的外表面(即，活塞桿98的外周表面和活塞主體100的一個表面)、外管狀部82的內(nèi)周表面和內(nèi)管狀部84的外表面形成的空間。進(jìn)一步,在先導(dǎo)接頭66和外管狀部82之間，密封通過O形環(huán)114、116產(chǎn)生，O形環(huán)114、116分別布置在形成在外管狀部82上的一對環(huán)形槽中。
[0060]閥蓋68由任意材料諸如樹脂等等形成為有底的管狀，并且包括:開口的附接部分118，該開口附接部分118構(gòu)成閥蓋68的一端側(cè)；和支撐部分120，該支撐部分120構(gòu)成閥蓋68的另一端側(cè)并且支撐偏壓機(jī)構(gòu)70。閥蓋68是通過刻在附接部分118的內(nèi)周表面上的螺紋與形成在外管狀部82的外周表面的另一端側(cè)的螺紋螺合被固定到保持部62。室122形成在閥蓋68和活塞64之間，偏壓機(jī)構(gòu)70布置在室122中。室122通過未圖示的通風(fēng)孔與外部連通。
[0061]偏壓機(jī)構(gòu)70包括第一彈簧124和第二彈簧126,該第一彈簧124和第二彈簧126朝向隔片16偏壓活塞64 ;板狀彈簧座128，該板狀彈簧座128保持第一彈簧124和第二彈簧126 ;和支架130，該支架130被固定成如下狀態(tài):支架130布置在形成在支撐部分120的中心的孔中，并且用于支撐彈簧座128。第一彈簧124，第二彈簧126，和彈簧座128都由金屬材料構(gòu)成。
[0062]第一彈簧124和第二彈簧126中的每一個，例如都構(gòu)成為螺旋壓縮彈簧，第一彈簧124的外徑大于第二彈簧126的外徑。第一彈簧124的一端固定在環(huán)形凹部110中，其另一端固定在彈黃座128上。弟_■彈黃126的一端固定在圓形凹部112中，其另一端固定在彈簧座128上。
[0063]接地構(gòu)件22包括接地線132，接地線132通過形成在支架130中的孔與彈簧座128電連接。接地線132在閥設(shè)備1A的外部位置接地。在本實施例中，導(dǎo)電軸60，活塞64，第一彈簧124，第二彈簧126，和彈簧座128分別由導(dǎo)電材料構(gòu)成，并且彼此電連接。因此，導(dǎo)電軸60通過接地線132接地。
[0064]根據(jù)本實施例的閥設(shè)備1A基本如上所述構(gòu)造而成。接下來將描述本實施例的操作和優(yōu)點。閥閉合狀態(tài)將被描述為初始狀態(tài)，在此狀態(tài)中，隔片16座設(shè)在閥座32上并且通過流體通道12的連通被阻斷(參見圖1)。
[0065]在初始狀態(tài)中，在第一彈簧124和第二彈簧126的彈力作用下，活塞64被壓向一側(cè)(與彈簧座128所在的一側(cè)相反的一側(cè))，從而隔片16被置于閥閉合狀態(tài)，在該狀態(tài)中，隔片16通過導(dǎo)電軸60向一側(cè)移動并且座設(shè)在閥座32上。因此，在該狀態(tài)中，向第一端口24供應(yīng)的壓力流體被隔片16阻止流向第二端口 26。進(jìn)一步，在初始狀態(tài)中，先導(dǎo)流體不向先導(dǎo)室106供應(yīng)。
[0066]接著，為了將閥設(shè)備1A置于閥打開狀態(tài)，先導(dǎo)流體從未圖示的流體供應(yīng)源通過先導(dǎo)接頭66向先導(dǎo)室106供應(yīng)。根據(jù)先導(dǎo)流體的供應(yīng)，先導(dǎo)室106中的壓力上升，并且活塞64逆著第一彈簧124和第二彈簧126各自的彈力朝向另一側(cè)(彈簧座128所在的一側(cè))位移。因此，導(dǎo)電軸60和隔片16—起整體地向另一側(cè)位移。此時，隔片16的膜部分48經(jīng)受彎曲。
[0067]因此，如圖3所示，隔片16移動遠(yuǎn)離閥座32，于是流體通道12的阻塞狀態(tài)被解除。因此，供應(yīng)的壓力流體開始從第一端口 24流向第二端口 26。另外，活塞64位移直到活塞64的外邊緣抵接閥蓋68，于是活塞64的位移停止，并且導(dǎo)致隔片16完全打開的閥打開狀態(tài)。
[0068]然后，在閥設(shè)備1A返回到閥閉合狀態(tài)情況下，向先導(dǎo)室106的先導(dǎo)流體的供應(yīng)被中止。當(dāng)先導(dǎo)流體的供應(yīng)停止時，先導(dǎo)室106中的壓力減少，并且活塞64通過第一彈簧124和第二彈簧126各自的彈力向一側(cè)位移。因此,導(dǎo)電軸60和隔片16 —起整體地向一側(cè)位移。此時，隔片16的膜部分48經(jīng)受彎曲。另外，通過活塞64抵接活塞阻尼器92，活塞64位移被停止，并且活塞64相對于保持部62的沖擊和沖擊噪聲是被適當(dāng)?shù)鼐彌_。進(jìn)一步，同時，通過隔片16座設(shè)于閥座32上，導(dǎo)致流體通道12的連通被阻斷的閥閉合狀態(tài)。
[0069]根據(jù)本實施例，在如上述構(gòu)造的閥設(shè)備1A中，本體14和隔片16分別是由非導(dǎo)電材料氟樹脂構(gòu)成。由于用這樣的方式被構(gòu)造，因為隔片16和閥座32之間的摩擦，或者因為隔片16和壓力流體之間的摩擦產(chǎn)生的靜電易于發(fā)生在隔片16的一個表面上。
[0070]然而，即使靜電產(chǎn)生在隔片16中,這種靜電(電荷)通過導(dǎo)電軸60、活塞64、第一彈簧124 (第二彈簧126)和彈簧座128被導(dǎo)出到接地線132。因此，能夠抑制隔片16中的靜電累積。因此，能夠利用簡單結(jié)構(gòu)可靠地抑制隔片16的膜部分48的絕緣擊穿，同時能夠?qū)崿F(xiàn)降低制造成本。
[0071]進(jìn)一步，因為形成隔片16和大直徑部74之間的密封的O形環(huán)80介于凸起部分46的另一端表面和大直徑部74的一個表面之間，所以從流體通道12和流向閥室86中的壓力流體的泄漏能夠被抑制。
[0072]此外，因為導(dǎo)電軸60由包含碳纖維的聚苯硫醚或者耐蝕金屬材料構(gòu)成，即使腐蝕性流體被用作壓力流體，能夠抑制導(dǎo)電軸60的腐蝕，并且產(chǎn)生在隔片16中的靜電能夠可靠地被消除。
[0073]根據(jù)本實施例的閥設(shè)備1A并不局限于上述結(jié)構(gòu)。例如，如圖4所示，代替上述O形環(huán)80，閥設(shè)備1A可以在隔片16的凸起部分46的另一端表面形成有橫截面為半圓形的環(huán)形密封突起134。
[0074]環(huán)形密封突起134通過抵接大直徑部74的一個表面并且被大直徑部74按壓和擠壓而可彈性變形。因此，因為在隔片16和大直徑部74之間通過環(huán)形密封突起134形成密封，所以來自流體通道12和流向閥室86中的壓力流體的泄漏能夠被抑制。另外，因為環(huán)形密封突起134與凸起部分46是一體形成的，與上述O形環(huán)80布置在環(huán)形槽78中的結(jié)構(gòu)相t匕，所以部件的數(shù)目能夠減少。因此，閥設(shè)備1A的生產(chǎn)成本能夠進(jìn)一步降低。
[0075]如圖4所示的環(huán)形密封突起134的結(jié)構(gòu)可以被采用在根據(jù)第二實施例的閥設(shè)備1B中和根據(jù)第三實施例的閥設(shè)備1C中，以下將詳細(xì)描述。
[0076](第二實施例)
[0077]接著，將參考圖5到7描述根據(jù)本發(fā)明第二實施例的閥設(shè)備10B。根據(jù)本實施例的閥設(shè)備1B的構(gòu)造元件中與上述閥設(shè)備1A的對應(yīng)元件具有相同或相似功能和效果的元件由相同的參考符號來表示，并且這些特征的詳細(xì)說明被省略。相同的慣例適用于本發(fā)明的第三實施例，將在之后討論。
[0078]如圖5和6所示，在閥設(shè)備1B中，閥構(gòu)件18a和促動器20a的構(gòu)造與上述的閥構(gòu)件18和促動器20不同的。特別地，在組成閥構(gòu)件18a的隔片16a的凸起部分46a上，形成有孔138,該孔138未穿透凸起部分46a。形成在構(gòu)成促動器20a的導(dǎo)電軸60a的第一小直徑部72a的外表面上的螺紋與刻在孔138的內(nèi)周表面的螺紋螺合，從而將凸起部分46a固定到第一小直徑部72a。
[0079]閥設(shè)備1B進(jìn)一步配備有環(huán)形導(dǎo)電構(gòu)件140，環(huán)形導(dǎo)電構(gòu)件140以覆蓋關(guān)系被附接到基本上隔片16a的外邊緣50的整個外表面。導(dǎo)電構(gòu)件140例如通過沿著隔片16a的外表面50的截面形狀彎曲碳纖維制成的環(huán)形平板而形成。然而，導(dǎo)電構(gòu)件140并不局限于由碳纖維制成的實例，也可以由另一種導(dǎo)電材料，諸如耐腐蝕性的金屬材料等等構(gòu)成的。導(dǎo)電構(gòu)件140的一部分暴露于流體通道12，并且導(dǎo)電構(gòu)件140在表面接觸的狀態(tài)下與保持部62電連接。
[0080]在本實施例中，保持部62和磨損環(huán)102由導(dǎo)電材料諸如金屬材料，導(dǎo)電性樹脂等等構(gòu)成。更具體地，在本實施例中，導(dǎo)電構(gòu)件140、保持部62、磨損環(huán)102、活塞64、第一彈簧124、第二彈簧126和彈簧座128分別由導(dǎo)電材料構(gòu)成，并且彼此電連接。因此，導(dǎo)電構(gòu)件140通過接地線132接地。
[0081]根據(jù)本實施例,產(chǎn)生在隔片16a的一個表面上的靜電通過導(dǎo)電構(gòu)件140、保持部62、磨損環(huán)102、活塞64、第一彈簧124(第二彈簧126)和彈簧座128被導(dǎo)出到接地線132。因此，能夠抑制隔片中的靜電累積。因此，能夠利用簡單結(jié)構(gòu)可靠地抑制隔片16a的膜部分48的絕緣擊穿，并且能夠?qū)崿F(xiàn)降低制造成本。
[0082]進(jìn)一步，根據(jù)