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一種多點控溫結(jié)晶釜的制作方法

文檔序號:12529274閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開一種多點控溫結(jié)晶釜,包括釜體,所述釜體的內(nèi)部按上中下位置分別設(shè)有三個溫度傳感器,在對應(yīng)溫度傳感器的釜體的內(nèi)壁上設(shè)有三個分離的石墨烯加熱板,所述溫度傳感器和石墨烯加熱板均電連接至控制器。本實用新型的一種多點控溫結(jié)晶釜,利用溫度傳感器和石墨烯發(fā)熱板,達到了精確測量并控制釜體內(nèi)反應(yīng)溫度的目的,提高了物料的結(jié)晶質(zhì)量,本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、容易制造、使用維護方便、效率高等優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員:張鵬
受保護的技術(shù)使用者:無錫市翱宇特新科技發(fā)展有限公司
文檔號碼:201620594032
技術(shù)研發(fā)日:2016.06.18
技術(shù)公布日:2017.01.11

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