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打印系統(tǒng)組件和方法與流程

文檔序號:12282655閱讀:來源:國知局

技術特征:

1. 一種打印系統(tǒng),所述打印系統(tǒng)包括:

氣體包圍,其限定內(nèi)部;以及

打印系統(tǒng),其容置在氣體包圍組件的所述內(nèi)部內(nèi),所述打印系統(tǒng)包括:

打印頭組件,所述打印頭組件包括至少一個打印頭;

基板支撐設備,所述基板支撐設備用于支撐基板;以及

運動系統(tǒng),所述運動系統(tǒng)用于相對于所述打印頭組件來定位所述基板,所述運動系統(tǒng)包括:

Y軸線性空氣軸承運動系統(tǒng),所述Y軸線性空氣軸承運動系統(tǒng)構造有用于夾持所述基板的基板夾持器組件,和用于使所述基板的定向與所述行進Y軸維持平行的夾持器運動控制系統(tǒng);以及

X軸線性空氣軸承運動系統(tǒng)。

2.根據(jù)權利要求1所述的打印系統(tǒng),其中,所述夾持器運動系統(tǒng)可以使基板平行于所述行進Y軸的所述定向維持在+/-4300微弧度內(nèi)。

3.根據(jù)權利要求1所述的打印系統(tǒng),其中,所述基板支撐設備是浮動臺。

4.根據(jù)權利要求3所述的打印系統(tǒng),所述浮動臺具有打印區(qū);其中,所述浮動臺構造為將所述基板保持在位于所述打印區(qū)中的浮動臺上方大約30微米到大約50微米的飛行高度處。

5.根據(jù)權利要求3所述的打印系統(tǒng),其中,所述浮動臺包括多孔板。

6.根據(jù)權利要求1所述的打印系統(tǒng),其中,所述基板支撐設備構造為支撐從大約第3.5代到大約第10代的范圍內(nèi)大小的基板。

7.根據(jù)權利要求1所述的打印系統(tǒng),其中,所述X軸線性空氣軸承運動系統(tǒng)構造有Z軸移動板組件。

8.根據(jù)權利要求7所述的打印系統(tǒng),其中,所述Z軸移動板組件構造有氣動平衡系統(tǒng),以抵消抵靠在所述Z軸移動板組件上的負載的力。

9.根據(jù)權利要求1所述的打印系統(tǒng),其中,所述打印系統(tǒng)進一步包括氣體循環(huán)和過濾系統(tǒng)。

10. 根據(jù)權利要求9所述的打印系統(tǒng),其中,所述過濾系統(tǒng)構造為提供低顆粒環(huán)境,所述低顆粒環(huán)境包括:針對大小大于或者等于2 mm的顆粒,小于或者等于每分鐘每平方米基板大約100個顆粒的基板上沉積速率規(guī)格。

11.根據(jù)權利要求1所述的打印系統(tǒng),其中,所述打印系統(tǒng)進一步包括氣體凈化系統(tǒng)。

12. 根據(jù)權利要求11所述的打印系統(tǒng),其中,所述氣體凈化系統(tǒng)將氣體維持在每個反應性物種小于100 ppm。

13.根據(jù)權利要求12所述的打印系統(tǒng),其中,所述反應性物種選擇自水蒸氣和氧氣。

14.根據(jù)權利要求1所述的打印系統(tǒng),其中,包含在所述氣體包圍的內(nèi)部中的氣體是惰性氣體。

15.根據(jù)權利要求14所述的打印系統(tǒng),其中,所述惰性氣體選擇自氮、任何稀有氣體、以及其組合。

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