一種單晶硅裝片臺(tái)供蠟裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到單晶硅片的生產(chǎn)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種單晶硅裝片臺(tái)供蠟裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅拋光片(以下簡(jiǎn)稱硅片)是IC行業(yè)的基礎(chǔ)材料，而硅片在拋光加工之前必須使用專用設(shè)備裝片臺(tái)(WAFER MOUNTING UNIT)通過(guò)蠟液(WAX)將待拋光硅片與陶瓷載體盤(pán)貼合在一起。因此裝片臺(tái)是生產(chǎn)拋光片不可或缺的主要設(shè)備之一。其中由日本EnyaSystems, Limited (JP)公司生產(chǎn)的MT_610_25型裝片臺(tái)在目前國(guó)內(nèi)中小尺寸娃片制造廠商中得到廣泛使用。該型裝片臺(tái)采用氮?dú)饧訅汗┫灱案咚傩D(zhuǎn)硅片的方式在待拋光硅片背面形成一層超薄均勻蠟?zāi)?，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)待拋光硅片與陶瓷載體盤(pán)完美貼合的功能。由于蠟?zāi)さ馁|(zhì)量對(duì)于裝片質(zhì)量至關(guān)重要，因此蠟液的供應(yīng)狀態(tài)對(duì)于裝片質(zhì)量乃至硅片的產(chǎn)品質(zhì)量具有極其重要的影響，在裝片過(guò)程中必須保證蠟液供應(yīng)數(shù)量與質(zhì)量。
[0003]當(dāng)裝片臺(tái)啟動(dòng)后，蠟液經(jīng)過(guò)氮?dú)饧訅汉笥晒?yīng)罐流向蠟液供應(yīng)氣動(dòng)閥進(jìn)口。在每一個(gè)供蠟過(guò)程開(kāi)始時(shí)，蠟液供應(yīng)氣動(dòng)閥打開(kāi)，蠟液從該氣動(dòng)閥出口噴射至待拋光硅片背面，通過(guò)調(diào)節(jié)氮?dú)鈮毫εc氣動(dòng)閥開(kāi)啟時(shí)間可以調(diào)整蠟液的供應(yīng)數(shù)量。當(dāng)供蠟過(guò)程結(jié)束后，蠟液供應(yīng)氣動(dòng)閥關(guān)閉，蠟液停止供應(yīng)。在實(shí)際運(yùn)行過(guò)程中我們發(fā)現(xiàn)，MT-610-25型裝片臺(tái)的供蠟系統(tǒng)存在以下突出問(wèn)題:
[0004]I)氮?dú)饧訅合到y(tǒng)壓力較高(3公斤)，屬于壓力容器，存在一定危險(xiǎn)性；且該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積龐大；更換蠟液時(shí)操作不便；
[0005]2)作為單獨(dú)系統(tǒng)，氮?dú)饧訅合到y(tǒng)(含蠟液供應(yīng)罐)距離蠟液供應(yīng)氣動(dòng)閥較遠(yuǎn)，中間管道較長(zhǎng)，蠟液容易凝結(jié)且清理不便；
[0006]3)通過(guò)調(diào)節(jié)氮?dú)鈮毫εc氣動(dòng)閥開(kāi)啟時(shí)間的方式來(lái)調(diào)整蠟液的供應(yīng)數(shù)量精度不尚;
[0007]4)蠟液粘稠，導(dǎo)致蠟液供應(yīng)氣動(dòng)閥打開(kāi)、閉合動(dòng)作受影響，有時(shí)蠟液供應(yīng)氣動(dòng)閥關(guān)閉后仍有蠟液滴落，嚴(yán)重影響蠟?zāi)べ|(zhì)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]為解決現(xiàn)有設(shè)備中存在的上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種單晶硅裝片臺(tái)供蠟裝置，該裝置從根本上改變現(xiàn)有蠟液供應(yīng)方式，通過(guò)使用氣動(dòng)風(fēng)囊栗與回吸閥結(jié)合的供蠟方式，徹底解決上述一系列問(wèn)題。
[0009]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案為:一種單晶硅裝片臺(tái)供蠟裝置，由蠟液回路和壓縮空氣回路兩部分組成，所述蠟液回路包括盛放蠟液的蠟液供應(yīng)罐、氣動(dòng)風(fēng)囊栗、蠟液過(guò)濾器和回吸閥，其中，氣動(dòng)風(fēng)囊栗抽取蠟液供應(yīng)罐中的蠟液輸送至蠟液過(guò)濾器過(guò)濾后通過(guò)回吸閥供應(yīng)給裝片臺(tái)；所述壓縮空氣回路包括一個(gè)控制電磁閥和三個(gè)速度控制閥，其中，控制電磁閥為單電控兩位五通閥，其進(jìn)氣口與系統(tǒng)壓縮空氣供應(yīng)管道連接，正動(dòng)作出氣口通過(guò)一個(gè)三通接頭串接兩個(gè)速度控制閥后分別與氣動(dòng)風(fēng)囊栗的進(jìn)氣口和回吸閥的進(jìn)氣口連接，反動(dòng)作出氣口串接另一個(gè)速度控制閥后與氣動(dòng)風(fēng)囊栗的回氣口連接。
[0010]本實(shí)用新型中，氣動(dòng)風(fēng)囊栗和回吸閥由壓縮空氣驅(qū)動(dòng)，動(dòng)作時(shí)機(jī)均受控于控制電磁閥，動(dòng)作速率通過(guò)各自氣路中的速度控制閥調(diào)節(jié)。通過(guò)管道將蠟液供應(yīng)罐與氣動(dòng)風(fēng)囊栗進(jìn)口直接相連，氣動(dòng)風(fēng)囊栗出口依次與蠟液過(guò)濾器、回吸閥串聯(lián)，回吸閥出口直接與向待拋光硅片供蠟的噴管聯(lián)接。在每一個(gè)供蠟過(guò)程開(kāi)始時(shí)，控制電磁閥打開(kāi)，氣動(dòng)風(fēng)囊栗啟動(dòng)，回吸閥同時(shí)導(dǎo)通；蠟液在氣動(dòng)風(fēng)囊栗的作用下從供應(yīng)罐中被抽出，流經(jīng)蠟液過(guò)濾器和回吸閥噴射至待拋光硅片背面，通過(guò)調(diào)節(jié)氣動(dòng)風(fēng)囊栗尾部的機(jī)械限位可精確調(diào)節(jié)蠟液的供應(yīng)數(shù)量。當(dāng)供蠟過(guò)程結(jié)束后，控制電磁閥關(guān)閉，氣動(dòng)風(fēng)囊栗停止，回吸閥同時(shí)截止，確保蠟液可靠關(guān)斷。
[0011]有益效果:本實(shí)用新型通過(guò)使用氣動(dòng)風(fēng)囊栗與回吸閥結(jié)合的供蠟方式，可以有效避免MT-610-25型裝片臺(tái)供蠟管路中蠟液的凝結(jié)及蠟液滴落的發(fā)生，降低了設(shè)備故障率，增強(qiáng)了工藝穩(wěn)定性，明顯地提高了裝片質(zhì)量，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，占用空間小(整套裝置可安裝在裝片臺(tái)內(nèi)部)，安裝操作方便，安全性能好。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]附圖標(biāo)記:1、回吸閥，2、蠟液過(guò)濾器，3、速度控制閥，4、氣動(dòng)風(fēng)囊栗，5、控制電磁閥，6、蠟液供應(yīng)罐。
【具體實(shí)施方式】
[0014]如圖所示，一種單晶硅裝片臺(tái)供蠟裝置，由蠟液回路和壓縮空氣回路兩部分組成，所述蠟液回路包括盛放蠟液的蠟液供應(yīng)罐6、氣動(dòng)風(fēng)囊栗4、蠟液過(guò)濾器2和回吸閥I，其中，氣動(dòng)風(fēng)囊栗4抽取蠟液供應(yīng)罐6中的蠟液輸送至蠟液過(guò)濾器2過(guò)濾后通過(guò)回吸閥I供應(yīng)給裝片臺(tái)；所述壓縮空氣回路包括一個(gè)控制電磁閥5和三個(gè)速度控制閥3，其中，控制電磁閥5為單電控兩位五通閥，其進(jìn)氣口與系統(tǒng)壓縮空氣供應(yīng)管道連接，正動(dòng)作出氣口通過(guò)一個(gè)三通接頭串接兩個(gè)速度控制閥3后分別與氣動(dòng)風(fēng)囊栗4的進(jìn)氣口和回吸閥I的進(jìn)氣口連接，反動(dòng)作出氣口串接另一個(gè)速度控制閥3后與氣動(dòng)風(fēng)囊栗4的回氣口連接。
[0015]本實(shí)用新型分為蠟液回路和壓縮空氣回路兩部分。在蠟液回路中，蠟液供應(yīng)罐6用來(lái)盛放蠟液，其出口與氣動(dòng)風(fēng)囊栗4進(jìn)口聯(lián)接；蠟液過(guò)濾器2用來(lái)過(guò)濾蠟液中的雜質(zhì)，其進(jìn)口與氣動(dòng)風(fēng)囊栗4的出口聯(lián)接；回吸閥I的作用是保證氣動(dòng)風(fēng)囊栗4停止工作后蠟液立即斷流，防止蠟液滴落，其進(jìn)口與蠟液過(guò)濾器2出口聯(lián)接，出口直接與向待拋光硅片供蠟的噴管聯(lián)接。在壓縮空氣回路中，仍然利用原有系統(tǒng)中的控制電磁閥5控制回吸閥I及氣動(dòng)風(fēng)囊栗4的動(dòng)作時(shí)機(jī)，該閥為單電控兩位五通閥，其進(jìn)氣口與系統(tǒng)壓縮空氣供應(yīng)管道聯(lián)接，其中正動(dòng)作出氣口通過(guò)三通接頭串接速度控制閥后分別與氣動(dòng)風(fēng)囊栗4的進(jìn)氣口以及回吸閥I的進(jìn)氣口聯(lián)接，反動(dòng)作出氣口串接速度控制閥后與氣動(dòng)風(fēng)囊栗4的回氣口聯(lián)接。
[0016]在每一個(gè)供蠟過(guò)程開(kāi)始時(shí)，控制電磁閥5通電，正動(dòng)作出氣口供氣，氣動(dòng)風(fēng)囊栗4動(dòng)作，回吸閥I同時(shí)導(dǎo)通(通過(guò)各自氣路中串接的速度控制閥可調(diào)節(jié)動(dòng)作速率)，蠟液從蠟液供應(yīng)罐6被抽出，蠟液流經(jīng)蠟液過(guò)濾器和回吸閥噴射至待拋光硅片背面。通過(guò)調(diào)節(jié)氣動(dòng)風(fēng)囊栗尾部的機(jī)械限位可精確調(diào)節(jié)蠟液的供應(yīng)數(shù)量。當(dāng)供蠟過(guò)程結(jié)束后，控制電磁閥5失電，反動(dòng)作出氣口供氣，氣動(dòng)風(fēng)囊栗4停止動(dòng)作，回吸閥I同時(shí)截止，確保蠟液可靠關(guān)斷。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶硅裝片臺(tái)供蠟裝置，其特征在于:由蠟液回路和壓縮空氣回路兩部分組成，所述蠟液回路包括盛放蠟液的蠟液供應(yīng)罐(6 )、氣動(dòng)風(fēng)囊栗(4 )、蠟液過(guò)濾器(2 )和回吸閥(I)，其中，氣動(dòng)風(fēng)囊栗(4 )抽取蠟液供應(yīng)罐(6 )中的蠟液輸送至蠟液過(guò)濾器(2 )過(guò)濾后通過(guò)回吸閥(I)供應(yīng)給裝片臺(tái)；所述壓縮空氣回路包括一個(gè)控制電磁閥(5)和三個(gè)速度控制閥(3)，其中，控制電磁閥(5)為單電控兩位五通閥，其進(jìn)氣口與系統(tǒng)壓縮空氣供應(yīng)管道連接，正動(dòng)作出氣口通過(guò)一個(gè)三通接頭串接兩個(gè)速度控制閥(3)后分別與氣動(dòng)風(fēng)囊栗(4)的進(jìn)氣口和回吸閥(I)的進(jìn)氣口連接，反動(dòng)作出氣口串接另一個(gè)速度控制閥(3)后與氣動(dòng)風(fēng)囊栗(4)的回氣口連接。
【專利摘要】一種單晶硅裝片臺(tái)供蠟裝置，由蠟液回路和壓縮空氣回路兩部分組成，蠟液回路中，氣動(dòng)風(fēng)囊泵抽取蠟液供應(yīng)罐中的蠟液輸送至蠟液過(guò)濾器過(guò)濾后通過(guò)回吸閥供應(yīng)給裝片臺(tái)；壓縮空氣回路中，控制電磁閥的進(jìn)氣口與系統(tǒng)壓縮空氣供應(yīng)管道連接，正動(dòng)作出氣口通過(guò)一個(gè)三通接頭串接兩個(gè)速度控制閥后分別與氣動(dòng)風(fēng)囊泵的進(jìn)氣口和回吸閥的進(jìn)氣口連接，反動(dòng)作出氣口串接另一個(gè)速度控制閥后與氣動(dòng)風(fēng)囊泵的回氣口連接。本實(shí)用新型通過(guò)使用氣動(dòng)風(fēng)囊泵與回吸閥結(jié)合的供蠟方式，可以有效避免MT-610-25型裝片臺(tái)供蠟管路中蠟液的凝結(jié)及蠟液滴落的發(fā)生，降低了設(shè)備故障率，增強(qiáng)了工藝穩(wěn)定性，明顯地提高了裝片質(zhì)量。
【IPC分類】B05B9/04
【公開(kāi)號(hào)】CN204816984
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520609233
【發(fā)明人】卓元, 張磊, 胡曉亮, 魏海霞, 王勇
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月2日
【申請(qǐng)日】2015年8月14日