1.一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置,其特征在于:真空室(1)為管狀,真空室(1)的內(nèi)壁上安裝有電極(2)和導(dǎo)軌(3),其中電極(2)為柱面形,位于與真空室(1)同軸的柱面上,電極(2)分開(kāi)為至少兩部分,留出的空隙安裝導(dǎo)軌(3),電極(2)與導(dǎo)軌(3)不接觸;治具(4)安裝在導(dǎo)軌(3)上,與真空室(1)同軸,待處理的基材(5)裝在治具(4)內(nèi),真空室(1)的頂部沿軸向間隔設(shè)置載體氣體管路(6)和單體蒸汽管路(7),真空室(1)的底部沿軸向間隔設(shè)置真空排氣管路(8),真空室(1)的兩端安裝真空室門(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置,其特征在于:所述的真空室(1)的內(nèi)徑為30-80cm,長(zhǎng)度為0.5-10m。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置,其特征在于:所述的電極(2)與真空室(1)內(nèi)壁之間的間隙為10-60mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置,其特征在于:所述的電極上布滿通孔,孔徑為2-30mm,孔間隔為2-30mm,電極的材質(zhì)為鋁或不銹鋼。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置,其特征在于:所述的每相鄰兩個(gè)載體氣體管路(6)之間的間隔為30-80cm,所述每相鄰兩個(gè)單體蒸汽管路(7)之間的間隔為30-80cm,所述每相鄰兩個(gè)真空排氣管路(8)之間的間隔為30-80cm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種管狀大容積等離子體聚合涂層裝置,其特征在于:所述的治具(4)為金屬或塑料制成的筒狀籠子。