本發(fā)明涉及機床和儀器技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種豎直方向使用的直驅(qū)精密氣體靜壓導(dǎo)軌副。

背景技術(shù)：

隨著現(xiàn)代產(chǎn)品零件精度要求的提高，其加工及其檢測設(shè)備的剛度和精度技術(shù)要求也更高，氣體靜壓導(dǎo)軌具有精度高的特點；尤其是多孔質(zhì)節(jié)流器的導(dǎo)軌副具有更高的剛度，適用于精密加工和測量領(lǐng)域。

在精密加工和檢測設(shè)備中，豎直方向運動是必需的。而豎直方向運動往往對導(dǎo)軌副的工藝性、精度和剛度要求更高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明實施例提供一種豎直方向使用的直驅(qū)精密氣體靜壓導(dǎo)軌副，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中豎直方向運動中遇到的問題，該導(dǎo)軌副具有精度高、對稱性好的特點，尤其適用于豎直方向的使用情況。

一種豎直方向使用的直驅(qū)精密氣體靜壓導(dǎo)軌副，包括正六棱柱狀的導(dǎo)向基體、能夠沿所述的導(dǎo)向基體滑動的溜板體以及安裝在所述的導(dǎo)向基體與所述的溜板體之間的第一直線電機和第二直線電機，所述的溜板體包括通過螺釘相連接安裝的第一子溜板體和第二子溜板體，所述的第一子溜板體具有第一側(cè)壁、第二側(cè)壁和第三側(cè)壁，所述的第一側(cè)壁上具有三個第一凹槽，所述的第三側(cè)壁上具有三個第三凹槽，所述的第一直線電機的定子通過第一過渡板安裝在所述的第二側(cè)壁上；所述的第二子溜板體具有第四側(cè)壁、第五側(cè)壁和第六側(cè)壁，所述的第四側(cè)壁上具有三個第四凹槽，所述的第六側(cè)壁上具有三個第六凹槽，所述的第二直線電機的定子通過第二過渡板安裝在所述的第五側(cè)壁上；所述的第一凹槽、所述的第三凹槽、所述的第四凹槽、所述的第六凹槽內(nèi)均固定設(shè)置有多孔質(zhì)陶瓷材料塊，所述的第一子溜板體與所述的第二子溜板體周向抱合在所述的導(dǎo)向基體的外壁上，所述的第一直線電機的動子與所述的第二直線電機的動子沿所述的導(dǎo)向基體的長度方向安裝在相對的側(cè)壁上，所述的第一子溜板體的端面上設(shè)置有第一氣管接頭和第三氣管接頭，所述的第一子溜板體內(nèi)開設(shè)有使所述的第一氣管接頭與各個所述的第一凹槽中的多孔質(zhì)陶瓷材料塊之間氣貫通的第一通道，所述的第一子溜板體內(nèi)開設(shè)有使所述的第三氣管接頭與各個所述的第三凹槽中的多孔質(zhì)陶瓷材料塊之間氣貫通的第三通道，所述的第二子溜板體的端面上設(shè)置有第四氣管接頭和第六氣管接頭，所述的第二子溜板體內(nèi)開設(shè)有使所述的第四氣管接頭與各個所述的第四凹槽中的多孔質(zhì)陶瓷材料塊之間氣貫通的第四通道，所述的第二子溜板體內(nèi)開設(shè)有使所述的第六氣管接頭與各個所述的第六凹槽中的多孔質(zhì)陶瓷材料塊之間氣貫通的第六通道。

優(yōu)選地，所述的第一凹槽、所述的第三凹槽、所述的第四凹槽及所述的第六凹槽的槽深度與多孔質(zhì)陶瓷材料塊的厚度相同。

優(yōu)選地，多孔質(zhì)陶瓷材料塊通過樹脂膠粘接在對應(yīng)的凹槽中。

優(yōu)選地，所述的第一直線電機、所述的第二直線電機均為平板直線電機。

優(yōu)選地，所述的第一子溜板體上具有第一安裝面，所述的第二子溜板體上具有第二安裝面，所述的第一子溜板體上具有凹部，從所述的凹部向所述的第一安裝面開設(shè)有供所述的螺釘穿過的通孔，從所述的第二安裝面向所述的第二子溜板體的內(nèi)部開設(shè)有與所述的螺釘相適配的螺紋孔。

優(yōu)選地，所述的溜板體為四棱柱體。

本發(fā)明的導(dǎo)軌副采用正六棱柱狀的導(dǎo)向基體，由兩個括弧型的子溜板體單元組成閉合的溜板體；采用其中的四個面作為氣體靜壓支承面，另外兩個對稱的側(cè)壁面分別安裝直線電機，實現(xiàn)導(dǎo)軌副支承和驅(qū)動的對稱布局；采用多孔質(zhì)節(jié)流器保證導(dǎo)軌副的支承剛性，該結(jié)構(gòu)具有精度高、對稱性好的特點，尤其適用于豎直方向的使用情況。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實施例提供的豎直方向使用的直驅(qū)精密氣體靜壓導(dǎo)軌副的主視圖；

圖2為本發(fā)明實施例提供的豎直方向使用的直驅(qū)精密氣體靜壓導(dǎo)軌副的側(cè)視圖；

圖3為本發(fā)明實施例提供的豎直方向使用的直驅(qū)精密氣體靜壓導(dǎo)軌副中的第一子溜板體的立體示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例提供的豎直方向使用的直驅(qū)精密氣體靜壓導(dǎo)軌副中的第二子溜板體的立體示意圖。

附圖標(biāo)記說明：

1-導(dǎo)向基體，2-第一子溜板體，21-第一側(cè)壁，211-第一凹槽，22-第二側(cè)壁，221-第一過渡板，23-第三側(cè)壁，231-第三凹槽，3-第二子溜板體，31-第四側(cè)壁，311-第四凹槽，32-第五側(cè)壁，321-第二過渡板，33-第六側(cè)壁，331-第六凹槽，4-第一直線電機的定子，5-第一直線電機的動子，6-第二直線電機的定子，7-第二直線電機的動子，8-第一氣管接頭，9-第三氣管接頭，10-第四氣管接頭，11-第六氣管接頭，12-多孔質(zhì)陶瓷材料塊，13-第一安裝面，14-第二安裝面，15-螺釘，16-螺紋孔。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

如圖1至圖4所示，一種豎直方向使用的直驅(qū)精密氣體靜壓導(dǎo)軌副，包括正六棱柱狀的導(dǎo)向基體1、能夠沿導(dǎo)向基體1滑動的溜板體以及安裝在導(dǎo)向基體1與溜板體之間的第一直線電機和第二直線電機，溜板體包括通過螺釘15相連接安裝的第一子溜板體2和第二子溜板體3，第一子溜板體2具有第一側(cè)壁21、第二側(cè)壁22和第三側(cè)壁23，第一側(cè)壁21上具有三個第一凹槽211，第三側(cè)壁23上具有三個第三凹槽231，第一直線電機的定子4通過第一過渡板221安裝在第二側(cè)壁22上；第二子溜板體3具有第四側(cè)壁31、第五側(cè)壁32和第六側(cè)壁33，第四側(cè)壁31上具有三個第四凹槽311，第六側(cè)壁33上具有三個第六凹槽331，第二直線電機的定子6通過第二過渡板321安裝在第五側(cè)壁32上；第一凹槽211、第三凹槽231、第四凹槽311、第六凹槽331內(nèi)均固定設(shè)置有多孔質(zhì)陶瓷材料塊12，第一子溜板體2與第二子溜板體3周向抱合在導(dǎo)向基體1的外壁上，第一直線電機的動子5與第二直線電機的動子7沿導(dǎo)向基體1的長度方向安裝在相對的側(cè)壁上，第一子溜板體2的端面上設(shè)置有第一氣管接頭8和第三氣管接頭9，第一子溜板體2內(nèi)開設(shè)有使第一氣管接頭8與各個第一凹槽211中的多孔質(zhì)陶瓷材料塊12之間氣貫通的第一通道，第一子溜板體2內(nèi)開設(shè)有使第三氣管接頭9與各個第三凹槽231中的多孔質(zhì)陶瓷材料塊12之間氣貫通的第三通道，第二子溜板體3的端面上設(shè)置有第四氣管接頭10和第六氣管接頭11，第二子溜板體3內(nèi)開設(shè)有使第四氣管接頭10與各個第四凹槽311中的多孔質(zhì)陶瓷材料塊12之間氣貫通的第四通道，第二子溜板體3內(nèi)開設(shè)有使第六氣管接頭11與各個第六凹槽331中的多孔質(zhì)陶瓷材料塊12之間氣貫通的第六通道，第一凹槽211、第三凹槽231、第四凹槽311及第六凹槽331的槽深度與多孔質(zhì)陶瓷材料塊12的厚度相同，即移動時，多孔質(zhì)陶瓷材料塊12的表面與導(dǎo)向基體1的表面相貼；前述的多孔質(zhì)陶瓷材料塊12通過樹脂膠粘接在對應(yīng)的凹槽中，上述的第一直線電機、第二直線電機均為平板直線電機，第一子溜板體2上具有第一安裝面13，第二子溜板體3上具有第二安裝面14，第一子溜板體2上具有凹部，從凹部向第一安裝面13開設(shè)有供螺釘15穿過的通孔，從第二安裝面14向第二子溜板體3的內(nèi)部開設(shè)有與螺釘15相適配的螺紋孔16，從外部看，上述的溜板體為四棱柱體，上述的第一氣管接頭8、第三氣管接頭9、第四氣管接頭10及第六氣管接頭11均連接至壓縮氣源。

本實施例中的第一子溜板體2和第二子溜板體3通過螺釘15剛性聯(lián)結(jié)后構(gòu)成閉式的內(nèi)壁截面為六邊形的溜板體，以六邊形截面方枕作為導(dǎo)向基體1；此種六邊形的氣體靜壓導(dǎo)軌副采用四面作為支承面，實現(xiàn)支承面的對稱布置，可以實現(xiàn)較高的運動直線度和結(jié)構(gòu)剛性以及較高的運動定位和重復(fù)精度，并最小化溫度波動所造成的變形。

本發(fā)明的導(dǎo)軌副采用正六棱柱狀的導(dǎo)向基體，由兩個括弧型的子溜板體單元組成閉合的溜板體；采用其中的四個面作為氣體靜壓支承面，另外兩個對稱的側(cè)壁面分別安裝直線電機，實現(xiàn)導(dǎo)軌副支承和驅(qū)動的對稱布局；采用多孔質(zhì)節(jié)流器保證導(dǎo)軌副的支承剛性，該結(jié)構(gòu)具有精度高、對稱性好的特點，尤其適用于豎直方向的使用情況。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。