技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種團(tuán)簇離子束納米加工設(shè)備，包括進(jìn)料裝置、分級(jí)負(fù)壓發(fā)生器、主軸電機(jī)、壓力腔、物料預(yù)處理單元、納米團(tuán)簇離子束單元、納米團(tuán)簇粒徑實(shí)時(shí)檢測(cè)單元、出料裝置以及電氣控制系統(tǒng)；還提供了一種團(tuán)簇離子束納米加工方法，包括對(duì)所述物料進(jìn)行預(yù)處理，研磨成游離磨料；實(shí)時(shí)檢測(cè)所述游離磨料粒徑，當(dāng)所述游離磨料達(dá)到亞微米級(jí)時(shí)，進(jìn)行偏轉(zhuǎn)、加速和對(duì)撞加工，分解成納米團(tuán)簇；實(shí)時(shí)檢測(cè)所述納米團(tuán)簇粒徑，滿足設(shè)定條件時(shí)進(jìn)行卸料。本發(fā)明通過實(shí)時(shí)檢測(cè)納米團(tuán)簇粒徑，保證了納米團(tuán)簇粒徑的一致性和穩(wěn)定性；采用游離磨料預(yù)處理和納米團(tuán)簇的能量束碰撞相結(jié)合的加工方式，保證納米材料的粒徑和純度要求，最大限度地減少組份偏差和物相污染。

技術(shù)研發(fā)人員：李應(yīng)高;楊光永
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佛山旋瘋納米科技有限公司
文檔號(hào)碼：201611153306
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.14
技術(shù)公布日：2017.06.13