專(zhuān)利名稱(chēng)：測(cè)試樣品裝卸輔助裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體芯片測(cè)試領(lǐng)域，更具體來(lái)說(shuō)是一種用于將測(cè)試樣品裝載到 測(cè)試基座和從測(cè)試基座下載的輔助裝置。
背景技術(shù)：
老化(Burn-In)、早期失效率(Early Failure Rate)、高溫工作壽命 (HighTemperature Operating Life)等測(cè)試是半導(dǎo)體芯片可靠性實(shí)驗(yàn)中非常重要的測(cè)試 項(xiàng)目。在半導(dǎo)體制造企業(yè)，通常采用測(cè)試基座(socket)承載測(cè)試樣品(sample)，一個(gè)或 者多個(gè)測(cè)試基座布置在測(cè)試板上。測(cè)試基座包括管腳接觸針(PinContact Tip)，一方面連 接到測(cè)試板的測(cè)試電路，另一方面提供與測(cè)試樣品的管腳之間的良好接觸。測(cè)試基座周?chē)?還對(duì)應(yīng)設(shè)置有壓緊機(jī)構(gòu)，壓緊機(jī)構(gòu)在自然狀態(tài)下(也即工作狀態(tài)下)能夠?qū)y(cè)試樣品鎖定 在測(cè)試基座上，以確保測(cè)試樣品的管腳與管腳接觸針緊密接觸。壓緊機(jī)構(gòu)可以為每個(gè)測(cè)試基座旁設(shè)置一個(gè)，也可以為均布在測(cè)試基座相對(duì)兩側(cè)的 兩個(gè)或者均布在測(cè)試基座四周的四個(gè)，以使得測(cè)試樣品受力更加均勻。在進(jìn)行測(cè)試之前，工 程師需要開(kāi)啟壓緊機(jī)構(gòu)，將測(cè)試樣品裝載到測(cè)試基座，放開(kāi)壓緊機(jī)構(gòu)；測(cè)試完畢之后，工程 師再次開(kāi)啟壓緊機(jī)構(gòu)，將測(cè)試樣品從測(cè)試基座內(nèi)卸載，再放開(kāi)壓緊機(jī)構(gòu)。當(dāng)測(cè)試基座四周的 壓緊機(jī)構(gòu)數(shù)目較多時(shí)，測(cè)試樣品的裝載或者卸載必須要兩人協(xié)作來(lái)完成，一人雙手摁壓開(kāi) 啟壓緊機(jī)構(gòu)，另一人用吸筆裝載或者卸載測(cè)試樣品。現(xiàn)有技術(shù)中，測(cè)試樣品的裝載和卸載顯得比較麻煩。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，以?xún)?yōu)化裝 卸過(guò)程、減少不必要的人力支出。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是一種測(cè)試樣品裝卸輔助裝置， 用于測(cè)試板，所述的測(cè)試板包括測(cè)試基座、用于將測(cè)試樣品鎖定在測(cè)試基座上的壓緊機(jī)構(gòu)， 其特征在于，該輔助裝置包括導(dǎo)軌，滑動(dòng)設(shè)置在所述導(dǎo)軌上的滑軌，滑動(dòng)設(shè)置在所述的滑 軌上的固定架；連接在固定架上的伸縮部件、連接在伸縮部件上的用于開(kāi)啟壓緊機(jī)構(gòu)的定 位針，所述定位針的數(shù)目與一個(gè)測(cè)試基座所對(duì)應(yīng)的壓緊機(jī)構(gòu)的數(shù)目相等。優(yōu)選的每個(gè)測(cè)試基座對(duì)應(yīng)于至少兩個(gè)壓緊機(jī)構(gòu)。所述的導(dǎo)軌為平行設(shè)置的兩根，所述滑軌的兩端部均設(shè)置有滑塊，滑塊滑動(dòng)設(shè)置 在導(dǎo)軌上。所述固定架上連接有滑塊，滑塊滑動(dòng)設(shè)置在滑軌上。所述固定架上連接有氣缸，所述伸縮部件為氣缸的活塞桿。所述氣缸與控制機(jī)構(gòu) 連接，所述控制機(jī)構(gòu)與用于控制活塞桿伸縮的開(kāi)關(guān)連接。所述控制機(jī)構(gòu)可以為氣閥。所述伸縮部件上連接有連接支架，連接支架上能夠拆卸的連接有修正支架，定位針固定在修正支架上。由于上述技術(shù)方案的采用，使得測(cè)試樣品的裝載和卸載十分方便靈活快捷，一位 工程師便能獨(dú)立完成，可以提高企業(yè)的生產(chǎn)效率。

通過(guò)附圖中所示的本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的更具體說(shuō)明，本實(shí)用新型的上述及 其它目的、特征和優(yōu)勢(shì)將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。并未 刻意按實(shí)際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本實(shí)用新型的主旨。圖1為本實(shí)用新型輔助裝置的俯視圖；圖2為輔助裝置除去導(dǎo)軌、滑軌后的側(cè)視圖，此時(shí)輔助裝置處于自然狀態(tài)；圖3為輔助裝置除去導(dǎo)軌、滑軌后的側(cè)視圖，此時(shí)輔助裝置處于觸發(fā)狀態(tài)。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖1所示的測(cè)試樣品裝卸輔助裝置的俯視圖，該輔助裝置首先包括設(shè)置在測(cè)試板1的側(cè)部的導(dǎo)軌2、滑動(dòng)設(shè)置在所述導(dǎo)軌2上的滑軌3、滑動(dòng)設(shè)置在 所述滑軌3上的固定架41。其中所述導(dǎo)軌2為平行設(shè)置的兩根且沿著Y方向延伸，所述滑 軌3的兩端部均設(shè)置有滑塊30，兩個(gè)滑塊30分別滑動(dòng)設(shè)置在導(dǎo)軌2上。所述滑軌3沿著X 方向延伸，滑軌3上滑動(dòng)設(shè)置有滑塊40，固定架41連接在滑塊40上。工程師通過(guò)沿著導(dǎo)軌 2撥動(dòng)滑軌3，可以使得固定架41沿著Y方向滑動(dòng)，通過(guò)沿著滑軌3撥動(dòng)固定架41，可以使 得固定架41沿著X方向滑動(dòng)，通過(guò)X方向與Y方向的組合，實(shí)現(xiàn)固定架41在測(cè)試板1的不 同位置的定位。結(jié)合圖2、圖3，該輔助裝置還進(jìn)一步包括連接在固定架41上的具有活塞桿44的 氣缸42、連接在所述活塞桿44上的連接支架45、連接在所述連接支架45上的修正支架46、 設(shè)置在所述修正支架46上的定位針47，還包括設(shè)置在連接支架45上的用于控制活塞桿44 伸出與縮回的開(kāi)關(guān)43。所述開(kāi)關(guān)43包括彈簧，當(dāng)開(kāi)關(guān)43處于未被觸發(fā)的自然狀態(tài)時(shí)，彈簧使得開(kāi)關(guān)43 處于斷開(kāi)狀態(tài)，當(dāng)開(kāi)關(guān)43被觸發(fā)時(shí)，開(kāi)關(guān)43處于閉合狀態(tài)。當(dāng)開(kāi)關(guān)43處于斷開(kāi)狀態(tài)時(shí)，控制機(jī)構(gòu)控制活塞桿44處于縮回狀態(tài)；當(dāng)開(kāi)關(guān)處于閉 合狀態(tài)時(shí)，控制機(jī)構(gòu)控制活塞桿44處于伸出狀態(tài)。所述的控制機(jī)構(gòu)可以為氣閥，通過(guò)與活 塞的不同側(cè)導(dǎo)通而實(shí)現(xiàn)活塞桿44的進(jìn)退?？刂茩C(jī)構(gòu)為本領(lǐng)域公知技術(shù)，圖中未顯示。所述的修正支架46與連接支架45能夠拆卸的連接，定位針47固定在修正支架46 上。對(duì)應(yīng)不同型號(hào)的測(cè)試板1，可以制作不同型號(hào)的修正支架46，不同型號(hào)的修正支架46 上的定位針47的形狀、尺寸、距離等會(huì)有差異。由于修正支架與連接支架能夠拆卸，通過(guò)更 換修正支架即能滿(mǎn)足不同測(cè)試板的需求，比較經(jīng)濟(jì)節(jié)約。測(cè)試板1上設(shè)置有多個(gè)測(cè)試基座10，測(cè)試基座10呈矩形，測(cè)試基座10的四個(gè)角上 分別設(shè)置有壓緊機(jī)構(gòu)11用于將測(cè)試樣品鎖定在測(cè)試基座10上。相對(duì)應(yīng)的，每個(gè)修正支架 46上設(shè)置有四個(gè)定位針47，每個(gè)定位針47分別與一個(gè)壓緊機(jī)構(gòu)11相對(duì)應(yīng)，當(dāng)修正支架46 下降時(shí)，四個(gè)定位針47可以同時(shí)與四個(gè)壓緊機(jī)構(gòu)11抵觸。當(dāng)定位針47抵觸在壓緊機(jī)構(gòu)11 上時(shí)可以使得壓緊機(jī)構(gòu)11打開(kāi)，此時(shí)可以將測(cè)試樣品裝載至測(cè)試基座10或者從測(cè)試基座10卸載測(cè)試樣品。本輔助裝置的工作過(guò)程為參見(jiàn)圖2，當(dāng)該裝置處于自然狀態(tài)時(shí)，開(kāi)關(guān)43處于斷開(kāi)狀態(tài)，氣閥反向開(kāi)啟，活塞桿處于縮回狀態(tài)，定位針47不與壓緊機(jī)構(gòu)11接觸，壓緊機(jī)構(gòu)11處于工作狀態(tài)，可以將測(cè)試 樣品牢固的鎖定在測(cè)試基座10上。參見(jiàn)圖3，當(dāng)工程師需要裝載或者卸載測(cè)試樣品時(shí)，撥動(dòng)固定架41，使得滑軌3在 導(dǎo)軌2的合適位置定位、固定架41在滑軌3的合適位置定位，此時(shí)定位針47對(duì)準(zhǔn)壓緊機(jī)構(gòu) 11 ；摁壓開(kāi)關(guān)43，使得開(kāi)關(guān)43處于閉合狀態(tài)，氣閥正向開(kāi)啟，活塞桿44伸出，帶動(dòng)連接支架 45、修正支架46、定位針47下降，定位針47觸發(fā)壓緊機(jī)構(gòu)11，壓緊機(jī)構(gòu)11處于打開(kāi)狀態(tài)， 此時(shí)可以進(jìn)行測(cè)試樣品的裝載或者卸載。在整個(gè)裝載或者卸載的過(guò)程中，工程師一只手操 作本輔助裝置(摁壓開(kāi)關(guān))，另一只手用吸筆吸取測(cè)試樣品，而不需要其他人的幫忙。當(dāng)工程師放開(kāi)開(kāi)關(guān)43之后，該裝置又回復(fù)到圖2的狀態(tài)。本實(shí)用新型雖然以較佳實(shí)施例公開(kāi)如上，但其并不是用來(lái)限定權(quán)利要求，任何本 領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動(dòng)和修改，因此 本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本實(shí)用新型權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，用于測(cè)試板，所述的測(cè)試板包括測(cè)試基座、用于將測(cè)試樣品鎖定在測(cè)試基座上的壓緊機(jī)構(gòu)，其特征在于，該輔助裝置包括導(dǎo)軌，滑動(dòng)設(shè)置在所述導(dǎo)軌上的滑軌，滑動(dòng)設(shè)置在所述的滑軌上的固定架；連接在固定架上的伸縮部件、連接在伸縮部件上的用于開(kāi)啟壓緊機(jī)構(gòu)的定位針，所述定位針的數(shù)目與一個(gè)測(cè)試基座所對(duì)應(yīng)的壓緊機(jī)構(gòu)的數(shù)目相等。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于每個(gè)測(cè)試基座對(duì)應(yīng)于 至少兩個(gè)壓緊機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于所述的導(dǎo)軌為平行設(shè) 置的兩根，所述滑軌的兩端部均設(shè)置有滑塊，滑塊滑動(dòng)設(shè)置在導(dǎo)軌上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于所述固定架上連接有 滑塊，滑塊滑動(dòng)設(shè)置在滑軌上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于所述固定架上連接有 氣缸，所述伸縮部件為氣缸的活塞桿。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于所述氣缸與控制機(jī)構(gòu) 連接，所述控制機(jī)構(gòu)與用于控制活塞桿伸縮的開(kāi)關(guān)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于所述控制機(jī)構(gòu)為氣閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，其特征在于所述伸縮部件上連接 有連接支架，連接支架上能夠拆卸的連接有修正支架，定位針固定在修正支架上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種測(cè)試樣品裝卸輔助裝置，用于測(cè)試板，所述的測(cè)試板包括測(cè)試基座、用于將測(cè)試樣品鎖定在測(cè)試基座上的壓緊機(jī)構(gòu)，該輔助裝置包括導(dǎo)軌，滑動(dòng)設(shè)置在所述導(dǎo)軌上的滑軌，滑動(dòng)設(shè)置在所述的滑軌上的固定架；連接在固定架上的伸縮部件、連接在伸縮部件上的用于開(kāi)啟壓緊機(jī)構(gòu)的定位針，所述定位針的數(shù)目與一個(gè)測(cè)試基座所對(duì)應(yīng)的壓緊機(jī)構(gòu)的數(shù)目相等。由于本輔助裝置的使用，使得測(cè)試樣品的裝載和卸載十分方便靈活快捷，一位工程師便能獨(dú)立完成，而不用兩人協(xié)作，可以提高企業(yè)的生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G01R31/00GK201611371SQ201020033228
公開(kāi)日2010年10月20日 申請(qǐng)日期2010年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月19日
發(fā)明者劉云海, 李剛, 鄭鵬飛 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司