涂膠機(jī)供液裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體光刻工藝生產(chǎn)中的涂膠機(jī)供液
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體光刻涂膠工藝中所使用的涂膠機(jī)臺(tái)的化學(xué)品的供給方式大多采用集中供液的方式，該集中供液系統(tǒng)一旦發(fā)生故障，影響所有相關(guān)機(jī)臺(tái)的正常工作狀態(tài)，而且該系統(tǒng)價(jià)格十分昂貴，不太適用于實(shí)驗(yàn)室及小型半導(dǎo)體工廠。另外，現(xiàn)有簡(jiǎn)易的局部供液系統(tǒng)，由于壓力桶內(nèi)長(zhǎng)期有氮?dú)鈮毫Γ坏p壓閥故障容易造成系統(tǒng)壓力過載，從而引發(fā)安全事故。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種涂膠機(jī)供液裝置，對(duì)每個(gè)涂膠機(jī)臺(tái)進(jìn)行一對(duì)一的供液，同時(shí)壓力過大時(shí)具備自動(dòng)泄壓功能。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:包括容納溶液的供液器、用于氣體通入的進(jìn)氣管路、用于氣體排放的排氣管路和向所述涂膠機(jī)提供溶液的供液管路，進(jìn)氣管路、排氣管路和供液管路分別與供液器連通，進(jìn)氣管路上設(shè)有控制進(jìn)氣壓力的壓力控制件，排氣管路上設(shè)有能根據(jù)氣體壓力自動(dòng)開啟和閉合的自動(dòng)泄壓件。
[0005]所述涂膠機(jī)供液裝置還包括測(cè)量供液器內(nèi)溶液液位的液位傳感器和報(bào)警器，液位傳感器設(shè)于供液器內(nèi)，液位傳感器與報(bào)警器電連接。
[0006]所述排氣管路包括排氣管路一和排氣管路二，自動(dòng)泄壓件設(shè)置于排氣管路一上，排氣管路二上設(shè)有能夠手動(dòng)啟閉的手動(dòng)泄壓件。
[0007]所述壓力控制件包括減壓閥和壓力表，減壓閥控制供液器內(nèi)壓力穩(wěn)定，壓力表顯示供液器內(nèi)壓力值。
[0008]所述液位傳感器為浮子式液位傳感器。
[0009]采用上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型具有以下積極效果:
[0010](I)本實(shí)用新型的涂膠機(jī)供液裝置，對(duì)涂膠機(jī)臺(tái)進(jìn)行一對(duì)一的供液服務(wù)，取代現(xiàn)有技術(shù)中一個(gè)供液裝置對(duì)所有涂膠機(jī)臺(tái)集中供液的方式，避免一旦集中供液裝置出現(xiàn)故障時(shí)影響生產(chǎn)線上所有相關(guān)涂膠機(jī)臺(tái)的工作狀態(tài)；
[0011](2)本實(shí)用新型的涂膠機(jī)供液裝置，通過通入惰性氣體加壓使溶液供給，在進(jìn)氣管路上設(shè)有壓力控制件，能夠?qū)怏w壓力控制在指定范圍，排氣管路上分別設(shè)有自動(dòng)泄壓件和手動(dòng)泄壓件，能夠自動(dòng)或手動(dòng)的放掉多余的氣體，進(jìn)一步保障裝置安全；
[0012](3)本實(shí)用新型的涂膠機(jī)供液裝置，設(shè)有浮子式液位傳感器，能夠隨時(shí)提醒工作人員液位狀態(tài)，避免供液器內(nèi)溶液過多或過少；
[0013](4)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，設(shè)計(jì)巧妙，簡(jiǎn)單易行，具有較高的實(shí)用價(jià)值，便于推廣應(yīng)用。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型的涂膠機(jī)供液裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]其中:1、供液器，2、進(jìn)氣管路，21、壓力控制件，211、減壓閥，212、壓力表，3、排氣管路，31、排氣管路一，32、排氣管路二，301、自動(dòng)泄壓件，302、手動(dòng)泄壓件，4、供液管路，5、傳感器，6、報(bào)警器。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0017]如圖1所示，為本實(shí)用新型的涂膠機(jī)供液裝置，包括供液器1、進(jìn)氣管路2、排氣管路3和供液管路4，進(jìn)氣管路2、排氣管路3和供液管路4分別與供液器I連通，供液器I用以容納需要供給的溶液，排氣管路3有兩支路，分別為排氣管路一 31和排氣管路二 32。
[0018]進(jìn)氣管路2的出氣的一端伸入供液器I的頂部，用以通入惰性氣體，本實(shí)施例中，惰性氣體為氮?dú)狻＿M(jìn)氣管路2上設(shè)有壓力控制件21，壓力控制件21包括減壓閥211和壓力表212，減壓閥211控制進(jìn)氣管路2上通入氮?dú)獾膲毫?，以控制供液器I內(nèi)氮?dú)鈮毫Ρ３衷诎踩?。壓力?12用以顯示供液器I內(nèi)氮?dú)獾膲毫χ怠?br>[0019]排氣管路一 31上設(shè)有能夠根據(jù)氮?dú)鈮毫ψ詣?dòng)啟閉的自動(dòng)泄壓件301，自動(dòng)泄壓件301的安全壓力設(shè)定值在設(shè)定時(shí)略大于減壓閥211的調(diào)節(jié)固定值，在本實(shí)施例中，自動(dòng)泄壓件301為安全泄壓閥。排氣管路二 32上設(shè)有能夠手動(dòng)啟閉的手動(dòng)泄壓件302，在本實(shí)施例中，手動(dòng)泄壓件302為手動(dòng)閥。
[0020]供液管路4 一端伸入供液器I的底部，另一端與所述涂膠機(jī)臺(tái)連接，實(shí)現(xiàn)溶液供給。
[0021]在供液器I內(nèi)設(shè)有液位傳感器5，在本實(shí)用新型中液位傳感器5為浮子式液位傳感器，所述浮子式液位傳感器在供液器I內(nèi)豎直放置，所述浮子式液位傳感器的上部設(shè)有高液位感應(yīng)點(diǎn)，下部設(shè)有低液位感應(yīng)點(diǎn)。所述浮子式液位傳感器與報(bào)警器6電連接，高液位感應(yīng)點(diǎn)用以感應(yīng)供液器I內(nèi)溶液的最高位，低液位感應(yīng)點(diǎn)用以感應(yīng)供液器I內(nèi)溶液的最低位，高液位感應(yīng)點(diǎn)和低液位感應(yīng)點(diǎn)將感應(yīng)結(jié)果反饋給報(bào)警器6。
[0022]本實(shí)用新型的涂膠機(jī)供液裝置在使用時(shí)，從進(jìn)氣管路2通入氮?dú)?，通入氮?dú)獾膲毫Υ笮⊥ㄟ^減壓閥211控制。供液器I內(nèi)為高氣壓狀態(tài)，供液器I內(nèi)的溶液被從供液管路4壓出輸送給涂膠機(jī)。當(dāng)減壓閥211出現(xiàn)故障時(shí)，供液器I內(nèi)氮?dú)鈮毫Τ^減壓閥211的調(diào)節(jié)固定值，并達(dá)到自動(dòng)泄壓件301的安全壓力設(shè)定值，自動(dòng)泄壓件301自動(dòng)開啟，放出多余的氮?dú)?，使供液器I內(nèi)壓力恒定。供液器I內(nèi)溶液液面低于低液位感應(yīng)點(diǎn)時(shí)，低液位感應(yīng)點(diǎn)感應(yīng)到此時(shí)液面狀態(tài)，將結(jié)果反饋給報(bào)警器6，報(bào)警器6報(bào)警，提示工作人員供液器I內(nèi)溶液即將使用完畢。工作人員需要添加溶液時(shí)，先打開手動(dòng)泄壓件302，釋放供液器I內(nèi)多余氮?dú)猓俅蜷_供液器I的加液口，添加溶液。當(dāng)溶液液面高于高液位感應(yīng)點(diǎn)時(shí)，高液位感應(yīng)點(diǎn)感應(yīng)到此時(shí)液面狀態(tài)，將結(jié)果反饋給報(bào)警器6，報(bào)警器6報(bào)警，提示工作人員供液器I內(nèi)溶液添加完畢。
[0023]對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種涂膠機(jī)供液裝置，其特征在于:包括容納溶液的供液器(I)、用于氣體通入的進(jìn)氣管路(2)、用于氣體排放的排氣管路(3)和向所述涂膠機(jī)提供溶液的供液管路(4)，進(jìn)氣管路(2)、排氣管路(3)和供液管路⑷分別與供液器⑴連通，進(jìn)氣管路(2)上設(shè)有控制進(jìn)氣壓力的壓力控制件(21)，排氣管路(3)上設(shè)有能根據(jù)氣體壓力自動(dòng)開啟和閉合的自動(dòng)泄壓件(301) ?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂膠機(jī)供液裝置，其特征在于:所述涂膠機(jī)供液裝置還包括測(cè)量供液器(I)內(nèi)溶液液位的液位傳感器(5)和報(bào)警器￠)，液位傳感器(5)設(shè)于供液器(I)內(nèi)，液位傳感器(5)與報(bào)警器￠)電連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂膠機(jī)供液裝置，其特征在于:排氣管路(3)包括排氣管路一 (31)和排氣管路二(32)，自動(dòng)泄壓件(301)設(shè)置于排氣管路一(31)上，排氣管路二(32)上設(shè)有能夠手動(dòng)啟閉的手動(dòng)泄壓件(302)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的涂膠機(jī)供液裝置，其特征在于:壓力控制件(21)包括減壓閥(211)和壓力表(212)，減壓閥(211)控制供液器⑴內(nèi)壓力穩(wěn)定，壓力表(212)顯示供液器(I)內(nèi)壓力值。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂膠機(jī)供液裝置，其特征在于:液位傳感器(5)為浮子式液位傳感器。
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體光刻生產(chǎn)工藝中的涂膠機(jī)供液裝置，包括容納溶液的供液器、用于氣體通入的進(jìn)氣管路、用于氣體排放的排氣管路和向所述涂膠機(jī)提供溶液的供液管路，進(jìn)氣管路、排氣管路和供液管路分別與供液器連通，進(jìn)氣管路上設(shè)有控制進(jìn)氣壓力的壓力控制件，排氣管路上設(shè)有能根據(jù)氣體壓力自動(dòng)啟閉的自動(dòng)泄壓件。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)每個(gè)涂膠機(jī)臺(tái)進(jìn)行一對(duì)一的供液，同時(shí)壓力過大時(shí)具備自動(dòng)泄壓功能。
【IPC分類】B05C11-10
【公開號(hào)】CN204448453
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420867656
【發(fā)明人】徐惠懂
【申請(qǐng)人】蘇州同冠微電子有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請(qǐng)日】2014年12月31日