技術(shù)編號：12634817
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及納米材料加工領(lǐng)域，尤其涉及的是一種團(tuán)簇離子束納米加工設(shè)備及其加工方法。背景技術(shù)納米材料又稱之為超微晶材料，其團(tuán)簇粒徑介于1nm至100nm之間，具有小尺寸效應(yīng)、量子效應(yīng)、界面效應(yīng)和表面效應(yīng)等獨(dú)特而優(yōu)異的物理性能，在陶瓷、微電子、化工、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。近十年來，圍繞納米材料的制備方法、性能測試和理論解釋已成為各國研究的熱點(diǎn)問題，取得了豐碩的理論研究和應(yīng)用研究成果。就納米材料的加工技術(shù)而言，主要有物理蒸發(fā)冷凝法、機(jī)械球磨法、分子束外延法、化學(xué)氣相沉積法、液相沉積法等制備方法。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。