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微型氣體傳輸裝置的制作方法

文檔序號:11844110閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種微型氣體傳輸裝置,適用于一微型氣壓動力裝置,其特征在于包括:

一進氣板,具有至少一進氣孔、至少一總線孔及構成一匯流腔室的一中心凹部,該至少一進氣孔供導入氣體,該總線孔對應該進氣孔,且引導該進氣孔的氣體匯流至該中心凹部所構成的該匯流腔室;

一共振片,具有一中空孔洞,對應該進氣板的該匯流腔室;以及

一壓電致動器,具有:

一懸浮板,該懸浮板具有介于8mm-12mm之間的長度、介于8mm-12mm之間的寬度以及介于0.2mm-0.29mm之間的厚度;

一外框,具有至少一支架,連接設置于該懸浮板及該外框之間;以及

一壓電陶瓷板,貼附于該懸浮板的一表面,且該壓電陶瓷板具有介于8mm-12mm之間的長度、介于8mm-12mm之間寬度以及介于0.08mm-0.2mm之間的厚度,該長度及該寬度比值為0.75倍-1.25倍之間;

其中,上述的該進氣板、該共振片及該壓電致動器依序對應對疊設置定位,且該共振片與該壓電致動器之間具有一間隙形成一第一腔室,以使該壓電致動器受驅動時,氣體由該進氣板的該至少一進氣孔導入,經(jīng)該至少一總線孔匯集至該中心凹部,再流經(jīng)該共振片的該中空孔洞,以進入該第一腔室內(nèi),再由該壓電致動器的該至少一支架之間的一空隙向下傳輸,以持續(xù)推出氣體。

2.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,操作頻率為18.5k、操作電壓為±16V,其最大輸出氣壓是達到300mmHg。

3.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該壓電陶瓷板的長度為10mm、寬度為10mm、厚度為0.10mm。

4.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該懸浮板的長度為10.1mm、寬度為10.1mm、厚度為0.26mm。

5.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該懸浮板更包括一凸部,其高度介于0.02mm-0.08mm之間。

6.如權利要求5所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該凸部的高度為0.03mm。

7.如權利要求5所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該凸部為一圓形凸起結構,直徑為5.5mm。

8.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該進氣板由一不銹鋼材質所構成,厚度介于0.4mm-0.6mm之間。

9.如權利要求8所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該進氣板的厚度為0.5mm。

10.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該共振片由一銅材質所構成,厚度介于0.03mm-0.08mm之間。

11.如權利要求10所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該共振片的厚度為0.05mm。

12.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于其更包括至少一絕緣片及一導電片,且該至少一絕緣片及該導電片依序設置于該壓電致動器之下。

13.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該壓電致動器的該外框由一不銹鋼材質所構成,厚度介于0.2mm-0.4mm之間。

14.如權利要求13所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該壓電致動器的該外框的厚度為0.3mm。

15.如權利要求1所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該壓電致動器的該支架的兩端點連接該外框、一端點連接該懸浮板。

16.一種微型氣體傳輸裝置,適用于一微型氣壓動力裝置,其特征在于包括:

一進氣板;

一共振片;以及

一壓電致動器;

其中,上述的該進氣板、該共振片及該壓電致動器依序對應堆疊設置定位,且該共振片與該壓電致動器之間具有一間隙形成一第一腔室,該壓電致動器受驅動時,氣體由該進氣板進入,流經(jīng)該共振片,以進入該第一腔室內(nèi)再傳輸氣體;

該進氣板具有至少一進氣孔、至少一總線孔及一中心凹部,該至少一進氣孔供導入氣體,該總線孔對應該進氣孔,且引導該進氣孔的氣體匯流至該中心凹部;該共振片具有一中空孔洞,對應該進氣板的該中心凹部;以及該壓電致動器具有一懸浮板及一外框,該懸浮板及該外框之間以至少一支架連接,且于該懸浮板的一表面 貼附一壓電陶瓷板。

17.如權利要求16所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該壓電陶瓷板具有介于8mm-12mm之間的長度、介于8mm-12mm之間的寬度以及介于0.08mm-0.2mm之間的厚度,該長度及該寬度比值為0.75倍-1.25倍之間。

18.如權利要求17所述的微型氣體傳輸裝置,其特征在于,該壓電陶瓷板的長度為10mm、寬度為10mm、厚度為0.10mm。

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