技術(shù)編號(hào)：5964647
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種晶圓測(cè)量系統(tǒng)，特別是指一種利用高頻測(cè)量技術(shù)的測(cè)量系統(tǒng)以檢測(cè)晶圓中的高頻組件、電路組件及系統(tǒng)功能。背景技術(shù) 由于通信產(chǎn)品及通信系統(tǒng)的發(fā)展愈來(lái)愈迅速，不管是在無(wú)線通信、有線通信或光電方面都蓬勃發(fā)展。其中相關(guān)的半導(dǎo)體集成電路更是目前相關(guān)領(lǐng)域的研發(fā)重點(diǎn)項(xiàng)目，尤其是朝高頻通信快速地發(fā)展，而且積極的投入大量資源開(kāi)發(fā)及設(shè)計(jì)相關(guān)的電路、制程、組件等。然而，這些相關(guān)的開(kāi)發(fā)與設(shè)計(jì)最終都需要高頻測(cè)量，利用高頻的測(cè)量技術(shù)，可以來(lái)驗(yàn)證通信系統(tǒng)中關(guān)乎發(fā)展成敗關(guān)鍵的高頻組...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。