專利名稱：一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空裝置，具體指一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置。
背景技術(shù)：
航天應(yīng)用紅外探測器的可靠性要求高，在探測器的生產(chǎn)研制過程中，需要對產(chǎn)品進(jìn)行測試、試驗(yàn)等一些了的操作，在這些過程中，均需要給紅外探測器提供真空環(huán)境，一般的，紅外探測器置于杜瓦中來獲得真空環(huán)境，而杜瓦真空的獲得則是由排氣裝置來實(shí)現(xiàn)。在目前應(yīng)用于紅外探測器排氣的裝置中，主要是采用單個(gè)或幾個(gè)工位的排氣臺(tái)手動(dòng)進(jìn)行排氣，排氣效率低，各工位間的排氣進(jìn)程相互影響，設(shè)備自適應(yīng)能力差。本發(fā)明提供了一種新型的用于紅外探測器的多工位排氣裝置，解決了目前存在的問題，可以多達(dá)20個(gè)工位同時(shí)排氣，各工位間互不干涉，且可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化智能排氣。

發(fā)明內(nèi)容
基于上述研究紅外探測器壽命試驗(yàn)的困難，本專利公開了一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置，其包括主腔體、主腔體密封閥、杜瓦密封閥、分子泵、插板閥、旁抽閥、機(jī)械泵、前級閥，其特征在于紅外探測器用真空排氣裝置結(jié)構(gòu)簡單、易于拆裝、工位數(shù)目多、真空度能達(dá)到一個(gè)較高的水平、主腔體與工位的壓強(qiáng)差小、裝置選用的所有閥門和泵組均可進(jìn)行自動(dòng)化控制。其中:所述的主腔體是一個(gè)圓餅狀的腔體，其上表面的圓周上均勻分布多個(gè)法蘭外接接頭，同時(shí)主腔體下底面有多個(gè)外接接頭；所述的主腔體密封閥(2)、插板閥(4)、旁抽閥(5)及前級閥(7)為超高真空氣動(dòng)閥；所述的裝置的密封形式均為金屬密封，其中，僅VCR拆卸處采用鎳圈密封，其余的接口處均采用無氧銅圈密封；主腔體作為整個(gè)真空排氣裝置的公共真空室，其上表面的圓周上均勻分布多個(gè)外接法蘭接頭G將公共室分為多個(gè)分支。其中I個(gè)分支為測量工位，法蘭接頭后安裝真空計(jì)。其余為排氣工位，每一個(gè)法蘭接頭后一個(gè)主腔體密封閥ZX、一個(gè)柔性轉(zhuǎn)接頭CX，其中CX帶有VCR快速拆裝接頭，可與待排杜瓦進(jìn)行對接。主腔體的排氣采用分子泵為主泵，機(jī)械泵為前級泵的方式實(shí)現(xiàn)，主腔體公共真空室與泵組間有兩個(gè)排氣通道:1、旁抽通道:旁抽閥連通主腔體至機(jī)械泵，旁通閥的一端與主腔體下底面法蘭A對接，旁通閥的另一端與機(jī)械泵進(jìn)氣口處的三通的C法蘭對接；構(gòu)成真空裝置的旁抽通道；2、主抽通道:插板閥連通主腔體至分子泵進(jìn)氣口，插板閥的一端與主腔體的B法蘭接頭對接，插板閥的另一端與分子泵進(jìn)氣口 D法蘭接頭對接；然后前級閥連通分子泵排氣口至機(jī)械泵，前級閥的一端與分子泵出氣口 E法蘭對接，前級閥的另一端與機(jī)械泵進(jìn)氣口處的三通的F法蘭對接；本發(fā)明的最大優(yōu)點(diǎn)是:紅外探測器用真空排氣裝置結(jié)構(gòu)簡單、易于拆裝，工位數(shù)目多，真空度能達(dá)到一個(gè)較高的水平、主腔體與工位的壓強(qiáng)差小、裝置選用的所有閥門和泵組均可進(jìn)行自動(dòng)化控制。


圖1為本發(fā)明的俯視圖。圖2本發(fā)明的前視圖。圖中標(biāo)號說明:1、柔性轉(zhuǎn)接頭CX ;2、主腔體密封閥ZX ;3、主腔體；4、真空計(jì)；5、插板閥；6、旁抽閥；7、前級閥；8、分子泵；9、機(jī)械泵；
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖1、2，對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的詳細(xì)說明:其中，主腔體密封閥、前級閥、旁抽閥為VAT的高真空氣動(dòng)閥門GE11，分子泵采用的是美國Agilent的潤輪分子泵泵TV551,插板閥采用沈陽科儀超高真空插板閥CCQ-J,機(jī)械泵采用美國Agilent的干泵TRISCR0LL300，真空計(jì)采用美國Agilent的一體式全量程規(guī)FRG700。柔性轉(zhuǎn)接頭CX為CF35轉(zhuǎn)VCR3/8柔性接頭，A、C、G法蘭為CF35法蘭，B、D法蘭為CF100，法蘭為CF35法蘭，E、F法蘭為KF25法蘭。排氣裝置中主腔體作為整個(gè)真空排氣裝置的公共真空室，其圓周上均勻分布21個(gè)G法蘭外接接頭將公共室分為21個(gè)分支。其中I個(gè)分支為測量工位，接頭后安裝真空計(jì)FRG700。其余20個(gè)分支為排氣工位，每一個(gè)接頭后一個(gè)主腔體密封閥ZX、一個(gè)柔性轉(zhuǎn)接頭CX，其中CX的VCR3/8為快速拆裝接頭，可與待排杜瓦進(jìn)行對接。以主腔體為參照物，自內(nèi)而外分布的有:1、圓形主腔體，腔體圓周上均勻分布21個(gè)G法蘭外接接頭；2、主腔體密封閥ZX和真空計(jì)，前者數(shù)目20個(gè)，后者數(shù)目為I個(gè)，一端與G法蘭外接接頭，另一端與柔性轉(zhuǎn)接頭CX的CF35法蘭端對接，-密封圈為無氧銅片；3、柔性轉(zhuǎn)接頭CX，數(shù)目20個(gè)，其為CF35-VCR3/8柔性波紋管，它的一端與主腔體G外接接頭，密封圈為無氧銅片，另一端帶有VCR快速拆裝接頭，可與待排杜瓦進(jìn)行對接；以主腔體為參照物，自上而下分布的分別有兩個(gè)排氣通道:1、旁抽通道:旁抽閥連通主腔體至機(jī)械泵，旁通閥的一端與主腔體下底面法蘭A對接，旁通閥的另一端與機(jī)械泵進(jìn)氣口處的三通的C法蘭對接；構(gòu)成真空裝置的旁抽通道；2、主抽通道:插板閥連通主腔體至分子泵進(jìn)氣口，插板閥的一端與主腔體的B法蘭接頭對接，插板閥的另一端與分子泵進(jìn)氣口 D法蘭接頭對接；然后前級閥連通分子泵排氣口至機(jī)械泵，前級閥的一端與分子泵出氣口 E法蘭對接，前級閥的另一端與機(jī)械泵進(jìn)氣口處的三通的F法蘭對接。
權(quán)利要求
1.一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置，其包括主腔體(I)、主腔體密封閥(2)、分子泵(3)、插板閥(4)、旁抽閥(5)、機(jī)械泵(6)和前級閥(7)，其特征在于: 所述的主腔體(I)是一個(gè)圓餅狀的腔體，其圓周上均勻分布多個(gè)個(gè)法蘭外接接頭，同時(shí)主腔體下底面有多個(gè)法蘭外接接頭； 所述的主腔體密封閥(2)、插板閥(4)、旁抽閥(5)及前級閥(7)為超高真空氣動(dòng)閥；所述的裝置的密封形式均為金屬密封，其中，僅VCR拆卸處采用鎳圈密封，其余的接口處均采用無氧銅圈密封； 主腔體(I)作為整個(gè)真空排氣裝置的公共真空室，其圓周上均勻分布多個(gè)外接接頭將公共室分為多個(gè)分支，其中I個(gè)分支為測量工位，其余分支為排氣工位；每個(gè)分支排氣工位后均有一個(gè)主腔體密封閥ZX (2)和一個(gè)柔性轉(zhuǎn)接頭CX，其中CX帶有為VCR快速拆裝接頭，可與待排杜瓦進(jìn)行對接；主腔體公共真空室與泵組間有兩個(gè)排氣通道:其一為旁抽通道，旁抽閥(5)連通主腔體至機(jī)械泵(6);其一為主抽通道，插板閥(4)連通主腔體至分子泵(3 )，然后前級閥(7 )連通分子泵至機(jī)械泵。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種紅外探測器用多工位真空排氣裝置，其包括主腔體、主腔體密封閥、分子泵、插板閥、旁抽閥、機(jī)械泵及前級閥。主腔體為整個(gè)真空排氣裝置的公共真空室，其圓周上分布多個(gè)外接接頭，將公共室分為多個(gè)排氣支路。主腔體公共真空室與泵組間有兩個(gè)排氣通道。所有閥門均為超高真空氣動(dòng)閥。裝置的密封形式均為金屬密封。該紅外探測器用真空排氣裝置結(jié)構(gòu)簡單、易于拆裝、工位數(shù)目多、真空度能達(dá)到較高水平、主腔體與工位的壓強(qiáng)差小、選用的所有閥門和泵組均可自動(dòng)化控制。
文檔編號F04B41/00GK103089592SQ20131004010
公開日2013年5月8日 申請日期2013年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月31日
發(fā)明者曹嵐, 張海燕, 朱憲亮, 莊馥隆, 季鵬, 陸華杰, 龔海梅 申請人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所