一種電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置,屬于電真空專用設(shè)備，特別適合于真空鍍膜、CVD氣相沉積、真空爐、等離子刻蝕、半導(dǎo)體惰性氣體保護(hù)封裝等需要充入穩(wěn)定均勻的特殊氣體下的工作環(huán)境，多種氣體充入混氣罐后經(jīng)過自然混合均勻，進(jìn)入需要特殊氣氛的設(shè)備，達(dá)到設(shè)備的工藝要求，主要包括：混氣合氣體罐I、混氣罐II、不銹鋼進(jìn)氣管、不銹鋼出氣管四大部分組成，具有結(jié)構(gòu)簡單可靠、工藝性好、成本低廉，具有極高的技術(shù)和經(jīng)濟價值。
【專利說明】
一種電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及電子專用設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種適合于真空鍍膜、CVD氣相沉積、真空爐、等離子刻蝕、半導(dǎo)體惰性氣體保護(hù)封裝等需要充入穩(wěn)定均勻特殊氣體下的工作環(huán)境，設(shè)備具有結(jié)構(gòu)簡單可靠、工藝性好、成本低廉，具有極高的技術(shù)和經(jīng)濟價值。
【背景技術(shù)】
[0002]氣體快速混合裝置主要用于真空鍍膜、CVD氣相沉積、等離子刻蝕、半導(dǎo)體惰性氣體封裝等電真空專用設(shè)備，在進(jìn)入設(shè)備前對多種氣體進(jìn)行混合均勻，滿足特定設(shè)備的特定工藝需求。如:磁控濺射真空鍍膜時需充入氬氣、氮氣、氫氣等均勻混合氣體，要求靶面附近氣體組分差異較小，滿足鍍膜工況的一致性，進(jìn)而確保工件盤上下裝夾的工件薄膜的一致性。而目前常用的氣體混合裝置多為傳統(tǒng)的靜態(tài)混合器或內(nèi)置S擋板的混氣裝置，此類裝置難以滿足特殊工藝對氣體組分的高要求，急需一種工藝性好、成本低廉、混氣均勻、連接方便且不漏氣的混氣裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決目前現(xiàn)有混氣裝置存在的技術(shù)問題，本實用新型通過改變混氣裝置結(jié)構(gòu)，通過混氣前輸入管、混氣罐1、混氣罐II實現(xiàn)對氣體的三次自然擴散混氣，也可按照此發(fā)明串接多級混氣罐，解決原傳統(tǒng)混氣裝置混氣不均勻的問題，為電真空專用設(shè)備提供一種成本低廉、混氣均勻、技術(shù)工藝經(jīng)濟性優(yōu)良的專用混氣裝置。
[0004]本實用新型為實現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案為:一種電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置，其特征在于包括:混氣罐1、混氣罐I1、混合前輸入管、混合后輸出管，所有部件均采用SUS304優(yōu)質(zhì)不繡鋼制造，采用真空氬弧焊單面成型工藝焊接密封，焊接完成后內(nèi)外電化學(xué)拋光處理，后使用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行真空檢漏，漏率必須優(yōu)于1X10—8Pa.L/S。在進(jìn)氣管端可安裝不銹鋼管專用卡套管接頭與外接氣源進(jìn)行連接，也可串接一件或多件三通、四通不銹鋼管專用卡套讓多種氣體進(jìn)入混合前輸入管內(nèi)，混合前輸入管一端面用氬弧焊接盲法蘭密封，氣體只能通過不銹鋼管柱面上的若干小孔擴散至混氣罐I，氣體在混合前輸入管內(nèi)進(jìn)行了第一次相互擴散混合，氣體通過混合前輸入管柱面的小孔擴散至混氣罐I后進(jìn)行第二次混氣，通過混氣罐I柱面的孔進(jìn)入混氣罐II，進(jìn)入混氣罐II后氣體進(jìn)行第三次擴散混合，混合的氣體通過混合后輸出管均勻輸出，根據(jù)設(shè)備特點在輸出管端可以串接三通、四通不銹鋼管專用卡套接頭，分氣到電真空專用設(shè)備的特定位置，滿足設(shè)備的特定工藝需求。
[0005]優(yōu)選的，所述裝置部件均采用SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼制造，并進(jìn)行內(nèi)外表面的電化學(xué)拋光處理，以達(dá)到氣體進(jìn)入混氣裝置后，氣體均能夠自然流動和擴散。
[0006]優(yōu)選的，所述裝置部件使用真空氬弧焊接而成，其漏率優(yōu)于IXlO-SPa.L/S。
[0007]優(yōu)選的，所述裝置在混合前輸入管的末端用盲法蘭密封，在管徑柱面上設(shè)置I個或多個小孔，氣體通過柱面小孔進(jìn)入混氣罐I，后通過混氣罐I柱面上的孔進(jìn)入混氣罐II，后通過混合后輸出管輸出混合均勻的氣體，根據(jù)氣體流量和混氣均勻的實際需求可設(shè)置一個或多個混合罐。
[0008]優(yōu)選的，所述裝置混合裝置的輸出和輸入端均采用不銹鋼內(nèi)外化學(xué)拋光管，使用專用卡套管接頭達(dá)到氣體不泄露，同時防止傳統(tǒng)氣體軟管易脫落，橡膠軟管易帶來氣體溢出等造成氣體組分不純和發(fā)生安全事故的危險。
[0009]本實用新型具有以下有益效果:本實用新型的電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置，可以對多種氣體進(jìn)行均勻混合，為電真空專用設(shè)備腔內(nèi)提供組分和流量一致的氣體源，滿足工藝的特定需求，大幅度降低產(chǎn)品報廢，提高產(chǎn)品合格率，確保同批次加工產(chǎn)品性能的一致性，同時采用不銹鋼內(nèi)外拋光管作為氣體的輸入輸出端口，使用專用卡套管，可以防止傳統(tǒng)軟管在使用過程中的脫落和軟管放氣帶來的氣體不純，對產(chǎn)品的研制造成不良影響，甚至造成安全事故危害。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型剖面結(jié)構(gòu)示意圖:
[0011 ]圖中:1-混氣前輸入管；2-混氣前輸入管端面密封法蘭;3-混氣前輸入管柱面孔；4-混氣罐I ； 5-混氣罐I柱面孔;6-混氣罐II; 7-混氣后輸出管。
【具體實施方式】
[0012]多種氣體進(jìn)入混氣前輸入管(I)內(nèi)相互擴散混合經(jīng)過第一次混氣；混合氣體后經(jīng)過混氣前輸入管柱面孔(3)擴散進(jìn)入混氣罐1(4)進(jìn)行第二次混氣;混合氣體通過混氣罐I柱面孔擴散至混氣罐11(6)進(jìn)行第三次擴散混合，混合均勻氣體經(jīng)過混氣后輸出管(7)輸送到設(shè)備需要的任意位置，根據(jù)設(shè)備所需氣體流量調(diào)整管徑、罐徑、管和罐柱面氣體溢出孔徑，根據(jù)氣體混合是否滿足設(shè)備特定要求也可以增加套裝儲氣罐數(shù)量。
[0013]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本發(fā)明技術(shù)方案及其構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置，其特征在于包括:混氣罐1、混氣罐I1、混合前輸入管、混合后輸出管，所有部件均采用SUS304優(yōu)質(zhì)不繡鋼制造，采用真空氬弧焊單面成型工藝焊接密封，焊接完成后內(nèi)外電化學(xué)拋光處理，后使用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行真空檢漏，漏率必須優(yōu)于1X10—8Pa.L/S，在進(jìn)氣管端可安裝不銹鋼管專用卡套管接頭與外接氣源進(jìn)行連接，也可串接一件或多件三通、四通不銹鋼管專用卡套讓多種氣體進(jìn)入混合前輸入管內(nèi)，混合前輸入管一端面用氬弧焊接盲法蘭密封，氣體只能通過不銹鋼管柱面上的若干小孔擴散至混氣罐I，氣體在混合前輸入管內(nèi)進(jìn)行了第一次相互擴散混合，氣體通過混合前輸入管柱面的小孔擴散至混氣罐I后進(jìn)行第二次混氣，通過混氣罐I柱面的孔進(jìn)入混氣罐II，進(jìn)入混氣罐II后氣體進(jìn)行第三次擴散混合，混合的氣體通過混合后輸出管均勻輸出，根據(jù)設(shè)備特點在輸出管端可以串接三通、四通不銹鋼管專用卡套接頭，分氣到電真空專用設(shè)備的特定位置，滿足設(shè)備的特定工藝需求。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置，其特種在于所有部件均采用SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼制造，并進(jìn)行內(nèi)外表面的電化學(xué)拋光處理，以達(dá)到氣體進(jìn)入混氣裝置后，氣體均能夠自然流動和擴散。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置，其特征在于所有部件使用真空氬弧焊接而成，其漏率優(yōu)于1X10—8Pa.L/S。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置，其特征在于在混合前輸入管的末端用盲法蘭密封，在管徑柱面上設(shè)置I個或多個小孔，氣體通過柱面小孔進(jìn)入混氣罐I，后通過混氣罐I柱面上的孔進(jìn)入混氣罐II，后通過混合后輸出管輸出混合均勻的氣體。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電真空專用設(shè)備用多氣體快速混合裝置，其特征在于混合裝置的輸出和輸入端均采用不銹鋼內(nèi)外化學(xué)拋光管，使用專用卡套管接頭達(dá)到氣體不泄露，同時防止傳統(tǒng)氣體軟管易脫落，橡膠管會帶來氣體溢出等造成氣體組分不純和發(fā)生安全事故的危險。
【文檔編號】B01F3/02GK205598981SQ201620235180
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年3月25日
【發(fā)明人】張松林, 張斌
【申請人】成都超邁南光科技有限公司