技術總結
用于實現(xiàn)混合集成的部件的措施，其電容器裝置可實現(xiàn)高靈敏度的信號檢測和MEMS構件的微機械結構的靈敏控制。混合集成的部件包括延伸在MEMS襯底的整個厚度上的MEMS構件（20），微機械結構的至少一個結構元件可偏轉并且與包括可運動的電極（51）和固定的電極（52）的至少一個電容器裝置作用連接；還包括具有電容器裝置的電極（52）的ASIC構件（10）。MEMS構件裝配在ASIC構件上，在微機械結構和ASIC構件的表面之間存在間隙（21）。從ASIC構件的層結構中脫離出電容器裝置的至少一個電極（51）并且替代地機械和電地連接在MEMS構件的可偏轉的結構元件（23）上，從而電極（51）作為電容器裝置的運動的電極起作用。

技術研發(fā)人員：J·克拉森
受保護的技術使用者：羅伯特·博世有限公司
文檔號碼：201310146970
技術研發(fā)日：2013.04.25
技術公布日：2017.04.12