)光特性測(cè)定部12a,特性測(cè)定部12b, 通電部12c,注入器14,電氣特性測(cè)定部14b,通電部(特性測(cè)定部)14c,注入器19,定位部2,間歇旋轉(zhuǎn)盤21,圓板部22,部件輸送部23,固定部232,主體部234,軌道部236, 凸緣部238,顎部238a,耳部M,可動(dòng)部M1,主體部241a,耳部M3,移動(dòng)部25,載置臺(tái) 252,檐部254,臺(tái)部2Ma,插入孔沈,凸輪從動(dòng)輪27,牽引彈簧29,吸引管3,部件供給機(jī) 32,整列輸送部34,部件移載機(jī)36、37,位置調(diào)整機(jī)38,臂38a,頂端部39,臂39a,頂端部 4,探針輸送部41,探針42,臺(tái)座部42a,螺栓42b,軸承43,固定部432,主體部434,軌道部44,可動(dòng)部441,主體部441a,螺栓443,移動(dòng)部45,保持臺(tái)46,凸輪從動(dòng)輪47,牽引彈簧5,外廓部件5a,內(nèi)部空間52,透光部件52a,凹部521,厚壁部523,圓錐面54,臺(tái)部件 Ma,第一通孔Mb,第二通孔Mc,螺栓孔Md,凹部Ml,臺(tái)座部M3,厚壁部M5,薄壁部 M7,中厚部56,固定部件58,注入管58a,塞子59,柱部6,受光器61,積分球63,邊緣部 65,射入窗7,外廓部件72,臺(tái)板部74,筒狀部74a,貫通孔(內(nèi)部空間、第一通孔、第二通孔)76,0形環(huán)78,注入管78a,塞子79,柱部8,凸輪驅(qū)動(dòng)部81,電機(jī)83,軸部85,支承部 87、89,凸輪9,分類動(dòng)作部91,頭部93,臂部B,容器L,發(fā)光元件(電子部件)Lp,透鏡部 (凸?fàn)畈?Ls,基板部Lt,端子
具體實(shí)施例方式參照

本發(fā)明的電子部件的檢查裝置的實(shí)施方式。圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式中的電子部件的檢查裝置1的俯視圖。電子部件的檢查裝置1包括沿著圖1的箭頭R方向間歇地旋轉(zhuǎn)的間歇旋轉(zhuǎn)盤2。電子部件的檢查裝置1在間歇旋轉(zhuǎn)盤2的周圍由上流開(kāi)始依次包括部件供給機(jī)3、位置調(diào)整機(jī)36、發(fā)光特性測(cè)定部12、位置調(diào)整機(jī)37、電氣特性測(cè)定部14、和分類動(dòng)作部9。間歇旋轉(zhuǎn)盤2包括按照能夠旋轉(zhuǎn)的方式配置的圓板部21 ;和在圓板部21的外緣部按照規(guī)定的角度間隔排列的多個(gè)部件輸送部22。間歇旋轉(zhuǎn)盤2按照部件輸送部22的排列角度單位間歇地旋轉(zhuǎn)。因此,部件輸送部22停止的位置固定。在各個(gè)部件輸送部22上載置發(fā)光元件L。部件供給機(jī)3包括向間歇旋轉(zhuǎn)盤2延伸的整列輸送部32。整列輸送部32將發(fā)光元件L排成一列并向間歇旋轉(zhuǎn)盤2輸送。到達(dá)整列輸送部32的頂端部的發(fā)光元件L被部件移載機(jī)34載置在部件輸送部22上。位置調(diào)整機(jī)36和37調(diào)整被載置在部件輸送部22上的發(fā)光元件L的位置。發(fā)光特性測(cè)定部12包括受光器6,對(duì)被載置在部件輸送部22上的發(fā)光元件L的亮度等發(fā)光特性進(jìn)行測(cè)定。將在后面對(duì)發(fā)光特性測(cè)定部12進(jìn)行詳細(xì)的闡述。電氣特性測(cè)定部14測(cè)定被載置在部件輸送部22上的發(fā)光元件L的電壓一電流特性等電氣特性。將在后面對(duì)電氣特性測(cè)定部14進(jìn)行詳細(xì)的闡述。分類動(dòng)作部9包括能夠保持發(fā)光元件L的頭部91 ;和調(diào)整頭部91的位置的臂部部93。被載置在部件輸送部22上的發(fā)光元件L被頭部91輸送至在間歇旋轉(zhuǎn)盤2的旁邊二維排列的有底圓筒狀的多個(gè)容器B的上方,被收納在從其中決定的一個(gè)容器B中。收納發(fā)光元件L的容器B根據(jù)在發(fā)光特性測(cè)定部12中測(cè)定的發(fā)光特性和在電氣特性測(cè)定部14中測(cè)定的電氣特性來(lái)決定。如圖12A 圖12C所示,發(fā)光元件L包括矩形板狀的基板部Ls ;從基板部Ls向上方呈凸?fàn)钔怀龅陌肭驙畹耐哥R部Lp ;和在基板部Ls的下表面設(shè)置的一對(duì)端子Lt?;宀縇s主要由陶瓷等絕緣材料構(gòu)成。在基板部Ls的未圖示的內(nèi)部配置有,由半導(dǎo)體構(gòu)成的發(fā)光部;和與發(fā)光部相連的配線部。透鏡部Lp采用硅等透明樹(shù)脂材料構(gòu)成。從發(fā)光部發(fā)出的光透過(guò)透鏡部Lp向外部發(fā)射。一對(duì)端子Lt經(jīng)由配線部與發(fā)光部電連接。圖2是發(fā)光特性測(cè)定部12的側(cè)視圖。發(fā)光特性測(cè)定部12包括按照與部件輸送部22相面對(duì)的方式配置的探針輸送部4 ;在探針輸送部4的上方配置的外廓部件5 ;在外廓部件5的上方配置的受光器6 ;和驅(qū)動(dòng)部件輸送部22和探針輸送部4的凸輪驅(qū)動(dòng)部8。探針輸送部4包括在上下方向上延伸的多個(gè)探針41,在測(cè)定發(fā)光特性時(shí),使探針 41接觸被載置在部件輸送部22上的發(fā)光元件L。將在后面對(duì)探針輸送部4進(jìn)行詳細(xì)的闡述。外廓部件5借助柱部59安裝在探針輸送部4的上部。在測(cè)定發(fā)光特性時(shí),外廓部件5與被載置在部件輸送部22上的發(fā)光元件L接近并接觸。將在后面對(duì)外廓部件5進(jìn)行詳細(xì)的闡述。受光器6包括積分球61,在測(cè)定發(fā)光特性時(shí),接受從發(fā)光元件L發(fā)射的光。積分球 61具有與外廓部件5接近的未圖示的射入窗;和配置受光元件的未圖示的射出窗。凸輪驅(qū)動(dòng)部8包括電機(jī)81 ;從電機(jī)81向間歇旋轉(zhuǎn)盤2延伸的軸部83 ;和支承軸部83的頂端部的支承部85。在軸部83的中途裝有位于部件輸送部22下方的凸輪87和位于探針輸送部4下方的凸輪89。凸輪87和89分別驅(qū)動(dòng)部件輸送部22及探針輸送部4, 并使發(fā)光元件L和探針41移動(dòng)至測(cè)定位置。
圖3A 圖·是部件輸送部22的側(cè)視圖、主視圖和俯視圖。部件輸送部22包括
被固定在圓板部21上的固定部23 ;相對(duì)于固定部23能夠上下滑動(dòng)的可動(dòng)部M ;在可動(dòng)部 24的上端部設(shè)置的載置臺(tái)25 ;在可動(dòng)部M的下端部設(shè)置的凸輪從動(dòng)輪沈;在固定部23和可動(dòng)部M之間架設(shè)的牽引彈簧27 ;和被安裝在載置臺(tái)25上的吸引管四。固定部23采用不銹鋼等金屬構(gòu)成,其包括上下延伸的板狀的主體部232 ;在主體部232的前面?zhèn)仍O(shè)置的、上下延伸的軌道部234 ;在主體部232的后面?zhèn)仍O(shè)置的、向后方延伸的凸緣部236 ;和從主體部232的下端部向前方延伸的顎部238。凸緣部236螺固在圓板部21上。在顎部238的前端部設(shè)有向兩側(cè)延伸的棒狀的耳部238a。牽引彈簧27的一端被掛在耳部238a上??蓜?dòng)部M采用不銹鋼等金屬構(gòu)成,其包括上下延伸的板狀的主體部Ml ;和在主體部241的后面?zhèn)仍O(shè)置的、按照能夠上下滑動(dòng)的方式嵌入固定部23的軌道部234中的移動(dòng)部對(duì)3。在主體部241上設(shè)置有向兩側(cè)延伸的棒狀的耳部Mia。牽引彈簧27的另一端被掛在耳部Mla上。載置臺(tái)25采用塑料等絕緣材料構(gòu)成,其包括從可動(dòng)部對(duì)的上端部向前方延伸的檐部252 ;和在檐部252的前端部配置的臺(tái)部254。在臺(tái)部2M上形成有上下貫通的多個(gè)插入孔25如。發(fā)光元件L被載置在臺(tái)部邪4上。臺(tái)部邪4位于探針輸送部4的探針41的上方,探針41被插入插入孔25 中(參照?qǐng)D2)。凸輪從動(dòng)輪沈采用不銹鋼等金屬構(gòu)成,并且形成其中心軸朝著前后方向的扁平圓柱狀。凸輪從動(dòng)輪26與位于下方的凸輪87接觸,將從凸輪87承受的力傳遞給可動(dòng)部 24(參照?qǐng)D2)。牽引彈簧27向下方牽引可動(dòng)部M。如果通過(guò)凸輪從動(dòng)輪沈從凸輪87承受外力, 那么,可動(dòng)部M就會(huì)抵抗?fàn)抗璉彈簧27的牽引力向上方滑動(dòng)。吸引管四采用可撓性的樹(shù)脂材料構(gòu)成,通過(guò)在檐部252上形成的未圖示的通孔與插入孔25 的下方空間相連。未圖示的吸引器對(duì)吸引管四內(nèi)進(jìn)行吸引,于是,在插入孔 254a中產(chǎn)生負(fù)壓,在臺(tái)部2M上吸附發(fā)光元件L。圖4A 圖4C是探針輸送部4的側(cè)視圖、主視圖及俯視圖。探針輸送部4包括探針41 ;按照與部件輸送部22相面對(duì)的方式配置的板狀的臺(tái)座部42 ;被固定在臺(tái)座部42上的固定部43 ;相對(duì)于固定部43能夠上下滑動(dòng)的可動(dòng)部44 ;在可動(dòng)部44的上端部設(shè)置且保持探針41的保持臺(tái)45 ;在可動(dòng)部44的下端部設(shè)置的凸輪從動(dòng)輪46 ;和在臺(tái)座部42和可動(dòng)部44之間架設(shè)的牽引彈簧47。臺(tái)座部42采用不銹鋼等金屬構(gòu)成。在臺(tái)座部42的中央部設(shè)置凸輪驅(qū)動(dòng)部8的軸部83被插入其中的軸承42b。在臺(tái)座部42的前面,在從軸承42b向兩側(cè)遠(yuǎn)離的位置安裝螺栓42a。牽引彈簧47的一端被掛在螺栓4 上。固定部43采用不銹鋼等金屬構(gòu)成,其包括被安裝在臺(tái)座部42的上部、且上下延伸的板狀的主體部432 ;和在主體部432的前面?zhèn)仍O(shè)置的、上下延伸的軌道部434??蓜?dòng)部44采用不銹鋼等金屬構(gòu)成,其包括上下延伸的板狀的主體部441 ;和在主體部441的后面一側(cè)設(shè)置的、按照能夠上下滑動(dòng)的方式嵌入固定部43的軌道部434上的移動(dòng)部443。在主體部441的兩個(gè)側(cè)面的上部安裝螺栓441a。牽引彈簧47的另一端被掛在螺栓441a上。
保持臺(tái)45采用塑料等絕緣材料構(gòu)成,從可動(dòng)部44的上端部向前方突出。多個(gè)探針41被插入保持臺(tái)45上。保持臺(tái)45位于部件輸送部22的載置臺(tái)25的下方,探針41被插入載置臺(tái)25的插入孔中(參照?qǐng)D2)。未圖示的配線與各個(gè)探針41連接。凸輪從動(dòng)輪46采用不銹鋼等金屬構(gòu)成,形成為其中心軸朝著前后方向的扁平圓柱狀。凸輪從動(dòng)輪46與位于下方的凸輪89接觸,將從凸輪89承受的外力傳遞給可動(dòng)部 44(參照?qǐng)D2)。牽引彈簧47向下方牽引可動(dòng)部44。如果通過(guò)凸輪從動(dòng)輪46從凸輪89承受力,那么,可動(dòng)部44就會(huì)抵抗?fàn)恳龔椈?7的牽引力向上方滑動(dòng)。返回圖2的說(shuō)明,在部件輸送部22和探針輸送部4相面對(duì)的期間,電機(jī)81使軸部 83旋轉(zhuǎn)一圈。當(dāng)隨著軸部83的旋轉(zhuǎn)凸輪87旋轉(zhuǎn)一圈時(shí),被載置在載置臺(tái)25上的發(fā)光元件 L上升至外廓部件5的位置后,下降至初始位置。同樣,當(dāng)隨著軸部83的旋轉(zhuǎn)凸輪89旋轉(zhuǎn)一圈時(shí),被保持臺(tái)45保持的探針41上升至外廓部件5的位置后,下降至初始位置。具體而言,凸輪87和89的輪廓如圖13所示。凸輪87及89隨著旋轉(zhuǎn)角度從0度接近180度而接近最高半徑,然后,隨著旋轉(zhuǎn)角度從180度接近360度而接近最低半徑。在凸輪87位于最高半徑期間,被載置在載置臺(tái)25上的發(fā)光元件L到達(dá)最高點(diǎn),被安裝在外廓部件5上。此外,在凸輪89位于最高半徑期間,被保持臺(tái)45保持的探針41到達(dá)最高點(diǎn),與被安裝在外廓部件5上的發(fā)光元件L的端子Lt接觸。此處,凸輪87到達(dá)最高半徑的時(shí)刻比凸輪89到達(dá)最高半徑的時(shí)刻早。因此,在發(fā)光元件L被安裝在外廓部件5上后,探針41接觸發(fā)光元件L的端子Lt。凸輪87離開(kāi)最高半徑的時(shí)刻比凸輪89離開(kāi)最高半徑的時(shí)刻早。因此,在探針41離開(kāi)發(fā)光元件L的端子Lt 后,發(fā)光元件L離開(kāi)外廓部件5。凸輪89的最高半徑比凸輪87的最高半徑大。因此,當(dāng)旋轉(zhuǎn)角度為0度時(shí),載置有發(fā)光元件L上的載置臺(tái)25和探針41上下分離,但是,隨著旋轉(zhuǎn)角度接近180度,探針41被插入載置臺(tái)25的插入孔中,然后,與發(fā)光元件L的端子Lt接觸。圖5A 圖5C是外廓部件5的俯視圖、主視圖及截面圖。圖5C表示發(fā)光元件L和探針41位于最高位置的狀態(tài)。外廓部件5包括臺(tái)部件M ;在臺(tái)部件M上配置的透光部件52 ;和將透光部件52固定在臺(tái)部件M上的固定部件56。透光部件52和臺(tái)部件M被組合在一起,由此,在它們之間形成內(nèi)部空間5a。在臺(tái)部件M上形成有與內(nèi)部空間fe相連的第一通孔5 及第二通孔Mb。第二通孔54b與注入管58連接。圖6A和圖6B是透光部件52的俯視圖和截面圖。透光部件52采用玻璃等透明材料構(gòu)成,能夠透過(guò)來(lái)自發(fā)光元件L的光。透光部件52形成為圓形平板狀。在透光部件52 的下表面?zhèn)鹊闹醒氩啃纬捎袌A形平板狀的凹部52a,凹部5 被厚壁部521包圍。在透光部件52上表面的邊緣部形成有朝向上方且側(cè)方的圓錐面523。圖7A和圖7B是臺(tái)部件討的俯視圖和截面圖。臺(tái)部件M采用不銹鋼等金屬構(gòu)成。 臺(tái)部件M形成為帽子形,具有其中心軸朝著上下方向的扁平圓柱狀的臺(tái)座部Ml。在臺(tái)座部541上形成向下方開(kāi)放的凹部Md。臺(tái)座部541具有沿著邊緣部設(shè)置的厚壁部M3 ;比厚壁部543薄且從邊緣部的一部分向中央延伸的中厚部M7 ;和比中厚部547薄且在中央部和剩余部設(shè)置的薄壁部M5。在臺(tái)部件M上形成有第一通孔Ma、第二通孔Mb、和多個(gè)螺栓孔Mc。第一通孔5 在臺(tái)座部541的中央上下貫通,并且形成為向上方擴(kuò)大的圓錐狀。第二通孔54b在中厚部討7的內(nèi)部從邊緣部向中央延伸。第二通孔54b在第一通孔Ma的附近向上方開(kāi)放,在厚壁部M3的位置向下方開(kāi)放。螺栓孔5 上下貫通厚壁部M3。返回圖5A 圖5C的說(shuō)明,在臺(tái)部件M和在臺(tái)部件M上配置的透光部件52之間形成內(nèi)部空間如。內(nèi)部空間fe是被透光部件52和臺(tái)部件M圍成的、且被透光部件52和臺(tái)部件M密閉的空間。具體而言,透光部件52的厚壁部521的平坦的下表面和臺(tái)部件M 的臺(tái)座部Ml的平坦的上表面接觸,由此,透光部件52的凹部5 形成為內(nèi)部空間如。因此,內(nèi)部空間fe形成為圓形的平板狀。內(nèi)部空間fe通過(guò)在臺(tái)部件M上形成的第一通孔 54a與外廓部件5的外部相連。固定部件56被分別配置在透光部件52的邊緣部中的相對(duì)的一對(duì)部分上。固定部件56覆蓋透光部件52的邊緣部,并且被插入臺(tái)部件M的螺栓孔5 中的螺栓固定。具體而言,固定部件56形成鉤狀,被掛在形成于透光部件52的邊緣部的圓錐面523。注入管58與在臺(tái)部件M上形成的第二通孔54b相連。在注入管58的頂端部安裝塞子58a,在臺(tái)部件M的厚壁部543的位置被插入第二通孔54b的下端部。注入管58的基端部被安裝在后述的注入器12c上。內(nèi)部空間fe通過(guò)第二通孔54b和注入管58與注入器12c相連。在透光部件52的上方配置有構(gòu)成受光器6的積分球61。在積分球61的下端部形成有射入窗65、和圍繞射入窗65的邊緣部63。射入窗65與透光部件52的上表面接近并且相對(duì)。邊緣部63圍繞透光部件52和臺(tái)部件M。即,透光部件52被配置在被積分球61 和臺(tái)部件M密閉的空間的內(nèi)部。在形成于臺(tái)部件M上的第一通孔5 的下方側(cè)暫時(shí)配置被部件輸送部22輸送的發(fā)光元件L。具體而言,當(dāng)部件輸送部22位于最高位置時(shí),被載置在部件輸送部22上的發(fā)光元件L以塞住第一通孔Ma的方式被配置在臺(tái)部件M的下表面?zhèn)?。發(fā)光元件L也可以塞住第一通孔Ma的至少一部分。此時(shí),發(fā)光元件L的呈凸?fàn)钔怀龅耐哥R部Lp被插入第一通孔Ma。因此,第一通孔Ma的最小孔徑形成為發(fā)光元件L的透鏡部Lp能夠插入的尺寸。而且,第一通孔Ma的最小孔徑最好形成為發(fā)光元件L的基板部Ls不能插入的尺寸。 這樣,被插入第一通孔5 的透鏡部Lp緊貼第一通孔5 的內(nèi)壁等。此外,當(dāng)探針輸送部4位于最高位置時(shí),探針41與配置于臺(tái)部件M的下表面?zhèn)鹊陌l(fā)光元件L的下表面上所設(shè)置的端子Lt接觸。如果發(fā)光元件L通過(guò)探針41被通電,那么, 從透鏡部Lp向外部發(fā)射光。從被插入第一通孔5 的透鏡部Lp朝向上方側(cè)的光透過(guò)透光部件52,射入積分球61的射入窗65。此外,從透鏡部Lp朝向下方側(cè)的光也被形成圓錐狀的第一通孔Ma的內(nèi)壁向上方側(cè)反射,透過(guò)透光部件52,而射入積分球61的射入窗65。當(dāng)部件輸送部22開(kāi)始下降時(shí),利用后述的注入器12c,氣體通過(guò)注入管58和第二通孔54b被注入內(nèi)部空間fe。從第二通孔54b被注入內(nèi)部空間fe的氣體從內(nèi)部空間如通過(guò)第一通孔5 被向外部排出,此時(shí),發(fā)光元件L離開(kāi)第一通孔Ma的內(nèi)壁等。其結(jié)果,發(fā)光元件L在被部件輸送部22保持的情況下下降。向內(nèi)部空間fe注入氣體的時(shí)刻也可以是部件輸送部件22開(kāi)始下降之前或者之后,對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)?shù)卦O(shè)定,從而維持發(fā)光元件L被部件輸送部22保持的狀態(tài)。圖8是電氣特性測(cè)定部14的側(cè)視圖。對(duì)于與所述發(fā)光特性測(cè)定部12重復(fù)的構(gòu)造,標(biāo)注相同的序號(hào),省略其詳細(xì)的說(shuō)明。電氣特性測(cè)定部14包括按照與部件輸送部22相面對(duì)的方式配置的探針輸送部4 ;被配置在探針輸送部4的上方的外廓部件7 ;和驅(qū)動(dòng)部件輸送部22和探針輸送部4的凸輪驅(qū)動(dòng)部8。外廓部件7借助柱部79被安裝在探針輸送部4的上部。當(dāng)測(cè)定電氣特性時(shí),外廓部件7與被載置在部件輸送部22上的發(fā)光元件L接近乃至接觸。圖9A 圖9C是外廓部件7的俯視圖、側(cè)視圖和截面圖。圖9C表示發(fā)光元件L及探針41位于最高位置的狀態(tài)。外廓部件7包括從柱部79向前方延伸的平板狀的臺(tái)板部 72 ;和在臺(tái)板部72的前端部的上面配置的筒狀部74。在臺(tái)板部72和筒狀部74上形成上下貫通的貫通孔74a。貫通孔7 發(fā)揮內(nèi)部空間、第一通孔和第二通孔的功能。臺(tái)板部72 和筒狀部74通過(guò)焊接等方式被相互固定,臺(tái)板部72和筒狀部74之間的縫隙被塞住。在貫通孔74a的中途配置用來(lái)防止氣體從縫隙泄漏的0形環(huán)76。注入管78與形成于外廓部件7上的貫通孔7 相連。塞子78a被安裝在注入管 78的頂端部,并且被插入貫通孔7 的上端部。注入管78的基端部被安裝在后述的注入器 14c上。貫通孔74a通過(guò)注入管78與注入器14c相連。在形成于外廓部件7上的貫通孔74a的下方側(cè)暫時(shí)配置被部件輸送部22輸送的發(fā)光元件L。具體而言,當(dāng)部件輸送部22位于最高位置時(shí),被載置在部件輸送部22上的發(fā)光元件L被配置在臺(tái)板部72的下面?zhèn)纫匀∝炌?4a。發(fā)光元件L也可以塞住貫通孔 74a的至少一部分。此時(shí),發(fā)光元件L的呈凸?fàn)钔怀龅耐哥R部Lp被插入貫通孔74a。因此, 貫通孔7 的最小孔徑形成為發(fā)光元件L的透鏡部Lp能夠插入的尺寸。貫通孔74a的最小孔徑優(yōu)選形成為發(fā)光元件L的基板部Ls不能插入的尺寸。于是,被插入貫通孔7 中的透鏡部Lp緊貼貫通孔74a的內(nèi)壁等。當(dāng)探針輸送部4位于最高位置時(shí),探針41與配置于臺(tái)部件M的下表面?zhèn)鹊陌l(fā)光元件L的下表面上所設(shè)置的端子Lt接觸。發(fā)光元件L通過(guò)探針41被通電。當(dāng)部件輸送部22開(kāi)始下降時(shí),利用后述的注入器14c,氣體通過(guò)注入管78被注入貫通孔74a。從貫通孔74a的上端部被注入的氣體從貫通孔74a的下端部向外部排出。此時(shí),發(fā)光元件L從貫通孔7 的內(nèi)壁等離開(kāi)。這樣,發(fā)光元件L在被部件輸送部22保持的狀態(tài)下下降。向內(nèi)部空間fe注入氣體的時(shí)刻也可以是在部件輸送部22開(kāi)始下降之前或者之后,對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)?shù)卦O(shè)定,從而維持發(fā)光元件L被部件輸送部22保持的狀態(tài)。圖10是位置調(diào)整機(jī)36和37的俯視圖。位置調(diào)整機(jī)36和37具有能夠在延伸方向上進(jìn)退的并列的兩個(gè)臂部38和39。其中一個(gè)臂部38形成為向另一個(gè)臂部39側(cè)折返的鉤狀。兩個(gè)臂部38和39的頂端部38a和39a形成谷狀,在進(jìn)退方向上相對(duì)。如果被載置在部件輸送部22的載置臺(tái)25上的發(fā)光元件L位于頂端部38a和39a之間,那么,兩個(gè)臂部 38和39的頂端部38a和39a相互接近地移動(dòng),調(diào)整發(fā)光元件L的位置。圖11是電子部件的檢查裝置1的方塊圖。主控制部10主要控制分類動(dòng)作部9、發(fā)光特性測(cè)定部12和電氣特性測(cè)定部14。主控制部10與包含在發(fā)光特性測(cè)定部12中的特性測(cè)定部12a、通電部12b、注入器12c和電機(jī)81連接。此外,主控制部10還與包含在電氣特性測(cè)定部14中的通電部14b、注入器Hc和電機(jī)81連接。主控制部10功能性包括定位部19。此外,主控制部10也控制上述圖1所示的間歇旋轉(zhuǎn)盤2、部件供給機(jī)3、部件移載機(jī)34和位置調(diào)整機(jī)36、37等。在間歇旋轉(zhuǎn)盤2的間歇旋轉(zhuǎn)中,間歇旋轉(zhuǎn)盤2交替式地重復(fù)按照部件輸送部22的排列角度旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)期間和旋轉(zhuǎn)停止的停止期間。注入器12c及14c 和電機(jī)81等其他構(gòu)件也被控制為在間歇旋轉(zhuǎn)盤2的停止期間進(jìn)行操作。主控制部10構(gòu)成為包括CPU (中央處理器)和作為其工作區(qū)域的RAM等的計(jì)算機(jī)或者PLC (可編程控制器)。此外,主控制部10包括用于存儲(chǔ)CPU操作所需的程序及數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)裝置。包含在發(fā)光特性測(cè)定部12中的特性測(cè)定部1 與受光器6連接,接受受光器6的檢出信號(hào),測(cè)定發(fā)光元件L的亮度等發(fā)光特性,并向主控制部10輸出表示發(fā)光特性的信號(hào)。 此處,如上述圖5C所示,受光器6檢測(cè)的光從配置在臺(tái)部件M上的發(fā)光元件L發(fā)射,透過(guò)透光部件52,而射入積分球61的射入窗65。通電部12b與探針41連接,根據(jù)來(lái)自主控制部10的指令對(duì)探針41通電。如上述圖5C所示,通電部12b配合探針41接觸發(fā)光元件L的端子Lt的時(shí)刻,通過(guò)探針41對(duì)發(fā)光元件L通電。這樣,發(fā)光元件L發(fā)射光。注入器12c與注入管58連接,根據(jù)來(lái)自主控制部10的指令向注入管58注入氣體。 具體而言,注入器12c由電磁閥構(gòu)成,將被加壓至大氣壓以上的氣體暫時(shí)釋放到注入管58 的內(nèi)部。如上述圖5C所示,注入器12c配合部件輸送部22開(kāi)始下降的時(shí)刻,向注入管58 注入氣體。這樣,氣體就從外廓部件5的第二通孔54b被注入內(nèi)部空間5a,發(fā)光元件L從臺(tái)部件M的第一通孔Ma的內(nèi)壁等脫離,在被部件輸送部22保持的狀態(tài)下下降。與所述通電部12b同樣,包含在電氣特性測(cè)定部14中的通電部14b與探針41連接,根據(jù)來(lái)自主控制部10的指令對(duì)探針41通電。如上述圖9C所示,通電部14b配合探針 41接觸發(fā)光元件L的端子Lt的時(shí)刻,通過(guò)探針41對(duì)發(fā)光元件L通電。通電部14b也發(fā)揮作為特性測(cè)定部的功能,測(cè)定發(fā)光元件L通電時(shí)的電壓一電流特性等電氣特性,向主控制部10輸出表示電氣特性的信號(hào)。與所述注入器12c同樣,注入器Hc與注入管78連接,根據(jù)來(lái)自主控制部10的指令,向注入管78中注入氣體。具體而言,注入器14c由電磁閥構(gòu)成,將被加壓至大氣壓以上的氣體暫時(shí)釋放到注入管78的內(nèi)部。如上述圖9C所示,注入器Hc配合部件輸送部22開(kāi)始下降的時(shí)刻,向注入管78中注入氣體。這樣,氣體被注入外廓部件7的貫通孔7 中,發(fā)光元件L從外廓部件7的貫通孔7 的內(nèi)壁等離開(kāi),在被部件輸送部22保持的狀態(tài)下下降。包含在主控制部10中的定位部19根據(jù)從包含在發(fā)光特性測(cè)定部12中的特性測(cè)定部1 獲得的發(fā)光特性、和從包含在電氣特性測(cè)定部14中的通電部14b獲得的電氣特性,決定發(fā)光元件L的收納位置。具體而言,定位部19根據(jù)所獲得的發(fā)光特性及電氣特性,判斷發(fā)光元件L符合預(yù)先確定的多個(gè)等級(jí)中的哪一個(gè)等級(jí)。等級(jí)的數(shù)量與容器B的數(shù)量相同,例如為128。下面,定位部19參照被保存在主控制部10的存儲(chǔ)裝置中的圖表,根據(jù)上述所判斷的等級(jí),從多個(gè)容器B中決定收納發(fā)光元件L的容器B。如圖14所示,在圖表中,發(fā)光特性和電氣特性的“等級(jí)”與各個(gè)容器B的“容器位置”對(duì)應(yīng)。定位部19采用二維正交坐標(biāo)或者極坐標(biāo)來(lái)管理分類動(dòng)作部9的頭部91所定位的各個(gè)容器B的位置,并且從中指定收納發(fā)光元件L的容器B的位置。分類動(dòng)作部9將保持有發(fā)光元件L的頭部91定位在所指定的容器B的上方,將發(fā)光元件L收納在該容器B內(nèi)。以上,對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明,但是,本發(fā)明并非局限于上述實(shí)施方式, 當(dāng)然,對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,能夠進(jìn)行各種變形。在上述實(shí)施方式中,作為測(cè)定和分類的對(duì)象,優(yōu)選使用硅等粘著性好的樹(shù)脂材料的發(fā)光元件L,但是并非局限于此。在上述實(shí)施方式中,作為測(cè)定和分類的對(duì)象以發(fā)光元件L為例,但是,并非局限于此,也可以是晶體管和電容器等其他電子部件。在上述實(shí)施方式中,從發(fā)光元件L發(fā)出的光透過(guò)透光元件52,預(yù)測(cè)它會(huì)略微衰減, 因此,也可以預(yù)先求出透光部件52的吸收特性,然后據(jù)此修正發(fā)光特性的測(cè)定結(jié)果。
權(quán)利要求
1.一種電子部件的檢查裝置,其特征在于,包括外廓部件,其具有內(nèi)部空間,并且按照塞住在該外廓部件上形成的與所述內(nèi)部空間相連的第一通孔的方式配置電子部件;探針,其與配置于所述外廓部件上的所述電子部件的端子接觸,對(duì)所述電子部件通電;和注入器,其從在所述外廓部件上形成的與所述內(nèi)部空間相連的第二通孔向所述內(nèi)部空間注入氣體。
2.如權(quán)利要求1所述的電子部件的檢查裝置,其特征在于所述電子部件具有呈凸?fàn)钔怀龅耐範(fàn)畈?,所述凸?fàn)畈坎迦胨龅谝煌字小?br> 3.如權(quán)利要求1所述的電子部件的檢查裝置,其特征在于還包括部件輸送部,用于輸送所述電子部件,從而在所述外廓部件上裝卸所述電子部件,在所述部件輸送部上形成有用于插入所述探針的插入孔。
4.如權(quán)利要求3所述的電子部件的檢查裝置,其特征在于還包括探針輸送部,用于輸送所述探針,從而在所述插入孔中插拔所述探針。
5.如權(quán)利要求4所述的電子部件的檢查裝置,其特征在于在所述電子部件被安裝在所述外廓部件上之后,所述探針與所述電子部件的端子接觸。
6.如權(quán)利要求1所述的電子部件的檢查裝置,其特征在于 所述電子部件是發(fā)光元件,所述外廓部件的至少一部分由具有透光性的透光部件構(gòu)成,還包括受光器,其接受從所述發(fā)光元件發(fā)出的光,并且按照所述透光部件位于該受光器和所述第一通孔之間的方式配置。
7.如權(quán)利要求6所述的電子部件的檢查裝置,其特征在于所述受光器包括積分球,該積分球具有能夠使透過(guò)所述透光部件的光射入的射入窗。
8.如權(quán)利要求6所述的電子部件的檢查裝置,其特征在于所述發(fā)光元件具有呈凸?fàn)钔怀龅耐哥R部,所述透鏡部插入所述第一通孔中。
9.如權(quán)利要求6所述的電子部件的檢查裝置,其特征在于所述外廓部件包括所述透光部件;和用于安裝所述透光部件的、形成有所述第一通孔和所述第二通孔的臺(tái)部件。
10.一種電子部件的檢查裝置,其特征在于,包括臺(tái)部件,其形成有在一個(gè)方向上貫通的第一通孔,并且按照在該臺(tái)部件的所述一個(gè)方向的第一側(cè)塞住所述第一通孔的方式配置發(fā)光元件;具有透光性的透光部件,其安裝在所述臺(tái)部件的所述一個(gè)方向的第二側(cè),且在該透光部件與所述臺(tái)部件之間形成有與所述第一通孔相連的內(nèi)部空間;探針,其與配置于所述臺(tái)部件上的所述電子部件的端子接觸,對(duì)所述電子部件通電; 注入器,其從形成于所述臺(tái)部件上的與所述內(nèi)部空間相連的第二通孔向所述內(nèi)部空間注入氣體;和受光器,其接受從所述發(fā)光元件發(fā)出的光,并且按照所述透光部件位于所述受光器與所述第一通孔之間的方式配置。
11. 一種電子部件的檢查裝置,其特征在于,包括外廓部件,其具有內(nèi)部空間,并且按照塞住在該外廓部件上形成的與所述內(nèi)部空間相連的第一通孔的方式配置電子部件;探針,其與配置于所述外廓部件上的所述電子部件的端子接觸,對(duì)所述電子部件通電;注入器,其從形成于所述外廓部件上的與所述內(nèi)部空間相連的第二通孔向所述內(nèi)部空間注入氣體;特性測(cè)定部,當(dāng)對(duì)所述電子部件通電時(shí),測(cè)定所述電子部件的特性; 定位部,其根據(jù)所述電子部件的特性,決定所述電子部件的收納位置;和分類動(dòng)作部,其使所述電子部件移動(dòng)至所述收納位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠抑制電子部件的粘貼的電子部件的檢查裝置。本發(fā)明的電子部件的檢查裝置包括具有內(nèi)部空間(5a)的外廓部件(5)、探針(41)、和注入器(12c)。在外廓部件(5)上,形成有與內(nèi)部空間(5a)相連的第一通孔(54a),按照塞住該第一通孔(54a)的方式配置發(fā)光元件(L)。探針(41)與配置于外廓部件(5)上的發(fā)光元件(L)的端子接觸,而對(duì)發(fā)光元件(L)通電。注入器(12c)從在外廓部件(5)上形成的與內(nèi)部空間(5a)相連的第二通孔(54b)向內(nèi)部空間(5a)注入氣體。
文檔編號(hào)G01M11/02GK102269794SQ201110049710
公開(kāi)日2011年12月7日 申請(qǐng)日期2011年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月4日
發(fā)明者比留間篤司 申請(qǐng)人:日本嘉大株式會(huì)社
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