本技術(shù)涉及真空閥門，尤其涉及一種可機(jī)械自鎖的閥件。

背景技術(shù)：

1、傳輸門的主要作用就是在維持既定真空度需求的同時(shí)，來傳輸各種產(chǎn)品。主要是工作在各種工藝腔體之間。目前傳輸門使用最多的場(chǎng)合就是半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓傳輸、液晶等有機(jī)面板的傳輸。這類產(chǎn)品有共同的特點(diǎn)就是極易被污染粒子損壞，因此傳輸門最重要的特性就是低粒子性。金屬閥門的粒子產(chǎn)生主要來源于金屬零部件之間的摩擦，會(huì)產(chǎn)生各種金屬碎屑。因此要提高傳輸門的低粒子性就需要盡可能避免發(fā)生金屬摩擦。目前國(guó)內(nèi)傳輸門多是閥板直上直下型運(yùn)動(dòng)，這樣會(huì)造成閥板與殼體的金屬摩擦，故當(dāng)前國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備公司多是采用進(jìn)口的低粒子傳輸門，這樣不僅增加了企業(yè)的成本，因?yàn)閲?guó)外的技術(shù)封鎖，也面臨著斷供的風(fēng)險(xiǎn)。因此目前傳輸門市場(chǎng)隨著國(guó)產(chǎn)化替代的興起，將會(huì)有巨大的前景。

2、當(dāng)前在傳統(tǒng)真空領(lǐng)域應(yīng)用較廣泛的傳輸門大都采用如下形式的設(shè)計(jì)：

3、?1.直接由單作用氣缸驅(qū)動(dòng)閥板進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)，通過傳統(tǒng)閥芯結(jié)構(gòu)進(jìn)行密封；

4、?2.同樣采用單作用氣缸驅(qū)動(dòng)閥板上下運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，將閥板密封圈改為異形結(jié)構(gòu)進(jìn)行擠壓密封；

5、但是以上形式的設(shè)計(jì)存在以下問題：

6、?1.開關(guān)閥時(shí)，閥芯金屬面與閥體金屬面直接接觸，易磨損產(chǎn)生粉塵和污染顆粒；

7、?2.異形密封圈的材料為橡膠，在多次擠壓后易產(chǎn)生嚴(yán)重磨損，進(jìn)而產(chǎn)生污染顆粒；

8、?3.上述兩種類型的傳輸門都未設(shè)置自鎖機(jī)構(gòu)，在沒有氣源的時(shí)候，無法保持關(guān)閉狀態(tài)，進(jìn)而影響腔體內(nèi)的真空度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中金屬閥門易磨損產(chǎn)生粉塵和污染顆粒、異形密封圈易磨損產(chǎn)生污染顆粒、未設(shè)置自鎖機(jī)構(gòu)導(dǎo)致無法保持關(guān)閉狀態(tài)的問題。

2、一種可機(jī)械自鎖的閥件，包括閥板，閥板外側(cè)套有閥板密封件，閥板下端連接有閥桿，閥桿通過波紋管與頂蓋連接，閥桿下端連接有驅(qū)動(dòng)座，驅(qū)動(dòng)座連桿連接兩側(cè)的自鎖連桿，閥桿豎直向下穿過頂蓋，頂蓋下端兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有第一氣缸以及第二氣缸，驅(qū)動(dòng)座連桿下端設(shè)置有驅(qū)動(dòng)座，驅(qū)動(dòng)座下端設(shè)置有底板。

3、進(jìn)一步地，還包括自鎖連桿兩側(cè)設(shè)置有導(dǎo)軌。

4、進(jìn)一步地，還包括第一氣缸以及第二氣缸由活塞桿組成，活塞桿上端連接有氣缸活塞，氣缸表面設(shè)置有軸向氣缸密封件以及徑向氣缸密封件。

5、進(jìn)一步地，所述第一氣缸以及第二氣缸上端與頂蓋接觸，活塞桿與驅(qū)動(dòng)座固定連接。

6、進(jìn)一步地，還包括驅(qū)動(dòng)座通過驅(qū)動(dòng)座連桿與運(yùn)動(dòng)座連接。

7、進(jìn)一步地，還包括運(yùn)動(dòng)座上固定有運(yùn)動(dòng)座滾輪以及驅(qū)動(dòng)座上固定有驅(qū)動(dòng)座滾輪，運(yùn)動(dòng)座滾輪運(yùn)動(dòng)在氣缸凹槽a內(nèi)，驅(qū)動(dòng)座滾輪運(yùn)動(dòng)在氣缸凹槽c。

8、進(jìn)一步地，還包括自鎖連桿上固定有自鎖連桿滾輪a和b，自鎖連桿滾輪a運(yùn)動(dòng)在氣缸凹槽b，滾輪b運(yùn)動(dòng)在導(dǎo)軌凹槽內(nèi)。

9、本實(shí)用新型的有益效果：

10、?1.傳輸門的機(jī)械自鎖功能：由于運(yùn)動(dòng)塊上連桿機(jī)構(gòu)和滑槽的特殊配合關(guān)系，會(huì)讓傳輸門在關(guān)閥到位后，發(fā)生機(jī)械自鎖。因此即使在整個(gè)系統(tǒng)斷電后或斷氣后，閥門仍可以保持關(guān)閥狀態(tài)，不會(huì)影響腔體的真空性；

11、?2.低粒子、低振動(dòng)功能：本申請(qǐng)的閥板開關(guān)閥運(yùn)動(dòng)軌跡類似“j”形，在法蘭連接殼內(nèi)均未發(fā)生任何金屬摩擦。法蘭連接殼與傳輸門殼體內(nèi)部通過波紋管連接，保證了真空度。因此閥門可保持低粒子性。運(yùn)動(dòng)塊帶動(dòng)閥桿閥門進(jìn)行開關(guān)閥運(yùn)動(dòng)都是依靠連桿及其上面的軸承在既定滑槽中運(yùn)動(dòng)，因此閥門的開關(guān)閥運(yùn)動(dòng)都較為平穩(wěn)，可保持低振動(dòng)功能。

技術(shù)特征：

1.一種可機(jī)械自鎖的閥件，其特征在于，包括閥板（1），閥板（1）外側(cè)套有閥板密封件（2），閥板（1）下端連接有閥桿（7），閥桿（7）通過波紋管（6）與頂蓋（3）連接，閥桿（7）下端連接有運(yùn)動(dòng)座（14），驅(qū)動(dòng)座連桿（12）連接兩側(cè)的自鎖連桿（8），閥桿（7）豎直向下穿過頂蓋（3），頂蓋（3）下端兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有第一氣缸（4）以及第二氣缸（5），驅(qū)動(dòng)座連桿（12）下端設(shè)置有驅(qū)動(dòng)座（11），驅(qū)動(dòng)座（11）下端設(shè)置有底板（9）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機(jī)械自鎖的閥件，其特征在于，還包括自鎖連桿（8）兩側(cè)設(shè)置有導(dǎo)軌（10）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機(jī)械自鎖的閥件，其特征在于，還包括第一氣缸（4）以及第二氣缸（5）由活塞桿（44）組成，活塞桿（44）上端連接有氣缸活塞（42），氣缸活塞（42）表面設(shè)置有軸向氣缸密封件（41）以及徑向氣缸密封件（43）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機(jī)械自鎖的閥件，其特征在于，所述第一氣缸（4）以及第二氣缸（5）上端與頂蓋（3）接觸，活塞桿（44）與驅(qū)動(dòng)座（11）固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機(jī)械自鎖的閥件，其特征在于，還包括驅(qū)動(dòng)座（11）通過驅(qū)動(dòng)座連桿（12）與運(yùn)動(dòng)座（14）連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機(jī)械自鎖的閥件，其特征在于，還包括運(yùn)動(dòng)座（14）上固定有運(yùn)動(dòng)座滾輪（141）以及驅(qū)動(dòng)座（11）上固定有驅(qū)動(dòng)座滾輪（111），運(yùn)動(dòng)座滾輪（141）運(yùn)動(dòng)在氣缸凹槽a（404）內(nèi)，驅(qū)動(dòng)座滾輪（111）運(yùn)動(dòng)在氣缸凹槽c（406）。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可機(jī)械自鎖的閥件，其特征在于，還包括自鎖連桿（8）上固定有自鎖連桿滾輪a和b，自鎖連桿滾輪a（81）運(yùn)動(dòng)在氣缸凹槽b(405），滾輪b（82）運(yùn)動(dòng)在導(dǎo)軌凹槽（101）內(nèi)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種可機(jī)械自鎖的閥件，包括閥板，閥板外側(cè)套有閥板密封件，閥板下端連接有閥桿，閥桿通過波紋管與頂蓋連接，閥桿下端連接有驅(qū)動(dòng)座，驅(qū)動(dòng)座連桿連接兩側(cè)的自鎖連桿，閥桿豎直向下穿過頂蓋，頂蓋下端兩側(cè)對(duì)稱設(shè)置有第一氣缸以及第二氣缸，驅(qū)動(dòng)座連桿下端設(shè)置有驅(qū)動(dòng)座，驅(qū)動(dòng)座下端設(shè)置有底板，傳輸門的機(jī)械自鎖功能：由于運(yùn)動(dòng)塊上連桿機(jī)構(gòu)和滑槽的特殊配合關(guān)系，會(huì)讓傳輸門在關(guān)閥到位后，發(fā)生機(jī)械自鎖。因此即使在整個(gè)系統(tǒng)斷電后或斷氣后，閥門仍可以保持關(guān)閥狀態(tài)，不會(huì)影響腔體的真空性；低粒子、低振動(dòng)功能：本申請(qǐng)?jiān)诜ㄌm連接殼內(nèi)均未發(fā)生任何金屬摩擦。法蘭連接殼與傳輸門殼體內(nèi)部通過波紋管連接，可保持低振動(dòng)功能。

技術(shù)研發(fā)人員：王蓮冀,魏瓊林,周思遙,林江,羅一
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都中科唯實(shí)儀器有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2024/12/19