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微型氣體傳輸裝置的制作方法

文檔序號:11844110閱讀:來源:國知局
技術總結
一種微型氣體傳輸裝置,包括堆疊設置的進氣板、進氣板、共振片以及壓電致動器,其中進氣板具有至少一進氣孔、至少一總線孔及中心孔洞;共振片具有中空孔洞;壓電致動器具有懸浮板、外框及連接于其間的至少一支架,于懸浮板的一表面貼附壓電陶瓷板;其中共振片與壓電致動器之間具有一間隙形成的第一腔室,當壓電致動器受驅動時,氣體由進氣板的進氣孔進入,并由總線孔匯集至中心孔洞,經共振片的中空孔洞,以進入第一腔室內,再由壓電致動器的支架之間的空隙向下傳輸,以形成壓力梯度流道持續(xù)推出氣體。

技術研發(fā)人員:陳世昌;廖家淯;黃哲威;韓永隆;黃啟峰
受保護的技術使用者:研能科技股份有限公司
文檔號碼:201620094426
技術研發(fā)日:2016.01.29
技術公布日:2016.11.30

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