分子泵靜隔環(huán)與泵殼的緊固結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種分子泵靜隔環(huán)與泵殼的緊固結(jié)構(gòu)，包括底盤（1），密封圈（2），泵殼（3），靜片（4），靜隔環(huán)（6），調(diào)整環(huán)（7），彈性元件（8），其中靜隔環(huán)（6）層疊安裝在底盤（1）上，調(diào)整環(huán)（7）安裝在自下往上最末一層靜隔環(huán)上，彈性元件（8）安裝在調(diào)整環(huán)（7）上，泵殼通過彈性元件（8）將調(diào)整環(huán)和靜隔環(huán)壓緊，并與底盤（1）有效接觸，達到整個裝配、緊固效果。該實用新型的緊固結(jié)構(gòu)裝配工藝簡單、零件互換性好、裝配效率高。
【專利說明】
分子泵靜隔環(huán)與泵殼的緊固結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)。具體地說是一種裝配工藝簡單、零件互換性好、裝配效率高的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]分子栗屬于一種高速高精密高端真空獲得設(shè)備，靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子表面將動量傳遞給氣體分子使其沿著轉(zhuǎn)子表面的運動方向產(chǎn)生定向流動而實現(xiàn)抽氣，主要用來獲得高真空及超高真空，其設(shè)計技術(shù)、制造工藝技術(shù)及裝配技術(shù)要求很高。市場上現(xiàn)有分子栗的靜葉片均由靜隔環(huán)和調(diào)整環(huán)定位與緊固，而靜隔環(huán)和調(diào)整環(huán)則由栗殼沿軸向方向壓緊，栗殼與底盤之間通過螺栓聯(lián)接而實現(xiàn)緊固。如圖1所示，栗殼內(nèi)法蘭下端面直接與調(diào)整環(huán)上端面接觸而傳遞壓緊力，為了讓靜隔環(huán)、調(diào)整環(huán)與靜片達到預(yù)期的緊固效果，栗殼下端法蘭面與底盤之間沿軸向方向需留有一定的裝配間隙。這種結(jié)構(gòu)由于多層靜片、靜隔環(huán)與調(diào)整環(huán)之間的裝配累積誤差可控性較差，大多數(shù)情況下，調(diào)整環(huán)的軸向尺寸需在裝配過程中配制，裝配工藝繁瑣，零件互換性差，效率低下，而且由于栗殼下端法蘭面與底盤之間在軸向方向有裝配間隙，會一定程度上影響整個產(chǎn)品的外觀效果。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為此，本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中裝配工藝繁瑣，零件互換性差，效率低下的問題，提供一種裝配工藝簡單、零件互換性好、裝配效率高的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的一種分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)，包括底盤;密封圈;栗殼;靜片;靜隔環(huán);調(diào)整環(huán);還包括彈性元件，所述靜隔環(huán)層疊安裝在所述底盤上，所述調(diào)整環(huán)安裝在自下往上最末一層靜隔環(huán)上，所述栗殼通過所述彈性元件將所述調(diào)整環(huán)和所述靜隔環(huán)沿軸向方向壓緊，并與所述底盤有效接觸，所述底盤與所述栗殼之間通過螺栓組聯(lián)接緊固，達到整個裝配、緊固效果。
[0005]上述的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)，所述彈性元件沿軸向設(shè)于所述栗殼與所述調(diào)整環(huán)之間，且所述調(diào)整環(huán)上端面與所述彈性元件下端面接觸，所述彈性元件上端面與所述栗殼內(nèi)法蘭下端面接觸。
[0006]上述的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)，所述彈性元件可以是與所述栗殼同軸安裝的單個蝶形彈簧或蝶形彈簧組，也可以是以所述栗殼軸心線為中心并呈圓周均勻布置的壓縮彈簧組。
[0007]本實用新型的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點:本實用新型所述的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)在所述調(diào)整環(huán)與所述栗殼之間設(shè)有彈性元件，裝配過程中多層靜片、靜隔環(huán)的累積裝配誤差由所述彈性元件補償，所述調(diào)整環(huán)的軸向尺寸不需配制，直接按設(shè)計要求加工制作即可，且裝配時，所述栗殼通過所述彈性元件將所述調(diào)整環(huán)和所述靜隔環(huán)沿軸向方向壓緊，并與所述底盤有效接觸，所述底盤與所述栗殼之間通過螺栓組聯(lián)接緊固，達到整個裝配、緊固效果。裝配工藝簡單、零件互換性好、裝配效率高、維護維修方便，且所述栗殼下端法蘭面與所述底盤之間無裝配間隙，整體外觀效果佳。
【附圖說明】
[0008]為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本實用新型的具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中。
[0009]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2是本實用新型的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中附圖標記表示為:1-底盤、2-密封圈、3-栗殼、4-靜片、6-靜隔環(huán)、7-調(diào)整環(huán)、8-彈性元件。
【具體實施方式】
[0012]以下結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細說明。應(yīng)當理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。
[0013]如圖2所示，本實用新型的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)，包括底盤I;密封圈2;栗殼3;靜片4;靜隔環(huán)6;調(diào)整環(huán)7;還包括彈性元件8，所述彈性元件8采用蝶形彈簧，所述靜隔環(huán)6層疊安裝在所述底盤I上，所述調(diào)整環(huán)7安裝在自下往上最末一層靜隔環(huán)上，所述彈性元件8沿軸向設(shè)于所述栗殼3與所述調(diào)整環(huán)7之間，且所述調(diào)整環(huán)7上端面與所述彈性元件8下端面接觸，所述彈性元件8上端面與所述栗殼3內(nèi)法蘭下端面接觸，所述栗殼3通過所述彈性元件8將所述調(diào)整環(huán)7和所述靜隔環(huán)6沿軸向方向壓緊，并與所述底盤I有效接觸，所述底盤I與所述栗殼3之間通過螺栓組聯(lián)接緊固，達到整個裝配、緊固效果。該結(jié)構(gòu)由于在所述調(diào)整環(huán)7與所述栗殼3之間設(shè)有彈性元件8，裝配過程中多層靜片、靜隔環(huán)的累積裝配誤差由所述彈性元件8補償，所述調(diào)整環(huán)7的軸向尺寸不需配制，直接按設(shè)計要求加工制作即可，裝配工藝簡單、零件互換性好、裝配效率高、維護維修方便，且所述栗殼3下端法蘭面與所述底盤I之間無裝配間隙，整體外觀效果佳。
[0014]本實用新型的實施例不限制所述彈性元件的選型方式，技術(shù)人員可根據(jù)實際需要采用不同的彈性元件。
[0015]顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本實用新型創(chuàng)造的保護范圍之中。
【主權(quán)項】
1.一種分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)，包括底盤(I);栗殼(3);靜隔環(huán)(6);調(diào)整環(huán)(7)，其特征在于:還包括彈性元件(8)，所述栗殼(3)通過所述彈性元件(8)將所述調(diào)整環(huán)(7)和所述靜隔環(huán)(6)沿軸向方向壓緊。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述彈性元件(8)沿軸向設(shè)于所述栗殼(3)與所述調(diào)整環(huán)(7)之間，且所述調(diào)整環(huán)(7)上端面與所述彈性元件(8)下端面接觸，所述彈性元件(8)上端面與所述栗殼(3)內(nèi)法蘭下端面接觸。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分子栗靜隔環(huán)與栗殼的緊固結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述彈性元件(8)可以是與所述栗殼(3)同軸安裝的單個蝶形彈簧或蝶形彈簧組，也可以是以所述栗殼(3)軸心線為中心并呈圓周均勻布置的壓縮彈簧組。
【文檔編號】F04D19/04GK205605459SQ201620361485
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年4月26日
【發(fā)明人】劉安良, 何毅, 唐洪
【申請人】成都舒派博真空技術(shù)有限公司