以下將參考【附圖說明】和展示根據(jù)本發(fā)明的閥設(shè)備的優(yōu)選實(shí)施例。
[0035](第一實(shí)施例)
[0036]如圖1所示，閥設(shè)備1A構(gòu)造為雙通閥，并且包含:本體14，該本體14包括壓力流體流經(jīng)的流體通道12 ;閥構(gòu)件18，該閥構(gòu)件18具有打開和閉合流體通道12的隔片16 ;促動(dòng)器20，該促動(dòng)器20用于操作閥構(gòu)件18，和接地構(gòu)件(接地裝置)22。腐蝕流體(化學(xué)液體)例如超純水或者臭氧氣，例如，被用作壓力流體。然而該壓力流體可能包含除了上述腐蝕流體的流體。
[0037]本體14和隔片16是由非導(dǎo)電材料組成。對于該非導(dǎo)電材料，例如，抗腐蝕流體的腐蝕性的氟樹脂例如特氟龍(注冊商標(biāo))等等可以被使用。以這種方式，如果本體14和隔片16是由氟樹脂構(gòu)成，那么腐蝕液能夠適當(dāng)?shù)夭⑶矣行У乇挥米鲏毫α黧w。
[0038]在本體14中，形成有第一端口 24，第二端口 26，和流體通道12，通過該第一端口24壓力流體被引入，通過該第二端口 26壓力流體被排出，該流體通道12在第一端口 24和第二端口 26之間。
[0039]第一端口 24與由第一鎖緊螺母28固定的圖中未示的管的內(nèi)孔連通，并且第二端口 26與由第二鎖緊螺母30固定的圖中未示的管的內(nèi)孔連通。閥座(閥座構(gòu)件)32形成為組成流體通道12的壁部分，隔片16座設(shè)在閥座32上。
[0040]本體14包括圓筒形的安裝部分34，促動(dòng)器20安裝在其上。安裝部分34的內(nèi)周表面的一端側(cè)，設(shè)置有保持隔片16的外邊緣的隔片保持部36。
[0041]如圖2所示，隔片保持部36從安裝部分34的內(nèi)周表面在徑向向內(nèi)的方向上延伸，并且在其徑向內(nèi)端部分朝向安裝部分34的另一端側(cè)突出。換言之，朝向安裝部分34的另一端側(cè)開口的環(huán)形槽38形成在隔片保持部36上。進(jìn)一步，在指向安裝部分34另一端側(cè)的隔片保持部36的表面上，形成有橫截面為半圓形的環(huán)形密封突起40。
[0042]該閥構(gòu)件18包括:隔片16，該隔片16可位移地布置在組成本體14的安裝部分34的內(nèi)部；保護(hù)構(gòu)件42，該保護(hù)構(gòu)件42布置在隔片16上，和保持構(gòu)件44，該保持構(gòu)件44保持保護(hù)構(gòu)件42。隔片16包括:凸起部分46，凸起部分46組成隔片16的中心部并且在安裝部分34的軸線方向上延伸；薄壁膜部分48，薄壁膜部分48從凸起部分46的外周表面在徑向向外的方向上延伸；厚壁外邊緣50。
[0043]大致在凸起部分46的中心，形成有沿著安裝部分34的軸線方向貫穿的通孔52。凸起部分46的一端表面能夠座設(shè)在閥座32上。隔片16的膜部分48是能夠彈性變形的，或者換言之，是柔性的。
[0044]隔片16的外邊緣50從膜部分48的外周在徑向向外的方向上延伸，并且在其徑向向外端朝向安裝部分34的一端側(cè)突出。換言之，在隔片16的外邊緣50上，形成有環(huán)形突出部54，該環(huán)形突出部54布置在隔片保持部36的環(huán)形槽38中。一對環(huán)形密封突起56、58形成在環(huán)形突出部54的外周表面上，環(huán)形密封突起56、58具有半圓形橫截面并且彼此分離。
[0045]保護(hù)構(gòu)件42，例如，由諸如橡膠等等的彈性材料形成，并且通過布置在膜部分48的另一表面而保護(hù)隔片16的膜部分48的。保持構(gòu)件44的中心部分形成為圓筒形，并且保持構(gòu)件44的一端從中心部分徑向向外延伸從而這一端的直徑增加，因此保持構(gòu)件44的這一端從保護(hù)構(gòu)件42的另一側(cè)覆蓋保護(hù)構(gòu)件42。
[0046]促動(dòng)器20包括導(dǎo)電軸60,保持部62,活塞64,導(dǎo)向器接頭66,閥蓋68,偏壓機(jī)構(gòu)70。導(dǎo)電軸60由相對于壓力流體耐腐蝕的導(dǎo)電性樹脂或者金屬材料構(gòu)成。作為導(dǎo)電性樹月旨，例如，包含碳纖維的PPS(聚苯硫醚)樹脂可以被使用。
[0047]導(dǎo)電軸60與構(gòu)成本體14的安裝部分34的軸線同軸地布置，并且導(dǎo)電軸60包括:第一小直徑部72,該第一小直徑部72布置在隔片16的通孔52中；大直徑部74布置在第一小直徑部72的另一端；第二小直徑部76,該第二小直徑部76組成導(dǎo)電軸60的另一端側(cè)。
[0048]形成在第一小直徑部72的外表面上的螺紋與形成在通孔52的內(nèi)周表面的螺紋相螺合，從而固定第一小直徑部72。凸起部分46的外徑和大直徑部的外徑大致相同。第一小直徑部72的一端表面暴露于流體通道12。從圖2可以理解，在本實(shí)施例中，第一小直徑部72的一端表面和凸起部分46的一端表面是共平面的。然而，第一小直徑部72的一端表面可以位于相對于凸起部分46的一端表面更向一側(cè)或者另一側(cè)的位置。
[0049]大直徑部74和凸起部分46之間通過O形環(huán)80建立密封，O形環(huán)80是彈性構(gòu)件，并且布置在形成在凸起部分46的另一端表面上的環(huán)形槽78中。第二小直徑部76的外徑有些大于第一小直徑部72的外徑。
[0050]保持部62，例如，由任意材料諸如一種樹脂等等組成，并且包括外管狀部82，和內(nèi)管狀部84，該內(nèi)管狀部84整體地布置在外管狀部82 —端側(cè)的內(nèi)周表面上。外管狀部82和內(nèi)管狀部84分別布置成與導(dǎo)電軸60同軸。外管狀部82的全長比內(nèi)管狀部84的全長要大一些(長一些)。
[0051]刻在外管狀部82的外周表面的一端側(cè)的螺紋與形成在安裝部分34的內(nèi)周表面的另一端側(cè)的螺紋相螺合，從而將外管狀部82固定到安裝部分34。外管狀部82的一端表面抵接隔片16的外邊緣50。更具體地，隔片16的外邊緣50被夾持在隔片保持部36和保持部62的外管狀部82之間。
[0052]在這種情況下，隔片16的外邊緣50由于被隔片保持部36的環(huán)形密封突起40按壓而可彈性變形，并且外邊緣50的一對環(huán)形密封突起56，58由于抵接并且抵靠組成環(huán)形槽38的側(cè)壁表面被擠壓而彈性地變形。因此，隔片16和本體14之間的密封能夠被增強(qiáng)。此夕卜，在外管狀部82的端部上，形成通風(fēng)孔88，通風(fēng)孔88連通外部和閥室86之間，閥室86形成在隔片16和內(nèi)管狀部84之間。
[0053]在外管狀部82的中間位置，形成有用于引入和排出先導(dǎo)流體(壓力流體)的先導(dǎo)端口 90形成。用于附接和安裝閥蓋68的螺紋被刻在外管狀部82的另一端側(cè)的外周表面上。活塞阻尼器92通過內(nèi)管狀部84的另一端表面上的環(huán)形槽被安裝。
[0054]活塞阻尼器92，例如，由彈性材料形成，并且形成為環(huán)形，同時(shí)從環(huán)形槽朝向閥蓋68突出預(yù)定高度。通過設(shè)置這樣的活塞阻尼器92，當(dāng)隔片16座設(shè)在閥座32上時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)能夠被抑制。
[0055]活塞64由例如金屬材料或者導(dǎo)電性樹脂構(gòu)成。插入導(dǎo)電軸60的插入孔形成在活塞64中。插入孔的一端側(cè)的直徑擴(kuò)大從而使得導(dǎo)電軸60的大直徑部74能夠布置在其中。更具體地，通過擰緊螺母94，活塞64被夾持在墊圈96和大直徑部74之間，螺母94與形成在第二小直徑部76的另一端的螺紋相螺合。在這種情況下，組成活塞64的插入孔的壁表面與導(dǎo)電軸60的第二小直徑部76的外周表面保持接觸。換言之，活塞64與導(dǎo)電軸60電連接。此外，螺母94和墊圈96都是由金屬材料構(gòu)成的。
[0056]活塞64包括活塞桿98和活塞主體100，活塞桿98布置在內(nèi)管狀部84的內(nèi)孔中，活塞主體100布置活塞98的另一端，并且活塞主體100能夠沿著外管狀部82的內(nèi)周表面滑動(dòng)。保持構(gòu)件44抵接活塞桿98的一端表面。磨損環(huán)102通過活塞桿98的外周表面上的環(huán)形槽安裝。
[0057]當(dāng)活塞64在軸線方向上位移時(shí)，磨損環(huán)102在內(nèi)管狀部84的內(nèi)周表面上滑動(dòng)。因此，活塞64沿著軸線方向被高精度地引導(dǎo)。進(jìn)一步，在比磨損環(huán)102更靠近活塞桿98的另一端側(cè)的位置，桿密封圈104通過活塞桿98的外周表面上的環(huán)形槽被安裝。
[0058]活塞密封圈108通過活塞主體100的外周表面上的環(huán)形槽被安裝。在活塞主體100的另一表面上，形成有環(huán)形凹部110和圓形凹部112形成，圓形凹部112位于比環(huán)形凹部110更向內(nèi)的位置。更具體地，從圖1可以理解，圓形分隔壁形成在環(huán)形凹部110和圓形凹部112之間。
[0059]先導(dǎo)接頭66被夾持在本體14和閥蓋68之間，并且能夠通過先導(dǎo)端口 90從先導(dǎo)室106導(dǎo)入先導(dǎo)流體和將先導(dǎo)流體排出到先導(dǎo)室106，先導(dǎo)端口 90形成在外管狀部82中。先導(dǎo)室106包含由活塞64