震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型有關(guān)一種震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)，特別是指借由一濾波裝置，減緩液體震動的一種震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]公知技術(shù)中有關(guān)管路內(nèi)部流動的液體(如涂布液)，會隨著供料泵的推動壓力，或是管路震動等因素，使液體在供料管路或是狹縫噴嘴中帶有震動，進而影響液體輸出的穩(wěn)定性。
[0003]如中國專利第CN201310392465.1號專利案“降低管路振動的動力吸振器及設(shè)計方法”，是使用管外結(jié)合彈簧片借以緩沖管路的震波，屬于吸振技術(shù)領(lǐng)域，其中，動力吸振器包括通過第一螺栓、第一螺母連接在一起的一對管道夾持件，一對管道夾持件外部均布安裝N個彈簧片；彈簧片末端安裝有附加質(zhì)量塊，以便降低各種管路系統(tǒng)振動。
[0004]再如中國臺灣專利第1386254號“噴涂裝置及具有此噴涂裝置的液晶涂布機”專利案，包含:主框架；提供于主框架上的平臺；可移動地連接主框架的涂布頭單元支撐框；移動涂布頭單元支撐框的第一驅(qū)動單元；提供于涂布頭單元支撐框的第二驅(qū)動單元；以及噴涂裝置，其連接涂布頭單元支撐框，可由第二驅(qū)動單元移動，其中，噴涂裝置包含:支撐組件，可移動地連接涂布頭單元支撐框；圓筒組件，具有流入口及流出口于其外表面，可拆卸地連接支撐組件；以及噴涂單元，噴涂自流出口排出的液晶于母基板。當施加電場時，壓電裝置產(chǎn)生機械應(yīng)力，借此震動連接管。
[0005]據(jù)上所述，公知技術(shù)中管路的吸震是采用管外吸震的裝置，借以減低管路的震動，但對于管內(nèi)液體的震動，則無具體改善的功效。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)，可緩沖因供料泵或其它機械所產(chǎn)生的液體震動，進而使噴嘴能均勻地涂布液體或噴出液體至基材。
[0007]為達到上述目的，本實用新型提供一種震波緩沖裝置，其安裝于一用以傳輸液體的涂布系統(tǒng)，涂布系統(tǒng)具有一供料泵與一噴嘴，震波緩沖裝置包括:一腔體；用以提供液體流通并吸收液體的震動的一濾波裝置，該濾波裝置容置于腔體內(nèi)，該濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙；一輸入管，其一端連結(jié)供料泵，另一端連接該腔體，其中液體流經(jīng)輸入管時帶有一第一震波；及一輸出管，其一端連結(jié)噴嘴，另一端連接腔體，其中液體流經(jīng)輸出管時帶有一第二震波，第二震波的振幅小于第一震波的振幅。
[0008]該濾波裝置為金屬網(wǎng)狀多孔體、碳纖多孔體、樹脂多孔體、塑料多孔體或陶瓷多孔體。
[0009]該腔體的內(nèi)徑大于該輸入管以及該輸出管的內(nèi)徑。
[0010]本實用新型還提供一種涂布系統(tǒng)，其具有一供料泵、一噴嘴與一震波緩沖裝置，其中震波緩沖裝置包括:一腔體；用以提供液體流通并吸收液體的震動的一濾波裝置，該濾波裝置容置于腔體內(nèi)，濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙；一輸入管，其一端連結(jié)供料泵，另一端連接腔體，其中液體流經(jīng)輸入管時帶有一第一震波；及一輸出管，其一端連結(jié)噴嘴，另一端連接腔體，其中液體流經(jīng)輸出管時帶有一第二震波，第二震波的振幅小于第一震波的振幅。
[0011]該涂布系統(tǒng)為涂布機、顯影機、蝕刻機、剝膜機或清洗機。
[0012]本實用新型的震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)，可緩沖因供料泵或其它機械所產(chǎn)生的液體震動，進而使噴嘴能均勻地涂布液體或噴出液體至基材。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型震波緩沖裝置的示意圖；
[0014]圖2為本實用新型中輸入管內(nèi)第一震波及部分放大的示意圖；
[0015]圖3為本實用新型中輸入管內(nèi)第二震波及部分放大的示意圖；
[0016]圖4為本實用新型涂布系統(tǒng)的使用示意圖。
[0017]附圖標記說明
[0018]10震波緩沖裝置
[0019]11 腔體
[0020]12輸出管
[0021]13輸入管
[0022]14濾波裝置
[0023]20供料泵
[0024]30涂布系統(tǒng)
[0025]40 噴嘴
[0026]31 液體
[0027]51第一震波
[0028]52 第二震波。
【具體實施方式】
[0029]請參考圖1，本實用新型提供一種震波緩沖裝置10，適用于一用以傳輸液體31的涂布系統(tǒng)30 (見圖4)。涂布系統(tǒng)30用以在一基材(如玻璃基板或軟性基板)均勻涂布液體31或噴出液體31。涂布系統(tǒng)30具有一供料泵與一噴嘴，液體31可為一化學藥液。
[0030]震波緩沖裝置10包括一腔體11、一濾波裝置14、一輸入管13及一輸出管12。
[0031]濾波裝置14容置于腔體11內(nèi)，且濾波裝置14內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙，濾波裝置14用以提供液體流通并吸收液體的震動。
[0032]輸入管13的一端連結(jié)該供料泵20 (見圖4)，且另一端連接腔體，其中液體流經(jīng)輸入管13時帶有一第一震波51 (見圖2)。
[0033]輸出管12的一端連結(jié)噴嘴40 (見圖4)，另一端連接腔體。液體流經(jīng)該輸出管12時帶有一第二震波52 (見圖3)。第二震波52小于第一震波51。
[0034]請參考圖2，是輸入管13內(nèi)第一震波51的不意圖與第一震波51的部分放大不意圖。如圖所示，液體在流經(jīng)輸入管13時帶有一第一震波51。其中，第一震波51可為脈沖式的突波震動，或任意形式的震動。此外，第一震波51的振幅約為±0.6kpa(上述振幅值僅為一實施例的示意，實際上可為其它振幅值)。
[0035]請再參考圖3，是輸出管12內(nèi)第二震波52的示意圖與第二震波52的部分放大示意圖。如圖所示，液體在流經(jīng)輸出管12時帶有一第二震波52。其中，第二震波52可為脈沖式的突波震動，或任意形式的震動。于實施例中，第二震波52的振幅約為±0.1kpa(上述振幅值僅為本實施例的示意，實際上可為小于第一震波51振幅的其它振幅值)。
[0036]由于濾波裝置14內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙，故可提供液體流通并吸收液體的震動或破壞震波以達到緩沖震波的效果。因此，第二震波52的振幅小于第一震波51的振幅。借此，液體經(jīng)噴嘴吐出時，不僅液體的震動被減緩、噴嘴的供液穩(wěn)定度增加，更能提升在基材表面的液體均勻度。
[0037]請參考圖1，腔體11的內(nèi)徑大于輸入管13以及輸出管12的內(nèi)徑。由輸入管13的液體31進入內(nèi)徑較大的腔體11時，液體31的液壓降低，然后液體31流至輸出管12。
[0038]濾波裝置14可為一金屬網(wǎng)狀多孔體、一碳纖多孔體、一樹脂多孔體、一塑料多孔體或一陶瓷多孔體。實際上，濾波裝置14可以是聚丙烯(Polypropylene, PP)或聚四氟乙稀(Polytetraf luoroethene, PTFE)的濾棉結(jié)構(gòu)所形成的多孔體，或是一種納米碳纖維組成海綿狀的多孔體，或是一種纖維狀組織所相互交織而成的多孔體。
[0039]請參閱圖4，為本實用新型涂布系統(tǒng)30的示意圖(本實施例中，涂布系統(tǒng)30包含復(fù)數(shù)輸入管13與復(fù)數(shù)輸出管12 ;本實用新型中的“一”代表一種，而非數(shù)量“一”的限制)。本實用新型的涂布系統(tǒng)30包括:一供料泵20、一噴嘴40與一震波緩沖裝置10。其中震波緩沖裝置10包括:
[0040]一腔體 11;
[0041]一濾波裝置14，容置于腔體11內(nèi)，該濾波裝置14內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙，濾波裝置14用以提供液體流通并吸收液體的震動或破壞震波；
[0042]一輸入管13，其一端連結(jié)供料泵20，另一端連接該腔體11，其中液體流經(jīng)輸入管13時帶有一第一震波51 (圖中未示)；及
[0043]一輸出管12，其一端連結(jié)噴嘴40，另一端連接腔體11，其中液體流經(jīng)輸出管12時帶有一第二震波52 (圖中未不)，其中第二震波52小于第一震波51。
[0044]涂布系統(tǒng)30可為一涂布機(coater)、顯影機(developer)、蝕刻機(etcher)、剝膜機(stripper)、清洗機(cleaner)。
[0045]綜上所述，借由本實用新型的震波緩沖裝置或涂布系統(tǒng)，基材進行化學工藝(如涂布工藝、顯影工藝、蝕刻工藝、清洗工藝或剝膜工藝)時，可緩沖因供料泵或其它機械所產(chǎn)生的液體震動，進而使噴嘴能均勻地涂布液體或噴出液體至基材。
[0046]以上所述，僅記載本實用新型為呈現(xiàn)解決問題所采用的技術(shù)手段的較佳實施方式或?qū)嵤├?，并非用來限定本實用新型專利實施的范圍。即凡是與本實用新型權(quán)利要求范圍文義相符，或依本實用新型權(quán)利要求范圍所做的均等變化與修飾，均為本實用新型專利范圍所涵蓋。
【主權(quán)項】
1.一種震波緩沖裝置，其安裝于一用以傳輸液體的涂布系統(tǒng)，其特征在于，該涂布系統(tǒng)具有一供料泵與一噴嘴，該震波緩沖裝置包括: 一腔體； 用以提供液體流通并吸收液體的震動的一濾波裝置，該濾波裝置容置于該腔體內(nèi)，該濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙； 一輸入管，其一端連結(jié)該供料泵，另一端連接該腔體，其中該液體流經(jīng)該輸入管時帶有一第一震波；及 一輸出管，其一端連結(jié)該噴嘴，另一端連接該腔體，該液體流經(jīng)該輸出管時帶有一第二震波，其中該第二震波的振幅小于該第一震波的振幅。
2.如權(quán)利要求1所述的震波緩沖裝置，其特征在于，該濾波裝置為金屬網(wǎng)狀多孔體、碳纖多孔體、樹脂多孔體、塑料多孔體或陶瓷多孔體。
3.如權(quán)利要求1所述的震波緩沖裝置，其特征在于，該腔體的內(nèi)徑大于該輸入管以及該輸出管的內(nèi)徑。
4.一種涂布系統(tǒng)，其特征在于，其包括:一供料泵、一噴嘴與一震波緩沖裝置；其中震波緩沖裝置，包括: 一腔體； 用以提供液體流通并吸收液體的震動的一濾波裝置，該濾波裝置容置于該腔體內(nèi)，該濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙； 一輸入管，其一端連結(jié)該供料泵，另一端連接該腔體，其中液體流經(jīng)該輸入管時帶有一第一震波；以及一輸出管，其一端連結(jié)該噴嘴，另一端連接該腔體，其中液體流經(jīng)該輸出管時帶有一第二震波，其中該第二震波的振幅小于該第一震波的振幅。
5.如權(quán)利要求4所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，該涂布系統(tǒng)為涂布機、顯影機、蝕刻機、剝膜機或清洗機。
【專利摘要】本實用新型公開了一種震波緩沖裝置與涂布系統(tǒng)，震波緩沖裝置適用于一用以傳輸液體的涂布系統(tǒng)。其中，涂布系統(tǒng)具有一供料泵與一噴嘴。震波緩沖裝置包括：輸入管、腔體、輸出管、以及濾波裝置；濾波裝置容置于腔體內(nèi)，濾波裝置內(nèi)部具有復(fù)數(shù)孔洞或復(fù)數(shù)間隙，用以提供液體流通并吸收液體的震動；輸入管一端連結(jié)供料泵，另一端連接腔體，液體于流經(jīng)輸入管時帶有一第一震波；輸出管一端連結(jié)噴嘴，另一端連接腔體，液體于流經(jīng)輸出管時帶有一第二震波，第二震波小于該第一震波。本實用新型可緩沖因供料泵或其它機械所產(chǎn)生的液體震動，進而使噴嘴能均勻地涂布液體或噴出液體至基材。
【IPC分類】F16L55-027, B05B13-00, B05C11-10, F16L55-04
【公開號】CN204448454
【申請?zhí)枴緾N201520011602
【發(fā)明人】徐啟敏, 張志安
【申請人】亞智科技股份有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年1月8日