專利名稱：測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)試裝置，特別涉及一種測(cè)試裝置，經(jīng)配置以通過移動(dòng)探針離開檢視模塊的焦點(diǎn)，并保持待測(cè)元件在檢視模塊的視野內(nèi)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)在承載探針時(shí)進(jìn)行元件映象功能。
背景技術(shù)：
光學(xué)顯微鏡已被廣泛地應(yīng)用于檢視半導(dǎo)體元件(例如發(fā)光二極管及集成電路)。 在一個(gè)典型的半導(dǎo)體元件測(cè)試過程中，晶圓(wafer)首先放在藍(lán)色膠帶上，切成單個(gè)半導(dǎo)體元件，使得晶圓上的單個(gè)半導(dǎo)體元件彼此分隔。藍(lán)色膠帶及其上方的半導(dǎo)體元件被裝上一個(gè)圓形環(huán)進(jìn)行測(cè)試。取像系統(tǒng)在測(cè)試過程中提供檢視在圓形環(huán)上的半導(dǎo)體器件所需的裝置。由于半導(dǎo)體元件在切割晶圓及移動(dòng)到藍(lán)色膠帶上時(shí)的位置稍有扭曲，且考量在晶圓上數(shù)量眾多的待測(cè)半導(dǎo)體元件，元件映象階段(mapping phase)通常是在測(cè)試程序之前完成。元件映象階段收集和記錄的各半導(dǎo)體元件的數(shù)據(jù)，包括它的位置、存在或不存在、 是否以墨水標(biāo)記等等。在一個(gè)典型的元件測(cè)試周期中，一批半導(dǎo)體元件被放置在取像系統(tǒng)的視野內(nèi)(field of view, FOVE)。之后，取像系統(tǒng)選取一半導(dǎo)體元件圖案作為主要圖案， 以便使用公知圖案匹配技術(shù)搜索在視野內(nèi)的其它半導(dǎo)體元件。但是，在半導(dǎo)體元件上方的探針遮住其下方的圖像而形成不完整的圖像，因此大部分的檢視裝置使用第二套取像系統(tǒng)以執(zhí)行元件映象功能。第二取像系統(tǒng)與第一取像系統(tǒng)分隔一預(yù)定距離，因此元件定位載臺(tái)必須將半導(dǎo)體元件移動(dòng)至該第二取像系統(tǒng)，方可進(jìn)行元件映象功能。在完成元件映象功能后，再將半導(dǎo)體元件移動(dòng)回第一取像系統(tǒng)，以便進(jìn)行測(cè)試。在此一架構(gòu)中，元件映象與元件測(cè)試的取像系統(tǒng)的光學(xué)中心必需精確校對(duì)，以避免不正確的半導(dǎo)體元件定位。然而，上述的檢視裝置的缺點(diǎn)除了必須使用兩套取像系統(tǒng)外，更必需精確校對(duì)元件映象的取像系統(tǒng)與元件測(cè)試的取像系統(tǒng)這兩個(gè)光學(xué)中心。此外，上述的檢視裝置的缺點(diǎn)還包括元件載臺(tái)將待測(cè)元件從一個(gè)取像系統(tǒng)移動(dòng)至另一取像系統(tǒng)，耗費(fèi)額外時(shí)間，增加測(cè)試成本。美國(guó)專利公開案US 2009/0236506A1揭示一種晶圓級(jí)的發(fā)光元件(例如發(fā)光二極管)測(cè)試系統(tǒng)和方法。該系統(tǒng)包括一個(gè)LED晶片(die)和一光收集組件，其經(jīng)配置以收集所有LED晶片發(fā)出的光，并散射所有發(fā)出的光而產(chǎn)生散射光的分布。該系統(tǒng)還包括一個(gè)相耦合的光檢測(cè)器，用以檢測(cè)部分的散射光。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種測(cè)試裝置，經(jīng)配置以通過移動(dòng)探針離開檢視模塊的焦點(diǎn)，并保持待測(cè)元件在檢視模塊的視野內(nèi)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)在承載探針時(shí)進(jìn)行元件映象功能。本發(fā)明的一實(shí)施例的測(cè)試裝置包含一殼體；至少一探針載臺(tái)，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接至少一探針；一元件承座，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接一待測(cè)半導(dǎo)體元件；以及一檢視模塊，具有一預(yù)定視野且經(jīng)配置以提取至少該待測(cè)半導(dǎo)體元件的圖像；其中該探針載臺(tái)包含一驅(qū)動(dòng)單元，其經(jīng)配置以于一映象階段(mapping phase)中移動(dòng)該探針，使得該探針離開該檢視模塊的焦點(diǎn)。本發(fā)明另一實(shí)施例的測(cè)試裝置包含一殼體；至少一探針載臺(tái)，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接至少一探針；一元件承座，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接一待測(cè)半導(dǎo)體元件；一元件載臺(tái)，經(jīng)配置以承接該元件承座，該元件載臺(tái)包含一第一驅(qū)動(dòng)單元，經(jīng)配置以沿一第一軸向移動(dòng)該元件承座；一檢視模塊，具有一預(yù)定視野且經(jīng)配置以提取至少該待測(cè)半導(dǎo)體元件的圖像；以及一檢視載臺(tái)，經(jīng)配置以承接該檢視模塊，該檢視載臺(tái)包含一第二驅(qū)動(dòng)單元，經(jīng)配置以沿著該第一軸向移動(dòng)該檢視模塊；其中該第一驅(qū)動(dòng)單元及該第二驅(qū)動(dòng)單元在一映象階段中被致能以沿該第一軸向移動(dòng)，使得該探針離開該檢視模塊的焦點(diǎn)。本發(fā)明的有益效果在于，經(jīng)配置以通過移動(dòng)探針離開檢視模塊的焦點(diǎn)，并保持待測(cè)元件在檢視模塊的視野內(nèi)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)在承載探針時(shí)進(jìn)行元件映象功能。上文已相當(dāng)廣泛地概述本發(fā)明的技術(shù)特征及優(yōu)點(diǎn)，以使下文的本發(fā)明詳細(xì)描述得以獲得較佳了解。構(gòu)成本發(fā)明的權(quán)利要求標(biāo)的的其它技術(shù)特征及優(yōu)點(diǎn)將描述于下文。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)了解，可相當(dāng)容易地利用下文揭示的概念與特定實(shí)施例可作為修改或設(shè)計(jì)其它結(jié)構(gòu)或工藝而實(shí)現(xiàn)與本發(fā)明相同的目的。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員也應(yīng)了解，這類等同建構(gòu)無法脫離權(quán)利要求所界定的本發(fā)明的精神和范圍。
12基板
14支撐物
16探針
18環(huán)氧樹脂
20導(dǎo)通孔
40殼體
42本體
44平臺(tái)
46上蓋
48透明部
50探針載臺(tái)
50'探針載臺(tái)
6
52驅(qū)動(dòng)單元
54驅(qū)動(dòng)單元
56固持器
56'固持器
58探針
60元件承座
62待測(cè)半導(dǎo)體元件
64接觸部
66物件平面
70元件載臺(tái)
72驅(qū)動(dòng)單元
74驅(qū)動(dòng)單元
80檢視載臺(tái)
80'檢視載臺(tái)
82驅(qū)動(dòng)單元
82'驅(qū)動(dòng)單元
84驅(qū)動(dòng)單元
84'驅(qū)動(dòng)單元
100測(cè)試裝置
100'測(cè)試裝置
102封閉室
110檢視模塊
110'檢視模塊
114光源
115正透鏡
116照射光
117擴(kuò)散元件
118反射光
120控制器
130處理模塊
132第一分光器
134物鏡
136第二分光器
142A第一光學(xué)路徑
142B第二光學(xué)路徑
144A近攝鏡
144B近攝鏡
145B負(fù)透鏡
146A第一取像元件
146B148A148B152A152B162A162B16416具體實(shí)施例方式圖1例示本發(fā)明一實(shí)施例的測(cè)試裝置100。該測(cè)試裝置100包含一殼體40 ；至少一探針載臺(tái)50，設(shè)置于該殼體40內(nèi)且經(jīng)配置以承接至少一探針58 ；—元件承座60，設(shè)置于該殼體40內(nèi)且經(jīng)配置以承接一待測(cè)半導(dǎo)體元件62 ；以及一檢視模塊110，具有一預(yù)定視野(field of view)且經(jīng)配置以提取至少該待測(cè)半導(dǎo)體元件62 (例如發(fā)光二極管及集成電路)的圖像。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該殼體40包含一本體42;—平臺(tái)44，設(shè)置于該本體 42上；以及一上蓋46，經(jīng)配置以形成一封閉室(測(cè)試室)102，該探針載臺(tái)50及該元件承座 60設(shè)于該封閉室102內(nèi)，該探針載臺(tái)50設(shè)于該平臺(tái)44上。圖2例示本發(fā)明一實(shí)施例的檢視模塊110，圖3及圖4例示該檢視模塊110提取的圖像。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視模塊110包含一第一分光器132，經(jīng)配置以導(dǎo)引一照射光116至一物件平面66 ；—物鏡134，經(jīng)配置以收集該物件平面66的反射光118 ；以及一第二分光器136，經(jīng)配置以將該反射光118分派至一第一光學(xué)路徑142A及一第二光學(xué)路徑142B。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視模塊110還包含一正透鏡(positive lens) 115， 例如設(shè)置于該第一分光器132及一光源114間的聚光鏡；以及一擴(kuò)散元件117，設(shè)置于該第一分光器132的一受光面上且經(jīng)配置以接收該光源114的照射光116。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視模塊110還包含一第一取像模塊148A，設(shè)置于該第一光學(xué)路徑142A上且具有一第一近攝鏡(close up lens) 144A，其經(jīng)配置以形成一第一物件圖像(圖幻于一第一取像元件146A(例如，具有高解析能力的(XD)；以及一第二取像模塊148B，設(shè)置于該第二光學(xué)路徑142B上且具有一第二近攝鏡144B及一負(fù)透鏡(negative lens) 145B，其經(jīng)配置以形成一第二物件圖像(圖4)于一第二取像元件(例如具有變焦功能的CCD)。再參考圖1，該探針載臺(tái)50包含一驅(qū)動(dòng)單元52，經(jīng)配置以沿著X軸及Y軸移動(dòng)該探針58 ；—驅(qū)動(dòng)單元54，經(jīng)配置以沿著Z軸移動(dòng)該探針58 ；以及一固持器56，經(jīng)配置以固持該探針58。在一對(duì)位程序(alignment process)中，該探針58通過該探針載臺(tái)50移動(dòng)而接觸該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的一接觸部64，其中操作人員即可通過該第二取像模塊148B 檢視該第二物件圖像(圖4，顯示該探針58與該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的接觸部64的相對(duì)位置)，而該第二取像模塊148B的變焦功能(zooming ability)則可用以進(jìn)一步觀察該探針 58與該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的接觸部64的相對(duì)位置細(xì)節(jié)。當(dāng)該探針58對(duì)準(zhǔn)且接觸該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的接觸部64，該驅(qū)動(dòng)單元M則于一
第二取像元件第一取像模塊第二取像模塊第三光學(xué)路徑第四光學(xué)路徑第五光學(xué)路徑第六光學(xué)路徑光強(qiáng)度檢測(cè)器光譜檢測(cè)器映象程序中被致能啟動(dòng)以沿著Z軸移動(dòng)該探針58，使得該探針58并未落在該檢視模塊110 的焦點(diǎn)上(也即離開該檢視模塊110的焦點(diǎn))，對(duì)該檢視模塊110則呈現(xiàn)近乎透明。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該測(cè)試裝置100經(jīng)配置以在該映象階段中致能該驅(qū)動(dòng)單元M以沿著Z軸移動(dòng)該探針58接近該檢視模塊110，較佳地移動(dòng)至該檢視模塊110的聚焦深度(cbpth of focus)之外，并保持該待測(cè)半導(dǎo)體元件62在該檢視模塊110的視野內(nèi)。操作人員即可通過該第一取像模塊148A觀察該第一物件圖像(圖3，實(shí)質(zhì)上未顯示該探針58)。之后，選取該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的接觸部64之一作為參考圖案，并致能一耦合于該檢視模塊110的處理模塊130以辨識(shí)該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的全部接觸部64。該處理模塊130可以硬件或軟件予以實(shí)現(xiàn)，其使用公知的圖案比對(duì)技術(shù)在該映象階段中根據(jù)該參考圖案找出其它相同圖案。由于該探針58呈現(xiàn)透明狀態(tài)，因此所有相同的接觸圖案均可通過該圖案搜索技術(shù)予以辨識(shí)。因此，即使該探針58已承載于該測(cè)試裝置100，仍然可以進(jìn)行元件映象階段，也即實(shí)現(xiàn)在承載探針時(shí)進(jìn)行元件映象功能。再參考圖1，該測(cè)試裝置100還包含一元件載臺(tái)70，經(jīng)配置以承接該元件承座60 ； 以及一檢視載臺(tái)80，經(jīng)配置以承接該檢視模塊110。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該元件載臺(tái)70 包含一驅(qū)動(dòng)單元72，經(jīng)配置以沿著X軸及Y軸移動(dòng)該元件承座60 ；以及一驅(qū)動(dòng)單元74，經(jīng)配置以沿著Z軸移動(dòng)該元件承座60。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視載臺(tái)80包含一驅(qū)動(dòng)單元 82，經(jīng)配置以沿著X軸及Y軸移動(dòng)該檢視模塊110 ；以及一驅(qū)動(dòng)單元84，經(jīng)配置以沿著Z軸移動(dòng)該檢視模塊110。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該測(cè)試裝置100還包含一控制器120，經(jīng)配置以控制該驅(qū)動(dòng)單元74及該驅(qū)動(dòng)單元84在該元件映象階段中以同步方式沿著Z軸移動(dòng)， 使得該探針58離開該檢視模塊110的焦點(diǎn)(較佳地離開該檢視模塊110的聚焦深度)，并保持該待測(cè)半導(dǎo)體元件62在該檢視模塊110的視野內(nèi)。在對(duì)位程序中，該探針58通過該探針載臺(tái)50移動(dòng)而接觸該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的一接觸部64，其中操作人員可通過該第二取像模塊148B檢視該第二物件圖像(圖4，顯示該探針58與該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的接觸部64的相對(duì)位置)。當(dāng)該探針58對(duì)準(zhǔn)且接觸該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的接觸部64，該元件載臺(tái)70的驅(qū)動(dòng)單元74及該檢視載臺(tái)80的驅(qū)動(dòng)單元84則于一映象階段中被致能啟動(dòng)以同步方式沿著Z軸移動(dòng)該半導(dǎo)體元件62及該檢視模塊110，使得該探針58并未落在該檢視模塊110的焦點(diǎn)上(較佳地離開該檢視模塊110的聚焦深度)，對(duì)該檢視模塊110則呈現(xiàn)近乎透明。操作人員即可通過該第一取像模塊148A觀察該第一物件圖像(圖3，實(shí)質(zhì)上未顯示該探針58)。之后，選取該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的接觸部64的一作為參考圖案，并致能一耦合于該檢視模塊110的處理模塊130以辨識(shí)該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的全部接觸部64。該處理模塊130可以硬件或軟件予以實(shí)現(xiàn)，其使用公知的圖案比對(duì)技術(shù)在該映象階段中根據(jù)該參考圖案找出其它相同圖案。由于該探針58呈現(xiàn)透明狀態(tài)，因此所有相同的接觸圖案均可通過該圖案搜索技術(shù)予以辨識(shí)。因此，即使該探針58已承載于該測(cè)試裝置100，仍然可以進(jìn)行元件映象階段，也即實(shí)現(xiàn)在承載探針時(shí)進(jìn)行元件映象功能。圖5例示本發(fā)明另一實(shí)施例的檢視模塊110'。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視模塊110'包含一第一分光器132，經(jīng)配置以導(dǎo)引一照射光116至一物件平面66 ；—物鏡134， 經(jīng)配置以收集該物件平面66的反射光118 ；以及一第二分光器136，經(jīng)配置以將該反射光 118分派至一第一光學(xué)路徑142A及一第二光學(xué)路徑142B。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視模塊110'還包含一正透鏡115，例如設(shè)置于該第一分光器132及一光源114間的聚光鏡； 以及一擴(kuò)散元件117，設(shè)置于該第一分光器132的一受光面上且經(jīng)配置以接收該光源114的照射光116。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視模塊110'還包含一第三分光器150，設(shè)置于該第一光學(xué)路徑142A上且經(jīng)配置以將該反射光118分派至一第三光學(xué)路徑152A及一第四光學(xué)路徑152B ；以及一第四分光器160，設(shè)置于該第二光學(xué)路徑142B上且經(jīng)配置以將該反射光 118分派至一第五光學(xué)路徑162A及一第六光學(xué)路徑162B。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視模塊110'還包含一第一取像模塊148A，設(shè)置于該第三光學(xué)路徑152A上；以及一第二取像模塊148B，設(shè)置于該第四光學(xué)路徑152B上。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該第一取像模塊148A包含一第一近攝鏡144A，經(jīng)配置以形成一第一物件圖像(圖3)于一第一取像元件146A(例如，具有高解析能力的CCD)；以及一第二近攝鏡144B及一負(fù)透鏡145B，經(jīng)配置以形成一第二物件圖像(圖4)于一第二取像元件(例如具有變焦功能的CCD)。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視模塊110'還包含一光強(qiáng)度檢測(cè)器164，設(shè)置于該第五光學(xué)路徑162A上；以及一光譜檢測(cè)器166，設(shè)置于該第六光學(xué)路徑162B上。圖6例示本發(fā)明一實(shí)施例的測(cè)試裝置100'。該測(cè)試裝置100'包含一殼體40;至少一探針載臺(tái)50'，設(shè)置于該殼體40內(nèi)且經(jīng)配置以承接至少一測(cè)試卡10 ；—元件承座60， 設(shè)置于該殼體40內(nèi)且經(jīng)配置以承接一待測(cè)半導(dǎo)體元件62 ；以及一檢視模塊110，具有一預(yù)定視野且經(jīng)配置以提取至少該待測(cè)半導(dǎo)體元件62的圖像。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該殼體 40包含一本體42 ；—平臺(tái)44，設(shè)置于該本體42上；以及一上蓋46，經(jīng)配置以形成一封閉室 (測(cè)試室)102，該探針載臺(tái)50及該元件承座60設(shè)于該封閉室102內(nèi)，該探針載臺(tái)50設(shè)于該平臺(tái)44上。圖7例示本發(fā)明一實(shí)施例的測(cè)試卡10。該測(cè)試卡10包含一基板(例如電路板)12、 一設(shè)置在該電路板12上的支撐物14、多根固定在該支撐物14上的探針16，以及一電連接該探針16與一導(dǎo)線沈的導(dǎo)通孔20。該探針16以環(huán)氧樹脂M固定于該支撐物14上。該上蓋46包含一透明部(透明窗戶)48，以便檢視該半導(dǎo)體元件62及該探針16的相對(duì)位置。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該檢視模塊110經(jīng)配置以經(jīng)由該透明部48提取該半導(dǎo)體元件62 及該探針的對(duì)位圖像(alignment image)再參考圖1，在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該探針載臺(tái)50'包含一驅(qū)動(dòng)單元52，經(jīng)配置以沿著X軸及Y軸移動(dòng)該測(cè)試卡10 ；—驅(qū)動(dòng)單元54，經(jīng)配置以沿著Z軸移動(dòng)該測(cè)試卡10 ； 以及一固持器56'，經(jīng)配置以固持該測(cè)試卡10。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該測(cè)試裝置100' 經(jīng)配置以在該映象階段中致能該驅(qū)動(dòng)單元M以沿著Z軸移動(dòng)該測(cè)試卡10的探針16接近該檢視模塊110而離開該檢視模塊110的焦點(diǎn)(較佳地移動(dòng)至該檢視模塊110的聚焦深度的外)，并保持該待測(cè)半導(dǎo)體元件62在該檢視模塊110的視野內(nèi)。在本發(fā)明的一實(shí)施例中， 該測(cè)試裝置100'還包含一控制器120，經(jīng)配置以控制該驅(qū)動(dòng)單元74及該驅(qū)動(dòng)單元84在該元件映象階段中以同步方式沿著Z軸移動(dòng)，使得該測(cè)試卡10的探針16離開該檢視模塊110 的焦點(diǎn)(較佳地離開該檢視模塊110的聚焦深度)，并保持該待測(cè)半導(dǎo)體元件62在該檢視模塊110的視野內(nèi)。本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容及技術(shù)特點(diǎn)已揭示如上，然而本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)了解，在不背離權(quán)利要求所界定的本發(fā)明精神和范圍內(nèi)，本發(fā)明的教示及揭示可作種種的替換及修飾。例如，上文揭示的許多工藝可以不同的方法實(shí)施或以其它工藝予以取代，或者采用上述兩種方式的組合。 此外，本發(fā)明的權(quán)利范圍并不局限于上文揭示的特定實(shí)施例的工藝、機(jī)臺(tái)、制造、 物質(zhì)的成分、裝置、方法或步驟。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)了解，基于本發(fā)明教示及揭示工藝、機(jī)臺(tái)、制造、物質(zhì)的成分、裝置、方法或步驟，無論現(xiàn)在已存在或日后開發(fā)者，其與本發(fā)明實(shí)施例揭示者以實(shí)質(zhì)相同的方式執(zhí)行實(shí)質(zhì)相同的功能，而達(dá)到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，也可使用于本發(fā)明。因此，權(quán)利要求經(jīng)配置以涵蓋經(jīng)配置以此類工藝、機(jī)臺(tái)、制造、物質(zhì)的成分、裝置、方法或步驟。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)試裝置，包含 一殼體；至少一探針載臺(tái)，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接至少一探針； 一元件承座，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接一待測(cè)半導(dǎo)體元件；以及一檢視模塊，具有一預(yù)定視野且經(jīng)配置以提取至少該待測(cè)半導(dǎo)體元件的圖像； 其中該探針載臺(tái)包含一驅(qū)動(dòng)單元，其經(jīng)配置以于一映象階段中移動(dòng)該探針，使得該探針離開該檢視模塊的焦點(diǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊包含 一第一分光器，經(jīng)配置以導(dǎo)引一照射光至一物件平面；一物鏡，經(jīng)配置以收集該物件平面的反射光；以及一第二分光器，經(jīng)配置以將該反射光分派至一第一光學(xué)路徑及一第二光學(xué)路徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含一第一取像模塊，設(shè)置于該第一光學(xué)路徑上且具有一第一近攝鏡，該第一近攝鏡經(jīng)配置以形成一第一物件圖像于一第一取像元件；以及一第二取像模塊，設(shè)置于該第二光學(xué)路徑上且具有一第二近攝鏡，該第二近攝鏡經(jīng)配置以形成一第二物件圖像于一第二取像元件，該第二取像元件具有變焦功能。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含一第三分光器，設(shè)置于該第一光學(xué)路徑上且經(jīng)配置以將該反射光分派至一第三光學(xué)路徑及一第四光學(xué)路徑；以及一第四分光器，設(shè)置于該第二光學(xué)路徑上且經(jīng)配置以將該反射光分派至一第五光學(xué)路徑及一第六光學(xué)路徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含一第一取像模塊，設(shè)置于該第三光學(xué)路徑上且具有一第一近攝鏡，該第一近攝鏡經(jīng)配置以形成一第一物件圖像于一第一取像元件；以及一第二取像模塊，設(shè)置于該第四光學(xué)路徑上且具有一第二近攝鏡及一負(fù)透鏡，該第二近攝鏡及該負(fù)透鏡經(jīng)配置以形成一第二物件圖像于一第二取像元件，該第二取像元件具有變焦功能。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含 一光強(qiáng)度檢測(cè)器，設(shè)置于該第五光學(xué)路徑上；以及一光譜檢測(cè)器，設(shè)置于該第六光學(xué)路徑上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該探針載臺(tái)包含一固持器，經(jīng)配置以固持該探針。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該探針載臺(tái)包含一固持器，經(jīng)配置以固持一測(cè)試卡，該測(cè)試卡包含該探針。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該殼體包含一上蓋，經(jīng)配置以形成一封閉室，該探針載臺(tái)及該元件承座設(shè)于該封閉室內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該上蓋包含一透明部，該檢視模塊經(jīng)配置以經(jīng)由該透明部提取該圖像。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該殼體包含一平臺(tái)，該探針載臺(tái)設(shè)置于該平臺(tái)上。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以沿一Z軸移動(dòng)該探針，使得該探針離開該檢視模塊的焦點(diǎn)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以移動(dòng)該探針接近該檢視模塊。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該測(cè)試裝置還包含一處理模塊，耦合于該檢視模塊且經(jīng)配置以辨識(shí)該待測(cè)半導(dǎo)體元件的至少一接觸部。
15.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含 一正透鏡，設(shè)置于該第一分光器及一光源之間；以及一擴(kuò)散元件，設(shè)置于該第一分光器的一受光面上且經(jīng)配置以接收該光源的照射光。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以于該映象階段中移動(dòng)該探針，使得該探針離開該檢視模塊的聚焦深度。
17.一種測(cè)試裝置，包含 一殼體；至少一探針載臺(tái)，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接至少一探針； 一元件承座，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接一待測(cè)半導(dǎo)體元件； 一元件載臺(tái)，經(jīng)配置以承接該元件承座，該元件載臺(tái)包含一第一驅(qū)動(dòng)單元，經(jīng)配置以沿一第一軸向移動(dòng)該元件承座；一檢視模塊，具有一預(yù)定視野且經(jīng)配置以提取至少該待測(cè)半導(dǎo)體元件的圖像；以及一檢視載臺(tái)，經(jīng)配置以承接該檢視模塊，該檢視載臺(tái)包含一第二驅(qū)動(dòng)單元，經(jīng)配置以沿該第一軸向移動(dòng)該檢視模塊；其中該第一驅(qū)動(dòng)單元及該第二驅(qū)動(dòng)單元在一映象階段中致能以沿該第一軸向移動(dòng)，使得該探針離開該檢視模塊的焦點(diǎn)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該測(cè)試裝置還包含一控制器，經(jīng)配置以控制該第一驅(qū)動(dòng)單元及該第二驅(qū)動(dòng)單元以同步方式移動(dòng)。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該第一驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以沿一Z軸移動(dòng)該元件承座。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該第二驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以沿一Z軸移動(dòng)該檢視模塊。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊包含 一第一分光器，經(jīng)配置以導(dǎo)引一照射光至一物件平面；一物鏡，經(jīng)配置以收集該物件平面的反射光；以及一第二分光器，經(jīng)配置以將該反射光分派至一第一光學(xué)路徑及一第二光學(xué)路徑。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含一第一取像模塊，設(shè)置于該第一光學(xué)路徑上且具有一第一近攝鏡，該第一近攝鏡經(jīng)配置以形成一第一物件圖像于一第一取像元件；以及一第二取像模塊，設(shè)置于該第二光學(xué)路徑上且具有一第二近攝鏡，該第二近攝鏡經(jīng)配置以形成一第二物件圖像于一第二取像元件，該第二取像元件具有變焦功能。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含一第三分光器，設(shè)置于該第一光學(xué)路徑上且經(jīng)配置以將該反射光分派至一第三光學(xué)路徑及一第四光學(xué)路徑；一第四分光器，設(shè)置于該第二光學(xué)路徑上且經(jīng)配置以將該反射光分派至一第五光學(xué)路徑及一第六光學(xué)路徑。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含一第一取像模塊，設(shè)置于該第三光學(xué)路徑上且具有一第一近攝鏡，該第一近攝鏡經(jīng)配置以形成一第一物件圖像于一第一取像元件；以及一第二取像模塊，設(shè)置于該第四光學(xué)路徑上且具有一第二近攝鏡及一負(fù)透鏡，該第二近攝鏡及該負(fù)透鏡經(jīng)配置以形成一第二物件圖像于一第二取像元件，該第二取像元件具有變焦功能。
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含一光強(qiáng)度檢測(cè)器，設(shè)置于該第五光學(xué)路徑上；以及一光譜檢測(cè)器，設(shè)置于該第六光學(xué)路徑上。
26.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該探針載臺(tái)包含一固持器，經(jīng)配置以固持該探針。
27.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該探針載臺(tái)包含一固持器，經(jīng)配置以固持一測(cè)試卡，該測(cè)試卡包含該探針。
28.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該殼體包含一上蓋，經(jīng)配置以形成一封閉室，該探針載臺(tái)及該元件承座設(shè)于該封閉室內(nèi)。
29.根據(jù)權(quán)利要求觀所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該上蓋包含一透明部，該檢視模塊經(jīng)配置以經(jīng)由該透明部提取該圖像。
30.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該殼體包含一平臺(tái)，該探針載臺(tái)設(shè)置于該平臺(tái)上。
31.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該測(cè)試裝置還包含一處理模塊，耦合于該檢視模塊且經(jīng)配置以辨識(shí)該待測(cè)半導(dǎo)體元件的至少一接觸部。
32.根據(jù)權(quán)利要求21所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該檢視模塊還包含一正透鏡，設(shè)置于該第一分光器及一光源之間；以及一擴(kuò)散元件，設(shè)置于該第一分光器的一受光面上且經(jīng)配置以接收該光源的照射光。
33.根據(jù)權(quán)利要求17所述的測(cè)試裝置，其特征在于，該第一驅(qū)動(dòng)單元及該第二驅(qū)動(dòng)單元在該映象階段中被致能以沿該第一軸向移動(dòng)，使得該探針離開該檢視模塊的聚焦深度。
全文摘要
本發(fā)明的一實(shí)施例的測(cè)試裝置包含一殼體；至少一探針載臺(tái)，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接至少一探針；一元件承座，設(shè)置于該殼體內(nèi)且經(jīng)配置以承接一待測(cè)半導(dǎo)體元件；以及一檢視模塊，具有一預(yù)定視野且經(jīng)配置以提取至少該待測(cè)半導(dǎo)體元件的圖像。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該探針載臺(tái)包含一驅(qū)動(dòng)單元，經(jīng)配置以于一映象階段中移動(dòng)該探針，使得該探針離開該檢視模塊的焦點(diǎn)，較佳地，離開該檢視模塊的聚焦深度，并保持該待測(cè)半導(dǎo)體元件在檢視模塊的視野內(nèi)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)在承載探針時(shí)進(jìn)行元件映象功能。
文檔編號(hào)G01B11/00GK102278941SQ20101025336
公開日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2010年8月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月9日
發(fā)明者劉俊良, 劉榮玙, 周來平 申請(qǐng)人:思達(dá)科技股份有限公司