專利名稱：晶圓測量系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶圓測量系統(tǒng)，特別是指一種利用高頻測量技術(shù)的測量系統(tǒng)以檢測晶圓中的高頻組件、電路組件及系統(tǒng)功能。
背景技術(shù)：
由于通信產(chǎn)品及通信系統(tǒng)的發(fā)展愈來愈迅速，不管是在無線通信、有線通信或光電方面都蓬勃發(fā)展。其中相關(guān)的半導(dǎo)體集成電路更是目前相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)重點(diǎn)項(xiàng)目，尤其是朝高頻通信快速地發(fā)展，而且積極的投入大量資源開發(fā)及設(shè)計(jì)相關(guān)的電路、制程、組件等。然而，這些相關(guān)的開發(fā)與設(shè)計(jì)最終都需要高頻測量，利用高頻的測量技術(shù)，可以來驗(yàn)證通信系統(tǒng)中關(guān)乎發(fā)展成敗關(guān)鍵的高頻組件、電路組件及系統(tǒng)功能是否正常，進(jìn)而去發(fā)現(xiàn)并改善問題。
基于上述的廣大需求，一套全面完整的高頻測量系統(tǒng)顯得愈發(fā)重要。完整且準(zhǔn)確的高頻測量能力，是最重要的成功關(guān)鍵之一。如果有一套完整且準(zhǔn)確的測量系統(tǒng)，不但可使研究競爭力大大提升，甚且對業(yè)界研發(fā)的方向也有相當(dāng)?shù)挠绊憽?br> 目前高頻測量需要的設(shè)備大略如圖1所示，包括有一探測機(jī)臺(Probestation)100、及一高頻測量設(shè)備(high frequency measurement equipment)200。該探針機(jī)臺100包括有一基座110、一設(shè)于該基座110上的略呈U型的探針平臺120、一對設(shè)置于該探針平臺120的兩側(cè)的探針支架130、一用來放置待測晶片的晶圓夾座(Wafer chuck)140、及一設(shè)于該晶片夾座140上方的顯微鏡(Microscope)150。該高頻測量設(shè)備200包括一射頻信號源(RF source)210、一連結(jié)器(Coupler)220、一對自動調(diào)整器(ATS，Automatic turning system)230/240、及一向量自動網(wǎng)絡(luò)分析儀(VectorAutomatic Network Analyzer)250。其中該自動調(diào)整器230/240能夠自動地提供各種模擬的阻抗值，并且借著信號傳輸線260連接到該探針支架130。
在現(xiàn)有技術(shù)的測量儀器中，往往只重視探針機(jī)臺100及高頻測量設(shè)備200的準(zhǔn)確性及功能性。然而，如圖中所示，置于探針機(jī)臺100旁用以承載自動調(diào)整器230/240的機(jī)架112、114卻往往被忽略。現(xiàn)有技術(shù)將該機(jī)架112、114置于探針機(jī)臺100的兩側(cè)并且通過信號傳輸線260連接自動調(diào)整器230/240至探針支架130，為保持該信號傳輸線260盡量水平以及該自動調(diào)整器230/240能位于同一水平面。
現(xiàn)有技術(shù)的擺設(shè)非常受限于該探針支架130的長度，需要搭配長距離的導(dǎo)線(大于30厘米)。在高頻時將造成不可忽略的信號強(qiáng)度損耗，極大地限制了自動調(diào)整器(ATS)可測量的范圍，因此有需要加以改進(jìn)之處。另外，上述的兩具機(jī)架112、114造成整體測量機(jī)臺過寬，為擺設(shè)該機(jī)架112、114需要一較寬的桌子160，甚至該桌子160側(cè)邊還需設(shè)計(jì)一可抽取的延伸桌162以承載該機(jī)架112，非常占用屋內(nèi)的空間。另外，由于桌子160極寬，難以同時提供該探針機(jī)臺100及自動調(diào)整器230/240防震功能，也會造成測量時的誤差。
本發(fā)明人于是根據(jù)通信原理，為改正上述缺點(diǎn)，以有效提升測量效能，因而提出此發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種晶圓測量系統(tǒng)，通過提供一種改善的承載裝置，使信號傳輸線以較短路徑及最少的彎曲程度連接至探針支架，有效減少信號的損耗，增進(jìn)測量效能、信號匹配度及測量范圍。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種晶圓測量系統(tǒng)，能減少測量機(jī)臺占用的空間，并且提供一種可以彈性調(diào)整放置面積的承載裝置。
本發(fā)明還有一目的在于提供一種晶圓測量系統(tǒng)，使承載裝置能具有防震功能。
為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供的一種晶圓測量系統(tǒng)，包括一探針機(jī)臺、一承載裝置、及一高頻測量設(shè)備。該探針機(jī)臺包括有一基座、一置于該基座上的探針平臺、一對分別放置于該探針平臺的兩側(cè)的探針支架、一設(shè)置于該對探針支架中間的晶片夾座、及一位于該晶片夾座上方的顯微觀測裝置；該承載裝置包括有一位于該探針支架上方的剛性平板、及設(shè)于該剛性平板下方的多個支柱，該剛性平板設(shè)有一凹口供顯微觀測裝置觀測；該高頻測量設(shè)備至少包括一放置于剛性平板上的自動調(diào)整器，及一穿過凹口并連接自動調(diào)整器到探針支架信號連接線。
為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供的一種晶圓測量系統(tǒng)還包括一防震桌，其中探針機(jī)臺的基座及承載裝置的支柱放置于該防震桌上。


圖1為現(xiàn)有晶圓測量系統(tǒng)的示意圖。
圖2為本發(fā)明的晶圓測量系統(tǒng)的前視圖。
圖3為本發(fā)明中承載裝置的立體圖。
附圖標(biāo)記說明現(xiàn)有技術(shù)100 探測機(jī)臺110 基座120探針平臺112、114 機(jī)架130探針支架140 晶圓夾座150顯微鏡160 桌子162延伸桌200 高頻測量設(shè)備210 射頻信號源 220聯(lián)結(jié)器230/240 自動調(diào)整器 250向量自動網(wǎng)絡(luò)分析儀260 信號傳輸線本發(fā)明10 探針機(jī)臺11 基座12 探針平臺13 探針支架14 晶片夾座15 顯微觀測裝置20 防震桌30 承載裝置32 剛性平板34 支柱320 凹口342調(diào)整螺桿322 加強(qiáng)梁 344防滑墊
324固定孔36 翼板38 折疊裝置382垂直部 384支撐部40 高頻測量設(shè)備43 自動調(diào)整器 46 信號連接線具體實(shí)施方式
現(xiàn)配合附圖將本發(fā)明的較佳實(shí)施例詳細(xì)說明如下，但是這些說明只是用來說明本發(fā)明，而不是對本發(fā)明的權(quán)利范圍作任何的限制。
請參閱圖2及圖3，分別為本發(fā)明的晶圓測量系統(tǒng)的前視圖和本發(fā)明中承載裝置的立體圖。本發(fā)明提供的晶圓測量系統(tǒng)，包括一探針機(jī)臺10、一防震桌20、一承載裝置30、及一高頻測量設(shè)備40。
該探針機(jī)臺10包括有一基座11、一探針平臺12、一對探針支架13、一晶片夾座14、及一顯微觀測裝置15。該探針平臺12放置在基座11上；這對探針支架13分別放置于該探針平臺12的兩側(cè)；晶片夾座14設(shè)置于這對探針支架13的中間；該顯微觀測裝置15位于晶片夾座14的上方，其中該顯微觀測裝置15可以是目視裝置或影像擷取裝置。
本實(shí)施例中該探針機(jī)臺10放置于一防震桌20上，該防震桌20可自動感測到周圍輕微的震動而通過電動充氣泵得以維持水平。該防震桌20的面積只需略大于該探針機(jī)臺10的基座11，這樣可以大大節(jié)省空間。由于防震技術(shù)非本發(fā)明的要點(diǎn)，故不再贅述。
該承載裝置30包括有一剛性平板32及多個支柱34。該剛性平板32位于探針支架13的上方；多個支柱34則設(shè)于該剛性平板32下方。本實(shí)施例中支柱34也可放置于防震桌20上且位于基座11的旁邊。該剛性平板32最好用金屬制成，這樣也可具有防電磁干擾的作用。其表面經(jīng)過防銹及絕緣處理。由于該剛性平板32設(shè)置于探針機(jī)臺10上，因此中間部位設(shè)計(jì)有一凹口320以供顯微觀測裝置15觀測、放置晶圓及下針。
為了避免該剛性平板32過寬而略顯低陷，該剛性平板32還可以設(shè)置至少一加強(qiáng)梁322(例如工字型梁)在其底面以加強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。其中該剛性平板32還可以設(shè)有多個貫穿的固定孔324以用來固定置于其上的測量裝置。
本實(shí)施例中，該承載裝置30的支柱34底部各設(shè)有一調(diào)整螺桿342，借此可以調(diào)整高度，并且還可以用來調(diào)整該剛性平板32使之位于一水平面上。調(diào)整螺桿342的底面還可以設(shè)置一防滑墊344，借此可防止該承載裝置30的滑動及避震。
高頻測量設(shè)備40同現(xiàn)有技術(shù)所述，而在本實(shí)施例中則還包括有二個各自放置于該剛性平板32兩側(cè)的自動調(diào)整器43、及二個穿過凹口320并且各自連接自動調(diào)整器43到探針支架13的信號連接線46。其中自動調(diào)整器43也可以是一個。本發(fā)明中信號連接線46仍以最少的彎曲程度連接至探針支架13，甚至比現(xiàn)有技術(shù)更加容易安裝設(shè)置?，F(xiàn)有技術(shù)的信號連接線的彎曲部分靠近于探針支架13，其安裝設(shè)置的空間較小，組裝空間比較受限制。本發(fā)明提供的信號連接線46的彎曲部分是在剛性平板32上方且靠近凹口320，具有較大的安裝設(shè)置的空間，比較容易組裝。
該承載裝置30還具有一對可折疊地設(shè)置于剛性平板32兩側(cè)的翼板36，借此可根據(jù)需要而展開用來放置該高頻測量設(shè)備40，或者折疊起來以節(jié)省空間。其折疊的方式可以有許多種，在本實(shí)施例中，承載裝置30具有多個各自設(shè)于支柱34上的折疊裝置38以連接翼板36，其中該折疊裝置38各具有一固定于支柱34上的垂直部382及一樞接于垂直部382并且抵接于翼板36的支撐部384。
本發(fā)明提供的晶圓測量系統(tǒng)減少所占用的空間，并且可將該探針機(jī)臺10及該承載裝置30同時放置于防震桌上，共享防震設(shè)備，借此可以提供更準(zhǔn)確的測量系統(tǒng)。
本發(fā)明所述的晶圓測量系統(tǒng)提供了一種良好的承載裝置30，不僅有效縮短信號連接線46的長度以減少損耗并且增加自動調(diào)整器(ATS)測量范圍；并且使得自動調(diào)整器43可同處一水平面。其中該承載裝置30的支柱34可調(diào)整高度，并具有防滑及避震的功能。該承載裝置30還具有可收納式翼板36，借此可以增加承載裝置30可使用的平面。
另外，本發(fā)明中所提供的承載裝置30采用中空式設(shè)計(jì)，利于觀測、放置晶圓及下針。
綜上所述，本發(fā)明非常符合發(fā)明專利申請的要點(diǎn)，故依法提出申請。
但以上所公開的內(nèi)容，只是作為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，而不能以此限定本發(fā)明的權(quán)利范圍，因此根據(jù)本發(fā)明權(quán)利要求保護(hù)范圍所做的各種變化或修飾，仍屬于本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍。
權(quán)利要求
1.一種晶圓測量系統(tǒng)，包括一探針機(jī)臺，包括有一基座、一置于該基座上的探針平臺、一對分別放置于該探針平臺的兩側(cè)探針支架、一設(shè)置于這對探針支架中間的晶片夾座、及一放置于該晶片夾座上方的顯微觀測裝置；一承載裝置，包括有一個位于該探針支架的上方的剛性平板、及設(shè)于該剛性平板下方的多個支柱，該剛性平板設(shè)有一凹口供顯微觀測裝置觀測；及一高頻測量設(shè)備，至少包括一自動調(diào)整器，該自動調(diào)整器放置于該剛性平板上的，及一穿過凹口并連接自動調(diào)整器到探針支架的信號連接線。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓測量系統(tǒng)，其特征是，所述的高頻測量設(shè)備包括有二個各自放置于剛性平板兩側(cè)的自動調(diào)整器、及二個各自連接自動調(diào)整器到探針支架的信號連接線。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓測量系統(tǒng)，其特征是，還包括一防震桌，其中探針機(jī)臺的基座及該承載裝置的支柱是放置在防震桌上的。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓測量系統(tǒng)，其特征是，所述的剛性平板的表面經(jīng)過防銹及絕緣處理，并且該剛性平板具有一設(shè)置于其底面的加強(qiáng)梁，及多個固定孔。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓測量系統(tǒng)，其特征是，所述的承載裝置具有一對可折疊地設(shè)置于剛性平板兩側(cè)的翼板、及多個各自設(shè)于支柱上以連接該翼板的折疊裝置，其中這些折疊裝置分別具有一固定于該支柱上的垂直部及一樞接于該垂直部并且抵接于翼板的支撐部，并且該承載裝置的支柱底部各設(shè)有一調(diào)整螺桿。
6.如權(quán)利要求5所述的晶圓測量系統(tǒng)，其特征是，所述的調(diào)整螺桿的底面各設(shè)有一防滑墊。
7.一種承載裝置，設(shè)置于一探針機(jī)臺的基座上，該探針機(jī)臺具有一晶片夾座及一對位于該晶片夾座的兩側(cè)的探針支架，包括一剛性平板，平行地設(shè)置于該基座的上方，該剛性平板設(shè)有一凹口對應(yīng)于該晶片夾座的位置；及多個支柱，設(shè)于該剛性平板下方。
8.如權(quán)利要求7所述的承載裝置，其特征是，所述的剛性平板的表面經(jīng)過防銹及絕緣處理，并且該剛性平板還具有一設(shè)置于其底面的加強(qiáng)梁，以及多個固定孔。
9.如權(quán)利要求7所述的承載裝置，其特征是，所述的承載裝置具有一對可折疊地設(shè)置于該剛性平板兩側(cè)的翼板，及多個各自設(shè)于支柱上以連接翼板的折疊裝置，其中所述的折疊裝置各具有一固定于支柱上的垂直部及一樞接于該垂直部并且抵接于翼板的支撐部，并且其中該承載裝置的支柱底部各設(shè)有一調(diào)整螺桿。
10.如權(quán)利要求9所述的承載裝置，其特征是，所述的調(diào)整螺桿的底面各設(shè)有一防滑墊。
全文摘要
一種晶圓測量系統(tǒng)，提供一種改善的承載裝置、而且能減少測量機(jī)臺占用的空間。該晶圓測量系統(tǒng)包括一探針機(jī)臺、一承載裝置、及一高頻測量設(shè)備。該探針機(jī)臺包括有一基座、一探針平臺、一對分別放置于探針平臺兩側(cè)的探針支架、一置于這對探針支架中間的晶片夾座、及一顯微觀測裝置；該承載裝置包括有一位于該探針支架的上方的剛性平板，及多個支柱，該剛性平板設(shè)有一凹口供該顯微觀測裝置觀測；該高頻測量設(shè)備至少包括一放置于該剛性平板上的自動調(diào)整器，及一穿過凹口并連接自動調(diào)整器到探針支架的信號連接線。
文檔編號G01R31/26GK1755910SQ20041008347
公開日2006年4月5日 申請日期2004年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月29日
發(fā)明者吳經(jīng)國, 王是琦 申請人:立積電子股份有限公司