本實(shí)用新型涉及氣體混合設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種改良的氫氮混合機(jī)。

背景技術(shù)：

氫氮混合機(jī)是將氮?dú)夂蜌錃庠谝欢▔毫ο聦煞N氣體混合，其氫、氮?dú)獗壤秊?:94，作為集成電路焊線工序的保護(hù)氣體，通過(guò)氧化還原反應(yīng)，氧氣跟氫氣反應(yīng)生成水，起到隔絕氧氣的作用，以防止焊點(diǎn)、線氧化來(lái)保護(hù)集成電路芯片。

氫氮混合機(jī)在使用過(guò)程中，氫氣壓力是0.5Mpa，氮?dú)獾膲毫κ?.4Mpa,通過(guò)壓力差將氫氣加入氮?dú)庵?，?dāng)終端用氣不穩(wěn)定時(shí)會(huì)出現(xiàn)氫氮比例波動(dòng)的現(xiàn)象，若氫氣濃度太高時(shí)，會(huì)出現(xiàn)燃燒爆炸現(xiàn)象，危及設(shè)備、人生安全。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型公開(kāi)了具有更高安全性能的改良的氫氮混合機(jī)。

本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

一種改良的氫氮混合機(jī)，包括混合罐，所述混合罐上連通設(shè)置有氮?dú)膺M(jìn)氣管路、氫氣進(jìn)氣管路以及混合氣出氣管路，所述混合氣出氣管路端部設(shè)置有混合氣出口，在所述氮?dú)膺M(jìn)氣管路與所述混合氣出氣管路之間連通有氮?dú)庹{(diào)節(jié)管路，在所述氮?dú)庹{(diào)節(jié)管路上設(shè)置有第一控制閥門(mén)，在所述混合氣出氣管路上設(shè)置有第二控制閥門(mén)，還包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)與所述混合氣出氣管路、第一控制閥門(mén)、第二控制閥門(mén)相連，并對(duì)所述第一控制閥門(mén)與所述第二控制閥門(mén)進(jìn)行控制。

進(jìn)一步地，還包括氮?dú)鈧鞲衅髋c氫氣光纖傳感器，所述氮?dú)鈧鞲衅髋c所述氫氣光纖傳感器與所述控制系統(tǒng)相連。

進(jìn)一步地，在所述混合罐與所述第二控制閥之間的混合氣出氣管路上，還設(shè)置有不合格氣放氣管路，所述不合格氣放氣管路端部設(shè)置放空口。

進(jìn)一步地，所述不合格氣放氣管路上設(shè)置有第三控制閥門(mén)，所述第三控制閥門(mén)與所述控制系統(tǒng)相連。

進(jìn)一步地，還包括壓縮空氣管路，所述壓縮空氣管路與第一控制閥、第二控制閥以及第三控制閥連通以為其提供氣壓驅(qū)動(dòng)力，并通過(guò)控制系統(tǒng)對(duì)第一控制閥、第二控制閥以及第三控制閥進(jìn)行通斷控制。

進(jìn)一步地，在所述氮?dú)膺M(jìn)氣管路與所述氫氣進(jìn)氣管路上，均設(shè)置有截止閥。

進(jìn)一步地，在所述控制系統(tǒng)與所述混合氣出氣管路相連通的控制管路上，設(shè)置有氫氣分析儀。

進(jìn)一步地，在所述氫氣進(jìn)氣管路上，設(shè)置有質(zhì)量流量控制器，所述質(zhì)量流量控制器與所述控制系統(tǒng)相連。

本實(shí)用新型所公開(kāi)的改良的氫氮混合機(jī)與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用閉環(huán)控制系統(tǒng)后，無(wú)需人為控制，氫氮混合機(jī)會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)氫氣含量的比例，以氫氣設(shè)定值為標(biāo)準(zhǔn)，小范圍波動(dòng)，當(dāng)終端用氣量變化很大時(shí)，控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)來(lái)不急時(shí)，會(huì)出現(xiàn)氫氣濃度很高，此時(shí)改造后的保護(hù)系統(tǒng)開(kāi)始工作，將保護(hù)氮?dú)獬錆M整個(gè)管道，阻止了燃燒爆炸現(xiàn)象的發(fā)生，確保整個(gè)裝置的運(yùn)行安全，實(shí)際效果良好。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型公開(kāi)的改良的氫氮混合機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型及其效果作進(jìn)一步闡述。

如圖1所示，本實(shí)用新型公開(kāi)了一種改良的氫氮混合機(jī)，包括混合罐100，所述混合罐100上連通設(shè)置有氮?dú)膺M(jìn)氣管路200、氫氣進(jìn)氣管路300以及混合氣出氣管路400，氮?dú)膺M(jìn)氣管路200一端為氮?dú)膺M(jìn)口201，與氮?dú)鈿庠催B通，另一端與混合罐100連通，在氮?dú)膺M(jìn)氣管路上從氮?dú)膺M(jìn)口201至混合罐100方向依次設(shè)置有減壓閥202、外螺紋截止閥203、壓力表205以及質(zhì)量流量計(jì)204。氫氣進(jìn)氣管路300一端為氫氣進(jìn)口301，與氫氣氣源連通，另一端與混合罐100連通，在氫氣進(jìn)氣管路300從氫氣進(jìn)口301至混合罐100方向依次設(shè)置有壓力表302，外螺紋截止閥303、質(zhì)量流量控制器304、外螺紋截止閥305和玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)307，同時(shí)，還與外螺紋截止閥303、質(zhì)量流量控制器304以及外螺紋截止閥305并聯(lián)設(shè)置有外螺紋截止閥306。

所述混合氣出氣管路400一端與混合罐100連通，另一端設(shè)置有混合氣出口403，在混合氣出氣管路400上，沿混合罐100至混合氣出口403方向，依次設(shè)置有外螺紋截止閥401、第二控制閥402，在本例中，第二控制閥402為角式氣動(dòng)閥，在所述第二控制閥402上，還設(shè)置有壓力表404。

在所述混合罐100與所述第二控制閥402之間的混合氣出氣管路400上，還設(shè)置有不合格氣放氣管路500，所述不合格氣放氣管路500端部設(shè)置放空口503。在所述不合格氣放棄管路500沿遠(yuǎn)離混合罐100的方向，設(shè)置有外螺紋截止閥501以及第三控制閥502，在本例中，第三控制閥502為角式氣動(dòng)閥，在所述第三控制閥502上，設(shè)置有壓力表504。

在所述氮?dú)膺M(jìn)氣管路200與所述混合氣出口403之間連通有氮?dú)庹{(diào)節(jié)管路600，沿氮?dú)膺M(jìn)氣管路200至混合氣出口403方向的氮?dú)庹{(diào)節(jié)管路600上，依次設(shè)置有外螺紋截止閥603以及第一控制閥門(mén)601，第一控制閥門(mén)601為角式氣動(dòng)閥，在第一控制閥門(mén)601上還設(shè)置有壓力表602。

還包括控制系統(tǒng)900，控制系統(tǒng)900通過(guò)管路800與混合氣出氣管路400連通，在管路800上，沿混合罐100至控制系統(tǒng)900方向依次設(shè)置有球閥801、減壓閥802以及氫氣分析儀803，同時(shí)，控制系統(tǒng)900還與第一控制閥門(mén)601、第二控制閥門(mén)402、第三控制閥門(mén)502、質(zhì)量流量控制器304依次進(jìn)行連接，并通過(guò)控制系統(tǒng)900對(duì)第一控制閥門(mén)601、第二控制閥門(mén)402、第三控制閥門(mén)502、質(zhì)量流量控制器304進(jìn)行控制。同時(shí)，還包括氮?dú)鈧鞲衅?01與氫氣光纖傳感器902，所述氮?dú)鈧鞲衅?01與所述氫氣光纖傳感器902與所述控制系統(tǒng)900相連。

在本實(shí)施例中，還包括壓縮空氣管路700，所述壓縮空氣管路分別通過(guò)壓力表602、404、504，并與第一控制閥601、第二控制閥402以及第三控制閥502連通以為其提供氣壓驅(qū)動(dòng)力，在壓縮空氣管路700上，設(shè)置有球閥702、減壓閥703。壓縮空氣管路700其目的是為氣動(dòng)閥即第一控制閥601、第二控制閥402以及第三控制閥502等提供氣壓驅(qū)動(dòng)力。

當(dāng)系統(tǒng)檢測(cè)混合氣出口管道中的氫、氮?dú)獗壤鲈O(shè)定值時(shí)，控制系統(tǒng)900將會(huì)發(fā)出負(fù)反饋指令，控制開(kāi)大或關(guān)小第一控制閥602，以動(dòng)態(tài)維持氫、氮?dú)獗壤谠O(shè)定值的允許波動(dòng)范圍內(nèi)。

特殊情況下，當(dāng)系統(tǒng)檢測(cè)混合氣出口管道中氫氣含量超標(biāo)時(shí)，控制系統(tǒng)900將會(huì)發(fā)出指令，控制關(guān)閉第二控制閥402停止向輸出混合氣出口輸出混合氣，開(kāi)啟第三控制閥502使混合罐100的混合氣經(jīng)不合格氣放空口503釋放，同時(shí)打開(kāi)第一控制閥601，使送氣管道整個(gè)沖滿氮?dú)猓柚构艿廊紵?，保證設(shè)備及人員的安全。

最后應(yīng)說(shuō)明的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。