本實(shí)用新型涉及反應(yīng)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種具有二級(jí)反應(yīng)器的反應(yīng)裝置。

背景技術(shù)：

四氟化碳是目前微電子工業(yè)中重要的等離子體蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。四氟化碳合成方法很多，包括氫氟化碳與氟氣、氯氟化碳在催化劑存在下與氟化氫以及氟氣與碳源直接接觸反應(yīng)制備四氟化碳等。其中，目前成熟工藝采用氫氟化碳、氯氟化碳做碳源制備四氟化碳，原材料價(jià)格昂貴，易發(fā)生爆炸，且合成產(chǎn)物中有不易去除的雜質(zhì)；氟碳直接接觸反應(yīng)法制備四氟化碳，該方法經(jīng)過(guò)不斷的發(fā)展與完善，已能夠制備出四氟化碳。

但是，現(xiàn)有的反應(yīng)器的反應(yīng)效率低，反應(yīng)物的利用率低，除塵效果差，不利于四氟化碳的制備。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提出一種具有二級(jí)反應(yīng)器的反應(yīng)裝置，能夠克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，反應(yīng)效率高，產(chǎn)物純度高，除塵效果好。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種具有二級(jí)反應(yīng)器的反應(yīng)裝置，包括依次連接的第一反應(yīng)器、第一除塵器、第二反應(yīng)器和第二除塵器；

所述第一反應(yīng)器包括第一料倉(cāng)管、預(yù)熱管和反應(yīng)管；

所述第一料倉(cāng)管的底部設(shè)有喇叭狀的擴(kuò)容管，所述擴(kuò)容管由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向內(nèi)收窄；

所述第一料倉(cāng)管、擴(kuò)容管和預(yù)熱管均為豎向設(shè)置，所述反應(yīng)管為橫向設(shè)置；

所述預(yù)熱管的上端與所述擴(kuò)容管下端的開(kāi)口連接，所述預(yù)熱管的下端連通于所述反應(yīng)管；

所述反應(yīng)管的兩端設(shè)有第一進(jìn)氣口；

所述第一料倉(cāng)管設(shè)有第一排氣管，其連接于所述第一除塵器；

所述第二反應(yīng)器包括第二料倉(cāng)管、集氣管、加熱套管和第三排氣管；

所述集氣管設(shè)于所述第二料倉(cāng)管的底部；

所述集氣管的頂部設(shè)有開(kāi)口且連通至所述第二料倉(cāng)管的內(nèi)部；

所述集氣管的頂部開(kāi)口處設(shè)有篩板；

所述集氣管設(shè)有第三進(jìn)氣管，其連接于所述第一除塵器；

所述第三排氣管連接于所述第二除塵器；

所述加熱套管具有多個(gè)，其為中空的，其橫向貫穿于所述第二料倉(cāng)管；

所述加熱套管內(nèi)設(shè)置加熱管。

進(jìn)一步，所述第一料倉(cāng)管的頂部設(shè)有第一加料管和放空管；

所述第一加料管的一端和放空管的一端分別連通于所述第一料倉(cāng)管的頂部；

所述第一加料管的另一端和所述反應(yīng)管的兩端均設(shè)有法蘭和法蘭蓋，所述法蘭蓋安裝于所述法蘭。

進(jìn)一步，所述第一反應(yīng)器還包括冷卻箱；

所述反應(yīng)管設(shè)于所述冷卻箱內(nèi)，所述反應(yīng)管的兩端凸出于所述冷卻箱的外部。

進(jìn)一步，所述冷卻箱為矩形箱體，其頂部設(shè)有開(kāi)口；

所述冷卻箱的其中一側(cè)壁的底部外壁至少設(shè)有一個(gè)進(jìn)水管；

所述冷卻箱的其中一側(cè)壁的頂部近端處的外壁至少設(shè)有一個(gè)溢流管；

所述反應(yīng)管設(shè)有至少一個(gè)溫度計(jì)套管；

所述溫度計(jì)套管的下端封閉且位于所述反應(yīng)管內(nèi)；

所述溫度計(jì)套管內(nèi)設(shè)有溫度檢測(cè)器。

進(jìn)一步，所述第一除塵器包括除塵管和隔板；

所述隔板包括上隔板和下隔板，所述上隔板和下隔板的數(shù)量均至少為一；

所述上隔板和下隔板等間距地焊接于所述除塵管內(nèi)；

相鄰的所述上隔板和下隔板形成除塵氣路；

所述除塵管的外壁設(shè)有連通于所述除塵管內(nèi)部的第二進(jìn)氣管和第二排氣管，所述第一排氣管與所述第二進(jìn)氣管連接。

進(jìn)一步，所述除塵管的兩端均設(shè)有法蘭蓋和法蘭，所述法蘭蓋安裝于所述法蘭以密封所述除塵管；

所述上隔板的頂部與所述除塵管頂端的所述法蘭蓋的下表面貼合，所述下隔板的底部與所述除塵管底端的所述法蘭蓋的上表面貼合；

所述第一除塵器還包括擋板；

所述擋板固定于所述法蘭蓋，并且分別位于所述上隔板或下隔板的焊接處的兩側(cè)；

所述除塵管的底端設(shè)有喇叭狀的密封管；

所述除塵管的底端的所述法蘭蓋設(shè)有連通于所述除塵管內(nèi)部的第一排污管，所述第一排污管設(shè)有閥門(mén)。

進(jìn)一步，所述第二料倉(cāng)管的頂部設(shè)有第二加料管，所述第二加料管的一端連通于所述第二料倉(cāng)管的內(nèi)部，其另一端設(shè)有法蘭和法蘭蓋，所述法蘭蓋安裝于所述法蘭；

所述第三排氣管設(shè)于所述第二加料管的外壁；

所述第二反應(yīng)器還包括溫度檢測(cè)器，其設(shè)于所述第二料倉(cāng)管。

進(jìn)一步，所述第二除塵器包括集塵管、第二排污管和第四進(jìn)氣管；

所述第四進(jìn)氣管連通至所述第三排氣管；

所述第四進(jìn)氣管豎向設(shè)置，其底部位于所述集塵管內(nèi)，其頂部貫穿于所述集塵管的頂部；

所述第四進(jìn)氣管的底部設(shè)有氣體分布器，位于所述氣體分布器的上方設(shè)有氣體擾流板；

所述第二排污管設(shè)于所述集塵管的底部；

所述集塵管設(shè)有第四排氣管，其位于所述氣體擾流板的上方。

進(jìn)一步，所述氣體分布器為喇叭狀；

所述氣體分布器由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向外擴(kuò)張；

所述氣體分布器在其上端開(kāi)口處固定于所述第四進(jìn)氣管的底部；所述氣體分布器上排列滿氣孔。

進(jìn)一步，所述氣體擾流板為喇叭狀；

所述氣體擾流板由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向內(nèi)收窄，其上端的開(kāi)口的邊沿固定于所述集塵管的內(nèi)壁；

所述第二排污管向外傾斜；

所述第二排污管一側(cè)的頂部與所述集塵管的底部平面形成的角度A為鈍角；

所述第二排污管另一側(cè)的頂部與所述集塵管的底部平面形成的角度B為銳角；

所述第二排污管的底部設(shè)有排污口；

所述第四排氣管設(shè)于所述集塵管靠近于頂部的外壁；

所述集塵管內(nèi)設(shè)有半圓形擋板，其位于所述第四進(jìn)氣管內(nèi)靠近于所述第四排氣管的那一側(cè)，且位于所述第四排氣管的下方；

所述半圓形擋板為向下傾斜設(shè)置。

本實(shí)用新型根據(jù)上述內(nèi)容，提出一種具有二級(jí)反應(yīng)器的反應(yīng)裝置，其反應(yīng)效率高，除塵效果好。

所述第一反應(yīng)器用于氟氣和碳反應(yīng)生成四氟化碳，碳放置在所述第一料倉(cāng)管、預(yù)熱管和反應(yīng)管內(nèi)，所述第一進(jìn)氣口設(shè)于反應(yīng)管的兩端，一方面能夠增加單位時(shí)間內(nèi)氟氣通入至所述反應(yīng)管的量，使更多的氟氣與碳充分接觸，增加反應(yīng)的效率；氟氣與碳發(fā)生化學(xué)反應(yīng)時(shí)放出熱量，由于所述預(yù)熱管的下端連通于所述反應(yīng)管，大量的熱量會(huì)由反應(yīng)產(chǎn)物四氟化碳傳遞至所述預(yù)熱管內(nèi)的碳，對(duì)這些碳進(jìn)行預(yù)熱，保持反應(yīng)溫度穩(wěn)定，使后續(xù)碳和氟氣的反應(yīng)效率更高。

隨著反應(yīng)的進(jìn)行，所述反應(yīng)管的碳逐漸被消耗，由于所述第一料倉(cāng)管、擴(kuò)容管和預(yù)熱管均為豎向設(shè)置，在重力的作用下，所述預(yù)熱管內(nèi)的碳將會(huì)下落至所述反應(yīng)管以保證反應(yīng)的持續(xù)進(jìn)行，提高其工作的穩(wěn)定性和持續(xù)性；同樣地，所述第一料倉(cāng)管內(nèi)的碳會(huì)下落至所述預(yù)熱管內(nèi)保證待反應(yīng)的碳得到預(yù)熱，為后續(xù)的反應(yīng)做好準(zhǔn)備。

喇叭狀的所述擴(kuò)容管具有擴(kuò)大所述第一料倉(cāng)管容積的作用，由于所述擴(kuò)容管由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向內(nèi)收窄，所以連接于所述擴(kuò)容管上端開(kāi)口的第一料倉(cāng)管的橫截面積會(huì)大于連接于所述擴(kuò)容管下端開(kāi)口的預(yù)熱管的橫截面積，假設(shè)所述第一料倉(cāng)管和預(yù)熱管在相同的長(zhǎng)度下，所述第一料倉(cāng)管的容積會(huì)大大增加，從而減少碳的加入次數(shù)，提高所述第一反應(yīng)器工作的持續(xù)性。

氟氣與碳進(jìn)行反應(yīng)時(shí)生成四氟化碳?xì)怏w，但是，往往氟氣的利用率不能達(dá)到百分之百，且會(huì)混有不完全反應(yīng)的碳粉，變成主要含有四氟化碳、碳粉和氟氣的混合氣體，混合氣體會(huì)從所述第一排氣管排向所述第一除塵器進(jìn)行除塵處理，進(jìn)行初級(jí)除塵后，混合氣體中碳粉的含量降低，四氟化碳?xì)怏w的純度提高，并且初級(jí)除塵后的混合氣體通過(guò)所述第三進(jìn)氣管進(jìn)入所述集氣管，所述篩板是為了讓混合氣體中的碳粉落入所述集氣管內(nèi)，用以防止堵塞；氟氣和四氟化碳?xì)怏w則通過(guò)篩板進(jìn)入至所述第二料倉(cāng)管，由于所述集氣管設(shè)于所述第二料倉(cāng)管的底部，后續(xù)清理碳粉時(shí)會(huì)更加方便快捷。

由于所述加熱套管為中空的，方便所述加熱管放入至所述加熱套管的內(nèi)部；由于所述加熱套管具有多個(gè)，其橫向貫穿于所述第二料倉(cāng)管，能夠有效地把更多的碳承載在所述第二料倉(cāng)管內(nèi)；加熱管加熱，使被所述加熱套管支撐起的碳的溫度升高，當(dāng)氟氣與溫度升高的碳接觸反應(yīng)時(shí)，反應(yīng)的效率會(huì)更高，能夠更快地生成四氟化碳?xì)怏w，然后從所述第三排氣管排出至所述第二除塵器進(jìn)行二級(jí)除塵，最終氟氣的利用率達(dá)到百分之百，碳粉的含量也降到最低，大大提升四氟化碳?xì)怏w的純度。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型其中一個(gè)實(shí)施例的第一反應(yīng)器的正面的局部剖面圖。

圖2是本實(shí)用新型其中一個(gè)實(shí)施例的第一反應(yīng)器的側(cè)面的局部剖面圖。

圖3是本實(shí)用新型其中一個(gè)實(shí)施例的第一除塵器的正面的局部剖面圖。

圖4是圖3的C處的局部放大圖。

圖5是本實(shí)用新型其中一個(gè)實(shí)施例的第二反應(yīng)器的正面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本實(shí)用新型其中一個(gè)實(shí)施例的集氣管的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本實(shí)用新型其中一個(gè)實(shí)施例的第二除塵器的透視圖。

其中：第一反應(yīng)器2、第一料倉(cāng)管21、擴(kuò)容管211、第一排氣管212、第一加料管213、放空管214、支撐座215、預(yù)熱管22、反應(yīng)管23、第一進(jìn)氣口231、溫度計(jì)套管232、法蘭261、法蘭蓋262、冷卻箱24、進(jìn)水管241、溢流管242、第一除塵器25、除塵管251、密封管2511、隔板252、上隔板2521、下隔板2522、除塵氣路253、第二進(jìn)氣管254、第二排氣管255、擋板256、第一排污管257、第二反應(yīng)器3、第二料倉(cāng)管31、第三排氣管311、第二加料管312、第二支撐腳313、集氣管32、篩板321、第三進(jìn)氣管322、支撐柱323、加熱套管33、溫度檢測(cè)器34、第二除塵器35、集塵管351、第四排氣管3511、半圓形擋板3512、第二排污管352、排污口3521、第一支撐腳3522、第四進(jìn)氣管353、氣體分布器354、氣孔3541、氣體擾流板355。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過(guò)具體實(shí)施方式來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。

如圖1至圖7所示，一種具有二級(jí)反應(yīng)器的反應(yīng)裝置，包括依次連接的第一反應(yīng)器2、第一除塵器25、第二反應(yīng)器3和第二除塵器35；

所述第一反應(yīng)器2包括第一料倉(cāng)管21、預(yù)熱管22和反應(yīng)管23；

所述第一料倉(cāng)管21的底部設(shè)有喇叭狀的擴(kuò)容管211，所述擴(kuò)容管211由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向內(nèi)收窄；

所述第一料倉(cāng)管21、擴(kuò)容管211和預(yù)熱管22均為豎向設(shè)置，所述反應(yīng)管23為橫向設(shè)置；

所述預(yù)熱管22的上端與所述擴(kuò)容管211下端的開(kāi)口連接，所述預(yù)熱管22的下端連通于所述反應(yīng)管23；

所述反應(yīng)管23的兩端設(shè)有第一進(jìn)氣口231；

所述第一料倉(cāng)管21設(shè)有第一排氣管212，其連接于所述第一除塵器25；

所述第二反應(yīng)器3包括第二料倉(cāng)管31、集氣管32、加熱套管33和第三排氣管311；

所述集氣管32設(shè)于所述第二料倉(cāng)管31的底部；

所述集氣管32的頂部設(shè)有開(kāi)口且連通至所述第二料倉(cāng)管31的內(nèi)部；

所述集氣管32的頂部開(kāi)口處設(shè)有篩板321；

所述集氣管32設(shè)有第三進(jìn)氣管322，其連接于所述第一除塵器25；

所述第三排氣管311連接于所述第二除塵器35；

所述加熱套管33具有多個(gè)，其為中空的，其橫向貫穿于所述第二料倉(cāng)管31；

所述加熱套管33內(nèi)設(shè)置加熱管。

本實(shí)施例的所述第一反應(yīng)器2用于氟氣和碳反應(yīng)生成四氟化碳，碳放置在所述第一料倉(cāng)管21、預(yù)熱管22和反應(yīng)管23內(nèi)，所述第一進(jìn)氣口231設(shè)于反應(yīng)管23的兩端，一方面能夠增加單位時(shí)間內(nèi)氟氣通入至所述反應(yīng)管23的量，使更多的氟氣與碳充分接觸，增加反應(yīng)的效率；氟氣與碳發(fā)生化學(xué)反應(yīng)時(shí)放出熱量，由于所述預(yù)熱管22的下端連通于所述反應(yīng)管23，大量的熱量會(huì)由反應(yīng)產(chǎn)物四氟化碳傳遞至所述預(yù)熱管22內(nèi)的碳，對(duì)這些碳進(jìn)行預(yù)熱，保持反應(yīng)溫度穩(wěn)定，使后續(xù)碳和氟氣的反應(yīng)效率更高。

隨著反應(yīng)的進(jìn)行，所述反應(yīng)管23的碳逐漸被消耗，由于所述第一料倉(cāng)管21、擴(kuò)容管211和預(yù)熱管22均為豎向設(shè)置，在重力的作用下，所述預(yù)熱管22內(nèi)的碳將會(huì)下落至所述反應(yīng)管23以保證反應(yīng)的持續(xù)進(jìn)行，提高其工作的穩(wěn)定性和持續(xù)性；同樣地，所述第一料倉(cāng)管21內(nèi)的碳會(huì)下落至所述預(yù)熱管22內(nèi)保證待反應(yīng)的碳得到預(yù)熱，為后續(xù)的反應(yīng)做好準(zhǔn)備。

喇叭狀的所述擴(kuò)容管211具有擴(kuò)大所述第一料倉(cāng)管21容積的作用，由于所述擴(kuò)容管211由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向內(nèi)收窄，所以連接于所述擴(kuò)容管211上端開(kāi)口的第一料倉(cāng)管21的橫截面積會(huì)大于連接于所述擴(kuò)容管211下端開(kāi)口的預(yù)熱管22的橫截面積，假設(shè)所述第一料倉(cāng)管21和預(yù)熱管22在相同的長(zhǎng)度下，所述第一料倉(cāng)管21的容積會(huì)大大增加，從而減少碳的加入次數(shù)，提高所述第一反應(yīng)器2工作的持續(xù)性。

氟氣與碳進(jìn)行反應(yīng)時(shí)生成四氟化碳?xì)怏w，但是，往往氟氣的利用率不能達(dá)到百分之百，且會(huì)混有不完全反應(yīng)的碳粉，反應(yīng)后的氣體變成主要含有四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、一氧化碳、二氧化碳、碳粉、氟氣、氟化氫的混合氣體，混合氣體會(huì)從所述第一排氣管212排向所述第一除塵器25進(jìn)行除塵處理，進(jìn)行初級(jí)除塵后，混合氣體中碳粉的含量降低，四氟化碳?xì)怏w的純度提高，并且初級(jí)除塵后的混合氣體通過(guò)所述第三進(jìn)氣管322進(jìn)入所述集氣管32，氟氣和四氟化碳?xì)怏w通過(guò)篩板321進(jìn)入至所述第二料倉(cāng)管31，由于所述集氣管32設(shè)于所述第二料倉(cāng)管31的底部，后續(xù)清理碳粉時(shí)會(huì)更加方便快捷。

由于所述加熱套管33為中空的，方便所述加熱管放入至所述加熱套管33的內(nèi)部；由于所述加熱套管33具有多個(gè)，其橫向貫穿于所述第二料倉(cāng)管31，能夠有效地把更多的碳承載在所述第二料倉(cāng)管31內(nèi)；加熱管加熱，使被所述加熱套管33支撐起的碳的溫度升高，當(dāng)氟氣與達(dá)到溫度的碳接觸反應(yīng)時(shí)，反應(yīng)的效率會(huì)更高，能夠更快地生成四氟化碳?xì)怏w，然后從所述第三排氣管311排出至所述第二除塵器35進(jìn)行二級(jí)除塵，最終氟氣的利用率達(dá)到百分之百，碳粉的含量也降到最低，大大提升四氟化碳?xì)怏w的純度，減少了堵塞后續(xù)管道、設(shè)備的發(fā)生。

進(jìn)一步，所述第一料倉(cāng)管21的頂部設(shè)有第一加料管213和放空管214；

所述第一加料管213的一端和放空管214的一端分別連通于所述第一料倉(cāng)管21的頂部；

所述第一加料管213的另一端和所述反應(yīng)管23的兩端均設(shè)有法蘭261和法蘭蓋262，所述法蘭蓋262安裝于所述法蘭261。

所述第一反應(yīng)器2內(nèi)的碳經(jīng)過(guò)反應(yīng)消耗后，從設(shè)于所述第一料倉(cāng)管21頂部的第一加料管213加入碳，操作更加簡(jiǎn)單方便直接，因?yàn)樗龅谝患恿瞎?13的一端和放空管214的一端分別連通于所述第一料倉(cāng)管21的頂部，所以碳會(huì)在重力的作用下下落至第一料倉(cāng)管21、擴(kuò)容管211、預(yù)熱管22和反應(yīng)管23，以保證反應(yīng)的持續(xù)進(jìn)行；因?yàn)樗龅谝患恿瞎?13的另一端所述反應(yīng)管23的兩端均設(shè)有法蘭261和法蘭蓋262，所述法蘭蓋262安裝于所述法蘭261，所以在加料時(shí)只需拆卸所述法蘭蓋262，便能對(duì)所述第一反應(yīng)器2進(jìn)行加料操作。

所述放空管214的另一端連通至廢氣處理塔，操作時(shí)只需打開(kāi)放空閥門(mén)就可以進(jìn)行氣體的放空。

進(jìn)一步，所述反應(yīng)管23的兩端分別設(shè)有法蘭261和法蘭蓋262，所述法蘭蓋262安裝于所述法蘭261以密封所述反應(yīng)管23；

所述第一進(jìn)氣口231設(shè)于所述法蘭蓋262。

通過(guò)安裝所述法蘭261于所述法蘭蓋262，能夠有效的密封所述反應(yīng)管23，避免氣體泄漏，如反應(yīng)物氟氣的泄漏和生成物四氟化碳?xì)怏w的泄漏；通過(guò)拆卸所述法蘭蓋262，能夠快速地清理所述反應(yīng)管23內(nèi)的反應(yīng)留下的廢渣，操作簡(jiǎn)單方便；所述第一進(jìn)氣口231設(shè)于所述法蘭蓋262，保證氟氣有效地通入至所述反應(yīng)管。

進(jìn)一步，所述第一排氣管212橫向設(shè)于所述第一料倉(cāng)管21頂部近端處的徑向位置。

所述第一排氣管212橫向設(shè)于所述第一料倉(cāng)管21頂部近端處的外壁，能夠使混合氣體上升的路程增加，有利于碳粉的在重力的作用下沉降，提高四氟化碳?xì)怏w的純度。

進(jìn)一步，所述第一反應(yīng)器2還包括冷卻箱24；

所述反應(yīng)管23設(shè)于所述冷卻箱24內(nèi)，所述反應(yīng)管23的兩端凸出于所述冷卻箱24的外部。

氟氣和碳反應(yīng)時(shí)會(huì)放出大量的熱，所述冷卻箱24內(nèi)裝有冷卻水，以降低所述反應(yīng)管23的溫度，從而增加其使用壽命。所述反應(yīng)管23的兩端凸出于所述冷卻箱24的外部，方便安裝在其兩端的法蘭蓋262的拆裝，避免冷卻水進(jìn)入到所述反應(yīng)管23內(nèi)。

進(jìn)一步，所述冷卻箱24為矩形箱體，其頂部設(shè)有開(kāi)口；

所述冷卻箱24的其中一側(cè)壁的底部外壁至少設(shè)有一個(gè)進(jìn)水管241；

所述冷卻箱24的其中一側(cè)壁的頂部近端處的外壁至少設(shè)有一個(gè)溢流管242；

所述反應(yīng)管23設(shè)有至少一個(gè)溫度計(jì)套管232；

所述溫度計(jì)套管232的下端封閉且位于所述反應(yīng)管23內(nèi)；

所述溫度計(jì)套管232內(nèi)設(shè)有溫度檢測(cè)器34。

矩形的箱體容易生產(chǎn)，能夠裝載的冷卻水亦更多，其頂部設(shè)有的開(kāi)口起到觀察和檢查所述第一反應(yīng)器2使用狀況的作用。如圖2所示，本實(shí)施例的所述進(jìn)水管241的數(shù)量為一，所述溢流管242的數(shù)量為二，所述進(jìn)水管241和溢流管242均設(shè)于所述冷卻箱24的側(cè)壁，更方便其安裝；所述冷卻箱24的其中一側(cè)壁的底部外壁，當(dāng)冷卻水進(jìn)入所述進(jìn)水管241的進(jìn)水口時(shí)，冷卻水通入至所述冷卻箱24時(shí)會(huì)更加緩慢穩(wěn)定；所述溢流管242設(shè)于所述冷卻箱24的其中一側(cè)壁的頂部近端處的外壁，保證所述冷卻箱24內(nèi)的冷卻水足夠多以有效地冷卻所述反應(yīng)管23，避免冷卻水過(guò)多溢出。

如圖1所示，本實(shí)施例的所述溫度計(jì)套管232的數(shù)量為二，且對(duì)稱(chēng)設(shè)于所述預(yù)熱管22兩側(cè)的所述反應(yīng)管23上，能夠提高所述溫度檢測(cè)器34對(duì)反應(yīng)管23內(nèi)的溫度檢測(cè)的精準(zhǔn)度，所述溫度計(jì)套管232的下端封閉，既能密封所述反應(yīng)管23也能保護(hù)所述溫度檢測(cè)器34。

進(jìn)一步，如圖3所示，所述第一除塵器25包括除塵管251和隔板252；

所述隔板252包括上隔板2521和下隔板2522，所述上隔板2521和下隔板2522的數(shù)量均至少為一；

所述上隔板2521和下隔板2522等間距地焊接于所述除塵管251內(nèi)；

相鄰的所述上隔板2521和下隔板2522形成除塵氣路253；

所述除塵管251的外側(cè)設(shè)有連通于所述除塵管251內(nèi)部的第二進(jìn)氣管254和第二排氣管255，所述第一排氣管212與所述第二進(jìn)氣管254連接。

混合氣體經(jīng)過(guò)所述第二進(jìn)氣管254進(jìn)入至所述除塵管251的除塵氣路253時(shí)，在所述上隔板2521和下隔板2522的阻隔作用和重力的作用下，碳粉會(huì)沉降至所述除塵管251的底部，便于后續(xù)的清理，以提高四氟化碳?xì)怏w的純度，最終被進(jìn)一步純化的四氟化碳?xì)怏w從所述第二排氣管255排出至所述第三進(jìn)氣管322。

本實(shí)施例的所述上隔板2521的數(shù)量為二，所述下隔板2522的數(shù)量為一，通過(guò)焊接，使得所述上隔板2521和下隔板2522更加穩(wěn)固地設(shè)于所述除塵管251內(nèi)。

進(jìn)一步，所述除塵管251的兩端均設(shè)有法蘭蓋262和法蘭261，所述法蘭蓋262安裝于所述法蘭261以密封所述除塵管251；

所述上隔板2521的頂部與所述除塵管251頂端的所述法蘭蓋262的下表面貼合，所述下隔板2522的底部與所述除塵管251底端的所述法蘭蓋262的上表面貼合；

所述第一除塵器25還包括擋板256；

所述擋板256固定于所述法蘭蓋262，并且分別位于所述上隔板2521或下隔板2522的焊接處的兩側(cè)；

所述除塵管251的底端設(shè)有喇叭狀的密封管2511；

所述除塵管251的底端的所述法蘭蓋262設(shè)有連通于所述除塵管251內(nèi)部的第一排污管257，所述第一排污管257設(shè)有閥門(mén)。

如圖3和圖4所示，通過(guò)拆裝所述法蘭蓋262能夠快速地清理所述除塵管251，所述上隔板2521的頂部與所述除塵管251頂端的所述法蘭蓋262的下表面貼合，所述下隔板2522的底部與所述除塵管251底端的所述法蘭蓋262的上表面貼合，盡量使混合氣體沿著所述除塵氣路253運(yùn)動(dòng)，而不是直接從所述法蘭蓋262與上隔板2521和下隔板2522的貼合處直接穿過(guò)，提高除碳粉的質(zhì)量和四氟化碳?xì)怏w的純度。

所述擋板256能夠阻擋混混合氣體直接從所述法蘭蓋262與上隔板2521和下隔板2522的貼合處直接穿過(guò)，進(jìn)一步提高除碳粉的質(zhì)量和四氟化碳?xì)怏w的純度。

所述除塵管251底端的所述法蘭蓋262需定期拆下排放固態(tài)碳粉，但所述除塵管251底端的直徑越大，越難密封，所以所述密封管2511設(shè)置為由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向內(nèi)收窄的喇叭狀的管，提高其密封程度。

本實(shí)施例的氟氣是通過(guò)電解法生產(chǎn)的，所以氟氣中會(huì)混雜有氟化氫氣體，當(dāng)其溫度下降后會(huì)變成酸液，為了清理碳粉時(shí)的安全，先打開(kāi)所述第一排污管257上的閥門(mén)，排清酸液，再拆卸法蘭蓋262粉塵。

進(jìn)一步，所述第一料倉(cāng)管21還包括有至少兩個(gè)支撐座215；

所述支撐座215沿所述第一料倉(cāng)管21的外壁圓周等間距地設(shè)置。

本實(shí)施例的所述支撐座215的數(shù)量為二，其沿所述第一料倉(cāng)管21的外壁圓周等間距地設(shè)置，能夠更好地支撐所述第一料倉(cāng)管21，使所述第一料倉(cāng)管21被支撐時(shí)的受力更加均勻。

進(jìn)一步，所述第二料倉(cāng)管31的頂部設(shè)有第二加料管312，所述第二加料管312的一端連通于所述第二料倉(cāng)管31的內(nèi)部，其另一端設(shè)有法蘭261和法蘭蓋262，所述法蘭蓋262安裝于所述法蘭261；

所述第三排氣管311設(shè)于所述第二加料管312外側(cè)；

如圖5所示，所述第二反應(yīng)器3還包括溫度檢測(cè)器34，其設(shè)于所述第二料倉(cāng)管31。

所述第二反應(yīng)器3內(nèi)的碳經(jīng)過(guò)反應(yīng)消耗后，從設(shè)于所述第二料倉(cāng)管31頂部的第二加料管312加入碳，操作更加簡(jiǎn)單方便直接，所述第二加料管312的一端連通于所述第二料倉(cāng)管31的內(nèi)部，所以碳會(huì)在重力的作用下下落至所述第二料倉(cāng)管31內(nèi)，在加料時(shí)只需拆卸所述法蘭蓋262，便能對(duì)所述第二反應(yīng)器3進(jìn)行加料操作。

所述加熱套管33附近的碳與氟氣的反應(yīng)效率更高，所述溫度檢測(cè)器34能夠有效地檢測(cè)所述第二料倉(cāng)管31內(nèi)靠近于所述加熱套管33處的溫度，從而更好地把控所述加熱管的加熱溫度，以保證碳和氟氣持續(xù)處于最佳的反應(yīng)溫度。

進(jìn)一步，如圖5所示，所述集氣管32的底部設(shè)有法蘭蓋262和法蘭261；

所述法蘭蓋262安裝于所述法蘭261以密封所述集氣管32。

通過(guò)安裝所述法蘭蓋262，更夠能夠有效的密封所述集氣管32，避免氣體泄漏；通過(guò)拆卸所述法蘭蓋262，能夠快速地清理所述集氣管32內(nèi)的反應(yīng)留下的粉塵。

進(jìn)一步，如圖6所示，所述集氣管32內(nèi)設(shè)有支撐柱323；

所述支撐柱323的兩端分別抵住所述篩板321的底部和所述法蘭蓋262的頂部。

所述支撐柱323對(duì)所述篩板321具有支撐作用，能夠有效地支撐所述篩板321，保證其工作的穩(wěn)定性，使其能夠穩(wěn)定地過(guò)濾碳粉。

進(jìn)一步，所述加熱套管33設(shè)于所述第二料倉(cāng)管31底部的近端處。

能夠使盡量多的碳被所述加熱套管33支撐起，一方面減少后續(xù)加碳的次數(shù)，另一方面也能夠使氟氣與更多的碳接觸，提高其反應(yīng)的效率。

所述第二反應(yīng)器3還包括溫度檢測(cè)器34，其設(shè)于所述第二料倉(cāng)管31，并靠近于所述加熱套管33。

所述加熱套管33附近的碳與氟氣的反應(yīng)效率更高，所述溫度檢測(cè)器34能夠有效地檢測(cè)所述第二料倉(cāng)管31的反應(yīng)溫度，從而更好地把控所述加熱管的加熱溫度，以保證碳和氟氣持續(xù)處于最佳的反應(yīng)溫度。

進(jìn)一步，所述第二除塵器35包括集塵管351、第二排污管352和第四進(jìn)氣管353；

所述第四進(jìn)氣管353連通至所述第三排氣管311；

所述第四進(jìn)氣管353豎向設(shè)置，其底部位于所述集塵管351內(nèi)，其頂部貫穿于所述集塵管351的頂部；

所述第四進(jìn)氣管353的底部設(shè)有氣體分布器354，位于所述氣體分布器354的上方設(shè)有氣體擾流板355；

所述第二排污管352設(shè)于所述集塵管351的底部；

所述集塵管351設(shè)有第四排氣管3511，其位于所述氣體擾流板355的上方。

所述第二料倉(cāng)管31內(nèi)的碳和氟氣反應(yīng)生成的四氟化碳?xì)怏w中會(huì)混雜一些反應(yīng)不充分的碳粉，當(dāng)混雜有碳粉的四氟化碳?xì)怏w經(jīng)過(guò)第三排氣管311進(jìn)入至所述第四進(jìn)氣管353后從所述第四進(jìn)氣管353的底部排出，所述第四進(jìn)氣管353豎向設(shè)置，使其安裝更加方便，所述第四進(jìn)氣管353的頂部貫穿于所述集塵管351的頂部，使其與所述第三排氣管311的連接更加方便。

所述氣體分布器354能夠?qū)⒒祀s有碳粉的四氟化碳?xì)怏w均勻分布，在所述氣體擾流板355的作用下，混雜有碳粉的四氟化碳?xì)怏w會(huì)在所述集塵管351內(nèi)停留更長(zhǎng)的時(shí)間，更加利于碳粉的沉降于所述第二排污管352中，所述第四排氣管3511位于所述氣體擾流板355的上方，使最終從其中排出的四氟化碳?xì)怏w的純度更加高，混雜更加少的碳粉。

進(jìn)一步，所述氣體分布器354為喇叭狀；

所述氣體分布器354由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向外擴(kuò)張；

所述氣體分布器354在其上端開(kāi)口處固定于所述第四進(jìn)氣管353的底部；所述氣體分布器354上排列滿氣孔3541。

由于所述氣體分布器354的上端開(kāi)口較小，所以能夠與孔徑較小的第四進(jìn)氣管353匹配固定，喇叭狀的所述氣體分布器354由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向外擴(kuò)張，使得混合氣體的分布更加均勻，更加利于碳粉的沉降。所述氣孔3541進(jìn)一步地使混合氣體的分布更加均勻，更加利于碳粉的沉降。

進(jìn)一步，所述氣體擾流板355為喇叭狀；

所述氣體擾流板355由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向內(nèi)收窄，其上端的開(kāi)口的邊沿固定于所述集塵管351的內(nèi)壁；

所述第二排污管352向外傾斜；

所述第二排污管352一側(cè)的頂部與所述集塵管351的底部平面形成的角度A為鈍角；

所述第二排污管352另一側(cè)的頂部與所述集塵管351的底部平面形成的角度B為銳角；

所述第二排污管352的底部設(shè)有排污口3521；

所述第四排氣管3511設(shè)于所述集塵管351靠近于頂部的外壁；

所述集塵管351內(nèi)設(shè)有半圓形擋板3512，其位于所述第四進(jìn)氣管353內(nèi)靠近于所述第四排氣管3511的那一側(cè)，且位于所述第四排氣管3511的下方；

所述半圓形擋板3512為向下傾斜設(shè)置。

所述氣體擾流板355上端的開(kāi)口的邊沿固定于所述集塵管351的內(nèi)壁，所以混雜有碳粉的四氟化碳?xì)怏w能夠有效地被所述氣體擾流板355朝向所述集塵管351底部的外壁阻擋，使混合氣體有更加多的時(shí)間停留在所述集塵管351內(nèi)，有利于碳粉的沉降；所述氣體擾流板355由其上端的開(kāi)口向其下端的開(kāi)口逐漸向內(nèi)收窄，即使碳粉從所述氣體擾流板355的上方沉降，也不會(huì)堆積在所述氣體擾流板355上，也會(huì)順著所述氣體擾流板355上端的開(kāi)口下落至其下端的開(kāi)口，最終落入所述第二排污管352內(nèi)。

如圖7所示，本實(shí)施例的所述角度A為120°，角度B為30°，更加方便安全地清理所述第二排污管352內(nèi)的碳粉，本實(shí)施例的所述排污口3521設(shè)有法蘭蓋262和法蘭261，通過(guò)拆卸法蘭蓋262的方式，碳粉最終從所述排污口3521排出。

所述第四排氣管3511設(shè)于所述集塵管351靠近于頂部的外壁，使混合氣體有更多的時(shí)間停留在所述集塵管351內(nèi)，有利于碳粉的沉降；所述集塵管351內(nèi)設(shè)有半圓形擋板3512，其能夠阻隔混合氣體的上升，把混合氣體趕往遠(yuǎn)離所述第四排氣管3511出口處，進(jìn)一步地讓混合氣體有更多的時(shí)間停留在所述集塵管351內(nèi)，更利于有利于碳粉的沉降，所述半圓形擋板3512為向下傾斜設(shè)置，碳粉不容易堆積在其上，會(huì)順勢(shì)下落。

所述第二排污管352的外壁豎向設(shè)有三條第一支撐腳3522，能夠支撐起所述第二排污管352，方便其安裝。所述第二料倉(cāng)管31的外壁至少豎向設(shè)置有三條第二支撐腳313，能夠支撐起所述第二料倉(cāng)管31，方便其安裝。

以上結(jié)合具體實(shí)施例描述了本實(shí)用新型的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本實(shí)用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制?；诖颂幍慕忉?zhuān)绢I(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動(dòng)即可聯(lián)想到本實(shí)用新型的其它具體實(shí)施方式，這些方式都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。