專利名稱：測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)電子元件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置。對(duì)認(rèn)可參照文獻(xiàn)的指定國(guó)，可將下述申請(qǐng)中所記述的內(nèi)容利用參照加入本申請(qǐng)中，作為本申請(qǐng)記述的一部分。
日本專利早期公開的特愿2003-322094，申請(qǐng)日2003年9月12日。
背景技術(shù)：
在公知技術(shù)中，對(duì)半導(dǎo)體電路等電子元件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置，通過在電子元件上施加一定的圖案(pattern)而進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試裝置包括向電子元件施加預(yù)先所確定的圖案和測(cè)試速率等的測(cè)試模塊、用于控制測(cè)試模塊向電子元件施加圖案等的時(shí)序的時(shí)序控制模塊。
測(cè)試模塊依據(jù)應(yīng)測(cè)試的電子元件的管腳數(shù)設(shè)置有多個(gè)，而且多個(gè)時(shí)序控制模塊是用于產(chǎn)生測(cè)試開始時(shí)序的模塊與用于產(chǎn)生圖案施加時(shí)序的模塊等之類的模塊。在公知技術(shù)中，時(shí)序控制模塊依據(jù)其機(jī)能而分別構(gòu)成。
因?yàn)檫€未找到與本發(fā)明相關(guān)的專利文獻(xiàn)等，所以省略其說明。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題如前所述，在公知技術(shù)中，因?yàn)槭菍r(shí)序控制模塊依據(jù)其機(jī)能而構(gòu)成，所以需要制造多個(gè)種類的時(shí)序控制模塊，導(dǎo)致制造成本上升。而且，各個(gè)時(shí)序控制模塊的通用性低，使電子元件的測(cè)試效率降低。為了解決這種問題，考慮在各個(gè)模塊設(shè)置能夠?qū)崿F(xiàn)全部機(jī)能的構(gòu)成，并可轉(zhuǎn)換成各模塊的機(jī)能。以此，可只由一種模塊進(jìn)行電子元件的測(cè)試。
但是，為了測(cè)試電子元件所必需的機(jī)能涉及多種，而且為了實(shí)現(xiàn)各個(gè)機(jī)能需要多個(gè)管腳，如要以一個(gè)模塊來實(shí)現(xiàn)所有的機(jī)能，會(huì)使模塊的管腳數(shù)變得龐大，是不切實(shí)際地。因此，考慮利用具有同一構(gòu)成的多個(gè)模塊，實(shí)現(xiàn)所有的機(jī)能。但是，在這種情況下，又會(huì)產(chǎn)生必須取得各個(gè)模塊間的同步的問題。
而且，作為其它的課題，在由不同的制造設(shè)備所制造的測(cè)試模塊間，有時(shí)從信號(hào)的輸入到輸出的時(shí)間等的特性不同，所以難以同時(shí)使用這些測(cè)試模塊。而且，有時(shí)時(shí)序控制模塊要從多個(gè)測(cè)試模塊分別獲取故障數(shù)據(jù)等，并將對(duì)多個(gè)故障數(shù)據(jù)進(jìn)行邏輯運(yùn)算及匯總的多個(gè)數(shù)據(jù)分配到多個(gè)測(cè)試模塊。即使在這種情況下，各個(gè)匯總處理與各個(gè)分配處理也需要同步進(jìn)行。在如上所述，測(cè)試裝置利用多個(gè)信號(hào)供給部30與多個(gè)測(cè)試模塊14進(jìn)行電子元件的測(cè)試的情況下，需要由它們之間信號(hào)的授受而取得同步。
而且，為了從多臺(tái)主計(jì)算機(jī)分別進(jìn)行各個(gè)匯總處理與分配處理，需要多個(gè)緩存器，導(dǎo)致電路規(guī)模和成本的增大。所以，需要降低緩存器數(shù)目。而且，為了進(jìn)行匯總處理與分配處理，需要多根信號(hào)線，但如在半導(dǎo)體基板上形成多根信號(hào)線，則需要對(duì)電路配置進(jìn)行研討。
課題的解決方案為了解決上述問題，在本發(fā)明的實(shí)施例中提供一種測(cè)試裝置，測(cè)試電子元件，此測(cè)試裝置包括測(cè)試模塊，把用于測(cè)試電子元件的測(cè)試圖案供給至電子元件；主信號(hào)供給部，依照被給予的時(shí)序信號(hào)的相位生成第一時(shí)序信號(hào)，用以控制測(cè)試模塊把測(cè)試圖案供給到電子元件，并將第一時(shí)序信號(hào)供給到測(cè)試模塊中預(yù)定的一個(gè)或多個(gè)管腳；以及從信號(hào)供給部，從主信號(hào)供給部接收時(shí)序信號(hào)，并依照自主信號(hào)供給部所接收的時(shí)序信號(hào)的相位，生成第二時(shí)序信號(hào)，用以控制測(cè)試模塊把該測(cè)試圖案供給到電子元件，并將第二時(shí)序信號(hào)供給到測(cè)試模塊的管腳之中與主信號(hào)供給部不同的一個(gè)或多個(gè)管腳。其中從信號(hào)供給部具有相位調(diào)整電路，通過延遲自主信號(hào)供給部接收的時(shí)序信號(hào)，使主信號(hào)供給部輸出第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序，與從信號(hào)供給部輸出第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序約略相同。
在上述測(cè)試裝置中，還可包括生成基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部。且此相位調(diào)整電路包括多個(gè)觸發(fā)器，自主信號(hào)供給部接收時(shí)序信號(hào)，并根據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部所生成的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，以依次地接收傳送時(shí)序信號(hào)的方式串聯(lián)著；以及時(shí)序選擇部，接收自各個(gè)觸發(fā)器所輸出的時(shí)序信號(hào)，從接收的時(shí)序信號(hào)中任選一個(gè)作為第二時(shí)序信號(hào)而輸出。其中測(cè)試裝置還可包括控制部，控制時(shí)序選擇部選擇時(shí)序信號(hào)中的哪一個(gè)，以使主信號(hào)供給部輸出第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序，與從信號(hào)供給部輸出第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序約略相同。
在上述測(cè)試裝置中，其中相位調(diào)整裝置包括相位調(diào)整用可變延遲電路，延遲自主信號(hào)供給部所接收的時(shí)序信號(hào)?？刂撇渴瓜辔徽{(diào)整用可變延遲電路的延遲量依次變化，并檢測(cè)出時(shí)序信號(hào)的值發(fā)生變化的時(shí)序與觸發(fā)器中的任意一個(gè)觸發(fā)器所取出的時(shí)序信號(hào)的值約略相同時(shí)的相位調(diào)整用可變延遲電路的延遲量。并將相位調(diào)整用可變延遲電路的延遲量設(shè)定在檢測(cè)出的延遲量至偏離約略基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的半周期的延遲量之間亦可。
在上述測(cè)試裝置中，其中控制部生成時(shí)序信號(hào)，且主信號(hào)供給部與從信號(hào)供給部為具有相同結(jié)構(gòu)的電路。主信號(hào)供給部及從信號(hào)供給部還包括主從選擇部，選擇把相位調(diào)整用可變延遲電路所延遲的時(shí)序信號(hào)，或是控制部所生成的時(shí)序信號(hào)中的一個(gè)供給到上述這些觸發(fā)器。且控制部根據(jù)主信號(hào)供給部及從信號(hào)供給部是發(fā)揮主信號(hào)供給部或從信號(hào)供給部中哪一個(gè)的功能，來控制主從選擇部選擇上述這些時(shí)序信號(hào)中的哪一個(gè)亦可。
在上述測(cè)試裝置中，其中控制部使主信號(hào)供給部的時(shí)序選擇部選擇預(yù)定的觸發(fā)器所輸出的時(shí)序信號(hào)，作為該第一時(shí)序信號(hào)，并控制從信號(hào)供給部的時(shí)序選擇部選擇哪一個(gè)時(shí)序信號(hào)，使主信號(hào)供給部輸出第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序，與從信號(hào)供給部輸出第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序約略相同。
在上述測(cè)試裝置中，其中控制部使主信號(hào)供給部的時(shí)序選擇部從串聯(lián)的觸發(fā)器中，把設(shè)于略中央的觸發(fā)器所輸出的時(shí)序信號(hào)選為第一時(shí)序信號(hào)亦可。
然而，上述發(fā)明的概要，并未列舉本發(fā)明全部的必要特征，上述特征群的次組合也可作為本發(fā)明。
發(fā)明的效果依照本發(fā)明的特征，具備根據(jù)被給予的時(shí)序信號(hào)而輸出第一時(shí)序信號(hào)的主信號(hào)供給部、與根據(jù)通過主信號(hào)供給部而被給予的時(shí)序信號(hào)而輸出第二時(shí)序信號(hào)的從信號(hào)供給部，在此情況下可調(diào)整被給予至各信號(hào)供給部的時(shí)序信號(hào)的相位的差異。


圖1為關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的測(cè)試裝置100的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
圖2為開關(guān)矩陣20的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
圖3為信號(hào)供給部30及時(shí)鐘脈沖控制電路70的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
圖4為環(huán)形電路110的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
圖5為基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
圖6為在從圖3至圖5中所說明的，多個(gè)信號(hào)供給部30輸出時(shí)序信號(hào)的時(shí)序的調(diào)整方法的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。
圖7A、圖7B為時(shí)序信號(hào)和基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的關(guān)系，其中圖7A為不對(duì)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲量進(jìn)行調(diào)整的情況的一個(gè)實(shí)施例，圖7B為對(duì)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲量進(jìn)行調(diào)整的情況的一個(gè)實(shí)施例。
圖8為相位調(diào)整電路50的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
圖9為發(fā)生電路48及時(shí)序信號(hào)分配電路56的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
圖10為匯總電路46及時(shí)序信號(hào)分配電路56的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
圖11A～11C為多個(gè)匯總部160及多個(gè)分配部140的，在半導(dǎo)體基板(圖中未示出)上的配置實(shí)施例，其中圖11A～圖11C分別表示多個(gè)匯總部160及多個(gè)分配部140的，在半導(dǎo)體基板上的配置的一個(gè)圖12為多個(gè)觸發(fā)器部186及多個(gè)選擇部188的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
圖13為在控制部12上所設(shè)置的，用于控制多個(gè)緩存器部146的寫入控制電路的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。
主要元件標(biāo)記說明10基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部12控制部14測(cè)試模塊16元件接觸部18分配器20開關(guān)矩陣
22測(cè)試板30信號(hào)供給部32計(jì)數(shù)器部34返回用可變延遲電路36基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路38觸發(fā)器40返回電路42多個(gè)觸發(fā)器44返回信號(hào)選擇部46匯總電路48發(fā)生電路50相位調(diào)整電路52多個(gè)觸發(fā)器54時(shí)序選擇部56時(shí)序信號(hào)分配電路60時(shí)序供給部62多個(gè)觸發(fā)器64時(shí)序信號(hào)選擇部66同步電路70時(shí)鐘脈沖控制電路72觸發(fā)器74選擇部76計(jì)數(shù)器78邏輯電路
80基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路82分配器84與門電路86或門電路88分配器90輸出部100測(cè)試裝置110環(huán)形電路112、114基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖選擇部116或門電路117與門電路118分配器119觸發(fā)器120匯流排122觸發(fā)器124分配電路126觸發(fā)器130運(yùn)算電路132觸發(fā)器134或門電路136觸發(fā)器140分配部142觸發(fā)器144分配器
146緩存器部148與門電路150或門電路152觸發(fā)器160匯總部162緩存器部164與門電路166或門電路168移位緩存器部172、174、178、180、186觸發(fā)器188選擇部190與門電路200電子元件202選擇器204寫入部206、208觸發(fā)器210與門電路212要求信號(hào)儲(chǔ)存部214主選擇部216與門電路218、220觸發(fā)器222計(jì)數(shù)器224選擇器226與門電路
228重置部230第1分配點(diǎn)232第2分配點(diǎn)234基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑236相位調(diào)整用可變延遲電路250或門電路258主從選擇部具體實(shí)施方式
下面，通過發(fā)明的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明，但是以下的實(shí)施例并不對(duì)關(guān)于權(quán)利要求的發(fā)明進(jìn)行限定，而且實(shí)施例中所說明的特征的所有組合也未必是發(fā)明的解決方法所必須的。
圖1為關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的測(cè)試裝置100的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。測(cè)試裝置100對(duì)多個(gè)電子元件(200-1～200-n，以下統(tǒng)稱200)進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試裝置100包括基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部10、控制部12、多個(gè)測(cè)試模塊(14-1～14-48，以下統(tǒng)稱14)、元件接觸部16及開關(guān)矩陣20。
元件接觸部16，例如為載置有多個(gè)電子元件200的測(cè)試頭，將多個(gè)測(cè)試模塊14與多個(gè)電子元件200電連接。各個(gè)測(cè)試模塊14分別與一個(gè)或多個(gè)電子元件200電連接。而且，各個(gè)電子元件200分別與一個(gè)或多個(gè)測(cè)試模塊14電連接。例如，測(cè)試模塊14及電子元件200分別具有預(yù)先確定的數(shù)目的輸出入管腳，并分別對(duì)應(yīng)管腳數(shù)使測(cè)試模塊14和電子元件200被連接。
而且，測(cè)試模塊14也可將接收的測(cè)試圖案，供給到對(duì)應(yīng)的電子元件200的模塊。在本實(shí)施例中，各個(gè)測(cè)試模塊14分別從控制部12預(yù)先接收測(cè)試圖案，并從開關(guān)矩陣20分別接收的時(shí)序信號(hào)對(duì)應(yīng)的時(shí)序，將測(cè)試圖案供給到電子元件200。而且，測(cè)試模塊14也可根據(jù)電子元件200輸出的信號(hào)，判定電子元件200的好壞。在這種情況下，測(cè)試模塊14既可具有用于儲(chǔ)存電子元件200的故障數(shù)據(jù)的故障存儲(chǔ)器，也可將故障數(shù)據(jù)供給到控制部12。
而且，當(dāng)故障數(shù)據(jù)從電子元件200返回多個(gè)測(cè)試模塊14的某一個(gè)時(shí)，此測(cè)試模塊14為了將故障數(shù)據(jù)向其它的多個(gè)測(cè)試模塊14進(jìn)行分配，也可將故障數(shù)據(jù)供給到開關(guān)矩陣20。在這種情況下，開關(guān)矩陣20將故障數(shù)據(jù)分配到所需的一個(gè)或多個(gè)測(cè)試模塊14。
基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部10生成預(yù)先所確定頻率的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖。測(cè)試裝置100的各個(gè)構(gòu)成要素依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖進(jìn)行工作。開關(guān)矩陣20根據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，生成相位不同的多個(gè)時(shí)序信號(hào)，并供給到各個(gè)測(cè)試模塊14。即，開關(guān)矩陣20通過向測(cè)試模塊14供給時(shí)序信號(hào)，可對(duì)各個(gè)測(cè)試模塊14工作的時(shí)序進(jìn)行控制。
控制部12控制開關(guān)矩陣20要將哪一個(gè)相位的時(shí)序信號(hào)供給到各個(gè)測(cè)試模塊14。而且，控制部12預(yù)先將測(cè)試圖案供給到各個(gè)測(cè)試模塊14?？刂撇?2也可為工作站等主計(jì)算機(jī)。而且，控制部12也可具有多臺(tái)主計(jì)算機(jī)。在這種情況下，各臺(tái)主計(jì)算機(jī)被分配以分別進(jìn)行測(cè)試電子元件200，并控制與所分配的電子元件200連接的測(cè)試模塊14、及向測(cè)試模塊14供給的時(shí)序信號(hào)的相位。
圖2為開關(guān)矩陣20的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。開關(guān)矩陣20具有多個(gè)測(cè)試板(22-1、22-2，以下統(tǒng)稱22)。在測(cè)試板22上設(shè)置有基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80、時(shí)鐘脈沖控制電路70、多個(gè)信號(hào)供給部(30-1～30-16，以下統(tǒng)稱30)、多個(gè)輸出部90及環(huán)形電路110。對(duì)環(huán)形電路110及時(shí)鐘脈沖控制電路70的構(gòu)成及工作，將在后面的圖3中進(jìn)行說明。
基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80接收基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部10所生成的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，并向開關(guān)矩陣20的各構(gòu)成要素進(jìn)行分配。信號(hào)供給部30根據(jù)作為輸入信號(hào)被輸入的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，輸出用于測(cè)試電子元件200的輸出信號(hào)。例如，信號(hào)供給部30通過輸出部90，向測(cè)試模塊14供給用于表示在電子元件200上施加測(cè)試圖案的時(shí)序的時(shí)序信號(hào)、用于表示開始電子元件200的測(cè)試的時(shí)序的時(shí)序信號(hào)、用于表示停止電子元件200的測(cè)試的時(shí)序的時(shí)序信號(hào)、用于表示取入電子元件200的故障數(shù)據(jù)的時(shí)序的時(shí)序信號(hào)等。
在本實(shí)施例中，各個(gè)信號(hào)供給部30根據(jù)所輸入的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，將生成相位不同的多個(gè)時(shí)序信號(hào)以作為前述的輸出信號(hào)。而且，控制部12將信號(hào)供給部30所生成的多個(gè)時(shí)序信號(hào)中的任意一個(gè)時(shí)序信號(hào)供給各個(gè)測(cè)試模塊14，在各個(gè)信號(hào)供給部30中進(jìn)行切換。以此，各個(gè)測(cè)試模塊14例如可控制向電子元件200供給測(cè)試圖案的時(shí)序。而且，信號(hào)供給部30與時(shí)序信號(hào)同步，輸出用于時(shí)序信號(hào)的生成的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖。
而且，多個(gè)信號(hào)供給部30被預(yù)先分配以進(jìn)行例如對(duì)電子元件200施加測(cè)試圖案的時(shí)序的控制、開始電子元件200的測(cè)試的時(shí)序的控制、停止電子元件200的測(cè)試的時(shí)序的控制、取入電子元件200的故障數(shù)據(jù)的時(shí)序的控制等這樣的機(jī)能。而且，各個(gè)信號(hào)供給部30為具有同一構(gòu)成的集成電路，具有通過轉(zhuǎn)換工作模式而執(zhí)行前述所有機(jī)能的電路構(gòu)成。工作模式由加在測(cè)試板22上的信號(hào)電平進(jìn)行控制。這樣，通過使各個(gè)信號(hào)供給部30的構(gòu)成相同，可使信號(hào)供給部30的通用性提高。
而且，根據(jù)信號(hào)供給部30的管腳數(shù)，如使一個(gè)信號(hào)供給部30具有能夠執(zhí)行前述所有機(jī)能的電路構(gòu)成，有時(shí)信號(hào)供給部30的輸出入的管腳數(shù)會(huì)不足。在這種情況下，通過組合多個(gè)信號(hào)供給部30，可解決輸出入管腳不足的問題。例如，測(cè)試裝置100如圖2所示，使信號(hào)供給部30-1和信號(hào)供給部30-2組合進(jìn)行工作。本實(shí)施例的控制部12對(duì)信號(hào)供給部30的各個(gè)組合，分配上述機(jī)能的某一種并使其工作。
多個(gè)輸出部90與多個(gè)測(cè)試模塊14對(duì)應(yīng)設(shè)置，并從多個(gè)信號(hào)供給部30中的某一個(gè)接收時(shí)序信號(hào)，且將接收的時(shí)序信號(hào)供給至對(duì)應(yīng)的測(cè)試模塊14。至于從哪一個(gè)信號(hào)供給部30向各個(gè)輸出90供給時(shí)序信號(hào)，由控制部12依據(jù)各個(gè)測(cè)試模塊14的機(jī)能、及各個(gè)信號(hào)供給部30的機(jī)能進(jìn)行控制。
測(cè)試裝置100因?yàn)槔枚鄠€(gè)信號(hào)供給部30、多個(gè)測(cè)試模塊14進(jìn)行電子元件200的測(cè)試，所以利用它們間的信號(hào)的授受而取得同步為佳。本實(shí)施例中的測(cè)試裝置100進(jìn)行以下調(diào)整。
(1)多個(gè)信號(hào)供給部30輸出時(shí)序信號(hào)的時(shí)序的調(diào)整；(2)依據(jù)測(cè)試模塊14的特性的時(shí)序信號(hào)的相位的調(diào)整；(3)在使多個(gè)信號(hào)供給部30進(jìn)行組合的情況下，各個(gè)信號(hào)供給部30所接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的相位的調(diào)整。
首先，對(duì)多個(gè)信號(hào)供給部30輸出時(shí)序信號(hào)的時(shí)序的調(diào)整，利用圖3到圖6進(jìn)行說明。
圖3為信號(hào)供給部30及時(shí)鐘脈沖控制電路70的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。信號(hào)供給部30具有時(shí)序信號(hào)分配電路56、匯總電路46、發(fā)生電路48、多個(gè)返回電路40、多個(gè)時(shí)序供給部60、相位調(diào)整電路50、基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36、觸發(fā)器38、計(jì)數(shù)器部32及基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234。而且，時(shí)鐘脈沖控制電路70具有觸發(fā)器72、選擇部74、計(jì)數(shù)器76及邏輯電路78。
基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234從基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部10，通過基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80接收基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖并向環(huán)形電路110輸出?；鶞?zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234具有用于將接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配為信號(hào)供給部30的各個(gè)時(shí)鐘脈沖的多個(gè)分配點(diǎn)，而設(shè)置于信號(hào)供給部30上的觸發(fā)器等，依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖進(jìn)行工作。
基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36設(shè)置在基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234上，并使基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖延遲?；鶞?zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36與基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234上的多個(gè)分配點(diǎn)相比，為設(shè)置于上級(jí)為佳。通過基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，被輸入環(huán)形電路110中。
環(huán)形電路110使各個(gè)信號(hào)供給部30輸出的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖循環(huán)，并通過基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80，作為輸入信號(hào)輸入分別輸出基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的信號(hào)供給部30中。環(huán)形電路110使依次選擇的各個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，沿大致相同的路徑循環(huán)并輸入信號(hào)供給部30為佳。測(cè)試裝置100通過測(cè)定循環(huán)的周期，而檢測(cè)出各個(gè)信號(hào)供給部30輸出時(shí)序信號(hào)的時(shí)序的差異。各個(gè)信號(hào)供給部30通過對(duì)輸出時(shí)序信號(hào)的時(shí)序進(jìn)行調(diào)整，即使從多個(gè)信號(hào)供給部30向多個(gè)測(cè)試模塊14供給時(shí)序信號(hào)，也可使多個(gè)測(cè)試模塊14同步進(jìn)行工作。
圖4為環(huán)形電路110的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。環(huán)形電路110具有多個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖選擇部(112-1～112-4、114-1～114-2)、或門電路116、與門電路117、觸發(fā)器119及分配器118。環(huán)形電路110接收多個(gè)信號(hào)供給部30輸出的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，并依次選擇所接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖進(jìn)行循環(huán)。
在本實(shí)施例中，多個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖選擇部(112-1～112-4、114-1～114-2)及或門電路116，依次選擇多個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖中的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖。與門電路117將所選擇的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖和觸發(fā)器119輸出的信號(hào)邏輯積(logic product)，向分配器118輸出。觸發(fā)器119控制是否要進(jìn)行基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的循環(huán)。從控制部12給予用于控制是否要進(jìn)行基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的循環(huán)的信號(hào)至觸發(fā)器119中，并依據(jù)從分配器18所給予的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的反轉(zhuǎn)信號(hào)，輸出該信號(hào)。分配器118使與門電路117輸出的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，沿基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80進(jìn)行循環(huán)。環(huán)形電路110使依次選擇的各個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，分別以相同路徑沿基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80進(jìn)行循環(huán)。以此，能夠降低各個(gè)信號(hào)供給部30的周期測(cè)定誤差。
圖5為基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80具有分配器82、與門電路84、或門電路86及分配器88。分配器82從基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部10接收基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，并向應(yīng)依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖進(jìn)行工作的構(gòu)成要素分配基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖。與門電路84從分配器82接收基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，并輸出由后述的時(shí)鐘脈沖控制電路70所接收的信號(hào)與基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的邏輯積。即，與門電路84根據(jù)從時(shí)鐘脈沖控制電路70所接收的信號(hào)，選擇是否讓基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過。
或門電路86輸出從與門電路84接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖與由環(huán)形電路110進(jìn)行循環(huán)的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的邏輯和(logic sum)。在測(cè)定循環(huán)周期的情況下，時(shí)鐘脈沖控制電路70進(jìn)行控制，以向與門電路84輸入L邏輯，并使基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部10所供給的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖不通過。在不測(cè)定循環(huán)周期的情況下，時(shí)鐘脈沖控制電路70向與門電路84輸入H邏輯。分配器88將或門電路86輸出的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，供給到多個(gè)信號(hào)供給部30。在測(cè)定循環(huán)周期的情況下，分配器88向進(jìn)行循環(huán)周期的測(cè)定的信號(hào)供給部30供給所接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖。
而且，使環(huán)形電路110從一個(gè)信號(hào)供給部30所接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖連續(xù)循環(huán)為佳。即，使各個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖在一定時(shí)間內(nèi)循環(huán)多次為佳。計(jì)數(shù)器部32(參照?qǐng)D3)對(duì)在一定時(shí)間內(nèi)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖循環(huán)次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，并根據(jù)計(jì)數(shù)結(jié)果，測(cè)定環(huán)形電路110依次被循環(huán)的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖對(duì)應(yīng)的信號(hào)供給部30的周期。
例如，計(jì)數(shù)器部32從分配器82接收基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，并在對(duì)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的脈沖進(jìn)行一定次數(shù)的計(jì)數(shù)期間，計(jì)測(cè)環(huán)形電路110使基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖循環(huán)多少次。在這種情況下，向計(jì)數(shù)器部32輸入利用環(huán)形電路110進(jìn)行循環(huán)的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖。
然后，計(jì)數(shù)器部32根據(jù)這些計(jì)數(shù)結(jié)果，在各個(gè)信號(hào)供給部30中，測(cè)定從輸入信號(hào)(基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖)被輸入開始到環(huán)路信號(hào)(基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖)被輸入為止的周期。通過使基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖循環(huán)多次，可更佳精度良好地測(cè)定各個(gè)信號(hào)供給部30的周期。例如，環(huán)形電路110使各個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖循環(huán)4000次左右為佳。
控制部12根據(jù)計(jì)數(shù)器部32測(cè)定的各個(gè)信號(hào)供給部30的周期，控制在各個(gè)信號(hào)供給部30中所設(shè)置的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲時(shí)間，使各個(gè)信號(hào)供給部30的周期大致相同。利用這種控制，能夠減少因多個(gè)信號(hào)供給部30間的差異所造成的時(shí)序信號(hào)的輸出時(shí)序的偏離。
而且，信號(hào)供給部30的發(fā)生電路48，接收相位調(diào)整電路50所輸出的時(shí)序信號(hào)，并根據(jù)所接收的時(shí)序信號(hào)生成相位不同的多個(gè)時(shí)序信號(hào)。在本實(shí)施例中，發(fā)生電路48以與基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的周期相同的相位鑒別力，生成相位不同的多個(gè)時(shí)序信號(hào)。
時(shí)序信號(hào)分配電路56為每一個(gè)時(shí)序供給部60選擇發(fā)生電路48所生成的多個(gè)時(shí)序信號(hào)中的某一個(gè)時(shí)序信號(hào)，并供給各個(gè)時(shí)序供給部60。多個(gè)時(shí)序供給部60以每?jī)蓚€(gè)對(duì)應(yīng)一個(gè)輸出部90的形態(tài)而設(shè)置，并向?qū)?yīng)的輸出部90供給時(shí)序信號(hào)。各個(gè)時(shí)序供給部60，具有從在基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑中設(shè)置于最下級(jí)的第二分配點(diǎn)232被分配以基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，并與所分配的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖同步，將時(shí)序信號(hào)分配電路56所選擇的時(shí)序信號(hào)向測(cè)試模塊輸出的同步電路66。
環(huán)形電路110接收通過第二分配點(diǎn)232的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，并使所取得的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖進(jìn)行循環(huán)?？刂撇?2通過控制基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲量，可使向多個(gè)信號(hào)供給部30的同步電路66分配基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的時(shí)序大致相同。所以，多個(gè)信號(hào)供給部30可以大致相同的時(shí)序輸出時(shí)序信號(hào)。
而且，基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234在多個(gè)分配點(diǎn)中的最下級(jí)具有第二分配點(diǎn)232為佳。而且，各個(gè)信號(hào)供給部30在形成有信號(hào)供給部30的半導(dǎo)體基板上，從第二分配點(diǎn)232附近將基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖向環(huán)形電路110輸出為佳。通過縮短從第二分配點(diǎn)232到向環(huán)形電路110輸出的路徑，并測(cè)定基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的循環(huán)周期，能夠減少環(huán)形電路110接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖和信號(hào)供給部30輸出的時(shí)序信號(hào)的相位的偏離。因此，能夠更加減少各個(gè)信號(hào)供給部30輸出時(shí)序信號(hào)的時(shí)序的偏離。
而且，也可使測(cè)試裝置100從多個(gè)測(cè)試模塊14，向其中一個(gè)電子元件200供給測(cè)試圖案；控制部12對(duì)各個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲量分別進(jìn)行控制，以使向多個(gè)測(cè)試模塊14供給時(shí)序信號(hào)的信號(hào)供給部30的周期大致相同，其中測(cè)試模塊14向其中一個(gè)電子元件200供給測(cè)試圖案。
圖6為圖3至圖5中所說明的，多個(gè)信號(hào)供給部30輸出時(shí)序信號(hào)的時(shí)序的調(diào)整方法的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。首先，在步驟S1000中，環(huán)形電路110選擇多個(gè)信號(hào)供給部30所輸出的多個(gè)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的其中一個(gè)。接著，在步驟S1002中，使環(huán)形電路110選擇的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖進(jìn)行循環(huán)，并向輸出基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的信號(hào)供給部30進(jìn)行輸入。
然后，在S1004中，計(jì)數(shù)器部32判定是否經(jīng)過一定時(shí)間，如沒有經(jīng)過一定時(shí)間，則繼續(xù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的循環(huán)。如經(jīng)過了一定時(shí)間，則在S1006中，根據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的環(huán)形電路，計(jì)算信號(hào)供給部30的周期。接著，在S1008中，判定是否選擇了多個(gè)信號(hào)供給部30所輸出的所有基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，如未選擇所有的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，則選擇下面的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖(S1000)，并反復(fù)S1002～S1006的處理。
如選擇了所有的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，并計(jì)算了所有的信號(hào)供給部30的周期，則在S1010中，分別調(diào)整各個(gè)信號(hào)供給部30的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲量，并使各個(gè)信號(hào)供給部30輸出時(shí)序信號(hào)的時(shí)序大致相同，然后結(jié)束調(diào)整。
下面，對(duì)依據(jù)測(cè)試模塊14的特性的時(shí)序信號(hào)的相位調(diào)整，利用圖3、圖7A與圖7B進(jìn)行說明。如上所述，信號(hào)供給部30的多個(gè)時(shí)序供給部60，與多個(gè)測(cè)試模塊14對(duì)應(yīng)設(shè)置。但是，在各個(gè)測(cè)試模塊14中，從接收時(shí)序信號(hào)開始，到輸出測(cè)試圖案為止的時(shí)間未必相同。例如，因各個(gè)測(cè)試模塊14的特性，在時(shí)間上會(huì)產(chǎn)生差異。因此，即使對(duì)多個(gè)測(cè)試模塊14同時(shí)輸入時(shí)序信號(hào)，有時(shí)也不能對(duì)電子元件200同時(shí)輸入測(cè)試圖案等。本實(shí)施例的測(cè)試裝置100為了補(bǔ)償此差異，而對(duì)各個(gè)信號(hào)供給部30所輸出的時(shí)序信號(hào)的相位進(jìn)行調(diào)整。
如圖3所示，各個(gè)時(shí)序供給部60具有被串聯(lián)的多個(gè)觸發(fā)器62、時(shí)序信號(hào)選擇部64及同步電路66。而且，各個(gè)時(shí)序供給部60與多個(gè)測(cè)試模塊14對(duì)應(yīng)設(shè)置，并從時(shí)序信號(hào)分配電路56接收時(shí)序信號(hào)，且向?qū)?yīng)的測(cè)試模塊14供給時(shí)序信號(hào)。
發(fā)生電路48生成在一定時(shí)間中只具有下降邊或上升邊的邊緣的時(shí)序信號(hào)，并供給到時(shí)序分配電路56。此一定時(shí)間與基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的周期相比足夠大為佳。多個(gè)觸發(fā)器62從時(shí)序信號(hào)分配電路56接收時(shí)序信號(hào)，并依據(jù)從基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234所分配的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，將時(shí)序信號(hào)向下一級(jí)的觸發(fā)器依次交付。即，多個(gè)觸發(fā)器62的各個(gè)觸發(fā)器依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，將時(shí)序信號(hào)的值依次交付給下一級(jí)的觸發(fā)器。
時(shí)序信號(hào)選擇部64通過接收多個(gè)觸發(fā)器62的各個(gè)觸發(fā)器輸出的時(shí)序信號(hào)，并選擇所接收的多個(gè)時(shí)序信號(hào)中的某一個(gè)供給測(cè)試模塊，可對(duì)供給測(cè)試模塊的時(shí)序信號(hào)的相位進(jìn)行調(diào)整。
控制部12對(duì)多個(gè)時(shí)序供給部60分別向各個(gè)測(cè)試模塊14供給的時(shí)序信號(hào)的相位進(jìn)行控制。在本實(shí)施例中，控制部12是以使各個(gè)測(cè)試模塊14依據(jù)時(shí)序信號(hào)輸出測(cè)試圖案的時(shí)序大致相同的方式，控制對(duì)時(shí)序信號(hào)選擇部64選擇多個(gè)時(shí)序信號(hào)中的哪一個(gè)。測(cè)試裝置100具有用于檢測(cè)測(cè)試模塊14輸出測(cè)試圖案的時(shí)序的裝置為佳。
在本實(shí)施例中，利用多個(gè)返回電路40，對(duì)測(cè)試模塊14輸出測(cè)試圖案的時(shí)序進(jìn)行檢測(cè)。多個(gè)返回電路40與多個(gè)時(shí)序供給部60同樣地，與多個(gè)測(cè)試模塊14對(duì)應(yīng)設(shè)置，而測(cè)試模塊14將在輸出測(cè)試圖案的時(shí)序發(fā)生值的變化的信號(hào)，輸入對(duì)應(yīng)的返回電路40。返回電路40具有串聯(lián)的多個(gè)觸發(fā)器42。多個(gè)觸發(fā)器42的各個(gè)觸發(fā)器，將由測(cè)試模塊14所輸入的信號(hào)，依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖依次交付下一級(jí)的觸發(fā)器。
控制部12讀出多個(gè)觸發(fā)器42儲(chǔ)存的值，并根據(jù)在哪一級(jí)的觸發(fā)器的值會(huì)發(fā)生變化，以檢測(cè)出測(cè)試模塊14輸出測(cè)試圖案的時(shí)序。而且，對(duì)控制部12，也可根據(jù)各個(gè)測(cè)試模塊14的規(guī)格，預(yù)先給予應(yīng)供給各個(gè)測(cè)試模塊14的時(shí)序信號(hào)的相位。
圖7A、7B為時(shí)序信號(hào)和基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的關(guān)系，其中圖7A為不調(diào)整基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲量的情況的一個(gè)實(shí)施例，圖7B為對(duì)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲量進(jìn)行調(diào)整的情況的一個(gè)實(shí)施例。
在不調(diào)整基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲量的情況下，當(dāng)多個(gè)觸發(fā)器62中的任意一個(gè)觸發(fā)器依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖取入時(shí)序信號(hào)的值時(shí)，如圖7A所示，有時(shí)會(huì)在時(shí)序信號(hào)的值發(fā)生變化的時(shí)序中取入時(shí)序信號(hào)的值。在這種情況下，此觸發(fā)器不能穩(wěn)定地取入時(shí)序信號(hào)的值。
因此，本實(shí)施例中的控制部12如上述那樣對(duì)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖用可變延遲電路36的延遲量進(jìn)行調(diào)整，并如圖7B所示，使觸發(fā)器取入時(shí)序信號(hào)的值的時(shí)序，和時(shí)序信號(hào)的值發(fā)生變化的時(shí)序錯(cuò)開。
而且，各個(gè)返回電路40從對(duì)應(yīng)的多個(gè)測(cè)試模塊14，接收用于表示在電子元件200輸出的輸出圖案中產(chǎn)生故障的時(shí)序的故障時(shí)序信號(hào)等這樣的、來自測(cè)試模塊14的信號(hào)，并將故障時(shí)序信號(hào)通過匯總電路46及時(shí)序信號(hào)分配電路56供給到時(shí)序供給部60。此時(shí)，根據(jù)各個(gè)測(cè)試模塊14的特性，有時(shí)在各個(gè)返回電路40的故障時(shí)序信號(hào)的相位上會(huì)產(chǎn)生偏離。即，各個(gè)測(cè)試模塊14從生成故障時(shí)序信號(hào)開始到向各個(gè)返回電路40供給的時(shí)間，有時(shí)因測(cè)試模塊14而有所不同。
測(cè)試裝置100在利用例如任意一個(gè)測(cè)試模塊14檢測(cè)到故障的情況下，有時(shí)要如停止多個(gè)測(cè)試模塊14中的測(cè)試圖案的施加一般，根據(jù)從測(cè)試模塊14供給到信號(hào)供給部30的信號(hào)，控制多個(gè)測(cè)試模塊14的工作。當(dāng)進(jìn)行這種工作時(shí)，如各個(gè)測(cè)試模塊14從生成例如故障時(shí)序信號(hào)開始到供給各個(gè)返回電路40為止的時(shí)間，因測(cè)試模塊14而有所不同，則不能同步地控制多個(gè)測(cè)試模塊14?？刂撇?2對(duì)多個(gè)返回電路40進(jìn)行控制并補(bǔ)償前述偏離，以使各個(gè)返回電路40輸出故障時(shí)序信號(hào)的時(shí)序變得大致相同。
在本實(shí)施例中，各個(gè)返回電路40具有被串聯(lián)的多個(gè)觸發(fā)器42、返回用可變延遲電路34及返回信號(hào)選擇部44。多個(gè)觸發(fā)器42中的各個(gè)觸發(fā)器，接收故障時(shí)序信號(hào)，并依據(jù)從基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234所分配的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，將故障時(shí)序信號(hào)依次交付給下一級(jí)的觸發(fā)器。
返回信號(hào)選擇部44接收多個(gè)觸發(fā)器42的各個(gè)觸發(fā)器輸出的故障時(shí)序信號(hào)，并選擇所接收的多個(gè)故障時(shí)序信號(hào)中的任意一個(gè)。然后，通過將所選擇的故障時(shí)序信號(hào)，通過匯總電路46及時(shí)序信號(hào)分配電路56供給到時(shí)序供給部60，而對(duì)向時(shí)序供給部60供給故障時(shí)序信號(hào)的時(shí)序進(jìn)行調(diào)整。
控制部12對(duì)多個(gè)返回電路40分別向各個(gè)時(shí)序供給部60供給的故障時(shí)序信號(hào)的相位進(jìn)行控制。在本實(shí)施例中，控制部12對(duì)返回信號(hào)選擇部44控制要選擇多個(gè)故障時(shí)序信號(hào)中的哪一個(gè)。在本實(shí)施例中，控制部12讀出多個(gè)觸發(fā)器42所儲(chǔ)存的值，并檢測(cè)出在哪一級(jí)的觸發(fā)器的值會(huì)產(chǎn)生變化。然后，依據(jù)所檢測(cè)的觸發(fā)器的級(jí)數(shù)、各個(gè)返回電路40的差異，控制返回信號(hào)選擇部44選擇哪一個(gè)故障時(shí)序信號(hào)。
而且，返回用可變延遲電路34設(shè)置于測(cè)試模塊14和多個(gè)觸發(fā)器42之間，使故障時(shí)序信號(hào)延遲并供給到多個(gè)觸發(fā)器42?？刂撇?2使返回用可變延遲電路34的延遲量依次變化，并對(duì)故障時(shí)序信號(hào)的值產(chǎn)生變化的時(shí)序與多個(gè)觸發(fā)器42中的任意一個(gè)觸發(fā)器取入故障時(shí)序信號(hào)值的時(shí)序大致相同時(shí)的返回用可變延遲電路34的延遲量進(jìn)行檢測(cè)，且將返回用可變延遲電路34的延遲量，設(shè)定為從檢測(cè)到的延遲量偏離基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的半周期的延遲量。
而且，當(dāng)對(duì)多個(gè)觸發(fā)器(42、52、62)的各個(gè)觸發(fā)器儲(chǔ)存的值進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，停止從基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80所供給的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，并停止多個(gè)觸發(fā)器(42、52、62)的工作為佳。在本實(shí)施例中，時(shí)鐘脈沖控制電路70向基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80供給用于停止基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的信號(hào)。
時(shí)鐘脈沖控制電路70具有觸發(fā)器72、選擇部74、計(jì)數(shù)器76及邏輯電路78。觸發(fā)器72接收多個(gè)信號(hào)供給部30輸出的時(shí)序信號(hào)，并供給選擇部74。選擇部74在從觸發(fā)器72所接收的多個(gè)時(shí)序信號(hào)中，選擇進(jìn)行時(shí)序或相位的調(diào)整的信號(hào)供給部30所輸出的時(shí)序信號(hào)，并供給到計(jì)數(shù)器76。計(jì)數(shù)器76在所接收的時(shí)序信號(hào)的值進(jìn)行變化的情況下，開始基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的計(jì)數(shù)，并在形成一定的數(shù)目時(shí)，向邏輯電路78輸出表示停止基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的意思的信號(hào)。邏輯電路78將從計(jì)數(shù)器76所接收的信號(hào)供給到基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80的與門電路84，并停止向信號(hào)供給部30所供給的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖。
控制部12在計(jì)數(shù)器76設(shè)定一定的數(shù)值，并控制停止基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的時(shí)序。例如，控制部12控制計(jì)數(shù)器76，以使多個(gè)觸發(fā)器42中的設(shè)置于大致中央的觸發(fā)器，對(duì)故障時(shí)序信號(hào)的值的變化進(jìn)行檢測(cè)。
而且，多個(gè)返回電路40通過匯總電路46、時(shí)序信號(hào)分配電路56及時(shí)序供給部60，向各個(gè)測(cè)試模塊14供給故障時(shí)序信號(hào)。匯總電路46接收多個(gè)返回電路40輸出的故障時(shí)序信號(hào)，并根據(jù)多個(gè)故障時(shí)序信號(hào)進(jìn)行多個(gè)種類的邏輯運(yùn)算，且將各個(gè)運(yùn)算結(jié)果分別供給時(shí)序信號(hào)分配電路56。時(shí)序信號(hào)分配電路56將所接收的運(yùn)算結(jié)果分別供給任意的一個(gè)或多個(gè)時(shí)序供給部60。對(duì)匯總電路46及時(shí)序信號(hào)分配電路56的構(gòu)成，將在后面的圖8及圖9中進(jìn)行說明。
接著，對(duì)在使多個(gè)信號(hào)供給部30組合的情況下的各個(gè)信號(hào)供給部30所接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的相位的調(diào)整，利用圖3及圖8進(jìn)行說明。在使多個(gè)信號(hào)供給部30組合的情況下，所組合的信號(hào)供給部30中的任意一個(gè)作為依據(jù)所接收的時(shí)序信號(hào)，生成用于控制測(cè)試模塊14向電子元件200供給測(cè)試圖案的時(shí)序的第一時(shí)序信號(hào)，并供給到測(cè)試模塊14所預(yù)先確定的一個(gè)或多個(gè)管腳，以發(fā)揮主信號(hào)供給部的功能。而且，其它的信號(hào)供給部30，作為從主信號(hào)供給部接收時(shí)序信號(hào)，并依據(jù)所接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的相位，生成用于控制測(cè)試模塊14向電子元件200供給測(cè)試圖案的時(shí)序的第二時(shí)序信號(hào)，且供給到測(cè)試模塊14的管腳中的與主信號(hào)供給部不同的一個(gè)或多個(gè)管腳，以發(fā)揮從信號(hào)供給部的功能。在本實(shí)施例中，對(duì)信號(hào)供給部30-1作為主信號(hào)供給部發(fā)揮作用，信號(hào)供給部30-2作為從信號(hào)供給部發(fā)揮作用的情況進(jìn)行說明。
在各個(gè)信號(hào)供給部30中，當(dāng)此信號(hào)供給部30作為從信號(hào)供給部30發(fā)揮作用時(shí)，具有用于使從主信號(hào)供給部30所接收的時(shí)序信號(hào)延遲的相位調(diào)整電路50。在相位調(diào)整電路50中，控制部12所生成的時(shí)序信號(hào)是通過主信號(hào)供給部30而被供給，基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖是由基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234而被分配。
而且，相位調(diào)整電路50在信號(hào)供給部30作為主信號(hào)供給部發(fā)揮作用的情況下，將從控制部12所接收的時(shí)序信號(hào)，供給到從信號(hào)供給部的相位調(diào)整電路50。各個(gè)信號(hào)供給部30在作為主信號(hào)供給部發(fā)揮作用的情況下，具有用于向從信號(hào)供給部供給時(shí)序信號(hào)的觸發(fā)器38。觸發(fā)器38將所接收的時(shí)序信號(hào)供給到從信號(hào)供給部。
而且，在信號(hào)供給部30作為從信號(hào)供給部發(fā)揮作用的情況下，相位調(diào)整電路50從主信號(hào)供給部的觸發(fā)器38接收時(shí)序信號(hào)。相位調(diào)整電路50調(diào)整所接收的時(shí)序信號(hào)的相位，并供給到發(fā)生電路48。發(fā)生電路48、時(shí)序信號(hào)分配電路56及時(shí)序供給部60根據(jù)所接收的時(shí)序信號(hào)的相位，生成時(shí)序信號(hào)并供給到測(cè)試模塊14。這里，從信號(hào)供給部的相位調(diào)整電路50通過延遲從主信號(hào)供給部所接收的時(shí)序信號(hào)，而使主信號(hào)供給部輸出第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序和從信號(hào)供給部輸出第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序大致相同。
圖8為相位調(diào)整電路50的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。相位調(diào)整電路50具有相位調(diào)整用可變延遲電路236、被串聯(lián)的多個(gè)觸發(fā)器52、主從選擇部258及時(shí)鐘脈沖選擇部54。相位調(diào)整用可變延遲電路236在此信號(hào)供給部30作為從信號(hào)供給部發(fā)揮作用的情況下，從主信號(hào)供給部接收時(shí)序信號(hào)，并使此時(shí)序信號(hào)延遲一定的延遲量而供給到主從選擇部258。主從選擇部258選擇向多個(gè)觸發(fā)器52供給使相位調(diào)整用可變延遲電路236延遲的時(shí)序信號(hào)，或從控制部12所接收的時(shí)序信號(hào)的某一個(gè)。
控制部12根據(jù)信號(hào)供給部30作為主信號(hào)供給部或從信號(hào)供給部的哪一個(gè)發(fā)揮作用，而控制主從選擇部258選擇哪一個(gè)時(shí)序信號(hào)。即，在信號(hào)供給部30作為主信號(hào)供給部發(fā)揮作用的情況下，主從選擇部258選擇從控制部12所接收的時(shí)序信號(hào)，在作為從信號(hào)供給部發(fā)揮作用的情況下，主從選擇部258選擇使相位調(diào)整用可變延遲電路236延遲的時(shí)序信號(hào)。
多個(gè)觸發(fā)器52接收主從選擇部258所選擇的時(shí)序信號(hào)，并依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部10生成并從基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖通過路徑234被分配的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，將所接收的時(shí)序信號(hào)依次交付。時(shí)序選擇部54接收多個(gè)觸發(fā)器52的各個(gè)觸發(fā)器輸出的時(shí)序信號(hào)，并從所接收的多個(gè)前述時(shí)序信號(hào)中選擇任意一個(gè)，通過發(fā)生電路48、時(shí)序信號(hào)分配電路56及時(shí)序供給部60，作為第二時(shí)序信號(hào)輸出。
控制部12控制要選擇時(shí)序選擇部54的哪一個(gè)時(shí)序信號(hào)，并使主信號(hào)供給部輸出第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序和從信號(hào)供給部輸出第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序大致相同。例如，控制部12進(jìn)行控制使主信號(hào)供給部的時(shí)序選擇部54選擇預(yù)先所確定的觸發(fā)器輸出的時(shí)序信號(hào)，并使從信號(hào)供給部的時(shí)序選擇部54選擇某一個(gè)時(shí)序信號(hào)，且使主信號(hào)供給部輸出第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序，和從信號(hào)供給部輸出第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序大致相同。在這種情況下，控制部12使主信號(hào)供給部的時(shí)序選擇部54，選擇在被串聯(lián)的多個(gè)觸發(fā)器52中的、設(shè)置于大致中央的觸發(fā)器輸出的時(shí)序信號(hào)為佳。
利用這種構(gòu)成，能夠?qū)υ诙鄠€(gè)信號(hào)供給部30被組合的情況下的，各個(gè)信號(hào)供給部30所接收的時(shí)序信號(hào)的相位差異進(jìn)行調(diào)整。
下面，對(duì)主信號(hào)供給部和從信號(hào)供給部的時(shí)序信號(hào)的相位調(diào)整方法進(jìn)行說明。
(1)首先，時(shí)鐘脈沖控制電路70為了在主信號(hào)供給部及從信號(hào)供給部中，能夠在多個(gè)觸發(fā)器52中保持從控制部12所接收的時(shí)序信號(hào)，而在一定的時(shí)序停止基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖分配電路80向主信號(hào)供給部及從信號(hào)供給部供給的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖。
(2)此時(shí)，控制部12向主信號(hào)供給部供給時(shí)序信號(hào)，由主信號(hào)供給部的多個(gè)觸發(fā)52中的一個(gè)檢測(cè)出時(shí)序信號(hào)值的變化，并利用從信號(hào)供給部的多個(gè)觸發(fā)器52中的一個(gè)，通過相位調(diào)整用可變延遲電路236檢測(cè)出接收的時(shí)序信號(hào)的值的變化點(diǎn)?？刂撇?2具有用于檢測(cè)多個(gè)觸發(fā)器52的各個(gè)觸發(fā)器儲(chǔ)存的時(shí)序信號(hào)的值的裝置為佳。
(3)然后，使從信號(hào)供給部的相位調(diào)整用可變延遲電路236的延遲量依次變化，并檢測(cè)出時(shí)序信號(hào)的值發(fā)生變化的時(shí)序和多個(gè)觸發(fā)器52的任意一個(gè)觸發(fā)器取入時(shí)序信號(hào)的值的時(shí)序大致相同的時(shí)候的延遲量。即，在每次使相位調(diào)整用可變延遲電路236的延遲量進(jìn)行變化時(shí)，重復(fù)上述(2)的工作，并檢測(cè)多個(gè)觸發(fā)器52保持的值進(jìn)行移位的延遲量。然后，控制部12將從信號(hào)供給部的相位調(diào)整用可變延遲電路236的延遲量，設(shè)定為從所檢測(cè)的延遲量偏離基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的半周期的延遲量。利用這種控制，可進(jìn)行基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的一個(gè)周期以下的時(shí)序調(diào)整。
(4)接著，在設(shè)定相位調(diào)整用可變延遲電路236的延遲量以后，如(2)中所說明的，由主信號(hào)供給部的多個(gè)觸發(fā)器52中的哪一個(gè)檢測(cè)出時(shí)序信號(hào)值的變化進(jìn)行檢測(cè)，及由從信號(hào)供給部的多個(gè)觸發(fā)器52中的哪一個(gè)，通過相位調(diào)整用可變延遲電路236檢測(cè)出所接收的時(shí)序信號(hào)值的變化點(diǎn)。然后，當(dāng)在主信號(hào)供給部和從信號(hào)供給部，由多個(gè)觸發(fā)器52的某一個(gè)對(duì)時(shí)序信號(hào)的值的變化進(jìn)行檢測(cè)中產(chǎn)生差異時(shí)，通過對(duì)各個(gè)時(shí)序選擇部54選擇的觸發(fā)器進(jìn)行調(diào)整，可吸收此差異。利用這種控制，可進(jìn)行基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖周期的整數(shù)倍的時(shí)序調(diào)整。
如上面在圖3～圖8中所說明的，如利用本實(shí)施例的測(cè)試裝置100，可進(jìn)行多個(gè)信號(hào)供給部30輸出時(shí)序信號(hào)的時(shí)序的調(diào)整、依據(jù)測(cè)試模塊14的特性的時(shí)序信號(hào)相位的調(diào)整、在使多個(gè)信號(hào)供給部30組合的情況下的各個(gè)信號(hào)供給部30所接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖相位的調(diào)整，并可使多個(gè)測(cè)試模塊14同步進(jìn)行工作，精度良好地進(jìn)行電子元件200的測(cè)試。
圖9為發(fā)生電路48及時(shí)序信號(hào)分配電路56的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。發(fā)生電路48具有多個(gè)匯流排(120-1～120-8，以下統(tǒng)稱120)及運(yùn)算電路130。
多個(gè)匯流排120與控制部12的多臺(tái)主計(jì)算機(jī)對(duì)應(yīng)設(shè)置，并分別由對(duì)應(yīng)的主計(jì)算機(jī)被控制。匯流排120具有觸發(fā)器122、分配電路124及多個(gè)觸發(fā)器(126-1～126-64，以下統(tǒng)稱126)。
分配電路124具有64個(gè)輸出端口，并將通過觸發(fā)器122從控制部12所接收的速率信號(hào)，依據(jù)從相位調(diào)整電路50所接收的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，從64個(gè)輸出端口中的一個(gè)或多個(gè)輸出端口輸出。而且，在分配電路124中，通過觸發(fā)器122從控制部12，接收用于控制從哪一個(gè)輸出端口輸出速率信號(hào)的控制信號(hào)。速率信號(hào)為例如表示H邏輯的信號(hào)，通過使分配電路124輸出速率信號(hào)的輸出端口，依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖依次變化，可生成相位不同的多個(gè)時(shí)序信號(hào)并輸出。例如，通過依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，將分配電路124輸出速率信號(hào)的輸出端口，從1到64依次進(jìn)行轉(zhuǎn)換，可生成相位鑒別力與基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的周期相等的、相位不同的64種時(shí)序信號(hào)。而且，通過以所需的周期選擇各個(gè)輸出端口，可生成任意周期的時(shí)序信號(hào)。例如，通過在多個(gè)匯流排120的每一個(gè)，使選擇輸出端口的周期變化，可在多個(gè)匯流排120的每一個(gè)，生成周期不同的多個(gè)時(shí)序信號(hào)。選擇輸出端口的周期，可通過變更從控制部12所接收的控制信號(hào)的周期，而輕松地進(jìn)行變更。
運(yùn)算電路130具有多個(gè)觸發(fā)器(132-1～132-64，以下統(tǒng)稱132)、多個(gè)或門電路(134-1～134-64，以下統(tǒng)稱134)及多個(gè)觸發(fā)器(136-1～136-64，以下統(tǒng)稱136)。
多個(gè)觸發(fā)器132、多個(gè)或門電路134及多個(gè)觸發(fā)器136與分配電路124的輸出端口對(duì)應(yīng)設(shè)置，并接收對(duì)應(yīng)的輸出端口所輸出的時(shí)序信號(hào)?；蜷T電路134接收多個(gè)匯流排120的各個(gè)分配電路124所分別對(duì)應(yīng)的輸出端口所輸出的時(shí)序信號(hào)，并輸出所接收的各個(gè)時(shí)序信號(hào)的邏輯和。控制部12對(duì)各個(gè)分配電路124進(jìn)行互斥控制，以避免多個(gè)分配電路124同時(shí)從同一輸出端口輸出時(shí)序信號(hào)。例如，多臺(tái)主計(jì)算機(jī)被預(yù)先分配對(duì)分配電路124的1～64的輸出端口中的哪一個(gè)輸出端口進(jìn)行控制。而且，各臺(tái)主計(jì)算機(jī)在對(duì)應(yīng)的匯流排120的分配電路124中，從所分配的輸出端口中依次選擇輸出時(shí)序信號(hào)的輸出端口。而且，多個(gè)觸發(fā)器136使各個(gè)時(shí)序信號(hào)同步，并供給到時(shí)序信號(hào)分配電路56。
時(shí)序信號(hào)分配電路56具有多個(gè)分配部(140-1～140-64，以下統(tǒng)稱140)、多個(gè)或門電路(150-1～150-96，以下統(tǒng)稱150)及多個(gè)觸發(fā)器(152-1～152-96，以下統(tǒng)稱152)。
多個(gè)分配部140與分配電路124的多個(gè)輸出端口對(duì)應(yīng)設(shè)置，并接收對(duì)應(yīng)的輸出端口所輸出的時(shí)序信號(hào)。各個(gè)分配部140具有觸發(fā)器142、分配器144、緩存器部146及多個(gè)與門電路(148-1～148-96，以下統(tǒng)稱148)。
分配器144通過觸發(fā)器142接收時(shí)序信號(hào)，并向多個(gè)與門電路148分別分配時(shí)序信號(hào)。多個(gè)與門電路148與多個(gè)時(shí)序供給部60對(duì)應(yīng)設(shè)置，并輸出所接收的時(shí)序信號(hào)和從緩存器部146所接收的信號(hào)的邏輯積。
在緩存器部146中，儲(chǔ)存有用于表示將此時(shí)序信號(hào)供給哪一個(gè)時(shí)序供給部60的命令數(shù)據(jù)。在本實(shí)施例中，緩存器部146儲(chǔ)存有多個(gè)位的命令數(shù)據(jù)，上述這些各個(gè)位分別與多個(gè)時(shí)序供給部60的某一個(gè)對(duì)應(yīng)。緩存器部146從控制部12接收此命令數(shù)據(jù)?？刂撇?2在緩存器部146中儲(chǔ)存命令數(shù)據(jù)，其中此命令數(shù)據(jù)將應(yīng)供給此時(shí)序信號(hào)的時(shí)序供給部60所對(duì)應(yīng)的位作為H邏輯。
而且，多個(gè)或門電路150與多個(gè)與門電路148對(duì)應(yīng)設(shè)置，并在多個(gè)分配部140中，輸出分別對(duì)應(yīng)的與門電路148所輸出的時(shí)序信號(hào)的邏輯和?？刂撇?2在各個(gè)緩存器部146中儲(chǔ)存命令數(shù)據(jù)，以在各個(gè)分配部140中，使與同一時(shí)序供給部60對(duì)應(yīng)的與門電路148不同時(shí)輸出時(shí)序信號(hào)。即，在各個(gè)緩存器部146儲(chǔ)存的命令數(shù)據(jù)中，為了不使同一位同時(shí)表示H邏輯，而向各個(gè)緩存器部146供給命令數(shù)據(jù)。
多個(gè)觸發(fā)器152與多個(gè)或門電路150對(duì)應(yīng)設(shè)置，并使多個(gè)或門電路150輸出的時(shí)序信號(hào)同步，且供給到對(duì)應(yīng)的時(shí)序供給部60。
如上所述，如利用本實(shí)施例中的發(fā)生電路48，能夠以與基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的周期相等的鑒別力，生成相位及頻率可任意設(shè)定的多個(gè)時(shí)序信號(hào)。而且，如利用時(shí)序信號(hào)分配電路56，可任意選擇發(fā)生電路48所生成的多個(gè)時(shí)序信號(hào)中的某一個(gè)，并分別供給到各個(gè)時(shí)序供給部60。
圖10為匯總電路46及時(shí)序信號(hào)分配電路56的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。在本實(shí)施例中，時(shí)序信號(hào)分配電路56與圖9所說明的時(shí)序信號(hào)分配電路56具有相同的構(gòu)成。
匯總電路46具有多個(gè)匯總部(160-1～160-64，以下統(tǒng)稱160)。多個(gè)匯總部160與多個(gè)分配部140對(duì)應(yīng)設(shè)置。各個(gè)匯總部160具有緩存器部162、多個(gè)與門電路(164-1～164-96，以下統(tǒng)稱164)、或門電路166及移位緩存器部168，并接收多個(gè)返回電路40輸出的故障時(shí)序信號(hào)，且輸出多個(gè)故障時(shí)序信號(hào)中的兩個(gè)以上的故障時(shí)序信號(hào)的邏輯和。而且，多個(gè)分配部140與多個(gè)匯總部160對(duì)應(yīng)設(shè)置，并將對(duì)應(yīng)的匯總部160的運(yùn)算結(jié)果分配到多個(gè)測(cè)試模塊14。
多個(gè)與門電路164與多個(gè)返回電路40對(duì)應(yīng)設(shè)置，并接收對(duì)應(yīng)的返回電路40輸出的故障時(shí)序信號(hào)等。然后，輸出所接收的故障時(shí)序信號(hào)和從緩存器部162所接收的信號(hào)的邏輯積。然后，或門電路166輸出多個(gè)與門電路164所輸出的故障時(shí)序信號(hào)的邏輯和。
在緩存器部162中，儲(chǔ)存有用于表示使或門電路166輸出多個(gè)故障時(shí)序信號(hào)中的哪一個(gè)故障時(shí)序信號(hào)的邏輯和的命令數(shù)據(jù)。在本實(shí)施例中，緩存器部162儲(chǔ)存有多個(gè)位的命令數(shù)據(jù)，上述這些各個(gè)位分別與多個(gè)返回電路40的某一個(gè)對(duì)應(yīng)。緩存器部162從控制部12接收此命令數(shù)據(jù)?？刂撇?2在緩存器部162中儲(chǔ)存命令數(shù)據(jù)，其中此命令數(shù)據(jù)將與應(yīng)供給或門電路166的故障時(shí)序?qū)?yīng)的位作為H邏輯。
在本實(shí)施例中，控制部12將與各個(gè)分配部140的緩存器部146中儲(chǔ)存的命令數(shù)據(jù)相同的命令數(shù)據(jù)，在各個(gè)分配部140所對(duì)應(yīng)的匯總部160的緩存器部162中進(jìn)行儲(chǔ)存。即，控制部12在由緩存器部146儲(chǔ)存的命令數(shù)據(jù)被組化的多個(gè)測(cè)試模塊14的某一個(gè)生成故障時(shí)序信號(hào)的情況下，將根據(jù)該故障時(shí)序信號(hào)的時(shí)序信號(hào)供給到此多個(gè)測(cè)試模塊14的全部。
而且，對(duì)應(yīng)的分配部140和匯總部160也可具有共同的緩存器部。例如，匯總部160也可從對(duì)應(yīng)的分配部140的緩存器部146接收命令數(shù)據(jù)。以此，能夠降低測(cè)試裝置100的緩存器元件的數(shù)目。
圖11A～圖11C分別表示多個(gè)匯總部160及多個(gè)分配部140在半導(dǎo)體基板上的配置的一個(gè)實(shí)施例。
如圖11A所示，匯總部160及對(duì)應(yīng)的分配部140的多個(gè)組合，在半導(dǎo)體基板上并列設(shè)置。而且，匯總電路46還具有與多個(gè)匯總部160對(duì)應(yīng)設(shè)置的多個(gè)觸發(fā)器(172-1～172-64，以下統(tǒng)稱為172)。多個(gè)觸發(fā)器172使從返回電路40所接收的多個(gè)故障時(shí)序信號(hào)，同步供給多個(gè)匯總電路46。
而且，時(shí)序信號(hào)分配電路56還具有與多個(gè)分配部140對(duì)應(yīng)設(shè)置的多個(gè)觸發(fā)器(174-1～174-64，以下統(tǒng)稱174)。多個(gè)觸發(fā)器174使從對(duì)應(yīng)的分配部140所接收的多個(gè)故障時(shí)序信號(hào)，同步供給或門電路150。利用這種構(gòu)成，可使各個(gè)匯總部160及分配部140的處理同步，進(jìn)行流水線處理。
而且，如圖11B所示，匯總電路46也可具有與多個(gè)匯總部160對(duì)應(yīng)設(shè)置的多個(gè)觸發(fā)器(180-1～180-64，以下統(tǒng)稱180)。多個(gè)觸發(fā)器180形成串聯(lián)，并向分別對(duì)應(yīng)的匯總電路46依次供給故障時(shí)序信號(hào)。即，分別向各個(gè)匯總電路46以不同的時(shí)序供給故障時(shí)序信號(hào)。
而且，如圖11B所示，也可取代或門電路150，而配置多個(gè)或門電路(250-2～250-64，以下統(tǒng)稱250)。多個(gè)或門電路250與多個(gè)分配部(140-2～140-64)對(duì)應(yīng)設(shè)置。各個(gè)或門電路250形成串聯(lián)，且或門電路250-2輸出分配部140-1及分配部140-2輸出的故障時(shí)序信號(hào)的邏輯和。而且，其它的或門電路250輸出前一級(jí)的或門電路250輸出的邏輯和與對(duì)應(yīng)的分配部140輸出的故障時(shí)序信號(hào)的邏輯和。利用這種構(gòu)成，能夠降低多個(gè)匯總電路46及多個(gè)時(shí)序信號(hào)分配電路56的工作延遲。
而且，匯總部160及對(duì)應(yīng)的分配部140，在半導(dǎo)體基板上的第一方向上被串聯(lián)連接。而且，雖然在圖10中，緩存器部162及緩存器部146分別設(shè)置于匯總部160及分配部140上，但在本實(shí)施例中，共同的緩存器146被設(shè)置于外部。
多個(gè)緩存器部146與多個(gè)匯總部160及多個(gè)分配部140對(duì)應(yīng)設(shè)置，并將用于控制在匯總部160要利用多個(gè)故障時(shí)序信號(hào)中的哪一個(gè)故障時(shí)序信號(hào)進(jìn)行邏輯運(yùn)算，及在分配部140要向多個(gè)測(cè)試模塊14中的哪一個(gè)測(cè)試模塊14分配邏輯運(yùn)算結(jié)果的多個(gè)位的控制信號(hào)，供給對(duì)應(yīng)的匯總部160及分配部140。如圖11B所示，各個(gè)緩存器部146與對(duì)應(yīng)的匯總部160及分配部140，在第一方向上連接為佳。
而且，如圖11C所示，在半導(dǎo)體基板上，使連接匯總部160和測(cè)試模塊14的配線，即連接匯總部160和返回電路40的配線中的至少一部分，沿與第一方向垂直的第二方向設(shè)置為佳。而且，在半導(dǎo)體基板上，使連接分配部140和測(cè)試模塊14的配線，即連接分配部140和時(shí)序供給部60的配線中的至少一部分，沿與第一方向垂直的第二方向設(shè)置為佳。
利用這種構(gòu)成，能夠防止需要多根信號(hào)線的配線沿半導(dǎo)體基板上的橫方向或縱方向產(chǎn)生偏斜。在半導(dǎo)體基板上，同一方向的信號(hào)線數(shù)目雖然不能制造到一定數(shù)以上，但如利用本發(fā)明的構(gòu)成，則可沿橫方向及縱方向效率良好地分配信號(hào)線。
圖12為多個(gè)觸發(fā)器部(186-1～186-7，以下統(tǒng)稱186)及多個(gè)選擇部(188-1～188-7，以下統(tǒng)稱188)的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。關(guān)于圖3所說明的多個(gè)觸發(fā)器(42、52、62)，可分別與圖12中所說明的多個(gè)觸發(fā)器186具有相同的構(gòu)成，而關(guān)于圖3所說明的時(shí)序選擇部54、返回信號(hào)選擇部44及時(shí)序信號(hào)選擇部64，可分別與圖12中所說明的多個(gè)選擇部188具有相同的構(gòu)成。
多個(gè)觸發(fā)器部186形成串聯(lián)，且各個(gè)觸發(fā)器部186具有被串聯(lián)的觸發(fā)器。觸發(fā)器部186接收被輸入的基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖、時(shí)序信號(hào)、故障時(shí)序信號(hào)等，而被串聯(lián)的觸發(fā)器依據(jù)基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，將所接收的信號(hào)依次交付給下一級(jí)的觸發(fā)器。
而且，各個(gè)觸發(fā)器部186中的觸發(fā)器的串聯(lián)數(shù)不同為佳。例如各個(gè)觸發(fā)器部186-m具有2m-1級(jí)串聯(lián)的觸發(fā)器。而且，多個(gè)選擇部188與多個(gè)觸發(fā)器部186對(duì)應(yīng)設(shè)置，并選擇被輸入對(duì)應(yīng)的觸發(fā)器部186的信號(hào)，或?qū)?yīng)的觸發(fā)器部186所輸出的信號(hào)的某一個(gè)，供給到下一級(jí)的觸發(fā)器部186。各個(gè)選擇部188選擇哪一個(gè)信號(hào)，由控制部12進(jìn)行控制。利用這種構(gòu)成可輕松地進(jìn)行控制，以使基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖、時(shí)序信號(hào)、故障時(shí)序信號(hào)等通過所需數(shù)目的觸發(fā)器。
而且，返回電路40、相位調(diào)整電路50及時(shí)序供給部60，還具有用于讀出多個(gè)觸發(fā)器(42、52、62)的各個(gè)觸發(fā)器所儲(chǔ)存的值的裝置為佳。例如，如圖12所示，也可還具有多個(gè)與門電路190。多個(gè)與門電路190分別接收各個(gè)觸發(fā)器所儲(chǔ)存的值，并依據(jù)從控制部12所接收的控制信號(hào)，向控制部12供給各個(gè)觸發(fā)器所儲(chǔ)存的值。
圖13為在控制部12中所設(shè)置的、用于控制多個(gè)緩存器部146的寫入控制電路的構(gòu)成的一個(gè)實(shí)施例。寫入控制電路包括多個(gè)要求信號(hào)儲(chǔ)存部(212-1～212-8，以下統(tǒng)稱212)、選擇器202、觸發(fā)器206、多個(gè)觸發(fā)器(208-1～208-4，以下統(tǒng)稱208)、多個(gè)與門電路210、計(jì)數(shù)器222、重置部228、與門電路216及寫入部204。
選擇器202被設(shè)置用于選擇在控制部12中所設(shè)置的多臺(tái)主計(jì)算機(jī)的內(nèi)部時(shí)鐘脈沖(CLKA～CLKH)，其選擇某一個(gè)內(nèi)部時(shí)鐘脈沖并作為寫入控制電路用時(shí)鐘脈沖使用。在選擇器202中，從觸發(fā)器206接收選擇控制信號(hào)，并依據(jù)選擇控制信號(hào)而選擇某一個(gè)時(shí)鐘脈沖。
觸發(fā)器206保持選擇控制信號(hào)。此選擇控制信號(hào)為用于控制在從主計(jì)算機(jī)向選擇器202所交付的內(nèi)部時(shí)鐘脈沖中選擇某一個(gè)的信號(hào)。
多個(gè)要求信號(hào)儲(chǔ)存部212與多臺(tái)主計(jì)算機(jī)對(duì)應(yīng)設(shè)置，并儲(chǔ)存來自對(duì)應(yīng)主計(jì)算機(jī)的寫入要求信號(hào)。在本實(shí)施例中，所說的寫入要求信號(hào)，為用于表示要改寫哪一個(gè)緩存器部146的命令數(shù)據(jù)的意思的H邏輯的信號(hào)。各個(gè)要求信號(hào)儲(chǔ)存部212通過多個(gè)觸發(fā)器208及與門電路210接收寫入要求信號(hào)。多個(gè)觸發(fā)器(208-1～208-3)除去因與寫入要求信號(hào)同步的時(shí)鐘脈沖和寫入控制電路用時(shí)鐘脈沖不一致而造成的亞穩(wěn)態(tài)。因此，需要使被輸入的寫入要求信號(hào)的周期，比內(nèi)部時(shí)鐘脈沖(CLKA-CLKH)的周期長(zhǎng)。
而且，觸發(fā)器208-4及與門電路210是為了從所接收的寫入控制信號(hào)的上升緣，在所選擇的內(nèi)部時(shí)鐘脈沖的一個(gè)周期間，將寫入控制信號(hào)供給到對(duì)應(yīng)的要求信號(hào)儲(chǔ)存部212而設(shè)置的。
主選擇部214依次選擇多個(gè)要求信號(hào)儲(chǔ)存部212，并接收、輸出所選擇的要求信號(hào)儲(chǔ)存部212儲(chǔ)存的儲(chǔ)存數(shù)據(jù)。計(jì)數(shù)器222依次生成用于表示多個(gè)要求信號(hào)儲(chǔ)存部212的多個(gè)主指定信號(hào)，并供給到主選擇部214，而主選擇部214依次選擇由依次接收的主指定信號(hào)所指定的要求信號(hào)儲(chǔ)存部212。計(jì)數(shù)器222依次生成從例如零開始到多個(gè)要求信號(hào)儲(chǔ)存部212的數(shù)目的2倍的數(shù)為止的二進(jìn)位數(shù)，并將從生成的二進(jìn)位數(shù)中除去最低位的數(shù)據(jù)，作為主指定信號(hào)輸出。在本實(shí)施例中，寫入控制電路包括8個(gè)要求信號(hào)儲(chǔ)存部212，而計(jì)數(shù)器222按升序依次生成0000～1111的二進(jìn)位數(shù)。
而且，主選擇部214從各臺(tái)主計(jì)算機(jī)，接收應(yīng)與寫入要求信號(hào)對(duì)應(yīng)寫入的命令數(shù)據(jù)(CS_ST1～CS_ST8)、及用于指定應(yīng)寫入命令數(shù)據(jù)的緩存器部146的緩存器部指定數(shù)據(jù)(WDT_ST1～WDT_ST8)，并將從選擇的要求信號(hào)儲(chǔ)存部212所對(duì)應(yīng)的主計(jì)算機(jī)接收的命令數(shù)據(jù)及緩存器部指定數(shù)據(jù)，供給到寫入部204。
寫入部204接收主選擇部214輸出的儲(chǔ)存數(shù)據(jù)、應(yīng)寫入緩存器部146中的命令數(shù)據(jù)、及用于指定應(yīng)寫入命令數(shù)據(jù)的緩存器部146的緩存器部指定數(shù)據(jù)，并在所接收的儲(chǔ)存數(shù)據(jù)為寫入要求信號(hào)的情況下，將命令數(shù)據(jù)寫入由緩存器部指定數(shù)據(jù)所指定的緩存器部146中。寫入部204具有觸發(fā)器218及觸發(fā)器220。觸發(fā)器218向由緩存器部指定數(shù)據(jù)所指定的緩存器部146供給命令數(shù)據(jù)，而觸發(fā)器220輸出允許向緩存器部146的寫入的允許寫入信號(hào)。
重置部228在主選擇部214所接收的儲(chǔ)存數(shù)據(jù)，為寫入要求信號(hào)的情況下，使主選擇部214所選擇的要求信號(hào)儲(chǔ)存部212儲(chǔ)存的寫入要求信號(hào)重置。例如，重置部228接收多個(gè)要求信號(hào)儲(chǔ)存部212儲(chǔ)存的多個(gè)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)、及計(jì)數(shù)器部生成的主指定信號(hào)，并在依據(jù)主指定信號(hào)的要求信號(hào)儲(chǔ)存部212所儲(chǔ)存的儲(chǔ)存數(shù)據(jù)為寫入要求信號(hào)的情況下，使主指定信號(hào)所指定的要求信號(hào)儲(chǔ)存部212儲(chǔ)存的寫入要求信號(hào)重置。
重置部228具有選擇器224及與門電路226。選擇器224接收將多個(gè)要求信號(hào)儲(chǔ)存部212儲(chǔ)存的儲(chǔ)存數(shù)據(jù)形成各個(gè)位的8位的信號(hào)，當(dāng)在接收的信號(hào)中，由主指定信號(hào)所指定的位為H邏輯時(shí)，向與門電路226供給只將該位形成H邏輯的重置信號(hào)。與門電路226接收計(jì)數(shù)器222生成的二進(jìn)位數(shù)的最低位，并在計(jì)數(shù)器222生成的二進(jìn)位數(shù)的最低位為H邏輯的情況下，向要求信號(hào)儲(chǔ)存部212供給重置信號(hào)，且將依據(jù)表示H邏輯的重置信號(hào)的位的位置的要求信號(hào)儲(chǔ)存部212進(jìn)行重置。
而且，與門電路216在計(jì)數(shù)器222生成的二進(jìn)位數(shù)的最低位表示H邏輯的情況下，向?qū)懭氩?04的觸發(fā)器220供給主選擇部214輸出的儲(chǔ)存數(shù)據(jù)。
如利用本例中的寫入控制電路，可效率良好地改寫各個(gè)緩存器部146的命令數(shù)據(jù)。而且，由于多臺(tái)主計(jì)算機(jī)的任意一個(gè)都可改寫緩存器部146的命令數(shù)據(jù)，所以可利用多臺(tái)主計(jì)算機(jī)而共同使用緩存器部146。例如，可在每次測(cè)試時(shí)，對(duì)將各個(gè)緩存器部146分別由哪一個(gè)主計(jì)算機(jī)使用進(jìn)行分配，并可減少測(cè)試裝置100的緩存器元件的數(shù)目。
以上，利用實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說明，但本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限定于上述實(shí)施例所記述的范圍。在上述實(shí)施例上可加以多種多樣的變更或改進(jìn)，這對(duì)所屬領(lǐng)域技術(shù)人員是很清楚的。由權(quán)利要求的說明可知，那種加以變更或改進(jìn)的形態(tài)也可包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍中。
產(chǎn)業(yè)利用可能性如利用本發(fā)明，在具有主信號(hào)供給部與從信號(hào)供給部，且該主信號(hào)供給部依照被給予的時(shí)序信號(hào)生成第一時(shí)序信號(hào)，而從信號(hào)供給部依照自該主信號(hào)供給部所被給予的時(shí)序信號(hào)生成第二時(shí)序信號(hào)的情況下，可對(duì)被給予至各信號(hào)供給部的時(shí)序信號(hào)的相位的差異進(jìn)行調(diào)整。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)試裝置，其特征是測(cè)試電子元件，該測(cè)試裝置包括測(cè)試模塊，把用于測(cè)試該電子元件的測(cè)試圖案供給至該電子元件；主信號(hào)供給部，依照被給予的時(shí)序信號(hào)的相位生成第一時(shí)序信號(hào)，用以控制該測(cè)試模塊把該測(cè)試圖案供給到該電子元件，并將該第一時(shí)序信號(hào)供給到該測(cè)試模塊中預(yù)定的一個(gè)或多個(gè)管腳；以及從信號(hào)供給部，從該主信號(hào)供給部接收上述被給予的時(shí)序信號(hào)，并依照自該主信號(hào)供給部所接收的上述被給予的時(shí)序信號(hào)的相位，生成第二時(shí)序信號(hào)，用以控制該測(cè)試模塊把該測(cè)試圖案供給到該電子元件，并將該第二時(shí)序信號(hào)供給到該測(cè)試模塊的管腳之中與該主信號(hào)供給部不同的一個(gè)或多個(gè)管腳，其中該從信號(hào)供給部具有相位調(diào)整電路，通過延遲自該主信號(hào)供給部接收的上述被給予的時(shí)序信號(hào)，使該主信號(hào)供給部輸出該第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序，與該從信號(hào)供給部輸出該第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序約略相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征是還包括基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部，生成基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，且該相位調(diào)整電路還包括多個(gè)觸發(fā)器，自該主信號(hào)供給部接收上述被給予的時(shí)序信號(hào)，并根據(jù)該基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖生成部所生成的該基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖，以依次地接收傳送上述被給予的時(shí)序信號(hào)的方式串聯(lián)著；以及時(shí)序選擇部，接收自各該觸發(fā)器所輸出的上述被給予的時(shí)序信號(hào)，從接收的上述這些被給予的時(shí)序信號(hào)中任選一個(gè)作為該第二時(shí)序信號(hào)而輸出，其中該測(cè)試裝置還包括控制部，控制該時(shí)序選擇部選擇上述被給予的時(shí)序信號(hào)中的哪一個(gè)，以使該主信號(hào)供給部輸出該第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序，與該從信號(hào)供給部輸出該第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序約略相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其特征是該相位調(diào)整裝置包括相位調(diào)整用可變延遲電路，延遲自該主信號(hào)供給部所接收的被給予的上述時(shí)序信號(hào)，該控制部使該相位調(diào)整用可變延遲電路的延遲量依次變化，并檢測(cè)出上述時(shí)序信號(hào)的值發(fā)生變化的時(shí)序、與上述這些觸發(fā)器中的任意一個(gè)觸發(fā)器所取出的上述時(shí)序信號(hào)的值約略相同時(shí)的該相位調(diào)整用可變延遲電路的延遲量，并將該相位調(diào)整用可變延遲電路的延遲量設(shè)定在檢測(cè)出的該延遲量至偏離約略該基準(zhǔn)時(shí)鐘脈沖的半周期的延遲量之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試裝置，其特征是該控制部生成上述時(shí)序信號(hào)，且該主信號(hào)供給部與該從信號(hào)供給部為具有相同結(jié)構(gòu)的電路，該主信號(hào)供給部及該從信號(hào)供給部還包括主從選擇部，選擇把該相位調(diào)整用可變延遲電路所延遲的上述時(shí)序信號(hào)，或是該控制部所生成的上述時(shí)序信號(hào)中的一個(gè)供給到上述這些觸發(fā)器，且該控制部根據(jù)該主信號(hào)供給部及該從信號(hào)供給部發(fā)揮該主信號(hào)供給部或該從信號(hào)供給部哪一個(gè)的功能，來控制該主從選擇部選擇上述這些被給予的時(shí)序信號(hào)中的哪一個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試裝置，其特征是該控制部是使該主信號(hào)供給部的該時(shí)序選擇部選擇預(yù)定的該觸發(fā)器所輸出的上述時(shí)序信號(hào)，作為該第一時(shí)序信號(hào)，以及控制該從信號(hào)供給部的該時(shí)序選擇部中選擇哪一個(gè)上述時(shí)序信號(hào)，使該主信號(hào)供給部輸出該第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序，與該從信號(hào)供給部輸出該第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序約略相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試裝置，其特征是該控制部是使該主信號(hào)供給部的該時(shí)序選擇部從串聯(lián)的上述這些觸發(fā)器中，把設(shè)置于略中央的該觸發(fā)器所輸出的上述時(shí)序信號(hào)選為該第一時(shí)序信號(hào)。
全文摘要
一種測(cè)試裝置，具有測(cè)試模塊、主信號(hào)供給部，及從信號(hào)供給部。測(cè)試模塊供給至電子元件。主信號(hào)供給部依照被給予的時(shí)序信號(hào)的相位而生成第一時(shí)序信號(hào)，并將其供給到測(cè)試模塊。從信號(hào)供給部接收自主信號(hào)供給部而來的時(shí)序信號(hào)，生成第二時(shí)序信號(hào)并供給到測(cè)試模塊，此第二時(shí)序信號(hào)用以控制測(cè)試模塊提供給電子元件的測(cè)試圖案。從信號(hào)供給部具有相位調(diào)整電路，其通過延遲自主信號(hào)供給部接收的時(shí)序信號(hào)，使主信號(hào)供給部輸出第一時(shí)序信號(hào)的時(shí)序，與從信號(hào)供給部輸出第二時(shí)序信號(hào)的時(shí)序約略相同。
文檔編號(hào)G01R31/319GK1842715SQ200480024340
公開日2006年10月4日 申請(qǐng)日期2004年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月12日
發(fā)明者佐藤浩 申請(qǐng)人:愛德萬(wàn)測(cè)試株式會(huì)社