技術特征：

技術總結
一種電鍍系統(tǒng)包括具有容器的處理器，所述容器具有分別含有陰極電解液和陽極電解液的第一或上隔室和第二或下隔室，在所述隔室之間存在處理器陰離子隔膜。惰性陽極安置在所述第二隔室中。補充器經(jīng)由陰極電解液返回線和供應線和陽極電解液返回線和供應線與所述容器連接，從而使陰極電解液和陽極電解液流通經(jīng)過由補充器陰離子隔膜分離的所述補充器中的隔室。所述補充器通過移動來自塊體金屬源的離子將金屬離子添加到所述陰極電解液中，并且將來自所述陽極電解液的陰離子移動穿過所述陰離子隔膜并且到所述陰極電解液中。所述陰極電解液和所述陽極電解液中的金屬離子和陰離子的濃度保持平衡。

技術研發(fā)人員：保羅·R·麥克休;格雷戈里·J·威爾遜
受保護的技術使用者：應用材料公司
技術研發(fā)日：2016.11.11
技術公布日：2017.07.07