亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

打印系統(tǒng)組件和方法與流程

文檔序號:12282655閱讀:630來源:國知局
打印系統(tǒng)組件和方法與流程
本教導(dǎo)涉及可以維持在限定出具有惰性的、基本上低顆粒的環(huán)境的內(nèi)部的氣體包圍系統(tǒng)中的打印系統(tǒng)的各種實施例。有關(guān)申請的交叉引用該申請要求以下各項的權(quán)益:(1)2014年6月17日提交的美國臨時專利申請第62/013,433號;(2)2014年7月7日提交的美國臨時專利申請第62/021,390號;(3)2014年8月14日提交的美國臨時專利申請第62/037,494號;(4)2014年6月17日提交的美國臨時專利申請第62/013,440號;(5)2014年7月7日提交的美國臨時專利申請第62/021,563號;(6)2014年8月29日提交的美國臨時專利申請第62/044,165號;(7)2014年12月16日提交的美國臨時專利申請第62/092,721號;各個申請以引用的方式全部并入本文。概述對有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器技術(shù)的潛能的關(guān)注已經(jīng)由包括具有高度飽和的顏色、高對比度、超薄、快速響應(yīng)、而且節(jié)能的顯示面板的演示的OLED顯示器技術(shù)屬性驅(qū)動。另外,各種基板材料(包括,柔性聚合物材料)可以用于制造OLED顯示器技術(shù)。盡管針對小屏幕應(yīng)用(主要針對移動電話)的顯示器的演示已經(jīng)用來強調(diào)該技術(shù)的潛力,但是在一系列基板版式中以高產(chǎn)量定標(biāo)大容量制造方面仍然存在挑戰(zhàn)。針對版式的定標(biāo),Gen5.5基板具有大約130cmx150cm的尺寸,并且可以產(chǎn)生大約8個26”平板顯示器。相比之下,較大版式的基板可以包括使用Gen7.5和Gen8.5母玻璃基板大小。Gen7.5母玻璃具有大約195cmx225cm的尺寸,并且可以切割成每基板8個42”或者6個47”平板顯示器。用于Gen8.5的該母玻璃大約為220cmx250cm,并且可以切割成每基板6個55”或者8個46”平板顯示器。在將OLED顯示器制造定標(biāo)成較大版式中的挑戰(zhàn)的一個指示是:在大于Gen5.5基板的基板上以高產(chǎn)量大容量制造OLED顯示器已被證明為極具挑戰(zhàn)性。原則上,可以通過使用OLED打印系統(tǒng)在基板上打印各種有機薄膜以及其它材料來制造OLED裝置。這種有機材料可能容易受到氧化和其它化學(xué)過程的損害。以可以定標(biāo)各種基板大小并且可以在惰性的、基本上低顆粒的打印環(huán)境中進行的方式來容置OLED打印系統(tǒng)可以提出各種工程挑戰(zhàn)。用于高吞吐量大版式基板打印(例如,諸如,Gen7.5和Gen8.5基板的打?。┑闹圃旃ぞ咝枰浅4笮偷脑O(shè)施。因此,將大型設(shè)施維持在惰性環(huán)境下,需要氣體凈化來移除反應(yīng)性大氣物種(諸如,水蒸氣和氧氣以及有機溶劑蒸氣),以及保持基本上低顆粒的打印環(huán)境已證明極具挑戰(zhàn)性。同樣,在一系列基板版式中以高產(chǎn)量定標(biāo)大容量制造OLED顯示器技術(shù)方面仍然存在挑戰(zhàn)。因此,各種實施例存在對可以在惰性的、基本上低顆粒的環(huán)境中容置OLED打印系統(tǒng)的、并且可以容易地定標(biāo)以提供在各種基板大小和基板材料上的OLED面板的制造的本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例的需要。另外,本教導(dǎo)的各種氣體包圍系統(tǒng)可以在處理期間提供從外部對OLED打印系統(tǒng)的迅速進入,并且提供對內(nèi)部的進入以便在最少的停機時間下進行維護。附圖說明將通過參考附圖來獲取對本公開的特征和優(yōu)點的更好理解,附圖旨在示出,而不是限制本教導(dǎo)。在附圖中,該附圖并不一定需要按比例繪制,相同的標(biāo)記可以在不同的視圖中描述相似的部件。具有不同的字母后綴的相同的標(biāo)記可以表示相似的部件的不同的實例。圖1A是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的氣體包圍組件的視圖的前透視圖。圖1B描繪了如圖1A中描繪的氣體包圍組件的各種實施例的分解圖。圖1C描繪了在圖1B中描繪的打印系統(tǒng)的展開等距透視圖。圖1D是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的氣體包圍系統(tǒng)的輔助包圍的展開透視圖。圖2A是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的氣體包圍組件的視圖的前透視圖。圖2B是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的氣體包圍系統(tǒng)的輔助包圍的部分分解的透視圖。圖2C是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的氣體包圍系統(tǒng)的輔助包圍的部分分解的俯視透視圖。圖3是根據(jù)本教導(dǎo)的打印系統(tǒng)的展開等距視圖,其示出了Y軸運動系統(tǒng)。圖4A是根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例的Y軸運動系統(tǒng)的俯視圖。圖4B是圖4A的展開部分俯視圖。圖5A是根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例的Y軸運動系統(tǒng)的等距視圖。圖5B是圖5A的長截面圖。圖6是具有安裝在其上的夾持器運動控制組件的托架組件側(cè)框架的側(cè)視圖。圖7A是根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例的音圈組件的等距視圖。圖7B是音圈組件的側(cè)視圖。圖8是根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例的Y軸運動系統(tǒng)的俯視圖,其指示了兩個截面圖。圖9是如圖8指示的音圈組件的截面圖。圖10是如圖8指示的中心樞軸組件的截面圖。圖11是根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例的將氣動平衡提供給Z軸馬達的閉環(huán)控制電路的示意圖。圖12A是具有氣動提升元件的Z軸移動板的等距透視圖,并且圖12B是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的具有氣動提升元件的Z軸移動板的前透視圖。圖13是根據(jù)本教導(dǎo)的可以利用油墨傳送系統(tǒng)的各種實施例的封閉式打印系統(tǒng)的示意圖。圖14是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的批量油墨傳送系統(tǒng)的示意圖。圖15是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的批量油墨傳送系統(tǒng)的示意圖。圖16是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的用于封閉式打印系統(tǒng)的局部油墨傳送系統(tǒng)的示意圖。圖17是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的與用于封閉式打印系統(tǒng)的打印頭油墨傳送系統(tǒng)流動連通的局部油墨傳送系統(tǒng)的示意圖。圖18A安裝在X軸橋上的打印頭組件的底部透視圖。圖18B是圖18A的展開圖。圖19A是打印頭裝置的前俯視透視圖,而圖19B是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的打印頭裝置的前仰視透視圖。圖19C是用于打印頭裝置的安裝板的前俯視透視圖,而圖19D是根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的安裝在安裝組件中的打印頭裝置的前仰視透視圖。圖20是本教導(dǎo)的氣體包圍組件和相關(guān)系統(tǒng)部件的各種實施例的示意圖。圖21A和圖21B是用于集成和控制氣體源(諸如,可以用于建立氣體包圍中的受控氣體環(huán)境)的封閉式打印系統(tǒng)和部件的各種實施例的示意圖,其中,各種實施例可以包括與浮動臺一起使用的加壓氣體供應(yīng)。圖22A至圖22C是用于集成和控制氣體源(諸如,可以用于建立氣體包圍中的受控氣體環(huán)境)的封閉式打印系統(tǒng)和部件的各種實施例的示意圖,其中,各種實施例可以包括鼓風(fēng)機回路以提供,例如,與浮動臺一起使用的加壓氣體以及真空源。具體實施方式本教導(dǎo)公開了用于打印基板的打印系統(tǒng)的各種實施例,其中,打印系統(tǒng)可以容置在氣體包圍中,其中,可以將在包圍內(nèi)的環(huán)境維持為受控打印環(huán)境。本教導(dǎo)的受控環(huán)境可以包括:對在氣體包圍內(nèi)的氣體環(huán)境的類型的控制、對在包圍內(nèi)的顆粒物質(zhì)的大小和水平的控制、對在包圍內(nèi)的溫度的控制、以及對照明的控制。本教導(dǎo)的打印系統(tǒng)的各種實施例可以包括Y軸運動系統(tǒng)和Z軸移動板組件,該Y軸運動系統(tǒng)和該Z軸移動板組件構(gòu)造為,例如,通過消除或者基本上最小化常規(guī)電動機的使用,來基本上降低在氣體包圍內(nèi)的過量熱負(fù)荷。另外,本教導(dǎo)的Y軸運動系統(tǒng)的各種實施例可以包括構(gòu)造為在Y軸行進期間提供基板圍繞theta-Z(θ-Ζ)軸動態(tài)定向旋轉(zhuǎn)以維持平行于行進軸的基板定向的高精確度的Y軸運動系統(tǒng)的夾持器運動控制組件。氣體包圍組件的各種實施例可以與提供氣體循環(huán)和過濾系統(tǒng)、粒子控制系統(tǒng)、氣體凈化系統(tǒng)、和熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)等以形成可以維持針對需要這種環(huán)境的過程、基本上低顆粒的惰性氣體環(huán)境的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例的各種部件密封地構(gòu)建并且集成。氣體包圍的各種實施例可以具有打印系統(tǒng)包圍和構(gòu)建為氣體包圍組件的一部分的輔助包圍,該輔助包圍可以與氣體包圍的打印系統(tǒng)包圍密封地分離。本教導(dǎo)的打印系統(tǒng)的各種實施例可以具有封閉在輔助包圍中的打印頭管理系統(tǒng)。本教導(dǎo)的打印頭管理系統(tǒng)的實施例可以包括用于打印頭的維護和校準(zhǔn)的各種裝置和設(shè)備;各種裝置和設(shè)備各自安裝在用于相對于打印頭來精細(xì)定位各種裝置和設(shè)備的運動系統(tǒng)平臺上。在圖1C中的展開圖中示出的打印系統(tǒng)(諸如,圖1B的打印系統(tǒng)2000)可以由若干裝置和設(shè)備組成,該若干裝置和設(shè)備允許滴落在基板上的特定位置上的油墨的可靠布置。打印需要在打印頭組件與基板之間的相對運動。這可以使用運動系統(tǒng)(通常是臺架或者分開軸XYZ系統(tǒng))來完成。打印頭組件可以在固定基板(臺架式)上移動,或者打印頭和基板都可以在分開軸構(gòu)造的情況下移動。在另一實施例中,打印頭組件可以是基本上固定的;例如,在X和Y軸上,在Z軸運動由基板支撐設(shè)備或者由與打印頭組件相關(guān)聯(lián)的Z軸運動系統(tǒng)提供的情況下,基板可以相對于打印頭在X和Y軸上移動。當(dāng)打印頭相對于基板移動時,油墨滴在正確的時間噴射以沉積在基板上的期望位置中??梢允褂没寮虞d和卸載系統(tǒng)來將基板插入打印機并且從打印機移除基板。根據(jù)打印機構(gòu)造,這可以使用機械輸送機、具有輸送組件的基板浮動臺、或者具有末端執(zhí)行器的基板傳送機器人來完成。針對本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例,Y軸運動系統(tǒng)可以基于空氣軸承夾持器系統(tǒng)。針對關(guān)于可以用于各種OLED構(gòu)思的制造的基板大小的更為清晰的觀點,大約自20世紀(jì)90年代初期起,幾代母玻璃基板大小已經(jīng)經(jīng)歷了由不同于OLED打印制造的平板顯示器的演化。第一代母玻璃基板(指定為Gen1)大約為30cmx40cm,并且因此,可以生產(chǎn)15”面板。大約在20世紀(jì)90年代中期,生產(chǎn)平板顯示器的現(xiàn)有技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到Gen3.5母玻璃基板大小,該Gen3.5母玻璃基板大小具有大約60cmx72cm的尺寸。相比之下,Gen5.5基板具有大約130cmx150cm的尺寸。隨著各代的發(fā)展,針對不同于OLED打印制造過程生產(chǎn)了Gen7.5和Gen8.5的母玻璃大小。Gen7.5母玻璃具有大約195cmx225cm的尺寸,并且可以切割成每基板8個42”或者6個47”平板。用于Gen8.5的母玻璃大約為220cmx250cm,并且可以切割成每基板6個55”或者8個46”平板。OLED平板顯示器的針對品質(zhì)(諸如,較真實顏色、較高對比度、薄度、柔性、透明度、和能量效率)的期望已經(jīng)實現(xiàn),同時,OLED制造實際上限于G3.5以及更小。目前,OLED打印認(rèn)為是打破該限制的最佳制造技術(shù),并且使OLED面板制造不僅能夠用于Gen3.5和更小的母玻璃大小,而且能夠用于最大的母玻璃大小,諸如,Gen5.5、Gen7.5、和Gen8.5。OLED面板顯示器技術(shù)的特征中的一個包括可以使用各種基板材料,例如,但不限于,各種玻璃基板材料以及各種聚合物基板材料。在這方面,可以將由基于玻璃的基板的使用引起的術(shù)語敘述的大小應(yīng)用于適合于OLED打印使用的任何材料的基板。原則上,可以允許包括大版式基板大小的各種基板大小的打印的制造工具可能需要非常大型的設(shè)施,以用于容置此OLED制造工具。因此,將整個大型設(shè)施維持在惰性環(huán)境下提出了工程挑戰(zhàn),諸如,大體積的惰性氣體的不斷凈化。氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以具有與在氣體包圍外部的氣體凈化系統(tǒng)結(jié)合的在氣體包圍組件內(nèi)部的循環(huán)和過濾系統(tǒng),該循環(huán)和過濾系統(tǒng)連同該氣體凈化系統(tǒng)可以提供具有基本上低水平的反應(yīng)性物種的基本上低顆粒惰性氣體貫穿氣體包圍系統(tǒng)的持續(xù)循環(huán)。根據(jù)本教導(dǎo),惰性氣體可以是在一組限定條件下不經(jīng)歷化學(xué)反應(yīng)的任何氣體。惰性氣體的一些常用非限制示例可以包括氮、任何稀有氣體、以及它們的任何組合。另外,提供基本上氣密的大型設(shè)施以防止各種反應(yīng)性大氣氣體(諸如,水蒸氣和氧氣以及從各種打印過程生成的有機溶劑蒸氣)的污染引起了工程挑戰(zhàn)。根據(jù)本教導(dǎo),OLED打印設(shè)施將各種反應(yīng)性物種(包括:各種反應(yīng)性大氣氣體,諸如,水蒸氣和氧氣以及有機溶劑蒸氣)中的各個物種的水平維持在100ppm或者更低,例如,10ppm或者更低、1.0ppm或者更低、或者0.1ppm或者更低。對在反應(yīng)性物種中的每一個的水平應(yīng)該維持在目標(biāo)低水平處的設(shè)施中打印OLED面板的需要可以在審閱表格1中概述的信息中示出。在表格1上概述的數(shù)據(jù)由測試包括用于紅色、綠色、和藍(lán)色中的每一個的有機薄膜組合物的、以大像素的旋涂裝置版式制造的各個試樣產(chǎn)生。這種試樣實質(zhì)上更易于制造并且測試,以供各種配方和過程的快速評估的目的。盡管試樣測試不應(yīng)該與打印面板的壽命測試混淆,但是其可以指示各種配方和過程對壽命的影響。以下表格示出的結(jié)果表示在試樣的制造中的過程步驟中的變型,其中,與在空氣而不是氮環(huán)境中類似地制造的試樣相比,只有旋涂環(huán)境針對在反應(yīng)性物種少于1ppm的氮環(huán)境中制造的試樣變化。通過檢查表格1中針對在不同的處理環(huán)境下、尤其是在紅色和藍(lán)色的情況下制造的試樣的數(shù)據(jù),明顯的是,在有效地減少有機薄膜組合物暴露于反應(yīng)性物種的環(huán)境中的打印可以對各種EL的穩(wěn)定性產(chǎn)生實質(zhì)影響,并由此對壽命產(chǎn)生影響。壽命規(guī)格對OLED面板技術(shù)特別重要,因為這與顯示器產(chǎn)品壽命直接相關(guān);所有面板技術(shù)的產(chǎn)品規(guī)格,該產(chǎn)品規(guī)格一直是OLED面板技術(shù)所遇到的挑戰(zhàn)。為了提供滿足必備的壽命規(guī)格的面板,可以利用本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例將反應(yīng)性物種(諸如,水蒸氣、氧氣、以及有機溶劑蒸氣)中的每一個的水平維持在100ppm或者更低,例如,10ppm或者更低、1.0ppm或者更低、或者0.1ppm或者更低。表格1:惰性氣體處理對OLED面板的壽命的影響。除了提供惰性環(huán)境之外,維持用于OLED打印的基本上低顆粒的環(huán)境相當(dāng)重要,因為即使是非常小的顆粒都會導(dǎo)致OLED面板上的可見缺陷。在氣體包圍系統(tǒng)中的顆??刂瓶梢猿尸F(xiàn)針對可以在,例如,露天、高流動層流過濾罩的大氣條件中進行的過程未呈現(xiàn)過的顯著挑戰(zhàn)。例如,制造設(shè)施可能需要各種服務(wù)束的基本長度,該各種服務(wù)束的基本長度可以從各種系統(tǒng)和組件可操作地連接以提供操作,例如但不限于,打印系統(tǒng)所需的光學(xué)、電氣、機械、和流體連接。用于打印系統(tǒng)的操作的并且位于接近針對打印定位的基板的這種服務(wù)束可以是顆粒物質(zhì)的持續(xù)來源。另外,用于打印系統(tǒng)的部件(諸如,使用摩擦軸承的風(fēng)扇或者線性運動系統(tǒng))可以是顆粒生成部件。本教導(dǎo)的氣體循環(huán)和過濾系統(tǒng)的各種實施例可以結(jié)合顆??刂撇考褂靡匀菁{并且排除顆粒物質(zhì)。另外,通過使用各種本質(zhì)上低顆粒生成氣動操作部件(諸如,但不限于,基板浮動臺、空氣軸承、和氣動操作機器人等),可以維持用于氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例的低顆粒環(huán)境。關(guān)于維持基本上低顆粒的環(huán)境,氣體循環(huán)和過濾系統(tǒng)的各種實施例可以設(shè)計為針對空氣傳播的微粒提供符合如由國際標(biāo)準(zhǔn)組織標(biāo)準(zhǔn)(ISO)14644-1:1999“Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments-Part1:Classificationofaircleanliness/”的第1類至第5類指定的標(biāo)準(zhǔn)的低顆粒惰性氣體環(huán)境。然而,單獨地控制空氣傳播的顆粒物質(zhì)不足以在,例如但不限于,打印過程期間提供接近基板的低顆粒環(huán)境,因為在這種過程期間接近基板生成的顆??梢栽谄渫ㄟ^氣體循環(huán)和過濾系統(tǒng)掃除之前累積在基板表面上。因此,結(jié)合氣體循環(huán)和過濾系統(tǒng),本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以具有顆??刂葡到y(tǒng),該顆??刂葡到y(tǒng)可以包括可以在打印步驟中的處理期間提供接近基板的低顆粒區(qū)的部件。用于本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例的顆??刂葡到y(tǒng)可以包括氣體循環(huán)和過濾系統(tǒng)、用于相對于基板移動打印頭組件的低顆粒生成X軸線性軸承系統(tǒng)、服務(wù)束外殼排氣系統(tǒng)、和打印頭組件排氣系統(tǒng)。例如,氣體包圍系統(tǒng)可以具有在氣體包圍組件內(nèi)部的氣體循環(huán)和過濾系統(tǒng)。本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例可以維持基本上低顆粒環(huán)境,該基本上低顆粒環(huán)境提供未超過基板上沉積速率規(guī)格的所關(guān)注的特定粒度范圍的顆粒的平均基板上分布??梢葬槍λP(guān)注的顆粒粒度范圍中的每一個,將基板上沉積速率規(guī)格設(shè)定為在大約0.1μm以及更大與大約10μm以及更大之間。在本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例中,基板上顆粒沉積速率規(guī)格可以表示為:針對目標(biāo)顆粒粒度范圍中的每一個,每分鐘每平方米基板沉積的顆粒的數(shù)量的極限?;迳项w粒沉積速率規(guī)格的各種實施例可以容易地從每分鐘每平方米基板沉積的顆粒的數(shù)量的極限轉(zhuǎn)換成:針對目標(biāo)顆粒粒度范圍中的每一個,每分鐘每基板沉積的顆粒的數(shù)量的極限??梢酝ㄟ^在(例如特定代大小的基板的)基板與該代基板的相應(yīng)面積之間的已知關(guān)系來容易地進行這種轉(zhuǎn)換。例如,下面的表格2概述了一些已知代大小的基板的長寬比和面積。應(yīng)該理解的是,可以從不同的制造商看出長寬比輕微變化,并且由此看出大小的輕微變化。然而,不管這種變化如何,各種代大小的基板中的任何基板可以獲取用于特定代大小的基板和以平方米計算的面積的轉(zhuǎn)換因數(shù)。代IDX(mm)Y(mm)面積(m2)Gen3.05506500.36Gen3.56107200.44Gen3.56207500.47Gen46808800.60Gen47309200.67Gen5110012501.38Gen5110013001.43Gen5.5130015001.95Gen6150018502.78Gen7.5195022504.39Gen8216024005.18Gen8216024605.31Gen8.5220025005.50Gen9240028006.72Gen10285030508.69表格2:面積與基板大小之間的相關(guān)性。另外,表示為每分鐘每平方米基板沉積的顆粒的數(shù)量的極限的基板上顆粒沉積速率規(guī)格可以容易地轉(zhuǎn)換成各種單位時間表達中的任何表達。將容易地理解,標(biāo)準(zhǔn)化到分鐘的基板上顆粒沉積速率規(guī)格可以通過時間的已知關(guān)系(例如但不限于,諸如,秒、小時、天等)來容易地轉(zhuǎn)換成任何其它時間的表達。另外,可以使用與處理具體相關(guān)的時間單位。例如,打印周期可以與時間單位相關(guān)聯(lián)。針對根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,打印周期可以是時間周期,其中,基板移入氣體包圍系統(tǒng)中以用于打印,并且然后在打印完成之后從氣體包圍系統(tǒng)移除。針對根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,打印周期可以是從相對于打印頭組件來對準(zhǔn)基板開始到將最后一滴噴射的油墨傳送到基板上的時間周期。在處理
技術(shù)領(lǐng)域
中,總體平均周期時間或者TACT可以是針對特定過程周期的時間單位的表示。根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例,針對打印周期的TACT可以為大約30秒。針對本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例,針對打印周期的TACT可以為大約60秒。在本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例中,針對打印周期的TACT可以為大約90秒。針對本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例,針對打印周期的TACT可以為大約120秒。在本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例中,針對打印周期的TACT可以為大約300秒。相對于系統(tǒng)內(nèi)的空氣傳播的微粒物質(zhì)和顆粒沉積,大量變量可以影響:開發(fā)可以針對任何特定制造系統(tǒng)充分地計算,例如在表面(諸如,基板)上的顆粒散落速率的值的近似值的一般模式。變量,諸如,顆粒的大小、特定大小的顆粒分布;基板的表面積和在系統(tǒng)內(nèi)的基板的曝光時間可以根據(jù)各種制造系統(tǒng)而變化。例如,顆粒的大小和特定大小的顆粒分布可以基本上受到在各種制造系統(tǒng)中的顆粒生成部件的來源和位置的影響?;诒窘虒?dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例的計算表明:在沒有本教導(dǎo)的各種顆粒控制系統(tǒng)的情況下,針對0.1μm和更大的粒度范圍的顆粒,每平方米基板的每打印周期的顆粒物質(zhì)的基板上沉積可以在多于大約1百萬個顆粒到多于大約10百萬個顆粒之間。這種計算表明:在沒有本教導(dǎo)的各種顆粒控制系統(tǒng)的情況下,針對大約2μm和更大的粒度范圍的顆粒,每平方米基板的每打印周期的顆粒物質(zhì)的基板上沉積可以在多于大約1000個顆粒到大約多于大約10000個顆粒之間。本教導(dǎo)的低顆粒氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以維持低顆粒環(huán)境,該低顆粒環(huán)境提供符合針對大小大于或者等于10μm的顆粒,每分鐘每平方米基板小于或者等于大約100個顆粒的基板上沉積速率規(guī)格的平均基板上顆粒分布。本教導(dǎo)的低顆粒氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以維持低顆粒環(huán)境,該低顆粒環(huán)境提供符合針對大小大于或者等于5μm的顆粒,每分鐘每平方米基板小于或者等于大約100個顆粒的基板上沉積速率規(guī)格的平均基板上顆粒分布。在本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例中,可以維持低顆粒環(huán)境,該低顆粒環(huán)境提供符合針對大小大于或者等于2μm的顆粒,每分鐘每平方米基板小于或者等于大約100個顆粒的基板上沉積速率規(guī)格的平均基板上顆粒分布。在本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例中,可以維持低顆粒環(huán)境,該低顆粒環(huán)境提供符合針對大小大于或者等于1μm的顆粒,每分鐘每平方米基板小于或者等于大約100個顆粒的基板上沉積速率規(guī)格的平均基板上顆粒分布。本教導(dǎo)的低顆粒氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以維持低顆粒環(huán)境,該低顆粒環(huán)境提供符合針對大小大于或者等于0.5μm的顆粒,每分鐘每平方米基板小于或者等于大約1000個顆粒的基板上沉積速率規(guī)格的平均基板上顆粒分布。針對本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以維持低顆粒環(huán)境,該低顆粒環(huán)境提供符合針對大小大于或者等于0.3μm的顆粒,每分鐘每平方米基板小于或者等于大約1000個顆粒的基板上沉積速率規(guī)格的平均基板上顆粒分布。本教導(dǎo)的低顆粒氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以維持低顆粒環(huán)境,該低顆粒環(huán)境提供符合針對大小大于或者等于0.1μm的顆粒,每分鐘每平方米基板小于或者等于大約1000個顆粒的基板上沉積速率規(guī)格的平均基板上顆粒分布。要考慮,多種油墨配方可以在本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例的惰性的、基本上低顆粒的環(huán)境內(nèi)打印。在OLED顯示器的制造期間,OLED像素可以形成為包括OLED薄膜疊層,該OLED薄膜疊層可以在施加電壓時發(fā)射特定峰值波長的光。在陽極和陰極之間的OLED薄膜疊層結(jié)構(gòu)可以包括空穴注入層(HIL)、空穴傳輸層(HTL)、發(fā)射層(EL)、電子傳輸層(ETL)、和電子注入層(EIL)。在OLED薄膜疊層結(jié)構(gòu)的一些實施例中,電子傳輸層(ETL)可以與電子注入層(EIL)結(jié)合以形成ETL/EIL層。根據(jù)本教導(dǎo),可以使用例如噴墨打印來打印針對OLED薄膜疊層的各種彩色像素EL薄膜的用于EL的各種油墨配方。另外,例如,但不限于,HIL、HTL、EML、和ETL/EIL層可以具有可以通過使用噴墨打印來打印的油墨配方。要進一步考慮,有機包裝層可以打印在基板打印上。要考慮,可以使用噴墨打印來打印有機包裝層,因為噴墨打印可以提供若干優(yōu)點。第一,可以消除一系列真空處理操作,因為這種基于噴墨的制造可以在大氣壓力下執(zhí)行。另外,在噴墨打印過程期間,可以將有機包裝層局部化以覆蓋OLED基板的在活動區(qū)域上方的和接近活動區(qū)域的部分,以有效地包裝活動區(qū)域,包括該活動區(qū)域的側(cè)邊緣。使用噴墨打印結(jié)果的目標(biāo)圖案化引起:消除了材料浪費以及消除了實現(xiàn)有機層的圖案化通常所需的附加處理。包裝油墨可以包括聚合物(包括:例如但不限于,丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、氨基甲酸乙酯、或者其它材料、以及它們的共聚物和混合物),該聚合物可以通過使用熱處理(例如,烘烤)、UV曝光、和它們的組合來固化。如本文使用的,聚合物和共聚物可以包括可以配制成油墨并且固化在基板上以形成有機包裝層的任何形式的聚合物組分。這種聚合物組分可以包括聚合物,和共聚物,以及它們的前體,例如但不限于,單體、低聚物、和樹脂。氣體包圍組件的各種實施例可以具有構(gòu)造為提供用于氣體包圍組件的輪廓的各種框架構(gòu)件。本教導(dǎo)的氣體包圍組件的各種實施例可以在最優(yōu)化工作空間以最小化惰性氣體體積而且允許可在處理期間從外部進入OLED打印系統(tǒng)的同時容納OLED打印系統(tǒng)。在這方面,本教導(dǎo)的各種氣體包圍組件可以具有輪廓化拓?fù)浜腕w積。如隨后將在本文中更詳細(xì)討論的,氣體包圍的各種實施例可以圍繞打印系統(tǒng)基座(可以在其上安裝基板支撐設(shè)備)而形成輪廓。進一步地,氣體包圍可以圍繞用于托架組件的X軸運動的打印系統(tǒng)的橋結(jié)構(gòu)而形成輪廓。如非限制示例,根據(jù)本教導(dǎo)的輪廓化氣體包圍的各種實施例可以具有用于容置能夠從Gen3.5到Gen10的打印基板大小的打印系統(tǒng)的各種實施例的在大約6m3到大約95m3之間的氣體包圍體積。通過另一非限制性示例,根據(jù)本教導(dǎo)的輪廓化氣體包圍的各種實施例可以具有用于容置能夠打印,例如,Gen5.5到Gen8.5基板大小的打印系統(tǒng)的各種實施例的在大約15m3到大約30m3之間的氣體包圍體積。與針對寬度、長度、和高度具有非輪廓化尺寸的非輪廓化包圍相比,輪廓化氣體包圍的這種實施例可以節(jié)省大約30%到大約70%之間的體積。圖1A描繪了根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍組件的各種實施例的氣體包圍組件1000的透視圖。氣體包圍組件1000可以包括前面板組件1200、中間面板組件1300、和后面板組件1400。前面板組件1200可以包括前頂板面板組件1260、可以具有用于接收基板的開口1242的前壁面板組件1240、和前基座面板組件1220。后面板組件1400可以包括后頂板面板組件1460、后壁面板組件1440和后基座面板組件1420。中間面板組件1300可以包括第一中間包圍面板組件1340、中間壁與頂板面板組件1360、和第二中間包圍面板組件1380、以及中間基座面板組件1320。另外,如圖1A描繪的,中間面板組件1300可以包括第一打印頭管理系統(tǒng)基本上低顆粒環(huán)境,以及第二打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件(未示出)。構(gòu)建為氣體包圍組件的一部分的輔助包圍的各種實施例可以與氣體包圍系統(tǒng)的工作體積密封地分離。針對本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例,輔助包圍可以小于或者等于大約1%的氣體包圍系統(tǒng)的包圍體積。在本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例中,輔助包圍可以小于或者等于大約2%的氣體包圍系統(tǒng)的包圍體積。針對本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例,輔助包圍可以小于或者等于大約5%的氣體包圍系統(tǒng)的包圍體積。在本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例中,輔助包圍可以小于或者等于大約10%的氣體包圍系統(tǒng)的包圍體積。在本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例中,輔助包圍可以小于或者等于大約20%的氣體包圍系統(tǒng)的包圍體積。如果指示打開通向包含反應(yīng)性氣體的周圍環(huán)境的輔助包圍以執(zhí)行,例如維護過程,從而,將輔助包圍與氣體包圍的工作體積分離可以防止氣體包圍的整個體積的污染。進一步地,與氣體包圍的打印系統(tǒng)包圍部分相比,在給定輔助包圍的相對較小體積的情況下,輔助包圍的恢復(fù)時間可以耗費比整個打印系統(tǒng)包圍的恢復(fù)時間顯著較少的時間。如圖1B描繪的,氣體包圍組件1000可以包括前基座面板組件1220、中間基座面板組件1320、和后基座面板組件1420,這些組件在完全構(gòu)建時形成連續(xù)基座或者底盤,可以在其上安裝打印系統(tǒng)2000。按照如針對圖1A的氣體包圍組件100描述的類似方式,包括氣體包圍組件1000的前面板組件1200、中間面板組件1300、和后面板組件1400的各種框架構(gòu)件和面板可以圍繞打印系統(tǒng)2000接合以形成打印系統(tǒng)包圍。前面板組件1200可以圍繞安裝的打印系統(tǒng)2000而形成輪廓,以形成氣體包圍的第一隧道包圍區(qū)段。類似地,后面板組件1400可以圍繞打印系統(tǒng)2000成形,以形成氣體包圍的第二隧道包圍區(qū)段。另外,中間面板組件1300可以圍繞打印系統(tǒng)2000的橋區(qū)段而形成輪廓,以形成氣體包圍的橋包圍區(qū)段。同時,第一隧道包圍區(qū)段、第二隧道區(qū)段、和橋包圍區(qū)段可以形成打印包圍區(qū)段。如將在本文中更詳細(xì)討論的,根據(jù)本教導(dǎo),輔助包圍可以在,例如,打印過程期間與打印系統(tǒng)包圍密封地分離,以便在很少或者不中斷打印過程的情況下,執(zhí)行各種測量和維護任務(wù)。進一步地,完全構(gòu)建的氣體包圍組件(諸如,氣體包圍組件1000)在與各種環(huán)境控制系統(tǒng)集成時可以形成包括OLED打印系統(tǒng)(諸如,打印系統(tǒng)2000)的各種實施例的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例。根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,由氣體包圍組件限定出的內(nèi)部體積的環(huán)境控制可以包括:對照明的控制(例如,通過特定波長的燈的數(shù)量和布置)、使用顆??刂葡到y(tǒng)的各種實施例對顆粒物質(zhì)的控制、使用氣體凈化系統(tǒng)的各種實施例對反應(yīng)性氣體物種的控制、以及使用熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)的各種實施例對氣體包圍組件的溫度控制。在圖1C中的展開圖中示出的打印系統(tǒng)(諸如,圖1B的打印系統(tǒng)2000)可以由若干裝置和設(shè)備組成,該若干裝置和設(shè)備允許滴落在基板上的特定位置上的油墨的可靠布置。這些裝置和設(shè)備可以包括,但不限于,打印頭組件、油墨傳送系統(tǒng)、用于提供在打印頭組件與基板之間的相對運動的運動系統(tǒng)、基板支撐設(shè)備、基板加載和卸載系統(tǒng)、以及打印頭管理系統(tǒng)。打印頭組件可以包括具有能夠按照受控速率、速度、和大小噴射油墨滴的至少一個孔口的至少一個噴墨頭。噴墨頭由將油墨提供給噴墨頭的油墨供應(yīng)系統(tǒng)進給。如圖1C的展開圖所示,打印系統(tǒng)2000可以具有基板(諸如,基板2050),該基板可以由基板支撐設(shè)備(諸如,吸盤,例如,但不限于,真空吸盤、具有壓力端口的基板浮動吸盤、和具有真空與壓力端口的基板浮動吸盤)支撐。在本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例中,基板支撐設(shè)備可以是基板浮動臺。如隨后將在本文中更詳細(xì)討論的,圖1C的基板浮動臺2200可以用于支撐基板2050,并且結(jié)合Y軸運動系統(tǒng)可以是提供基板2050的無摩擦輸送的基板輸送系統(tǒng)的一部分。如將在本文中更詳細(xì)討論的,本教導(dǎo)的Y軸運動系統(tǒng)可以包括第一Y軸支撐梁2351和第二Y軸支撐梁2352,該第一Y軸支撐梁2351和第二Y軸支撐梁2352可以包括用于保持基板的夾持器系統(tǒng)(未示出)。Y軸運動可以由線性空氣軸承或者線性機械系統(tǒng)提供。圖1B和圖1C中示出的打印系統(tǒng)2000的基板浮動臺2200可以在打印過程期間限定基板2050通過圖1A的氣體包圍組件1000的行進。圖1C大體上示出了可以包括基板的浮動輸送件的用于打印系統(tǒng)2000的基板浮動臺2200的示例,該浮動輸送件可以具有提供浮動的多孔介質(zhì)。在圖1C的示例中,搬送器或者其它輸送件可以用于將基板2050定位在基板浮動臺2200的輸入?yún)^(qū)域2201中,諸如,定位在輸送件上。輸送機可以,諸如,使用機械接觸(例如,使用銷的陣列、托盤、支撐框架構(gòu)造)或者使用氣墊以使基板2050可控地浮動(例如,“空氣軸承”臺構(gòu)造)來將基板2050定位在打印系統(tǒng)內(nèi)的特定位置處。基板浮動臺2200的打印區(qū)域2202可以用于在制造期間將一個或者多個層可控地沉積在基板2050上。打印區(qū)域2202還可以聯(lián)接至基板浮動臺2200的輸出區(qū)域2203。輸送機可以沿著基板浮動臺2200的輸入?yún)^(qū)域2201、打印區(qū)域2202、和輸出區(qū)域2203延伸,并且可以按照需要針對各種沉積任務(wù)重新定位基板2050,或者可以在單個沉積操作期間重新定位基板2050。在輸入?yún)^(qū)域2201、打印區(qū)域2202、和輸出區(qū)域2203附近的受控環(huán)境可以是普遍共享的。圖1C的打印系統(tǒng)2000可以包括一個或者多個打印頭裝置2505,各個打印頭裝置具有一個或者多個打印頭;例如,噴嘴打印、熱噴射、或者噴墨類型。一個或者多個打印頭裝置2505可以聯(lián)接至架空(overhead)托架或者以其它方式橫跨架空托架,諸如,第一X軸托架組件2301。針對本教導(dǎo)的打印系統(tǒng)2000的各種實施例,一個或者多個打印頭裝置2505的一個或者多個打印頭可以構(gòu)造為按照基板2050的“正面朝上”構(gòu)造來將一個或者多個圖案化有機層沉積在基板2050上。這種層可以包括:例如,電子注入或者傳輸層、空穴注入或者傳輸層、阻擋層、或者發(fā)射層中的一個或者多個。這種材料可以提供一個或者多個電功能層。根據(jù)圖1C示出的浮動方案,在基板2050僅由氣墊支撐的示例中,可以通過端口的布置或者使用分布式多孔介質(zhì)來施加正氣壓和真空的組合。具有壓力和真空控制的這種區(qū)可以有效地提供在輸送機與基板之間的流體彈簧。正壓力和真空控制的組合可以提供具有雙向剛度的流體彈簧。在基板(例如,基板2050)與表面之間存在的間隙可以稱作“飛行高度”,并且可以通過控制正壓力和真空端口狀態(tài)來控制或者以其它方式建立這種高度。按照這種方式,可以將基板Z軸高度仔細(xì)地控制在,例如,打印區(qū)域2202中。在一些實施例中,機械保持技術(shù)(諸如,銷或者框架)可以用于在基板由氣墊支撐時限制基板的側(cè)向平移。這種保持技術(shù)可以包括使用彈簧加載結(jié)構(gòu),以便在保持基板的同時減少傳入基板的側(cè)面的瞬時力;這可以是有益的,因為在側(cè)向平移的基板與保持裝置之間的高力沖擊可以導(dǎo)致基板碎裂或者甚至毀滅性破裂。在其它情況下,大體上如圖1C示出的,諸如,在不需要精確地控制飛行高度的情況下,可以,諸如,在輸入或者輸出區(qū)域2100或者2300中沿著輸送機或者其它地方提供僅壓力浮動區(qū)。可以提供“過渡”區(qū),諸如,其中,壓力與真空噴嘴的比逐步地增加或者減少。在例示性示例中,在壓力-真空區(qū)、過渡區(qū)、與僅壓力區(qū)之間可以存在基本上均勻高度,從而使得,在公差范圍內(nèi),這三個區(qū)可以在本質(zhì)上處于一個平面。在別處在僅壓力區(qū)上方的基板的飛行高度可以大于在壓力-真空區(qū)上方的基板的飛行高度,諸如,以便允許足夠的高度,從而使得,基板將不會與在僅壓力區(qū)中的浮動臺碰撞。在例示性示例中,OLED面板基板可以在僅壓力區(qū)上方具有大約150微米(μ)到大約300μ之間的飛行高度,并且然后,在壓力-真空區(qū)上方具有大約30μ到大約50μ之間的飛行高度。在例示性示例中,基板浮動臺2200或者其它制造設(shè)備的一個或者多個部分可以包括由NewWay?AirBearings(Aston,賓夕法尼亞州,美國)提供的“空氣軸承”組件。多孔介質(zhì)可以用于建立用于在打印、緩沖、干燥、或者熱處理中的一個或者多個期間浮動輸送或者支撐基板2050的分布式加壓氣墊。例如,多孔介質(zhì)“板”(諸如,聯(lián)接至或者包括作為輸送機的一部分)可以提供“分布”壓力以按照與單獨氣體端口的使用相似的方式支撐基板2050。在沒有使用大型氣體端口孔徑的情況下,分布式加壓氣墊的使用可以在某些情況下進一步改進均勻性并且減少或者最小化不均勻或者其它可見缺陷的形成(盡管使用了氣墊),諸如,在用于產(chǎn)生氣墊的相對大的氣體端口的使用導(dǎo)致不均勻性的那些情況下。可以,諸如,從NanoTEMCo.,Ltd(Niigata,日本)獲取多孔介質(zhì),該多孔介質(zhì),諸如,具有指定為占據(jù)基板2050的全部或者基板的指定區(qū)域(諸如,顯示區(qū)域或者在顯示區(qū)域之外的區(qū)域)的物理尺寸。這種多孔介質(zhì)可以包括:在減少或者消除不均勻或者其它可見缺陷形成的同時,指定為在指定區(qū)域上方提供期望的加壓氣流的孔大小。打印需要在打印頭組件與基板之間的相對運動。這可以使用運動系統(tǒng)(通常是臺架或者分開軸XYZ系統(tǒng))來完成。打印頭組件可以在固定基板(臺架式)上移動,或者打印頭和基板兩者都可以在分開軸構(gòu)造的情況下移動。在另一實施例中,打印頭組件可以是基本上固定的;例如,在X和Y軸上,在Z軸運動由基板支撐設(shè)備或者由與打印頭組件相關(guān)聯(lián)的Z軸運動系統(tǒng)提供的情況下,基板可以相對于打印頭在X和Y軸上移動。當(dāng)打印頭相對于基板移動時,油墨滴在正確的時間噴射以沉積在基板上的期望位置中。可以使用基板加載和卸載系統(tǒng)來將基板插入打印機并且從打印機移除基板。根據(jù)打印機構(gòu)造,這可以使用機械輸送機、具有輸送組件的基板浮動臺、或者具有末端執(zhí)行器的基板傳送機器人來完成。打印頭管理系統(tǒng)可以由若干子系統(tǒng)組成,該若干子系統(tǒng)允許這種測量任務(wù)(諸如,檢查噴嘴發(fā)射以及測量來自打印頭中的每個噴嘴的液滴體積、速度、和軌跡)和維護任務(wù)(諸如,擦拭或者弄干過量油墨的油墨噴嘴表面、將油墨從油墨供應(yīng)經(jīng)過打印頭噴射到廢物池中來引動并且清洗打印頭、和更換打印頭)。考慮到可以包括OLED打印系統(tǒng)的各種部件,OLED打印系統(tǒng)的各種實施例可以具有各種影響區(qū)域和形狀因子。相對于圖1C,打印系統(tǒng)基座2100可以包括第一豎板2120和第二豎板2122,橋2130安裝在該第一豎板2120和第二豎板2122上。針對打印系統(tǒng)2000的各種實施例,橋2130可以支撐分別跨過橋2130的第一X軸托架組件2301和第二X軸托架組件2302,該第一X軸托架組件2301和第二X軸托架組件2302可以控制第一打印頭組件2501和第二打印頭組件2502的移動。針對打印系統(tǒng)2000的各種實施例,第一X軸托架組件2301和第二X軸托架組件2302可以利用在本質(zhì)上為低顆粒生成的線性空氣軸承運動系統(tǒng)。根據(jù)本教導(dǎo)的打印系統(tǒng)的各種實施例,X軸托架可以具有安裝在其上的Z軸移動板。在圖1C中,第一X軸托架組件2301描繪為具有第一Z軸移動板2310,而第二X軸托架組件2302描繪為具有第二Z軸移動板2312。盡管圖1C描繪了兩個托架組件和兩個打印頭組件,針對打印系統(tǒng)2000的各種實施例,可以存在單個托架組件和單個打印頭組件。例如,第一打印頭組件2501和第二打印頭組件2502中的一個可以安裝在X,Z軸托架組件上,而用于檢查基板2050的特征的攝像機系統(tǒng)可以安裝在第二X,Z軸托架組件上。打印系統(tǒng)2000的各種實施例可以具有單個打印頭組件,例如,第一打印頭組件2501和第二打印頭組件2502中的一個可以安裝在X,Z軸托架組件上,而用于固化打印在基板2050上的包裝層的UV燈可以安裝在第二X,Z軸托架組件上。針對打印系統(tǒng)2000的各種實施例,可以存在安裝在X,Z軸托架組件上的單個打印頭組件(例如,第一打印頭組件2501和第二打印頭組件2502中的任一個),而用于固化打印在基板2050上的包裝層的熱源可以安裝在第二托架組件上。在圖1C中,各個打印頭組件(諸如,圖1C的第一打印頭組件2501和第二打印頭組件2502)可以具有安裝在至少一個打印頭裝置中的多個打印頭,如在部分視圖中針對第一打印頭組件2501描繪的,該部分視圖描繪了多個打印頭裝置2505。打印頭裝置可以包括:例如,但不限于,到至少一個打印頭的流體和電子連接;具有能夠按照受控速率、速度、和大小噴射油墨的多個噴嘴或者孔口的各個打印頭。針對打印系統(tǒng)2000的各種實施例,打印頭組件可以包括大約1個到大約60個之間的打印頭裝置,其中,各個打印頭裝置可以在各個打印頭裝置中具有大約1個到大約30個之間的打印頭。打印頭(例如,工業(yè)噴墨頭)可以具有大約16個到大約2048個之間的噴嘴,這些噴嘴可以排出大約0.1pl到大約200pl之間的液滴體積。根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,給定打印頭裝置和打印頭的絕對數(shù)量,第一打印頭管理系統(tǒng)2701和第二打印頭管理系統(tǒng)2702就可以容置在輔助包圍中,該輔助包圍可以在打印過程期間與打印系統(tǒng)包圍分離,以便在很少或者不中斷打印過程的情況下執(zhí)行各種測量和維護任務(wù)。如在圖1C中可以看出,可以看出第一打印頭組件2501相對于第一打印頭管理系統(tǒng)2701定位,以便準(zhǔn)備執(zhí)行可以由第一打印頭管理系統(tǒng)設(shè)備2707、2709、和2711執(zhí)行的各種測量和維護過程。設(shè)備2707、2709、和2711可以是用于執(zhí)行各種打印頭管理功能的各種子系統(tǒng)或者模塊中的任何子系統(tǒng)或者模塊。例如,設(shè)備2707、2709、和2011可以是液滴測量模塊、打印頭更換模塊、清洗池模塊、和吸墨紙模塊中的任何模塊。如圖1C描繪的,第一打印頭管理系統(tǒng)2701可以具有設(shè)備2707、2709、和2711,這些設(shè)備可以安裝在用于相對于第一打印頭組件2501定位的線性軌道運動系統(tǒng)2705上。類似地,容置在第二打印頭管理系統(tǒng)2702內(nèi)的各種設(shè)備可以安裝在用于相對于第一打印頭組件2502定位的線性軌道運動系統(tǒng)2706上。相對于具有輔助包圍的氣體包圍組件的各種實施例,再次參照圖1B,該輔助包圍可以與第一工作體積(例如,打印系統(tǒng)包圍)隔離,以及與該第一工作體積密封地隔離。如圖1C描繪的,在打印系統(tǒng)2000上可以存在4個隔離器;第一隔離器設(shè)置2110(未示出在相對側(cè)上的第二者)和第二隔離器設(shè)置2112(未示出在相對側(cè)上的第二者),該第一隔離器設(shè)置和第二隔離器設(shè)置支撐打印系統(tǒng)2000的基板浮動臺2200。針對圖1B的氣體包圍組件,第一隔離器設(shè)置2110和第二隔離器設(shè)置2112可以安裝在相應(yīng)的隔離器壁面板(例如中間基座面板組件1320的第一隔離器壁面板1325和第二隔離器壁面板1327)中的每一個中。針對圖1B的氣體包圍組件1000,中間基座組件1320可以包括第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330以及第二打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1370。氣體包圍組件1000的圖1B描繪了可以包括第一后壁面板組件1338的第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330。類似地,還描繪了可以包括第二后壁面板組件1378的第二打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1370。第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330的第一后壁面板組件1338可以按照如針對第二后壁面板組件1378所示的類似方式構(gòu)建。第二打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1370的第二后壁面板組件1378可以由具有可密封地安裝至第二后壁框架組件1378的第二密封件支撐面板1375的第二后壁框架組件1378構(gòu)建。第二密封件支撐面板1375可以具有接近基座2100的第二端(未示出)的第二通道1365。第二密封件1367可以圍繞第二通道1365安裝在第二密封件支撐面板1375上。第一密封件可以圍繞第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330的第一通道來定位并且安裝。在輔助面板組件1330和輔助面板組件1370中的各個通道可以容納打印頭管理系統(tǒng)平臺,諸如,通過通道的圖1C的第一和第二打印頭管理系統(tǒng)平臺2703和2704。根據(jù)本教導(dǎo),為了可密封地隔離輔助面板組件1330和輔助面板組件1370,通道(諸如,圖1B的第二通道1365)必須是可密封的。要考慮,各種密封件(諸如,充氣式密封件、波紋管密封件、和唇形密封件)可以用于圍繞固定至打印系統(tǒng)基座的打印頭管理系統(tǒng)平臺來密封通道(諸如,圖1B的第二通道1365)。第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330和第二打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1370可以分別包括第一底板面板組件1341的第一打印頭組件開口1342和第二底板面板組件1381的第二打印頭組件開口1382。在圖1B中將第一底板面板組件1341描繪為中間面板組件1300的第一中間包圍面板組件1340的一部分。第一底板面板組件1341是與第一中間包圍面板組件1340和第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330一樣的面板組件。在圖1B中將第二底板面板組件1381描繪為中間面板組件1300的第二中間包圍面板組件1380的一部分。第二底板面板組件1381是與第二中間包圍面板組件1380和第二打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1370一樣的面板組件。如本文之前討論的,第一打印頭組件2501可以容置在第一打印頭組件包圍2503中,而第二打印頭組件2502可以容置在第二打印頭組件包圍2504中。根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法,第一打印頭組件包圍2503和第二打印頭組件包圍2504可以在底部具有可以具有邊緣(未示出)的開口,從而使得,可以在打印過程期間針對打印來定位各種打印頭組件。另外,第一打印頭組件包圍2503和第二打印頭組件包圍2504的形成外殼的部分可以構(gòu)建為如之前針對各種面板組件描述的,從而使得,框架組件構(gòu)件和面板能夠提供氣密密封的包圍??梢試@第一打印頭組件開口1342和第二打印頭組件開口1382中的每一個,或者替代地圍繞第一打印頭組件包圍2503和第二打印頭組件包圍2504的邊緣來固定可以另外用于氣密密封各種框架構(gòu)件的可壓縮墊圈。根據(jù)本教導(dǎo),可壓縮墊圈材料可以選擇自,例如但不限于,任何類別的閉孔聚合物材料(在該領(lǐng)域中,還稱作膨脹橡膠材料或者膨脹聚合物材料)。簡要地,閉孔聚合物按照將氣體封閉在離散孔中的方式來制備;其中,各個離散孔由聚合物材料封閉。期望的用于框架和面板部件的氣密密封的可壓縮閉孔聚合物墊圈材料的性質(zhì)包括,但不限于,其在化學(xué)物種的廣泛范圍內(nèi)耐化學(xué)侵蝕、具有優(yōu)異的防潮層性制、在廣泛的溫度范圍內(nèi)是有彈性的、并且其抵抗永久壓縮變形。通常,與開孔結(jié)構(gòu)的聚合物材料相比,閉孔聚合物材料具有較高的尺寸穩(wěn)定性、較低的吸濕系數(shù)、和較高的強度。各種類型的聚合物材料(可以由其制成閉孔聚合物材料)可包括例如但不限于,硅樹脂、氯丁橡膠、乙烯-丙烯-二烯三元聚合物(EPT);使用乙烯-丙烯-二烯單體(EPDM)、乙烯基腈(vinylnitrile)、苯乙烯-丁二烯橡膠(SBR)、以及它們的各種共聚物和混合物制成的聚合物與復(fù)合物。除了閉孔可壓縮墊圈材料之外,具有用于構(gòu)建根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍組件的實施例的期望的屬性的可壓縮墊圈材料的類別的另一示例包括中空擠壓可壓縮墊圈材料的類別。作為材料的類別的中空擠壓墊圈材料具有期望的性質(zhì),包括但不限于,其在化學(xué)物種的廣泛范圍內(nèi)耐化學(xué)侵蝕,具有良好的防潮層性制、在廣泛的溫度范圍內(nèi)具有彈性、并且其抵抗永久壓縮變形。這種中空擠壓可壓縮墊圈材料可以使用各種形狀因子,諸如,例如,但不限于,U形孔、D形空、方形孔、矩形孔、以及各種常規(guī)形狀因子中空擠壓墊圈材料的任一者。各種中空擠壓墊圈材料可以由用于閉孔可壓縮墊圈制造的聚合物材料制造。例如但不限于,中空擠壓墊圈的各種實施例可以由硅樹脂、氯丁橡膠、乙烯-丙烯-二烯三元聚合物(EPT);使用乙烯-丙烯-二烯單體(EPDM)、乙烯基腈、苯乙烯-丁二烯橡膠(SBR)、以及它們的各種共聚物和混合物制成的聚合物與復(fù)合物制造。這種中空孔墊圈材料的壓縮不應(yīng)該超過50%的偏差,以便維持期望的屬性。要考慮,各種類型的充氣式密封件可以用于:使用第一打印頭組件對接墊圈1345和第二打印頭組件對接墊圈1385來密封打印頭組件。這種充氣式密封件可以在處理期間提供迅速密封和開啟,以及由低污染材料(諸如,低顆粒生成材料,低脫氣聚合物材料,諸如,硅樹脂、氯丁橡膠、和丁基橡膠材料)制造。如圖1B描繪的,第一打印頭組件對接墊圈1345和第二打印頭組件對接墊圈1385可以分別圍繞第一打印頭組件開口1342和第二打印頭組件開口1382來固定。在各種打印頭測量和維護過程期間,第一打印頭組件2501和第二打印頭組件2502可以分別由第一X,Z軸托架組件2301和第二X,Z軸托架組件2302分別定位在第一底板面板組件1341的第一打印頭組件開口1342和第二底板面板組件1381的第二打印頭組件開口1382上方。在這方面,針對各種打印頭測量和維護過程,在不覆蓋或者密封第一打印頭組件開口1342和第二打印頭組件開口1382的情況下,第一打印頭組件2501和第二打印頭組件2502可以分別定位在第一底板面板組件1341的第一打印頭組件開口1342和第二底板面板組件1381的第二打印頭組件開口1382上方。第一X,Z軸托架組件2301和第二X,Z軸托架組件2302可以分別使第一打印頭組件包圍2503和第二打印頭組件包圍2504分別與第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330和第二打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1370對接。在各種打印頭測量和維護過程中,這種對接可以在不需要密封第一打印頭組件開口1342和第二打印頭組件開口1382的情況下有效地關(guān)閉第一打印頭組件開口1342和第二打印頭組件開口1382。針對各種打印頭測量和維護過程,對接可以包括在打印頭組件包圍與打印頭管理系統(tǒng)面板組件中的每一個之間的墊圈密封件的形成。結(jié)合可密封關(guān)閉通道(諸如,圖1B的第二通道1365和補充的第一通道),當(dāng)?shù)谝淮蛴☆^組件包圍2503和第二打印頭組件包圍2504與第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330和第二打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1370對接,以可密封關(guān)閉第一打印頭組件開口1342和第二打印頭組件開口1382時,由此形成的結(jié)合的結(jié)構(gòu)是氣密密封的。另外,根據(jù)本教導(dǎo),輔助包圍可以通過使用結(jié)構(gòu)閉合件來可密封地關(guān)閉通路(諸如,圖1B的第一打印頭組件開口1342和第二打印頭組件開口1382),來與,例如,另一內(nèi)部包圍體積(諸如,打印系統(tǒng)包圍)以及氣體包圍組件的外部分離。根據(jù)本教導(dǎo),結(jié)構(gòu)閉合件可以包括用于開口或者通路的各種可密封覆蓋物;這種開口或者通路包括包圍面板開口或者通路的非限制性示例。根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法,門可以是可以用于:使用氣動、液壓、電氣、或者手動致動,來可逆地覆蓋或者可逆地可密封關(guān)閉任何開口或者通路的任何結(jié)構(gòu)閉合件。由此,可以使用門來可逆地覆蓋或者可逆地可密封關(guān)閉圖1B的第一打印頭組件開口1342和第二打印頭組件開口1382。在圖1C的打印系統(tǒng)2000的展開圖中,打印系統(tǒng)的各種實施例可以包括由基板浮動臺基座2220支撐的基板浮動臺2200?;甯优_基座2220可以安裝在打印系統(tǒng)基座2100上。OLED打印系統(tǒng)的基板浮動臺2000可以支撐基板2050,以及限定出基板2050可以在OLED基板的打印期間移動穿過氣體包圍組件1000的行進。本教導(dǎo)的Y軸運動系統(tǒng)可以包括第一Y軸支撐梁2351和第二Y軸支撐梁2352,該第一Y軸支撐梁2351和第二Y軸支撐梁2352可以包括用于保持基板的夾持器系統(tǒng)(未示出),這將在本文中更詳細(xì)地討論。Y軸運動可以由線性空氣軸承或者線性機械系統(tǒng)提供。在這方面,結(jié)合運動系統(tǒng);如圖1C描繪的,Y軸運動系統(tǒng),基板浮動臺2200可以提供基板2050穿過打印系統(tǒng)的無摩擦輸送。圖1D描繪了根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍組件和系統(tǒng)的各種實施例的容置在第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330內(nèi)的第一打印頭管理系統(tǒng)2701。如圖1D描繪的,輔助面板組件1330示出為截面圖,以便更清楚地看到第一打印頭管理系統(tǒng)2701的細(xì)節(jié)。根據(jù)本教導(dǎo)的打印頭管理系統(tǒng)(諸如,圖1D的第一打印頭管理系統(tǒng)2701)的各種實施例,設(shè)備2707、2709、和2011可以是用于執(zhí)行各種功能的各種子系統(tǒng)或者模塊。例如,設(shè)備2707、2709、和2011可以是液滴測量模塊、打印頭清洗池模塊、和吸墨紙模塊。如圖1D描繪的,打印頭更換模塊2713可以提供用于對接至少一個打印頭裝置2505的位置。在第一打印頭管理系統(tǒng)2701的各種實施例中,可以將第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330維持為維持氣體包圍組件1000(參見圖1A)的相同的環(huán)境規(guī)格。第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330可以具有搬送器2530,該搬送器2530定位為進行與各種打印頭管理過程相關(guān)聯(lián)的任務(wù)。例如,這種子系統(tǒng)可以具有可自然消耗并且需要更換的各種部分,諸如,更換吸墨紙、油墨、和廢物儲器。可以使用搬送器來將各種可消耗部分包裝以準(zhǔn)備插入(例如,以完全自動化模式)。作為非限制性示例,吸墨紙可以以筒版式包裝,可以將該吸墨紙容易地插入到吸干模塊中進行使用。作為另一非限制性示例,油墨可以包裝在可更換儲器中,以及以筒版式包裝以用于打印系統(tǒng)中。廢物儲器的各種實施例可以以筒版式包裝,該廢物儲器可以容易地插入到清洗池模塊中以供使用。另外,經(jīng)受持續(xù)使用的打印系統(tǒng)的各種部件的部分可能需要定期更換。在打印過程期間,打印頭組件的有利管理(例如但不限于,打印頭裝置或者打印頭的互換)可以是可取的。打印頭更換模塊可以具有部分(諸如,打印頭裝置或者打印頭),該部分可以容易地插入到打印頭組件中以供使用。用于檢查噴嘴發(fā)射以及基于來自每個噴嘴的液滴體積、速度、和軌跡的光學(xué)檢測進行測量的液滴測量模塊可以具有源和檢測器,該源和檢測器在使用之后可能需要定期更換。可以使用搬送器來將各種可消耗且利用率高的部分包裝以準(zhǔn)備插入(例如,以完全自動化模式)。搬送器2530可以具有安裝至臂2534的末端執(zhí)行器2536??梢允褂媚┒藞?zhí)行器構(gòu)造的各種實施例,例如,刀片型末端執(zhí)行器、夾具型末端執(zhí)行器、和夾持器型末端執(zhí)行器。末端執(zhí)行器的各種實施例可以包括機械抓緊和夾緊以及氣動或者真空輔助組件,以致動末端執(zhí)行器的部分或者在其它方面保持打印頭裝置或者來自打印頭裝置的打印頭。關(guān)于打印頭裝置或者打印頭的更換,圖1D的打印頭管理系統(tǒng)2701的打印頭更換模塊2713可以包括用于具有至少一個打印頭的打印頭裝置的對接站,以及用于打印頭的存儲容器。在各個打印頭組件(參見圖1B)可以包括大約1個到大約60個之間的打印頭裝置時,并且在各個打印頭裝置可以具有大約1個到大約30個之間的打印頭時,本教導(dǎo)的打印系統(tǒng)的各種實施例可以具有大約1個到大約1800個之間的打印頭。在打印頭更換模塊2713的各種實施例中,雖然打印頭裝置已對接,但是安裝至打印頭裝置的各個打印頭可以在并未在打印系統(tǒng)中使用時維持在操作條件中。例如,當(dāng)放入對接站中時,在各個打印頭裝置上的各個打印頭可以連接至油墨供應(yīng)并且電氣連接??梢詫㈦娏μ峁┙o在各個打印頭裝置上的各個打印頭,從而使得,可以在對接時施加針對各個打印頭的各個噴嘴的周期發(fā)射脈沖,以便確保噴嘴保持引動并且不堵塞。圖1D的搬送器2530可以接近打印頭組件2500定位。如圖1D描繪的,打印頭組件2500可以對接在第一打印頭管理系統(tǒng)輔助面板組件1330上方。在更換打印頭的過程期間,搬送器2530可以從打印頭組件2500移除目標(biāo)部分;打印頭或者具有至少一個打印頭的打印頭裝置。搬送器2530可以從打印頭更換模塊2713取回更換部分(諸如,打印頭裝置或者打印頭),并且完成更換過程??梢詫⒁瞥牟糠址湃氪蛴☆^更換模塊2713中以進行取回。在圖2A中,氣體包圍系統(tǒng)500可以具有:第一隧道包圍區(qū)段1200,該第一隧道包圍區(qū)段1200可以具有用于接納基板的進口門1242;橋包圍區(qū)段1300;和第二隧道包圍區(qū)段1400,這些區(qū)段可以共同形成打印系統(tǒng)包圍。另外,氣體包圍系統(tǒng)500可以具有輔助包圍1330。輔助包圍1330可以與氣體包圍系統(tǒng)500的打印系統(tǒng)包圍可密封地分離。例如,在打印過程期間,輔助包圍1330可以與氣體包圍系統(tǒng)500的打印系統(tǒng)包圍可密封地分離,以便在很少或者不中斷打印過程的情況下進行各種測量和維護任務(wù)。如將在本文隨后的圖8的討論中更詳細(xì)討論的,來自凈化系統(tǒng)(諸如,圖8的凈化系統(tǒng)3130)的凈化的惰性氣體可以循環(huán)進入到氣體包圍系統(tǒng)500的打印系統(tǒng)包圍以及輔助包圍1300中。針對本教導(dǎo)的打印系統(tǒng)的各種實施例,打印頭組件可以包括大約1個到大約60個之間的打印頭裝置?;仡櫹?,打印頭裝置可以包括:例如,但不限于,到至少一個打印頭的流體和電子連接;具有能夠按照受控速率、速度、和大小噴射油墨的多個噴嘴或者孔口的各個打印頭,其中,各個打印頭裝置可以在各個打印頭裝置中具有大約1個到30個之間的打印頭。打印頭(例如,工業(yè)噴墨頭)可以具有大約16個到大約2048個之間的噴嘴,這些噴嘴可以排出大約0.1pl到大約200pl之間的液滴體積。給定打印頭裝置和打印頭的絕對數(shù)量,輔助包圍可以容置打印頭管理系統(tǒng)的各種實施例。根據(jù)本教導(dǎo),輔助包圍可以在打印過程期間與打印系統(tǒng)包圍分離,以便執(zhí)行各種測量和維護任務(wù),例如,但不限于,使用打印頭管理系統(tǒng)的各種裝置和設(shè)備。同樣,可以在很少或者不中斷打印過程的情況下執(zhí)行各種測量和維護任務(wù)。圖2B描繪了根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的氣體包圍系統(tǒng)的輔助包圍1330的透視圖。輔助包圍1330可以是可以與,例如,但不限于,本教導(dǎo)的各種氣體包圍系統(tǒng)(諸如,圖1A的氣體包圍系統(tǒng)1000和圖2A的氣體包圍系統(tǒng)500)一起利用的輔助包圍的實施例。如圖2B所示,輔助包圍1330可以具有打印頭管理系統(tǒng)平臺2703,該打印頭2703可以具有用于相對于打印頭組件的各種打印頭裝置來定位用于各種測量和維護過程的各種裝置和設(shè)備的線性軌道系統(tǒng)2705。例如,在圖2B的部分分解圖中,示出了定位在打印頭組件開口1350上方的打印頭組件2500。打印頭組件2500可以具有多個打印頭裝置,諸如,圖2C示出的2505A、2505B、和2505C。第一運動系統(tǒng)平臺2800A和第二運動系統(tǒng)平臺2800B可以用于相對于打印頭組件2500的多個打印頭裝置中的每一個來定位安裝在運動系統(tǒng)平臺上的用于各種測量和維護過程的各種裝置和設(shè)備。圖2C的部分分解圖描繪了與打印頭組件2500有關(guān)的打印頭管理系統(tǒng)2700的俯視透視圖。如圖2C描繪的,第一運動系統(tǒng)平臺2800A和第二運動系統(tǒng)平臺2800B可以沿著Y軸方向在線性軌道系統(tǒng)2705上移動。按照這種方式,線性軌道系統(tǒng)2705可以相對于打印頭組件2500的各個打印頭裝置2505A、2505B、和2505C來定位安裝在運動系統(tǒng)平臺上的各種裝置和設(shè)備。第一運動系統(tǒng)平臺2800A可以支撐第一X軸運動系統(tǒng)平臺2810A,該第一X軸運動系統(tǒng)平臺2810A可以具有第一X軸線性軌道系統(tǒng)2820A。第一X軸線性軌道系統(tǒng)2820A可以在與線性軌道系統(tǒng)2705上的第一運動系統(tǒng)平臺2800A的方向正交的方向上移動安裝到第一X軸運動系統(tǒng)平臺2810A上的各種設(shè)備。類似地,第二運動系統(tǒng)平臺2800B可以支撐第二X軸運動系統(tǒng)平臺2810B,該第二X軸運動系統(tǒng)平臺2810B可以具有第二X軸線性軌道系統(tǒng)2820B。第二X軸線性軌道系統(tǒng)2820B可以在與線性軌道系統(tǒng)2705上的第二運動系統(tǒng)平臺2800B的方向正交的方向上移動安裝到第二X軸運動系統(tǒng)平臺2810B上的各種設(shè)備。在這方面,第一運動系統(tǒng)平臺2800A和第一X軸運動系統(tǒng)平臺2810A的X,Y運動以及第二運動系統(tǒng)平臺2800B和第二X軸運動系統(tǒng)平臺2810B的X,Y運動可以提供各種裝置和設(shè)備相對于打印頭裝置2505A、2505B、和2505C中的每一個的精確的X,Y定位。如圖2C描繪的,安裝在第一運動系統(tǒng)平臺2800A的第一X軸運動系統(tǒng)平臺2810A上的各種裝置可以包括:針對打印頭裝置2505A、2505B、和2505C中的每一個的清洗池2707A、2707B、和2707C,以及吸干站2709。圖2C中描繪的用于提供校準(zhǔn)信息的是安裝在第一運動系統(tǒng)平臺2800A的第一X軸運動系統(tǒng)平臺2810A上的第一液滴測量模塊2711A和安裝在第二運動系統(tǒng)平臺2800B的第二X軸運動系統(tǒng)平臺2810B上的第二液滴測量模塊2711B。第一液滴測量系統(tǒng)2711A可以基于,例如,但不限于,在指定條件下從各個打印頭裝置的各個打印頭的各個噴嘴滴落在薄膜上,并且使該薄膜成像的打印液滴??梢酝ㄟ^由此獲取的數(shù)據(jù)的圖像分析來獲取信息(諸如,液滴體積、速度、和軌跡)。替代地,第二液滴測量系統(tǒng)2711B可以基于,例如,但不限于,光學(xué)測量系統(tǒng)。例如,可以使用激光散射技術(shù)(諸如,相位多普勒分析(PDA)和相位多普勒干涉測量(PDI))來確定來自各個打印頭裝置的各個打印頭的各個噴嘴的各個液滴的液滴體積、速度、和軌跡。圖3描繪了根據(jù)本教導(dǎo)的在圖3中描繪為安裝到Y(jié)軸梁2350上的Y軸運動系統(tǒng),該Y軸梁可以是,例如,花崗巖梁。如坐標(biāo)系中描繪的,安裝在浮動臺2200上的基板(諸如,2050)可以在+/-Y軸方向上行進。浮動臺2200提供具有精確Z軸飛行高度的基板2050的無摩擦、低顆粒生成基板支撐,而Y軸運動系統(tǒng)2600提供基板2050相對于打印頭組件(諸如,圖1C的打印頭組件2501)的無摩擦、低顆粒Y軸輸送。結(jié)合浮動臺所利用的本教導(dǎo)的低顆粒生成Y軸運動系統(tǒng)的各種實施例可以與,例如,安裝在大型轉(zhuǎn)臺上的吸盤相比較。在安裝在大型轉(zhuǎn)臺上的吸盤的情況下,在大型轉(zhuǎn)臺的操作中將需要大型電動機,由于固體部件抵靠固體部件的移動,這將產(chǎn)生顯著的熱耗散以及顆粒生成。在本教導(dǎo)的夾持器系統(tǒng)的各種實施例的情況下,在系統(tǒng)中的僅有慣性是基板和夾持器組件的質(zhì)量,從而使得,Y軸運動所需的任何線性馬達基本上小于安裝在轉(zhuǎn)臺上的吸盤。而且,發(fā)明者已經(jīng)發(fā)現(xiàn)盡管Y軸梁2350制造為提供與高程度持平且平行的表面,但是Y軸梁可以在行進中產(chǎn)生偏移,針對基板相對于在Y軸行進期間的theta-Z(θ-Ζ)軸的定向的精度,該偏移可能對預(yù)期用途是不可接受的。例如,但不限于,將油墨打印到OLED裝置基板的像素中是需要基板在行進軸中的精度定向的過程,針對該行進,制造為達到平坦度與平行度的高公差的梁仍然可以在行進期間產(chǎn)生基板定向的不可接受的偏移。由此,利用空氣軸承運動系統(tǒng)以用于輸送Y軸托架組件2620的本教導(dǎo)的Y軸運動系統(tǒng)2600的各種實施例可以提供基板的可靠、準(zhǔn)確低顆粒生成Y軸輸送,從而提供在具有快速加速與減速的高速度下的操作,以及排除對在氣體包圍系統(tǒng)中的過量熱污染的耗散的需要。另外,Y軸運動系統(tǒng)2600的夾持器運動控制組件2650可以在Y軸行進期間提供基板圍繞theta-Z(θ-Ζ)軸的定向的動態(tài)旋轉(zhuǎn),以維持平行于行進軸的基板定向的高精確度。因此,Y軸運動系統(tǒng)2600的夾持器運動控制組件2650可以使用平行于Y軸行進方向的高精確度來將基板定向維持在,例如,由基板的飛行高度所確定的水平平面中。如圖3所示,線性Y軸運動系統(tǒng)2600的各種實施例可以包括基板夾持器組件2610、Y軸托架組件2620、以及夾持器運動控制組件2650。在圖3中,夾持器組件2610可以包括基板夾持表面,例如,但不限于,諸如,真空吸盤桿2612,該真空吸盤桿可以支撐在基板夾持器框架2614上?;鍔A持器框架2614可以安裝至Y軸運動系統(tǒng)組件2600的Y軸托架組件2620。在圖3中,Y軸托架組件2620的第一空氣軸承定位器2628A和第二空氣軸承定位器2628B指示為分別安裝至第一支座臂(saddlearm)2622A和第二支座臂2622B,該第一支座臂2622A和第二支座臂2622B是支撐Y軸托架組件2620的多個空氣軸承的一部分。Y軸托架組件2620可以使用無刷線性馬達來在+/-Y軸方向上平移。如隨后將在本文中更詳細(xì)討論的,夾持器運動控制組件2650可以利用雙音圈馬達組件(諸如,音圈馬達組件2630A和2630B)以及樞軸組件2660。夾持器運動控制組件的各種實施例可以包括至少一個音圈馬達和結(jié)合位置傳感器和運動控制器的空氣套管中心樞軸。基于音圈馬達的本教導(dǎo)的Y軸運動系統(tǒng)的各種實施例是高度可靠的,并且可以提供小于1微米的定向精確度。另外,基板直接聯(lián)接至Y軸運動系統(tǒng)的這種夾持器組件允許使用用于Y軸托架組件2620的輸送的線性無刷馬達而具有快速加速以及快速減速的無摩擦高速操作,以及在Y軸行進期間使用夾持器運動控制組件2650來進行基板圍繞theta-Z(θ-Ζ)軸的定向的動態(tài)旋轉(zhuǎn),以維持平行于行進軸的基板定向的高精確度。由此,利用空氣軸承夾持器系統(tǒng)的Y軸運動系統(tǒng)的各種實施例可以通過打印系統(tǒng)(諸如,圖1C的打印系統(tǒng)2000)來提供支撐在浮動臺2200上的基板2050的精確低顆粒生成輸送。用于移動基板的這種無摩擦Y軸運動系統(tǒng)可以利用一個或者兩個Y軸軌道。服務(wù)束載體2430可以用于各種服務(wù)束的管理,該服務(wù)束可以包括:例如,但不限于,光纜、電纜、電線、管道等。根據(jù)本教導(dǎo)的服務(wù)束的各種實施例可以連接至打印系統(tǒng),以提供操作功能打印系統(tǒng)所需的各種光學(xué)、電氣、機械和流體連接。圖4A是Y軸運動系統(tǒng)2600的俯視圖,示出了夾持器組件2610、Y軸托架組件頂板2624、和夾持器運動控制組件2650。夾持器組件2610可以包括安裝在夾持器框架2614上的真空吸盤桿2612。Y軸托架組件頂板2624在圖4A中描述為具有第一端2623和第二端2625??梢酝ㄟ^夾持器運動控制組件2650的子組件鄰接夾持器組件2610和Y軸托架組件2620。例如,第一音圈組件2630A和第二音圈組件2630B分別具有第一和第二音圈外殼2632A和2623B,該第一和第二音圈外殼2632A和2623B可以固定至音圈組件外殼的一側(cè)上的Y軸托架組件2620,并且固定至音圈外殼的相對側(cè)上的夾持器組件2610。另外,中心樞軸2660可以包括空氣軸承外殼2662,該空氣軸承外殼2662可以固定至夾持器組件2610的凸臺2616。圖4B是圖4A的空氣軸承Y軸運動系統(tǒng)2600的部分俯視圖,描繪了Y軸運動系統(tǒng)2600的第二端2625的展開俯視圖。在圖4B中,夾持器組件2610的展開俯視圖以及音圈組件2630B的展開俯視圖尤為明顯。安裝在夾持器框架2614上的真空吸盤桿2612的各種實施例可以包括多個真空插槽2613,其中,在圖4B中指示了該多個真空插槽2613中的三個。真空插槽2613沿著真空吸盤桿2612的長度按照間距隔開,從而使得,真空吸盤桿2612可以容易地接合和釋放基板,從而排除對基板的雙側(cè)機械夾持(諸如,2指或者3指夾持裝置的雙側(cè)機械夾持)的需要。除了圖3的用于支撐Y軸托架組件2620的第一空氣軸承定位器2628A和第二空氣軸承定位器2628B之外,第二上部定位器2628D可以安裝至Y軸托架組件頂板2624的下側(cè)(參見圖3和圖4B)。第一上部定位器(未示出)可以對稱地安裝在接近第一支座臂2622A的Y軸托架組件頂板2624的相對第一端2623下方(參見圖4A)。如將在本文中更詳細(xì)討論的,除了用于支撐Y軸托架組件2620的空氣軸承定位器之外,圖4B描繪的第二音圈組件2630B的音圈空氣軸承2641連同與第一音圈組件2630A(參見圖4A)相關(guān)聯(lián)的音圈空氣軸承(未示出)可以用于夾持器組件2610的垂直穩(wěn)定性。在圖4B的俯視圖呈現(xiàn)中,單個空氣軸承是可見的。因為在音圈組件中的音圈空氣軸承的預(yù)加載,諸如,圖4A的音圈組件2630A和2630B可以確保必要的系統(tǒng)剛度。如圖4B的俯視圖描繪的,本教導(dǎo)的Y軸運動系統(tǒng)的各種實施例可以包括單個空氣軸承。在音圈組件中利用單個空氣軸承的系統(tǒng)和方法的各種實施例可以使用,例如,但不限于,重力、真空或者磁性預(yù)加載來預(yù)加載空氣軸承。Y軸運動系統(tǒng)的各種實施例可以利用相對的第二空氣軸承來提供軸承預(yù)加載。本教導(dǎo)的音圈馬達組件的各種實施例(圖4B的這種音圈組件2630B)可以包括可以鄰接至Y軸托架2620的音圈外殼2633B。如將在本文中更詳細(xì)討論的,音圈組件2630B的音圈夾持器框架安裝塊2648B可以用于將音圈組件固定至夾持器框架2614。音圈組件2630B還可以包括音圈軸2634B,該音圈軸2634B可以具有樞軸螺釘2635B和保持螺釘2636B,以及固定螺釘2637B。另外,音圈組件2630B可以具有線性編碼器2638B。最后,中心樞軸2660是空氣套管,該空氣套管構(gòu)造為提供針對本教導(dǎo)的夾持器運動控制系統(tǒng)2650的實施例的用于可靠且精確的theta-Z(θ-Ζ)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸。雖然已經(jīng)描述了音圈組件2630B的部件,但是可以類似地描述音圈組件2630A。圖5A是根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例的Y軸運動系統(tǒng)的托架組件、夾持器運動控制組件、和夾持器組件的等距視圖。如圖5A描繪的,圖5A描繪了分別具有第一支座臂2622A和2622B的Y軸托架組件2620;支座臂分別具有安裝在其上的第一定位器2628A和第二定位器2628B;從而使得,定位器接近Y軸梁2350(參見圖3)。第一和第二支座臂2622A和2622B,以及Y軸托架組件側(cè)框架2626可以接合至Y軸托架組件頂板2624。Y軸托架組件側(cè)框架2626可以具有接近Y軸梁2350(參見圖3)的第一側(cè)面2627和接近夾持器框架2614的第二側(cè)面2629。夾持器運動控制組件2650可以分別包括第一和第二音圈組件2630A和2630B,以及中心樞軸組件2660。如本文之前討論的,夾持器運動控制組件2650鄰接至Y軸托架組件2620和夾持器組件2610兩者;從而有效地鄰接Y軸托架組件和夾持器組件(同樣參見圖4B)。因為基板(諸如,圖3的基板2050)由安裝至夾持器框架2614的真空吸盤桿2612保持,所以可以當(dāng)Y軸托架組件2620在Y軸梁2350(參見圖3)上行進時由夾持器運動控制組件2650對基板進行動態(tài)角(θ-Ζ)調(diào)整以抵消在Y軸梁中的缺陷的影響。因此,在Y軸行進期間,基板可以使用夾持器運動控制組件2650,針對在Y軸行進期間基板圍繞theta-Z(θ-Ζ)軸的定向按照高精度維持,以維持平行于行進軸的基板定向的高精確度。夾持器運動控制組件2650的各種實施例可以使基板平行于Y軸行進的定向維持在+/-4300微弧度內(nèi)。因此,Y軸運動系統(tǒng)2600的夾持器運動控制組件2650可以使用平行于Y軸行進方向的高精確度來將基板定向維持在,例如,由基板的飛行高度確定的水平平面中。圖5B描繪了通過圖5A的Y軸托架組件2620的長截面透視圖,該長截面透視圖大體上示出了安裝至Y軸托架組件2620的夾持器組件2610。在圖5B中,分別指示了第一和第二音圈馬達組件2630A和2630B、以及在夾持器框架2614上的真空吸盤桿2612、和中心樞軸2660。在圖3和圖5A中,指示了Y軸托架組件2620的第一空氣軸承定位器2628A和第二空氣軸承定位器2628B。在圖4B中,描述了在Y軸托架組件頂板2624下方的第一和第二空氣軸承定位器。如圖5B所示,Y軸托架組件側(cè)框架2626可以具有安裝在其上的多個空氣軸承定位器,諸如,空氣軸承定位器2628E到2640H。除了位于支座臂上的空氣軸承定位器和托架組件的接近Y軸梁2350的頂板之外,安裝在Y軸托架組件側(cè)框架2626上的多個空氣軸承定位器可以提供在側(cè)框架2626與Y軸梁2350的相應(yīng)側(cè)面之間的軸承支撐。本教導(dǎo)的Y軸運動系統(tǒng)的各種實施例(例如,如圖3至圖5B中大體上示出的)可以提供穿過打印系統(tǒng)的基板的低顆粒生成、低熱量生成輸送。圖6描繪了是接近夾持器框架2614的側(cè)面的、Y軸托架組件側(cè)框架2626的第二側(cè)面2627,并且大體上示出了包括未安裝夾持器框架2614的夾持器運動控制組件2650的Y軸運動系統(tǒng)子組件。第一和第二音圈組件2630A和2630B可以安裝在Y軸托架組件側(cè)框架2626的第二側(cè)面2627的相對頂端處,而中心樞軸2660可以安裝在Y軸托架組件側(cè)框架2626的第二側(cè)面2627的頂部中心部分中。第一和第二音圈組件2630A和2630B可以分別包括第一音圈組件軸2634A和第二音圈組件軸2634B,以及第一音圈組件外殼2632A和第二音圈組件外殼2632B。第一音圈組件軸2634A和第二音圈組件軸2634B中的每一個可以具有固定螺釘,分別為第一音圈組件固定螺釘2635A和第二音圈組件固定螺釘2637B,各個固定螺釘分別具有延伸到音圈組件固定螺釘孔2621A和2621B中的柄。另外,如圖6描繪的,各個音圈組件軸,第一音圈組件軸2634A和第二音圈組件軸2634B可以具有樞軸螺釘和保持螺釘;用于第一音圈組件軸2634A的樞軸螺釘2635A和保持螺釘2636A和用于第一音圈組件軸2634B的樞軸螺釘2635B和保持螺釘2636B。針對夾持器組件和基板相對于浮動臺的水平位置的初始調(diào)整,針對第一和第二音圈組件2630A和2630B,可以旋松樞軸螺釘和保持螺釘,直到夾持器和基板的水平位置正確調(diào)整,并且然后,擰緊樞軸螺釘和保持螺釘??梢詫σ羧M件2630A和2630B進行同等地調(diào)整,以相對于浮動臺對夾持器組件在+/-Z中的位置做出調(diào)整(參見圖3),而可以對音圈組件2630A和2630B進行不等地調(diào)整,以相對于浮動臺(參見圖3)對夾持器組件在theta-X(θ-Χ)中的位置做出調(diào)整。如本文之前討論的,本教導(dǎo)的音圈組件的各種實施例利用一對空氣軸承,上部或者頂部空氣軸承(諸如,第一音圈組件2630A的空氣軸承2640A和第二音圈組件2630B的空氣軸承2641A)以及相對底部空氣軸承(諸如,第一音圈組件2630A的空氣軸承2640B和第二音圈組件2630B的空氣軸承2641B)。各個底部空氣軸承用于預(yù)加載各個上部或者頂部空氣軸承。圖7A大體上示出了根據(jù)本教導(dǎo)的音圈組件的等距視圖。音圈組件可以包括可以具有第一音圈外殼第一側(cè)面2631和相對音圈外殼第二側(cè)面2633的音圈外殼2632以及音圈軸2634。如本文之前針對圖6討論的,音圈軸2634可以包括樞軸螺釘2635和保持螺釘2636,以及固定螺釘2637,所有螺釘可以用于夾持器組件相對于浮動臺的初始垂直調(diào)整。在圖7B中,已經(jīng)移除樞軸螺釘2635和保持螺釘2636,從而使得,容納樞軸螺釘2635的樞軸通孔2645和容納保持螺釘2636的貫穿槽2646為明顯的。音圈組件2630可以具有一對空氣軸承,諸如,上部空氣軸承2642A和相對或者下部空氣軸承2642B,下部空氣軸承用于預(yù)加載上部空氣軸承。音圈組件2630可以包括音圈夾持器框架安裝塊2648,該音圈夾持器框架安裝塊2648可以用于將音圈組件固定至夾持器框架(參見圖4B)。替代地,本教導(dǎo)的音圈組件可以包括定向在X方向上的線性編碼器2638。本教導(dǎo)的Y軸運動系統(tǒng)的各種實施例利用允許音圈在X方向上相對于托架組件定向在1-2微米內(nèi)的線性編碼器頭,從而利用本教導(dǎo)的Y軸運動系統(tǒng)的各種實施例,在Y軸梁上的基板的輸送期間,提供在theta-Z(θ-Z)上的動態(tài)調(diào)整。另外,針對圖6的夾持器控制組件2650的各種實施例,主從控制系統(tǒng)可以用于控制圖6的第一音圈組件2630A和第二音圈組件2630B,從而使得,如果一個音圈對校正theta-Z(θ-Z)定向作出響應(yīng),那么按照相等或者相抵方式控制另一個音圈。夾持器運動控制組件2650的各種實施例可以使基板平行于Y軸行進的定向維持在+/-4300微弧度內(nèi)。因此,Y軸運動系統(tǒng)2600的夾持器運動控制組件2650可以使用平行于Y軸行進方向的高精確度來將基板定向維持在,例如,由基板的飛行高度確定的水平平面中。圖8是Y軸運動系統(tǒng)2600的俯視圖,與指示圖8和圖9的截面圖的位置的圖4A相似,示出了夾持器組件2610、Y軸托架組件頂板2624、和夾持器運動控制組件2650。圖9大體上示出了通過音圈組件的截面圖;在圖8中具體地指定,如通過音圈組件2630B的截面圖、通過本文給定的關(guān)于圖9的截面圖的任何描述同等地適用于音圈組件2630A。圖9中描繪了在音圈組件2630B的第一空氣軸承2641A與第二空氣軸承2641B之間定位的音圈夾持器框架安裝塊2648B。與第一空氣軸承2641A和第二空氣軸承2641B中的每一個相關(guān)聯(lián)的分別是空氣軸承球形樞軸2643A和2643B。與第一空氣軸承2641A相關(guān)聯(lián)的空氣軸承球形樞軸2643A和與第一空氣軸承2641B相關(guān)聯(lián)的空氣軸承球形樞軸2643B允許各個空氣軸承在theta-X(θ-Χ)和theta-Y(θ-Υ)中浮動,從而使得,第一空氣軸承2641A和第二空氣軸承2641B相對于安裝塊2648B保持平行布置。除了在第一空氣軸承2641A與第二空氣軸承2641B之間定位之外,還將音圈夾持器框架安裝塊2648B固定至音圈保持器2647。音圈保持器2647和音圈磁體基座容置在音圈外殼第二側(cè)面2633的內(nèi)部。在圖9中將音圈保持器2647描繪為與音圈磁體基座2649相關(guān)聯(lián)。在操作期間,將音圈磁體基座2649的運動力平移到音圈磁體保持器2647,將其平移到音圈夾持器框架安裝塊2648B,并且然后由此平移到夾持器框架2614。如本文之前討論的,夾持器運動控制組件2650的各種實施例可以使用兩個音圈組件的主從控制,從而使得,兩個音圈同步地用來維持相對于行進方向的夾持器組件定向。圖9中還描繪的是夾持器組件2610的真空歧管2618,該真空歧管2618與真空凹槽2617流動連通。如圖9描繪的,圖4B描繪的多個真空插槽可以經(jīng)由真空凹槽2617與真空歧管2618流動連通。圖10大體上示出了通過如圖8指定的中心樞軸組件2660的截面圖。樞軸組件2660可以包括空氣套管外殼2662,該空氣套管外殼2662可以容置第一空氣套管2664A和第二空氣套管2664B。第一空氣套管2664A和第二空氣套管2664B可以圍繞中心軸2666構(gòu)造;兩個空氣套管的使用賦予必要的系統(tǒng)剛度。第一空氣套管2664A和第二空氣套管2664B可以由多孔材料(諸如,多孔石墨)制造,以確保氣體(諸如,惰性氣體)均勻流動可以圍繞中心軸2666均勻分布。中心軸2666可以由可以固定至托架組件頂板2624的上部夾具2665和下部夾具2667保持。中心樞軸適配器板2669可以構(gòu)造為將空氣套管外殼2662固定至夾持器框架2614。在這方面,作為響應(yīng),將由于托架組件運動產(chǎn)生的空氣套管組件2660的任何theta-Z(θ-Ζ)旋轉(zhuǎn)平移到夾持器組件2610。圖10中還描繪的是托架組件空氣軸承2638D(參見圖4B)和托架組件空氣軸承2638H(參見圖5B)。如本文之前討論的,維持打印包圍內(nèi)的受控環(huán)境對與各種OLED裝置的制造有關(guān)的各種方法是最重要的。如隨后將在本文中更詳細(xì)討論的,根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,由氣體包圍組件限定出的內(nèi)部體積的環(huán)境控制可以包括:對照明的控制(例如,通過特定波長的燈的數(shù)量和布置)、使用顆??刂葡到y(tǒng)的各種實施例對顆粒物質(zhì)的控制、使用氣體凈化系統(tǒng)的各種實施例對反應(yīng)性氣體物種的控制、和使用熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)的各種實施例對氣體包圍組件的溫度控制。熱調(diào)節(jié)的一個方面涉及最小化封閉式打印系統(tǒng)內(nèi)的熱負(fù)荷,例如,如由本文之前描述的Y軸運動系統(tǒng)的設(shè)計給定的。除了Y軸運動系統(tǒng)之外,并且關(guān)于圖11示出的示意圖,最小化熱負(fù)荷還可以包括:通過利用氣動平衡來最小化用于控制Z軸移動板的運動的馬達的熱負(fù)荷。在圖11中,控制回路100可以用于確保電流驅(qū)動Z軸馬達2305可以在操作期間(尤其在負(fù)載下)最優(yōu)化,因為增加進入Z軸馬達2305的電流將增加馬達溫度。這種馬達加熱的一個缺點可以是:由于馬達和馬達組件的熱膨脹導(dǎo)致的打印精確度的損失。另外,如本文之前提到的,熱耗散的控制是封閉式打印系統(tǒng)的環(huán)境控制的一個方面。因此,圖11的控制回路100示出為包括氣動平衡系統(tǒng)2309,該氣動平衡系統(tǒng)可以通過提供抵抗負(fù)載的自動化平衡力來補償在Z軸馬達2305上的負(fù)載,以最小化馬達電流,從而最小化馬達加熱。在圖11中,Zcmd輸入105是用于打印頭組件(諸如,圖1C的第一打印頭組件2501和第二打印頭組件2502)的命令Z軸位置。參照圖1C,回顧,第一打印頭組件2501和第二打印頭組件2502可以分別安裝在第一Z軸移動板2310和第二Z軸移動板2312上。將第一Z軸移動板2310和第二Z軸移動板2312分別安裝至第一X軸托架組件2301和第二X軸托架組件2302。在這方面,各個打印頭組件可以相對于基板(諸如,圖1C的基板2050)在X,Z方向上定位。在示例性過程步驟(例如,但不限于,打印過程)期間,Zcmd輸入105可以由馬達控制器CM110接收,并且可以將與命令Z軸位置icmd115相關(guān)聯(lián)的電流發(fā)送至馬達驅(qū)動D120,從而使得,Z軸線性馬達2305可以移動Z軸移動板(諸如,圖1C的第一Z軸移動板2310和第二Z軸移動板2312)??梢允褂镁幋a器2303來測量Z軸移動板在Z軸方向上的確切位置,其中,關(guān)于確切Z軸位置的信息可以然后反饋回到到馬達控制器CM110中,直到已經(jīng)到達命令位置。另外,可以將icmd115發(fā)送至低通濾波器LP130,該低通濾波器LP130可以用來過濾電流尖峰并且另外地選通控制器響應(yīng)??梢詫⒌屯V波器輸出135發(fā)送至氣動控制器CP140。氣動控制器CP140然后可以計算優(yōu)化icmd115的平衡壓力PCB。在示例性過程步驟期間,例如,但不限于,如本文之前描述的將打印頭組件與對接墊圈對接,如圖11指示的,存在對抗密封力FS所需的馬達力FM。雖然額外馬達力使密封能夠維持,但是其需要增加的馬達電流,從而導(dǎo)致增加的馬達加熱。如圖11描繪的,為了最小化由在打印頭組件抵靠對接墊圈的密封期間為了維持馬達力FM而增加電流所產(chǎn)生的馬達加熱,可以利用氣動平衡力FCB。垂直密封力FS可以由不斷檢測電動機2305的電流來檢測??梢韵驓鈩涌刂破鰿p140報告密封力FS的量級和方向,該氣動控制器Cp140可以計算所需的氣動反作用力,并且可以將命令平衡力壓力PCB145發(fā)送至壓力調(diào)節(jié)器150。壓力調(diào)節(jié)器R150然后可以將命令壓力供應(yīng)至氣動平衡系統(tǒng)2309,以便施加氣動反作用力FCB。根據(jù)本教導(dǎo),控制回路100按照一個方式起作用,從而使得,作用在Z軸組件上的所有力:密封力FS、固有工具環(huán)境力FE、氣動反作用力FCB、馬達力FM、以及重力FG的總和為0。圖12A描繪了打印系統(tǒng)2000,示出了打印頭組件未安裝在其上的第一X軸托架組件2301和第二X軸托架組件2302。在圖12B中,描繪了安裝至橋2130的X軸托架組件2301的正視圖,其中,氣動平衡系統(tǒng)2309可以包括第一氣缸2307A和第二氣缸2307B。盡管針對將打印頭組件與墊圈對接的過程給出了控制回路100的使用的示例,但是控制回路100可以用于若干目的。例如,在打印操作期間,氣動平衡系統(tǒng)(諸如,氣動平衡系統(tǒng)2309)可以響應(yīng)于氣動平衡控制回路的各種實施例而操作,以支撐Z軸移動板和任何相關(guān)聯(lián)的負(fù)載,以便在打印期間最小化進入圖11的馬達2305的電流。另外,氣動平衡控制回路(諸如,圖11的控制回路100)的各種實施例可以用于打印系統(tǒng)的參數(shù)監(jiān)測。例如,Z軸移動板的滑動可以隨時間的流逝而變化,由于磨損和老化而產(chǎn)生增加的摩擦。可以使用氣動平衡控制回路和相關(guān)聯(lián)系統(tǒng)的各種實施例來抵消由于增加的摩擦產(chǎn)生的對Z軸移動板馬達的增加的負(fù)載。作為另一非限制性示例,由氣動控制器CP監(jiān)測的壓力變化可以監(jiān)測為質(zhì)量度量,以在明顯故障之前發(fā)起對Z軸運動系統(tǒng)的不定期維護。應(yīng)該注意,雖然針對特定托架組件給出了一些示例,但是氣動平衡控制回路和相關(guān)聯(lián)系統(tǒng)的各種實施例通常適用于本教導(dǎo)的任何托架組件和任何負(fù)載。如圖13描繪的,氣體包圍1000A可以容置打印系統(tǒng)2000A。氣體包圍組件500A具有如針對圖18的氣體包圍系統(tǒng)500的各種實施例描述的特征,而打印系統(tǒng)2000A可以具有針對圖17的打印系統(tǒng)2000描述的所有特征。打印系統(tǒng)2000A可以具有打印系統(tǒng)基座2100,該打印系統(tǒng)基座2100可以由至少兩組分離器(諸如,包括圖13的分離器2110A和2110B的分離器組2110)支撐。Y軸運動系統(tǒng)2350可以安裝在打印系統(tǒng)基座2100上。基板2050可以由基板浮動臺2200浮動地支撐。打印系統(tǒng)基座2100可以支撐第一豎板2120和第二豎板2122,橋2130可以安裝在該第一豎板2120和第二豎板2122上。打印系統(tǒng)橋2130可以支撐:第一X軸托架組件2301,可以在其上安裝打印頭裝置組件2500;第二X軸托架組件2302,可以在其上安裝攝像機組件2550。另外,氣體包圍1000A可以具有可以封閉打印頭管理系統(tǒng)2701的輔助面板組件1330,以及用于批量油墨傳送系統(tǒng)的廢物包含系統(tǒng)。輔助面板組件1330可以通過打印頭組件開口1342與氣體包圍1000A的其余工作體積流動連通。批量油墨傳送系統(tǒng)的各種實施例可以在氣體包圍1000A的外部,并且與局部油墨傳送系統(tǒng)的各種實施例流動連通,該局部油墨傳送系統(tǒng)可以接近第一X軸托架組件2301上的打印頭裝置組件2500。圖14是可以與局部油墨傳送系統(tǒng)3500流動連通的批量油墨傳送系統(tǒng)3300的各種實施例的示意圖。批量油墨傳送系統(tǒng)(BIDS)3300可以具有批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3310,該批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3310可以包括與第一油墨源流動連通的第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1以及與第二油墨源流動連通的第二BIDS油墨供應(yīng)管線LB2。第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1和第二BIDS油墨供應(yīng)管線LB2可以分別具有第一BIDS油墨供應(yīng)安全閥VB1和第二BIDS油墨供應(yīng)安全閥VB2。例如,在需要更換或者重新填充油墨供應(yīng)容器時,第一BIDS油墨供應(yīng)安全閥VB1和第二BIDS油墨供應(yīng)安全閥VB2可以用于將第一油墨供應(yīng)源與第二油墨供應(yīng)源與上游管線隔離。第一BIDS油墨供應(yīng)閥VB3在第一油墨供應(yīng)容器油墨1使用時打開。類似地,第二BIDS油墨供應(yīng)閥VB4在第二油墨供應(yīng)容器油墨2使用時打開。盡管圖14指示了兩個油墨供應(yīng)源,但是多個油墨供應(yīng)容器可以包括在批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3310中,并且可以充當(dāng)油墨的連續(xù)供應(yīng)源。例如,如圖14所示,當(dāng)在第一油墨供應(yīng)容器油墨1中的油墨的水平處于低水平指示器處時,可以關(guān)閉第一BIDS油墨供應(yīng)安全閥VB1并且可以關(guān)閉第一BIDS油墨供應(yīng)閥VB3,從而使得,第一油墨供應(yīng)容器油墨1可以隔離,并且重新填充或者更換。在油墨1的隔離之后,可以打開第二BIDS油墨供應(yīng)安全閥VB2并且可以打開第二BIDS油墨供應(yīng)閥VB4,從而使得,第二油墨供應(yīng)容器油墨2可以充當(dāng)氣體包圍系統(tǒng)(諸如,圖13的氣體包圍系統(tǒng)500A)的油墨供應(yīng)源。第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1和第二BIDS油墨供應(yīng)管線LB2可以使用兩個閥(如圖14所示)來在T接合處接合,或者可以使用三向閥。第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1或者第二BIDS油墨供應(yīng)管線中的一個可以與第三BIDS管線LB3流動連通,這取決于哪個油墨供應(yīng)源處于使用中。第三BIDS管線LB3可以與第一BIDS泵PB1流動連通,該第一BIDS泵PB1可以是與使用的油墨的化學(xué)過程相容的氣動活塞注射器或者計量泵。在需要來自批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3310的油墨流動的過程期間,第五BIDS閥VB5處于打開位置,從而允許在第三BIDS管線LB3和第四BIDS管線LB4之間的流動。第四BIDS管線LB4穿過濾波器3312并且與第五BIDS管線LB5流動連通,該第五BIDS管線LB5與用于移除來自批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3310的供應(yīng)源中的批量的油墨中的溶解氣體的脫氣器流動連通。最后,在脫氣之后,油墨可以流過與局部油墨傳送系統(tǒng)3500流動連通的第六BIDS管線LB6。第六BIDS管線LB6可以由位于局部油墨傳送系統(tǒng)3500的反吸閥(suckbackvalve)控制在出口處。除了批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3310之外,批量油墨傳送系統(tǒng)3300可以具有BIDS維護系統(tǒng)3330,其可以包括溶劑管線、第七BIDS溶劑管線LB7,以及惰性氣體管線、第八BIDS氣體管線LB8,在圖14中描繪為利用氮源。第七BIDS溶劑管線LB7可以具有可以與第二BIDS泵PB2流動連通,該第二BIDS泵PB2可以是與所使用的溶劑的化學(xué)過程相容的氣動活塞注射器或者計量泵。第七BIDS溶劑管線LB7和第八BIDS氣體管線LB8可以分別具有第一BIDS維護系統(tǒng)安全閥VB6和第二BIDS維護系統(tǒng)安全閥VB7,該第一BIDS維護系統(tǒng)安全閥VB6和第二BIDS維護系統(tǒng)安全閥VB7在處理期間處于正常關(guān)閉位置,但是可以在,例如,但不限于,維護過程期間可選擇地打開。例如,在維護過程期間,與批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3310相關(guān)聯(lián)的BIDS閥,BIDS閥VB1至VB5將保持在關(guān)閉位置中。如果實現(xiàn)利用溶劑的維護過程,那么可以打開BIDS閥VB6、VB8、和VB10,從而使得,溶劑管線、第七BIDS溶劑管線LB7可以與第六BIDS管線LB6流動連通,如之前描述的,該第六BIDS管線LB6與局部油墨傳送系統(tǒng)3500流動連通。另外,如果在維護過程期間利用惰性氣體,那么可以打開BIDS閥VB7、VB9、和VB10,從而使得,惰性氣體管線第八BIDS溶劑管線LB8可以與第六BIDS管線LB6流動連通,如之前描述的,該第六BIDS管線LB6與局部油墨傳送系統(tǒng)3500流動連通。應(yīng)該提及的是,類似于針對批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3310描述的,第七BIDS溶劑管線LB7和第八BIDS氣體管線LB8可以使用兩個閥在T接合處接合(如圖14所示),以與第九BIDS管線LB9流動連通。同樣地,第三BIDS管線LB3和第九BIDS管線LB9可以使用兩個閥在T接合處接合(如圖14所示),以與第四BIDS管線LB4流動連通。在任何情況下,可以按照與使用兩個閥的T接合等效的方式來使用3通閥。如圖14描繪的,根據(jù)本教導(dǎo)的各種系統(tǒng)和方法的局部油墨傳送系統(tǒng)3500可以包括局部油墨供應(yīng)系統(tǒng)3600、打印頭油墨傳送系統(tǒng)3700、和局部油墨廢物組件3800。針對本教導(dǎo)的各種實施例,局部油墨供應(yīng)系統(tǒng)3600可以經(jīng)由第六BIDS管線LB6與批量油墨傳送系統(tǒng)3300流動連通,而局部油墨廢物組件3800可以通過第十BIDS管線LB10與批量油墨傳送系統(tǒng)廢物組件3340流動連通。第十BIDS管線LB10可以具有第三BIDS泵PB3,該第三BIDS泵PB3可以是與從打印頭油墨傳送系統(tǒng)3700移除的廢物的化學(xué)過程相容的氣動活塞注射器或者計量泵。在圖15中,示出了批量油墨傳送系統(tǒng)3301的各種實施例的示意圖。批量油墨傳送系統(tǒng)3301可以與局部油墨傳送系統(tǒng)3501流動連通。針對批量油墨傳送系統(tǒng)3301的各種實施例,泵PB1可以是可以有效地泵送液體和氣體流體的計量泵。在這方面,批量油墨傳送系統(tǒng)3301的維護系統(tǒng)3331和批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3311可以利用計量泵PB1進行流量控制。如圖15描繪的,計量泵PB1提供具有三條輸入管線的、具有用于三條輸出管線的可能性的可控歧管系統(tǒng);在圖15中指示了其中兩條管線,所有管線都使用如指示的計量泵來控制。根據(jù)計量泵的各種實施例,可控輸入和輸出管線的數(shù)量可以變化。在本教導(dǎo)的批量油墨傳送系統(tǒng)的實施例中利用的計量泵的各種實施例可以具有:可以包括例如,但不限于,能夠控制液體和氣體流體、用于防止腐蝕和污染的與流體流動接觸的抗腐蝕聚合物表面、防止交叉污染的零死體積連接、用于使用各種油墨的最小體積來快速引動的最小滯留體積、以及具有反吸能力的閥的屬性。因此,批量油墨傳送系統(tǒng)3301的各種實施例可以利用比圖14的批量油墨傳送系統(tǒng)3300的各種實施例少的閥和泵。圖15的批量油墨傳送系統(tǒng)(BIDS)3301可以具有批量油墨傳送系統(tǒng)3311,該批量油墨傳送系統(tǒng)3311可以具有與第一油墨源流動連通的第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1和與第二油墨源流動連通的第二BIDS油墨供應(yīng)管線LB2。第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1和第二BIDS油墨供應(yīng)管線LB2可以分別由第一BIDS閥VB1和第二BIDS閥VB2控制,如圖15指示的,該第一BIDS閥VB1和第二BIDS閥VB2可以是多端口計量泵PB1的組件的一部分。除了向批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3311提供流量控制之外,給定計量泵PB1具有可控地處理具有最小滯留體積的各種流體的能力,計量泵PB1還可以用于可控地處理維護系統(tǒng)3331。例如,在圖15中,第三BIDS溶劑供應(yīng)管線LB3可以與溶劑源流動連通,并且第四BIDS氣體供應(yīng)管線LB4可以與惰性氣體源流動連通,例如,如圖15指示的氮源。第三BIDS溶劑供應(yīng)管線LB3和第四BIDS氣體供應(yīng)管線LB4可以分別由第三BIDS溶劑供應(yīng)閥VB3和第四BIDS氣體供應(yīng)閥VB4控制。如圖15描繪的,第三BIDS溶劑供應(yīng)管線LB3和第四BIDS氣體供應(yīng)管線LB4可以與第五BIDS管線LB5流動連通,該第五BIDS管線LB5可以由第五BIDS維護系統(tǒng)供應(yīng)閥VB5控制。如圖15指示的,第五BIDS維護系統(tǒng)供應(yīng)閥VB5可以是多端口計量泵PB1的組件的一部分。第三BIDS溶劑供應(yīng)管線LB3和第四BIDS氣體供應(yīng)管線LB4可以使用兩個閥在T接合處接合(如圖15所示),或者可以使用3通閥。第三BIDS溶劑供應(yīng)閥VB3和第四BIDS惰性氣體供應(yīng)閥VB4在處理期間處于正常關(guān)閉位置,但是可以在維護過程期間可選擇地打開,如隨后將在本文中更詳細(xì)描述的。首先針對圖15的系統(tǒng)和方法的各種實施例,例如,在打印過程已經(jīng)開始之前,可以進行油墨管線通過計量泵PB1的歧管系統(tǒng)的引動。例如,一旦可從第一油墨供應(yīng)容器油墨1獲取油墨供應(yīng),第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1可以通過打開第一BIDS油墨供應(yīng)閥VB1和BIDS廢物管線閥VBW,而所有其它閥保持關(guān)閉,利用來自油墨1的油墨引動。針對這樣定位的閥狀態(tài),可以進行第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1的引動,其中,在第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1與批量油墨傳送系統(tǒng)廢物組件3341之間存在通過BIDS廢物管線LBW的流動連通。在引動之后,在例如發(fā)起打印過程期間,可以打開計量泵PB1的第一BIDS油墨供應(yīng)閥VB1和第六BIDS閥VB6,而所有其它閥關(guān)閉。針對這樣定位的閥狀態(tài),第一油墨供應(yīng)容器油墨1與批量油墨傳送系統(tǒng)3301流動連通,該批量油墨傳送系統(tǒng)3301與局部油墨傳送系統(tǒng)3501流動連通。第二BIDS管線LB2可以按照與針對引動第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1給定的示例類似的方式利用來自油墨2的油墨引動。盡管圖15指示了兩個油墨供應(yīng)源,但是多個油墨供應(yīng)容器可以包括在批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3311中,并且可以充當(dāng)油墨的連續(xù)供應(yīng)源。例如,如圖15所示,當(dāng)在第一油墨供應(yīng)容器的油墨1中的油墨的水平處于低水平指示器處時,可以關(guān)閉計量泵PB1的第一BIDS油墨供應(yīng)閥VB1,從而使得,第一油墨供應(yīng)容器的油墨1可以隔離,并且重新填充或者更換。在油墨1的隔離之后,可以打開計量泵PB1的第二BIDS油墨供應(yīng)閥VB2,從而使得,第二油墨供應(yīng)容器油墨2可以充當(dāng)氣體包圍系統(tǒng)(諸如,圖13的氣體包圍系統(tǒng)500A)的油墨供應(yīng)源。第一BIDS管線油墨供應(yīng)LB1或者第二BIDS油墨供應(yīng)管線LB2中的一個可以與第六BIDS管線LB6流動連通,這取決于哪個油墨供應(yīng)源處于使用中。在需要來自批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3311的油墨流動的過程期間,可以打開計量泵PB1的第一BIDS油墨供應(yīng)閥VB1和第六BIDS閥VB6,而所有其它閥關(guān)閉,從而允許在第一BIDS油墨供應(yīng)管線LB1與第六BIDS管線LB6之間流動。第六BIDS管線LB6穿過濾波器3312并且與第七BIDS管線LB7流動連通,該第七BIDS管線LB7與用于移除,例如,但不限于,在來自批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3311的供應(yīng)源中的批量的油墨中的溶解氣體的脫氣器流動連通。最后,在脫氣之后,油墨可以流過與局部油墨傳送系統(tǒng)3501流動連通的第八BIDS管線LB8。與圖14的批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3310的第六BIDS管線LB6不同,當(dāng)計量泵(諸如,圖15的計量泵PB1)可以提供這種控制時,第八BIDS管線LB8不需要位于局部油墨傳送系統(tǒng)3500中的反吸閥(如圖14所示)。如本文之前討論的,除了批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3311之外,圖15的批量油墨傳送系統(tǒng)3301可以具有BIDS維護系統(tǒng)3331。BIDS維護系統(tǒng)3331可以包括第三BIDS溶劑供應(yīng)管線LB3和第四BIDS氣體供應(yīng)管線LB4,該第三BIDS溶劑供應(yīng)管線LB3和第四BIDS氣體供應(yīng)管線LB4可以分別由第三BIDS溶劑供應(yīng)閥VB3和第四BIDS惰性氣體供應(yīng)閥VB4控制。如圖15描繪的,第三BIDS溶劑供應(yīng)管線LB3和第四BIDS氣體供應(yīng)管線LB4可以與第五BIDS管線LB5流動連通。第五BIDS管線LB5可以由計量泵PB1的第五BIDS維護系統(tǒng)供應(yīng)閥VB5控制。另外,針對圖15的批量油墨傳送系統(tǒng)3301,BIDS廢物管線LBW可以與批量油墨傳送系統(tǒng)廢物組件3341流動連通。BIDS廢物管線LBW可以由計量泵PB1的BIDS廢物管線閥VBW控制。第三BIDS溶劑供應(yīng)閥VB3、第四BIDS氣體供應(yīng)閥VB4、第五BIDS維護系統(tǒng)供應(yīng)閥VB5、和BIDS廢物管線閥VBW在處理期間處于正常關(guān)閉位置,但是可以在維護過程期間可選擇地打開。例如,在維護過程期間,與批量油墨供應(yīng)系統(tǒng)3311相關(guān)聯(lián)的計量泵PB1的BIDS閥,BIDS閥VB1、VB2、和VB5將保持在關(guān)閉位置中。如果實現(xiàn)利用溶劑清洗的維護過程,那么可以打開BIDS閥VB3、VB5、和VBW,從而使得,可以通過可以與批量油墨傳送系統(tǒng)廢物組件3341流動連通的第五BIDS管線LB5進行溶劑引動。在引動之后,在利用,例如,局部油墨傳送系統(tǒng)3501內(nèi)的管線的溶劑清潔的維護過程期間,可以關(guān)閉BIDS廢物管線閥VBW,并且可以打開BIDS閥VB3、VB5、和VB6,從而使得,溶劑可以流過可以與第六BIDS管線LB6流動連通的第五BIDS管線LB5。如之前描述的,第六BIDS管線LB6與局部油墨傳送系統(tǒng)3500流動連通,提供貫穿局部油墨傳送系統(tǒng)3501的溶劑流動,并且最終通過第九BIDS管線LB9流動至批量油墨傳送系統(tǒng)廢物組件3341。另外,如果實現(xiàn)利用惰性氣體的維護過程,那么可以打開BIDS閥VB4、VB5、和VB6,從而使得,惰性氣體可以流過可以與第六BIDS管線LB6流動連通的第五BIDS管線LB5。如之前描述的,第六BIDS管線LB6與局部油墨傳送系統(tǒng)3500流動連通。如圖15描繪的,根據(jù)本教導(dǎo)的各種系統(tǒng)和方法的局部油墨傳送系統(tǒng)3501可以包括局部油墨供應(yīng)系統(tǒng)3601、打印頭油墨傳送系統(tǒng)3701、和局部油墨廢物組件3801。針對本教導(dǎo)的各種實施例,局部油墨供應(yīng)系統(tǒng)3601可以經(jīng)由第八BIDS管線LB8與批量油墨傳送系統(tǒng)3301流動連通,而局部油墨廢物組件3801可以通過第九BIDS管線LB9與批量油墨傳送系統(tǒng)廢物組件3341流動連通。第九BIDS管線LB9可以具有第二BIDS泵PB2,該第二BIDS泵PB2可以是與從打印頭油墨傳送系統(tǒng)3701移除的廢物的化學(xué)過程相容的氣動活塞注射器或者計量泵。圖16描繪了可以包括氣體包圍1000A與局部油墨傳送系統(tǒng)3500的氣體包圍系統(tǒng)500A的示意截面圖。如本文之前描述的,根據(jù)本教導(dǎo)的各種實施例的本地油墨傳送系統(tǒng)3500可以包括本地油墨供應(yīng)系統(tǒng)3600、打印頭油墨傳送系統(tǒng)3700、和本地油墨廢物組件3800。如圖16描繪的,第六BIDS管線LE6可以由位于局部油墨傳送系統(tǒng)3500的反吸閥VP1控制,從而使得,油墨可以直接地傳送至批量油墨供應(yīng)儲器,該批量油墨供應(yīng)儲器是局部油墨供應(yīng)系統(tǒng)3600的一部分。在這方面,本教導(dǎo)的批量油墨傳送系統(tǒng)的各種實施例可以將油墨供應(yīng)直接地帶到油墨儲器局部油墨供應(yīng)系統(tǒng)3600,該油墨儲器局部油墨供應(yīng)系統(tǒng)3600可以與批量油墨儲器流動連通,該批量油墨儲器與分配儲器流動流通,該分配儲器與,例如,多個打印頭裝置(諸如,圖1C的打印頭裝置2505)流動連通。如將在本文中更詳細(xì)描述的,打印頭油墨傳送系統(tǒng)3700的各種實施例可以利用雙級油墨傳送組件。此外,氣體包圍內(nèi)部的本地油墨廢物組件可以與是批量油墨傳送系統(tǒng)的一部分的批量油墨傳送系統(tǒng)廢物組件流動連通。因此,可以基本上在氣體包圍系統(tǒng)外部的批量油墨傳送系統(tǒng)的各種實施例可以按照避免通過電纜載體將油墨管線運行至打印頭組件(諸如,在圖1C的第一X軸托架組件2301上的打印頭裝置組件2500)的方式與在氣體包圍系統(tǒng)內(nèi)部的局部油墨傳送系統(tǒng)流動通信。同樣,基本上在氣體包圍外部的批量補充系統(tǒng)可更容易地用于服務(wù),諸如,補充油墨和溶劑供應(yīng),以及改變運載各種油墨和溶劑的管線。圖17是根據(jù)本教導(dǎo)的包括打印頭油墨傳送系統(tǒng)的局部油墨傳送系統(tǒng)的示意圖。針對本教導(dǎo)的局部油墨傳送系統(tǒng)的各種實施例,氣動控制組件IA可以提供在主分配儲器IC與各種氣動控制源(諸如,氣體和真空源)之間的控制。根據(jù)本教導(dǎo)的局部油墨傳送系統(tǒng)的各種實施例,局部油墨傳送管線IB可能能夠提供在主分配儲器IC與局部批量油墨儲器ID之間的流體分配和控制。主分配儲器IC可以通過輸入歧管管線IF與多個打印頭IE流動連通。在圖17的示意圖中,針對3個打印頭裝置組件中的每一個指示三個打印頭。打印頭組件輸入歧管管線IF可以與打印頭組件輸入歧管IG流動連通。打印頭組件輸入歧管IG可以與多個打印頭裝置中的每一個流動連通,其中,各個打印頭裝置可以具有至少三個打印頭,在圖17中的編號順序為打印頭1至打印頭9。可以通過使用打印頭組件歧管閥IGV1、IGV2、和IGV3來控制在打印頭組件輸入歧管IG與各個打印頭裝置之間的流動流通。最后,多個打印頭組件可以與是打印頭輸出歧管IH的一部分的打印頭組件輸出廢物管線流動連通。打印頭組件輸出廢物管線可以與局部油墨廢物組件流動連通,該局部油墨廢物組件又與批量油墨傳送系統(tǒng)廢物組件(參見,例如,圖14和圖15)流動連通??梢酝ㄟ^使用打印頭組件歧管管線閥IHV1、IHV2、和IHV3來控制在打印頭組件輸出歧管IH與各個打印頭裝置之間的流動通信。圖18A是安裝在打印頭組件定位系統(tǒng)(諸如,第一X軸托架組件2301(同樣參見圖1C))上的打印頭組件2500的底部展開透視圖。第一X軸托架組件2301可以在X軸方向上相對于基板(諸如,圖1C的基板2050)定位在打印系統(tǒng)橋2130上。如圖18A所示,將服務(wù)束外殼2410安裝至打印系統(tǒng)橋2130。服務(wù)束外殼2410可以包含從各種設(shè)備和系統(tǒng)可操作地連接至包括打印系統(tǒng)的氣體包圍系統(tǒng)的各種服務(wù)束。服務(wù)束的各種實施例可以包括用于向設(shè)置在氣體包圍系統(tǒng)的內(nèi)部內(nèi)的各種組件和系統(tǒng)提供光學(xué)、電氣、機械、和流體功能的成束光纜、電纜、電線和管道等。在各種處理步驟期間,諸如,打印和維護步驟,因為X軸托架組件2301跨打印系統(tǒng)橋2130移動打印頭裝置組件2500,所以各種服務(wù)束相應(yīng)地移動。因此,在這種服務(wù)束中的液體油墨管線經(jīng)受持續(xù)撓屈和磨損。根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法,在氣體包圍系統(tǒng)外部的批量油墨傳送系統(tǒng)可以與氣體包圍系統(tǒng)內(nèi)部的局部油墨傳送供應(yīng)系統(tǒng)流體連通,這排除了通過位于服務(wù)束外殼2410的服務(wù)束來運行油墨管線的需要。同樣,基本上在氣體包圍外部的批量補充系統(tǒng)可更容易地用于服務(wù),諸如,補充油墨和溶劑供應(yīng),以及服務(wù)或者更換各種管線和閥。如圖18A描繪的,打印頭裝置組件2500可以具有打印頭組件包圍2503,該打印頭組件包圍2503可以封閉安裝在其中的多個打印頭裝置2505A、2505B、和2505C。針對圖1C的打印系統(tǒng)2000或者圖13和圖16的打印系統(tǒng)2000A的各種實施例,打印頭裝置組件可以包括大約1個到大約60個之間的打印頭裝置,其中,各個打印頭裝置可以在各個打印頭裝置中具有大約1個到大約30個之間的打印頭。如圖18A描繪的,根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法,打印頭裝置2500可以具有三個打印頭裝置,其中,各個打印頭裝置可以具有三個打印頭(還參見圖17)。如將在本文中更詳細(xì)討論的,給定需要不斷維護的打印頭裝置和打印頭的數(shù)量,打印頭裝置組件2500可以定位在維護系統(tǒng)上方,以供打印頭裝置或者打印頭的準(zhǔn)備布置或者更換。如圖18B的底部透視圖所示,打印頭裝置組件2500可以具有通過使用運動安裝件安裝的打印頭裝置2505A、2505B、和2505C,與針對,例如,圖13A的打印頭單元1000的運動安裝描述的內(nèi)容類似。在這方面,如隨后將在本文中更詳細(xì)討論的,可以利用針對將打印頭裝置(諸如,圖18B的打印頭裝置2505A、2505B、和2505C)的實施例的垂直安裝到打印頭裝置組件(諸如,圖18B的打印頭裝置組件2500)中的運動安裝組件的各種實施例,例如,舟狀球和V形塊組件。在圖18B中,針對圖18B的各個打印頭裝置2505A、2505B、和2505C描繪了舟狀球1118A。另外,攝像機組件2551示出為安裝在打印頭組件包圍2503中。針對本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法的各種實施例,多個攝像機可以安裝在各種裝置、設(shè)備、和組件上,以提供在氣體包圍系統(tǒng)(諸如,圖13的氣體包圍系統(tǒng)500A)內(nèi)的操作的實時可視化。例如,可以利用圖13的攝像機組件2550和圖18B的攝像機組件2551,例如但不限于,導(dǎo)航以及檢查。打印系統(tǒng)攝像機組件的各種實施例可以具有關(guān)于視場和分辨率的不同規(guī)格。例如,一個攝像機可以是用于原位顆粒檢查的線掃描攝像機,而第二個攝像機可以用于氣體包圍系統(tǒng)中的基板的常規(guī)導(dǎo)航,或者用于打印頭裝置組件相對于基板的位置。對常規(guī)導(dǎo)航有用的這種攝像機可以是具有在大約0.9X的放大率下大約5.4mmx4mm至在大約0.45X的放大率下大約10.6mmx8mm的范圍內(nèi)的視場的區(qū)域掃描攝像機。在另一實示例中,一個攝像機可以是用于原位顆粒檢查的線掃描攝像機,而第二個攝像機可以用于氣體包圍系統(tǒng)中的基板的精確導(dǎo)航,例如,用于基板對準(zhǔn),或者用于打印頭裝置組件相對于基板的精確位置??梢詫_導(dǎo)航有用的這種攝像機可以是具有在大約7.2X的放大率下大約0.7mmx0.5mm的視場的區(qū)域掃描攝像機。圖19A和圖19B描繪了根據(jù)本教導(dǎo)的打印頭裝置的各種實施例的打印頭裝置2505的各種透視圖。如本文之前描述的,打印頭單元至打印系統(tǒng)的運動安裝可以提供針對本教導(dǎo)的打印頭單元和打印頭裝置的各種實施例的可重復(fù)、無應(yīng)變定位。例如,針對打印頭單元1000的運動安裝描述的運動安裝組件可以利用點接觸運動組件,諸如,球和V形塊運動安裝組件。針對將多個打印頭裝置垂直安裝到打印頭裝置組件中的運動安裝組件的各種實施例可以利用線接觸運動組件,例如,但不限于,舟狀球和V形塊運動安裝組件。線接觸運動安裝組件的各種實施例可以運載基本上比提供點接觸的等效運動安裝組件更大的負(fù)載,例如,至少100倍的負(fù)載。運動安裝組件的各種實施例提供針對將打印頭裝置垂直安裝到打印頭裝置組件中的可重復(fù)、無應(yīng)變定位的顯著穩(wěn)定性,以及通過天然地抵抗在X軸方向上的運動而在打印頭裝置組件的X軸運動期間提供穩(wěn)定性。在圖19A的俯視透視圖和圖19B的底部透視圖中,可以看見第一舟狀球1118A的第一舟狀球安裝固定裝置1116A,以及第二舟狀球1118B的第二舟狀球安裝固定裝置1116B。第三舟狀球安裝固定裝置1116C在圖19A和圖19B中是明顯的,第三舟狀球可以安裝在打印頭裝置2505的背部上。一組舟狀球1118A、1118B、和1118C的位置,一旦接合在V形塊安裝件的配合表面中,則可以用于打印頭裝置2505到打印頭裝置組件(諸如,圖18A和圖18B的打印頭裝置組件2500)中的可重復(fù)且無應(yīng)變垂直底部插入。如圖19B所示,各個打印頭裝置可以具有3個終端用戶選擇的打印頭組件200A、200B、和200C。打印頭裝置2505可以具有提供連接進入打印頭裝置2505的流體管線的簡易性的第一快速聯(lián)接連接器1110A,以及提供連接自打印頭裝置2505出發(fā)的流體管線的簡易性的第二快速聯(lián)接連接器1110B。如圖17中用于局部油墨傳送系統(tǒng)的各種實施例的流體系統(tǒng)的示意性示出的,針對打印頭裝置組件中的各個打印頭裝置的局部油墨傳送系統(tǒng)的流動連通可以通過使用打印頭組件歧管閥IGV1、IGV2、和IGV3來控制。同樣如圖17所示,從打印頭裝置組件中的各個打印頭裝置至打印頭輸出歧管的流動連通可以通過使用打印頭組件歧管閥IHV1、IHV2、和IHV3來控制,該打印頭組件歧管閥IHV1、IHV2、和IHV3可以是圖17的打印頭輸出歧管IH的一部分。打印頭輸出歧管的各種實施例可以與局部油墨廢物組件(諸如,例如,圖16的局部油墨廢物組件3800)流動連通。在圖19A和圖19B中,針對打印頭裝置2505示出了輸入打印頭組件歧管閥IGV和輸出打印頭組件歧管閥IHV。圖19C描繪了具有第一V形塊1348A、第二V形塊1348B、和第三V形塊1348C的打印頭裝置運動安裝板1340,該第一V形塊1348A、第二V形塊1348B、和第三V形塊1348C分別是圖19A和圖19B的第一舟狀球1118A、第二舟狀球1118B、和第三舟狀球1118C的配合表面。第一V形塊1348A、第二V形塊1348B、和第三V形塊1348C可以分別使用第一V形塊安裝固定裝置1342A、第二V形塊安裝固定裝置1342B、和第三V形塊安裝固定裝置1342C固定至打印頭裝置運動安裝板1340。如圖19A至圖19C描繪的,第一V形塊1348A是第一舟狀球1118A的配合表面,第二V形塊1348B是第二舟狀球1118B的配合表面,并且第三V形塊1348C是第三舟狀球1118C的配合表面。圖19D描繪了打印頭裝置單元1300,其中,打印頭裝置2505使用舟狀球和V形塊運動安裝件而安裝在打印頭裝置運動安裝板1340上。例如,在圖19D中,如圖19B所示的第一舟狀球1118A安裝至第一舟狀球安裝固定裝置1116A,并且接合在第一V形塊1348A中,該第一V形塊1348A安裝在第一V形塊安裝固定裝置1342A上。如本文之前描述的,第一V形塊安裝固定裝置1342A是安裝至打印頭裝置運動安裝板1340的三個V形安裝固定裝置中的一個。在這方面,針對圖19D的打印頭裝置單元1300的第一舟狀球1118A至第一V形塊1348A的聯(lián)接是第二舟狀球1118B和第三舟狀球1118C分別與第二V形塊1348B和第三V形塊1348C聯(lián)接的示例。除了打印頭裝置運動安裝板1340之外,用于打印頭裝置單元(諸如,圖19D的打印頭裝置單元1300)的安裝組件的各種實施例可以包括打印頭裝置前安裝板1341以及第一打印頭側(cè)安裝板1343A和第二打印頭側(cè)安裝板1343B。如圖19A和圖19B所示的各個快速聯(lián)接連接器可以安裝至打印頭裝置側(cè)安裝板,如圖19D針對安裝至第一打印頭裝置側(cè)安裝板1343A的第一快速聯(lián)接連接器1110A描繪的。根據(jù)本教導(dǎo)的各種系統(tǒng)和方法,打印頭裝置(諸如,圖18A和圖18B的打印頭裝置2505A、2505B、和2505C)可以從打印頭裝置組件2500的底部手動地或者自動地插入。例如,如圖1D描繪的,打印頭安裝或者更換可以用機器人來進行。如本文之前參考圖13討論的,氣體包圍(諸如,氣體包圍1000A)可以具有輔助面板組件1330,該輔助面板組件可以封閉打印頭管理系統(tǒng)2701。在圖1D中,打印頭裝置或者打印頭的安裝和更換,可以通過使用機器人2530在輔助面板組件1330中進行。圖1D的打印頭管理系統(tǒng)2701的打印頭更換模塊2713可以包括用于具有至少一個打印頭的打印頭裝置的對接站,以及用于多個打印頭裝置以及多個打印頭的存儲容器。本教導(dǎo)的各個打印頭組件可以包括大約1個到大約60個之間的打印頭裝置,并且各個打印頭裝置可以具有大約1個到大約30個之間的打印頭(例如,但不限于,參見圖1C和圖18A的打印頭裝置組件2500)。因此,除了具有大約1個到大約60個之間的打印頭裝置之外,本教導(dǎo)的打印系統(tǒng)的各種實施例可以具有大約1個到大約1800個之間的打印頭。如本文之前討論的,打印頭裝置(諸如,圖19A和圖19B的打印頭裝置2505)可以通過打印頭組件(諸如,圖23A和圖18B的打印頭裝置組件2500)中的打印頭裝置的無應(yīng)變底部插入來安裝或者更換,圖1D指示了該打印頭裝置組件的底視圖。圖20是示出了氣體包圍系統(tǒng)500B的示意圖。根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)500B的各種實施例可以包括用于容置打印系統(tǒng)的氣體包圍組件1000B、與氣體包圍組件1000B流動連通的氣體凈化回路3130、和至少一個熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)3140。另外,氣體包圍系統(tǒng)500B的各種實施例可以具有加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)3000,該加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)可以供應(yīng)惰性氣體以供操作各種裝置,諸如,OLED打印系統(tǒng)的基板浮動臺。如隨后將在下文中更詳細(xì)討論的,加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)3000的各種實施例可以利用壓縮機、鼓風(fēng)機和這兩者的組合作為用于加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)3000的各種實施例的源。另外,氣體包圍系統(tǒng)500B可以具有在氣體包圍系統(tǒng)500B內(nèi)部的循環(huán)和過濾系統(tǒng)(未示出)。如圖20描繪的,針對根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍組件的各種實施例,過濾系統(tǒng)的設(shè)計可以將循環(huán)通過氣體凈化回路3130的惰性氣體與用于氣體包圍組件的各種實施例的在內(nèi)部不斷循環(huán)和過濾的惰性氣體分離。氣體凈化回路3130包括自氣體包圍組件1000B到溶劑移除部件3132然后到氣體凈化系統(tǒng)3134的出口管線3131。經(jīng)凈化除去了溶劑和其它反應(yīng)性氣體物種(諸如,氧氣和水蒸氣)的惰性氣體然后通過進口管線3133返回至氣體包圍組件1000B。氣體凈化回路3130還可以包括合適的管道和連接件,和傳感器,例如,氧氣、水蒸氣、和溶劑蒸氣傳感器。氣體循環(huán)單元(諸如,風(fēng)扇、鼓風(fēng)機、或者馬達等)可以單獨地提供或者是一體的,例如,在氣體凈化系統(tǒng)3134中,以使氣體循環(huán)通過氣體凈化回路3130。根據(jù)氣體包圍組件的各種實施例,盡管溶劑移除系統(tǒng)3132和氣體凈化系統(tǒng)3134在圖20示出的示意圖中示出為單獨單元,但是溶劑移除系統(tǒng)3132和氣體凈化系統(tǒng)3134可以作為單個凈化單元一起容置。圖20的氣體凈化回路3130可以具有放置在氣體包圍凈化系統(tǒng)3134的上游的溶劑移除系統(tǒng)3132,從而使得,從氣體包圍組件100B循環(huán)的惰性氣體經(jīng)由出口管線3131穿過溶劑移除系統(tǒng)3132。根據(jù)各種實施例,溶劑移除系統(tǒng)3132可以是基于從穿過圖20的溶劑移除系統(tǒng)3132的惰性氣體吸收溶劑蒸氣的溶劑捕集系統(tǒng)。吸附劑(例如,但不限于,活性炭、分子篩等)的一個或者多個床可以有效地移除各種有機溶劑蒸氣。針對氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,可以采用冷捕集技術(shù)來移除在溶劑移除系統(tǒng)3132中的溶劑蒸氣。如本文之前討論的,針對根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,傳感器(諸如,氧氣、水蒸氣、和溶劑蒸氣傳感器)可以用于監(jiān)測這種物種從不斷循環(huán)通過氣體包圍系統(tǒng)(諸如,圖20的氣體包圍系統(tǒng)500B)的惰性氣體的有效移除。溶劑移除系統(tǒng)的各種實施例可以指示吸附劑(諸如,活性炭、分子篩等)何時達到容量,從而使得,可以再生或者更換吸附劑的一個或者多個床。分子篩的再生可以涉及加熱分子篩、使分子篩與形成氣體接觸、它們的組合等。可以通過加熱并且暴露于包括氫的形成氣體(例如,包括大約96%的氮和4%的氫的形成氣體,其中,所述百分比按體積或者按重量計)來再生構(gòu)造為捕集各種物種(包括:氧氣、水蒸氣、和溶劑)的分子篩。可以通過使用在惰性環(huán)境下加熱的相似過程來進行活性炭的物理再生。任何合適的氣體凈化系統(tǒng)可以用于圖20的氣體凈化回路3130的氣體凈化系統(tǒng)3134。從MBRAUNInc.,ofStatham,NewHampshire或者InnovativeTechnologyofAmesbury,Massachusetts可購的氣體凈化系統(tǒng)可以對集成到根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍組件的各種實施例中有用。氣體凈化系統(tǒng)3134可以用于凈化在氣體包圍系統(tǒng)500B中的一種或者多種惰性氣體,例如,凈化氣體包圍組件內(nèi)的整個氣體環(huán)境。如本文之前討論的,為了使氣體循環(huán)通過氣體凈化回路3130,氣體凈化系統(tǒng)3134可以具有氣體循環(huán)單元,諸如,風(fēng)扇、鼓風(fēng)機、或者馬達等。在這方面,可以根據(jù)包圍的體積來選擇氣體凈化系統(tǒng),這可以限定出用于使惰性氣體移動通過氣體凈化系統(tǒng)的體積流率。針對具有體積多達大約4m3的氣體包圍組件的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例;可以使用可以移動大約84m3/h的氣體凈化系統(tǒng)。針對具有體積多達大約10m3的氣體包圍組件的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例;可以使用可以移動大約155m3/h的氣體凈化系統(tǒng)。針對具有體積在大約52至114m3之間的氣體包圍組件的各種實施例,可以使用多于一個的氣體凈化系統(tǒng)。任何合適的氣體過濾或者凈化裝置可以包括在本教導(dǎo)的氣體凈化系統(tǒng)3134中。在一些實施例中,氣體凈化系統(tǒng)可以包括兩個平行凈化裝置,從而使得,其中一個裝置可以從管線取下以進行維護,而另一個裝置可以用于在不中斷的情況下繼續(xù)系統(tǒng)操作。在一些實施例中,例如,氣體凈化系統(tǒng)可以包括一個或者多個分子篩。在一些實施例中,氣體凈化系統(tǒng)可以包括至少第一分子篩和第二分子篩,從而使得,當(dāng)分子篩中的一個充滿雜質(zhì)時,或者在其它方面視為不足以有效地操作時,系統(tǒng)可以在將該飽和或者非有效的分子篩再生的同時切換至另一個分子篩??梢蕴峁┛刂茊卧源_定各個分子篩的操作效率、以在不同的分子篩的操作之間切換、以再生一個或者多個分子篩、或者它們的組合。如本文之前討論的,分子篩可以再生或者重復(fù)利用。圖20的熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)3140可以包括至少一個冷卻器3142,該冷卻器可以具有用于將冷卻劑循環(huán)到氣體包圍組件中的流體出口管線3141和用于將冷卻劑返回至冷卻器的流體進口管線3143??梢蕴峁┲辽僖粋€流體冷卻器3142以冷卻氣體包圍系統(tǒng)500B內(nèi)的氣體環(huán)境。針對本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,流體冷卻器3142將冷卻流體傳送至包圍內(nèi)的熱交換器,其中,在包圍內(nèi)部的過濾系統(tǒng)上傳遞惰性氣體。還可以將至少一個流體冷卻器提供給氣體包圍系統(tǒng)500B,以冷卻由封閉在氣體包圍系統(tǒng)500B內(nèi)的設(shè)備釋放的熱。例如,但不限于,還可以向氣體包圍系統(tǒng)500B提供至少一個流體冷卻器,以冷卻由OLED打印系統(tǒng)形成的熱。熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)3140可以包括熱交換或者珀爾帖(Peltier)裝置,并且可以具有各種冷卻能力。例如,針對氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,冷卻器可以提供自大約2kW到大約20kW之間的冷卻能力。氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以具有可以冷卻一種或者多種流體的多個流體冷卻器。在一些實施例中,流體冷卻器可以利用若干流體作為冷卻劑,例如,但不限于,水、防凍劑、制冷劑、以及它們的組合作為熱交換流體。合適的無泄漏、鎖定連接可以用于連接相關(guān)聯(lián)的管道和系統(tǒng)部件。如本文之前討論的,本教導(dǎo)公開了可以包括限定出第一體積的打印系統(tǒng)包圍和限定出第二體積的輔助包圍的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例。氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以具有可以密封地構(gòu)建為氣體包圍組件的一部分的輔助包圍。根據(jù)本教導(dǎo)的系統(tǒng)和方法,輔助包圍可以與打印系統(tǒng)包圍可密封隔離,并且可以在不將打印系統(tǒng)包圍暴露于外部環(huán)境的情況下,對氣體包圍組件外部的環(huán)境開放。可以進行用于執(zhí)行,例如,但不限于,各種打印頭管理過程的輔助包圍的這種物理隔離,以消除或者最小化打印系統(tǒng)包圍對污染(諸如,空氣和水蒸氣和各種有機溶劑,以及顆粒污染)的暴露??梢园P(guān)于打印頭組件的測量和維護過程的各種打印頭管理過程可以在很少或者不中斷打印過程的情況下進行,從而最小化或者消除氣體包圍系統(tǒng)停機時間。針對具有限定出第一體積的打印系統(tǒng)包圍和限定出第二體積的輔助包圍的氣體包圍系統(tǒng),這兩種體積可以與氣體循環(huán)、過濾、和凈化組件容易地集成,以形成可以在很少或者不中斷打印過程的情況下,針對需要這種環(huán)境的過程,維持惰性的、基本上低顆粒環(huán)境的氣體包圍系統(tǒng)。根據(jù)本教導(dǎo)的各種系統(tǒng)和方法,打印系統(tǒng)包圍可以引入凈化系統(tǒng)可以在污染可以影響打印過程之前移除該污染的足夠低的污染水平。輔助包圍的各種實施例可以是氣體包圍組件的總體體積的基本上較小的體積,并且可以與氣體循環(huán)、過濾、和凈化部件容易地集成,以形成可以在暴露于外部環(huán)境之后迅速地恢復(fù)惰性的、低顆粒的環(huán)境,從而提供打印過程的很少或者不中斷的輔助包圍系統(tǒng)。另外,輔助包圍的各種實施例可以與一組專用環(huán)境調(diào)節(jié)系統(tǒng)部件(諸如,照明、氣體循環(huán)和過濾、氣體凈化、和恒溫部件)集成。在這方面,包括可以密封地隔離為氣體包圍組件的區(qū)段的輔助包圍的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以具有受控環(huán)境,該受控環(huán)境設(shè)定為與由容置打印系統(tǒng)的氣體包圍組件限定出的第一體積相同。進一步地,包括可以密封地隔離為氣體包圍組件的區(qū)段的輔助包圍的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以具有受控環(huán)境,該受控環(huán)境設(shè)定為與由容置打印系統(tǒng)的氣體包圍組件限定出的第一體積的受控環(huán)境不同。雖然以上示例提及冷卻能力和冷卻應(yīng)用,但是上述示例還可以應(yīng)用于包括受控環(huán)境中的基板的緩沖的應(yīng)用,或者循環(huán)氣體可以維持在與系統(tǒng)的其它部分相似的溫度下,以便避免來自正在制造的基板的不需要的熱傳遞或者以避免跨過基板或者在基板之間的溫度均勻性的破壞的應(yīng)用。圖21A和21B大體上示出了用于集成和控制非反應(yīng)性氣體和清潔干燥空氣(CDA)源的氣體包圍系統(tǒng)的示例,該非反應(yīng)性氣體和清潔干燥空氣源,諸如,可以用于建立在本文的其它地方描述的其它示例中提及的受控環(huán)境,并且諸如,可以包括與浮動臺一起使用的加壓氣體的供應(yīng)。圖22A和22B大體上示出了用于集成和控制非反應(yīng)性氣體和清潔干燥空氣(CDA)源的氣體包圍系統(tǒng)的示例,該非反應(yīng)性氣體和清潔干燥空氣源,諸如,可以用于建立在本文其它地方描述的其它示例中提及的受控環(huán)境,并且諸如,可以包括鼓風(fēng)機回路以提供,例如,與浮動臺一起使用的加壓氣體和至少部分真空。圖22C大體上示出了用于集成和控制一種或者多種氣體或者空氣源以便建立包括作為浮動輸送系統(tǒng)的一部分的浮動控制區(qū)的系統(tǒng)的另一示例。本文描述的各種示例包括受環(huán)境控制的封閉式模塊。包圍組件和相應(yīng)的支撐設(shè)備可以稱作“氣體包圍系統(tǒng)”,并且這種包圍組件可以按照輪廓化方式構(gòu)建,該輪廓化方式減少或者最小化氣體包圍組件的內(nèi)部體積,并且同時提供用于容納打印系統(tǒng)部件(諸如,本文描述的沉積(例如,打?。⒈3?、加載、或者處理模塊)的各種影響區(qū)域的工作體積。例如,針對涵蓋,例如,從Gen3.5到Gen10的基板大小的本教導(dǎo)的氣體包圍組件的各種示例,根據(jù)本教導(dǎo)的輪廓化氣體包圍組件可以具有大約6m3到大約95m3之間的氣體包圍體積。根據(jù)本教導(dǎo)的輪廓化氣體包圍組件的各種示例可以具有,例如,但不限于,大約15m3到大約30m3之間的氣體包圍體積,這可能對,例如,但不限于,Gen5.5到Gen8.5基板大小或者其它基板大小的打印有用。輔助包圍的各種示例可以構(gòu)建為氣體包圍組件的區(qū)段,并且與氣體循環(huán)和過濾以及凈化部件容易地集成,以形成可以針對需要這種環(huán)境的過程,維持受控的、基本上低顆粒的環(huán)境的氣體包圍系統(tǒng)。如圖21A和22A所示,氣體包圍系統(tǒng)的各種示例可以包括加壓非反應(yīng)性氣體再循環(huán)系統(tǒng)。加壓氣體再循環(huán)回路的各種示例可以利用壓縮機、鼓風(fēng)機、和它們的組合。根據(jù)本教導(dǎo),提出若干工程挑戰(zhàn),以便提供氣體包圍系統(tǒng)中的加壓氣體再循環(huán)系統(tǒng)的各種示例。第一,在沒有加壓非反應(yīng)性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的氣體包圍系統(tǒng)的典型操作下,氣體包圍系統(tǒng)可以相對于外部壓力維持在輕微的正內(nèi)部壓力(例如,超出大氣壓力)下,以便在氣體包圍系統(tǒng)中出現(xiàn)任何泄露的情況下防止外部氣體或者空氣進入內(nèi)部。例如,在典型操作下,針對本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種示例,氣體包圍系統(tǒng)的內(nèi)部可以相對于包圍系統(tǒng)外部的周圍環(huán)境維持在,例如,至少2mbarg的壓力下,例如,在至少4mbarg的壓力下、在至少6mbarg的壓力下、在至少8mbarg的壓力下、或者在更高的壓力下。維持氣體包圍系統(tǒng)內(nèi)的加壓氣體再循環(huán)系統(tǒng)可以具有挑戰(zhàn)性,因為這提出關(guān)于維持氣體包圍系統(tǒng)的輕微的正內(nèi)部壓力,而同時不斷將加壓氣體引入氣體包圍系統(tǒng)中的動態(tài)且持續(xù)的平衡動作。進一步地,各種裝置和設(shè)備的可變需求可以創(chuàng)建用于本教導(dǎo)的各種氣體包圍組件和系統(tǒng)的不規(guī)則壓力分布。維持保持在輕微正壓力下的氣體包圍系統(tǒng)相對于這種條件下的外部環(huán)境的動態(tài)壓力平衡可以提供持續(xù)制造過程的完整性。針對氣體包圍系統(tǒng)的各種示例,根據(jù)本教導(dǎo)的加壓氣體再循環(huán)系統(tǒng)可以包括可以利用壓縮機、累積器、鼓風(fēng)機以及它們的組合中的至少一個的加壓氣體回路的各種示例。包括加壓氣體回路的各種示例的加壓氣體再循環(huán)系統(tǒng)的各種示例可以具有專門設(shè)計的壓力控制旁路回路,該專門設(shè)計的壓力控制旁路回路可以按照穩(wěn)定的、限定的值來提供本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)中的非反應(yīng)性氣體的內(nèi)部壓力。在氣體包圍系統(tǒng)的各種示例中,加壓氣體再循環(huán)系統(tǒng)可以構(gòu)造為當(dāng)加壓氣體回路的累積器中的氣體壓力超出預(yù)設(shè)閾值壓力時,經(jīng)由壓力控制旁路回路使加壓氣體再循環(huán)。閾值壓力可以是,例如,在從大約25psig到大約200psig之間的范圍內(nèi),或者更具體地,在大約75psig到大約125psig之間的范圍內(nèi),或者更具體地,在大約90psig到大約95psig之間的范圍內(nèi)。在這方面,具有帶專門設(shè)計的壓力控制旁路回路的各種示例的加壓氣體再循環(huán)系統(tǒng)的本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)可以維持在密封氣體包圍中具有加壓氣體再循環(huán)系統(tǒng)的平衡根據(jù)本教導(dǎo),各種裝置和設(shè)備可以設(shè)置在氣體包圍系統(tǒng)的內(nèi)部并且與加壓氣體再循環(huán)系統(tǒng)的各種示例流動連通。針對本教導(dǎo)的氣體包圍和系統(tǒng)的各種示例,各種氣動操作裝置和設(shè)備的使用可以提供低顆粒生成性能,以及低維護??梢栽O(shè)置在氣體包圍系統(tǒng)的內(nèi)部并且與各種加壓氣體回路流動連通的示例性裝置和設(shè)備可以包括:例如,但不限于,一個或者多個氣動機器人、基板浮動臺、空氣軸承、空氣套管、壓縮氣體工具、氣動致動器、以及它們的組合。基板浮動臺以及空氣軸承可以用于操作根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種示例的打印系統(tǒng)的各種方面。例如,利用空氣軸承技術(shù)的基板浮動臺可以用于將基板傳輸?shù)酱蛴☆^腔室中的位置中,以及在打印過程期間支撐基板。例如,如圖21A、21B、22A、和22B所示,氣體包圍系統(tǒng)500C和氣體包圍系統(tǒng)500D的各種示例可以具有用于集成和控制使用在氣體包圍系統(tǒng)500C和氣體包圍系統(tǒng)500D的操作的各種方面中的非反應(yīng)性氣體源3201和清潔干燥空氣(CDA)源3203的外部氣體回路3200。如之前描述的,氣體包圍系統(tǒng)500C和氣體包圍系統(tǒng)500D還可以包括內(nèi)部顆粒過濾和氣體循環(huán)系統(tǒng)的各種示例,以及外部氣體凈化系統(tǒng)的各種示例。氣體包圍系統(tǒng)的這種示例可以包括用于從氣體凈化各種反應(yīng)性物種的氣體凈化系統(tǒng)。非反應(yīng)性氣體的一些常用非限制示例可以包括氮、任何稀有氣體、以及它們的任何組合。根據(jù)本教導(dǎo)的氣體凈化系統(tǒng)的各種示例可以將各種反應(yīng)性物種(包括:各種反應(yīng)性大氣氣體,諸如,水蒸氣、氧氣、臭氧、以及有機溶劑蒸氣)的各個物種的水平維持在1000ppm或者更低,例如,100ppm或者更低、10ppm或者更低、或者1.0ppm或者更低,或者在0.1ppm或者更低。除了用于集成和控制氣體源3201和CDA源3203的外部回路3200之外,氣體包圍系統(tǒng)500C和氣體包圍系統(tǒng)500D可以具有壓縮機回路3250,該壓縮機回路3250可以供應(yīng)氣體,以操作可以設(shè)置在氣體包圍系統(tǒng)500C和氣體包圍系統(tǒng)500D的內(nèi)部中的各種裝置和設(shè)備。還可以提供真空系統(tǒng)3270,諸如,當(dāng)閥3274處于打開位置時,通過管線3272與氣體包圍組件1005連通。圖21A的壓縮機回路3250可以包括構(gòu)造為流動連通的壓縮機3262、第一累積器3264和第二累積器3268。壓縮機3262可以構(gòu)造為將自氣體包圍組件1005抽出的氣體壓縮成期望的壓力。壓縮機回路3250的進口側(cè)可以經(jīng)由氣體包圍組件出口3252,通過具有閥3256和止回閥3258的管線3254與氣體包圍組件1005流動連通。壓縮機回路3250可以經(jīng)由外部氣體回路3200在壓縮機回路3250的出口側(cè)上與氣體包圍組件1005流動連通。累積器3264可以在壓縮機3262與壓縮機回路3250和外部氣體回路3200的接合之間設(shè)置,并且可以構(gòu)造為生成5psig或者更高的壓力。第二累積器3268可以處于壓縮機回路3250中,以便提供由于大約60Hz的壓縮機活塞循環(huán)引起的阻尼波動。針對壓縮機回路3250的各種示例,第一累積器3264可以具有大約80加侖到大約160加侖之間的容量,而第二累積器可以具有大約30加侖到大約60加侖之間的容量。根據(jù)氣體包圍系統(tǒng)500C的各種示例,壓縮機3262可以是零進入壓縮機(zeroingresscompressor)。各種類型的零進入壓縮機可以在不使大氣氣體泄露到本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種示例中的情況下操作。零進入壓縮機的各種示例可以,例如,在制造期間,利用需要壓縮氣體的各種裝置和設(shè)備的使用來不斷運行。累積器3264可以構(gòu)造為從壓縮機3262接收和累加壓縮氣體。累積器3264可以根據(jù)需要將壓縮氣體供應(yīng)在氣體包圍組件1005中。例如,累積器3264可以提供氣體以維持氣體包圍組件1005的各種部件(諸如,但不限于,氣動機器人、基板浮動臺、空氣軸承、空氣套管、壓縮氣體工具、氣動致動器以及它們的組合中的一個或者多個)的壓力。如圖21A針對氣體包圍系統(tǒng)500C示出的,氣體包圍組件1005可以具有封閉在其中的打印系統(tǒng)2005。如圖21A示意地描繪的,打印系統(tǒng)2005可以由可以是花崗巖臺的打印系統(tǒng)基座2150支撐。打印系統(tǒng)基座2150可以支撐基板支撐設(shè)備,諸如,吸盤,例如,但不限于,真空吸盤、具有壓力端口的基板浮動吸盤、和具有真空和壓力端口的基板浮動吸盤。在本教導(dǎo)的各種示例中,基板支撐設(shè)備可以是基板浮動臺,諸如,基板浮動臺2250?;甯优_2250可以用于基板的無摩擦支撐。除了低顆粒生成浮動臺之外,針對基板的無摩擦Y軸輸送,打印系統(tǒng)2005可以具有利用空氣套管的Y軸運動系統(tǒng)。另外,打印系統(tǒng)2005可以具有至少一個X,Z軸托架組件,該至少一個X,Z軸托架組件具有由低顆粒生成X軸空氣軸承組件提供的運動控制。低顆粒生成運動系統(tǒng)的各種部件(諸如,X軸空氣軸承組件)可以用于替代,例如,各種顆粒生成線性機械軸承系統(tǒng)。針對本教導(dǎo)的氣體包圍和系統(tǒng)的各種示例,各種氣動操作裝置和設(shè)備的使用可以提供低顆粒生成性能,以及低維護。壓縮機回路3250可以構(gòu)造為將加壓氣體不斷地供應(yīng)至氣體包圍系統(tǒng)500C的各種裝置和設(shè)備。除了加壓氣體的供應(yīng)之外,利用空氣軸承技術(shù)的打印系統(tǒng)2005的基板浮動臺2250還利用真空系統(tǒng)3270,該真空系統(tǒng)3270在閥3274處于打開位置時通過管線3272與氣體包圍組件1005連通。根據(jù)本教導(dǎo)的加壓氣體再循環(huán)系統(tǒng)可以具有如圖21A針對壓縮機回路3250示出的壓力控制旁路回路3260,該壓力控制旁路回路3260用來在使用期間補償加壓氣體的可變需求,從而提供本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種示例的動態(tài)平衡。針對根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種示例,旁路回路可以在不擾亂或者改變包圍1005中的壓力的情況下維持累積器3264中的恒定壓力。旁路回路3260可以具有在旁路回路的進口側(cè)上的第一旁路進口閥3261,除非使用旁路回路3260,該第一旁路進口閥3261是關(guān)閉的。旁路回路3260還可以具有背壓調(diào)節(jié)器3266,該背壓調(diào)節(jié)器可以在第二閥3263關(guān)閉時使用。旁路回路3260可以具有設(shè)置在旁路回路3260的出口側(cè)處的第二累積器3268。針對利用零進入壓縮機的壓縮機回路3250的示例,旁路回路3260可以補償可以在氣體包圍系統(tǒng)的使用期間隨著時間的流逝而發(fā)生的小壓力偏移。旁路回路3260可以在旁路進口閥3261處于打開位置時與旁路回路3260的進口側(cè)上的壓縮機回路3250流動連通。當(dāng)旁路進口閥3261打開時,如果氣體包圍組件1005的內(nèi)部內(nèi)不需要來自旁路回路3250的氣體,那么通過旁路回路3260分流的氣體可以再循環(huán)至壓縮機。壓縮機回路3250構(gòu)造為在累積器3264中的氣體的壓力超出預(yù)設(shè)閾值壓力時通過旁路回路3260將氣體分流。累積器3264的預(yù)設(shè)閾值壓力可以在流率為至少大約1立方英尺每分鐘(cfm)時,在從大約25psig到大約200psig之間,或者在流率為至少大約1立方英尺每分鐘(cfm)時,在從大約50psig到大約150psig之間,或者在流率為至少大約1立方英尺每分鐘(cfm)時,在從大約75psig到大約125psig之間,或者在流率為至少大約1立方英尺每分鐘(cfm)時,在大約90psig到大約95psig之間。壓縮機回路3250的各種示例可以利用不同于零進入壓縮機的各種壓縮機,諸如,變速壓縮機或者可以控制開啟或者關(guān)閉狀態(tài)的壓縮機。如本文之前討論的,零進入壓縮機確保可以不將大氣反應(yīng)性物種引入氣體包圍系統(tǒng)中。同樣,防止將大氣反應(yīng)性物種引入氣體包圍系統(tǒng)中的任何壓縮機構(gòu)造可以用于壓縮機回路3250。根據(jù)各種示例,氣體包圍系統(tǒng)500C的壓縮機3262可以容置在,例如,但不限于,氣密密封外殼中。外殼內(nèi)部可以構(gòu)造成與氣體(例如,形成用于氣體包圍組件1005的氣體環(huán)境的相同氣體)源流動連通。針對壓縮機回路3250的各種示例,可以按照恒定速度控制壓縮機3262,以維持恒定壓力。在不利用零進入壓縮機的壓縮機回路3250的其它示例中,當(dāng)達到最大閾值壓力時,可以關(guān)閉壓縮機3262,并且當(dāng)達到最小閾值壓力時,可以打開壓縮機3262。在針對氣體包圍系統(tǒng)500D的圖22A中,針對打印系統(tǒng)2005的基板浮動臺2250的操作示出了利用真空鼓風(fēng)機3290的鼓風(fēng)機回路3280,它們都容置在氣體包圍組件1005中。如本文之前針對壓縮機回路3250討論的,鼓風(fēng)機回路3280可以構(gòu)造為將加壓氣體不斷供應(yīng)至打印系統(tǒng)2005的基板浮動臺2250??梢岳眉訅簹怏w再循環(huán)系統(tǒng)的氣體包圍系統(tǒng)的各種示例可以具有利用各種加壓氣體源的各種回路,諸如,壓縮機、鼓風(fēng)機以及它們的組合中的至少一個。在針對氣體包圍系統(tǒng)500D的圖22A中,壓縮機回路3250可以與外部氣體回路3200流動連通,該外部氣體回路3200可以用于高消耗歧管3225以及低消耗歧管3215的氣體供應(yīng)。針對如圖22A中針對氣體包圍系統(tǒng)500D示出的根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種示例,高消耗歧管3225可以用于將氣體供應(yīng)至各種裝置和設(shè)備,諸如,但不限于,基板浮動臺、氣動機器人、空氣軸承、空氣套管、和壓縮氣體工具以及它們的組合中的一個或者多個。針對根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例,低消耗3215可以用于將氣體供應(yīng)至各種設(shè)備和裝置,諸如,但不限于,隔離器和氣動致動器以及它們的組合中的一個或者多個。針對圖22A和22B的氣體包圍系統(tǒng)500D的各種示例,鼓風(fēng)機回路3280可以用于將加壓氣體供應(yīng)至基板浮動臺2250的各種示例。除了加壓氣體的供應(yīng)之外,利用空氣軸承技術(shù)的打印系統(tǒng)2005的基板浮動臺2250還利用真空鼓風(fēng)機3290,該真空鼓風(fēng)機3290在閥3294處于打開位置時通過管線3292與氣體包圍組件1005連通。鼓風(fēng)機回路3280的外殼3282可以維持用于將加壓氣體源供應(yīng)至基板浮動臺2250的第一鼓風(fēng)機3284和充當(dāng)基板浮動臺2250的真空源的第二鼓風(fēng)機3290,該基板浮動臺2250容置在氣體包圍組件1005中的氣體環(huán)境中。可以使鼓風(fēng)機適合于用作為用于基板浮動臺的各種示例的加壓氣體或者真空的源的屬性包括:例如,但不限于,其具有高可靠性;使其低維護、具有可變速度控制、并且具有廣泛范圍的流動體積;能夠提供大約100m3/h到大約2,500m3/h之間的體積流量。鼓風(fēng)機回路3280的各種示例另外可以具有在鼓風(fēng)機回路3280的進口端處的第一隔離閥3283,以及在鼓風(fēng)機回路3280的出口端處的止回閥3285和第二隔離閥3287。鼓風(fēng)機回路3280的各種示例可以具有可調(diào)節(jié)閥3286,該可調(diào)節(jié)閥3286可以是,例如,但不限于,門閥、蝶閥、針閥或者球閥;以及用于將自鼓風(fēng)機回路3280到基板浮動臺2250的氣體維持在限定溫度的熱交換器3288。圖22A描繪了用于集成和控制使用在圖21A的氣體包圍系統(tǒng)500C和圖22A的氣體包圍系統(tǒng)500D的操作的各種方面中的氣體源3201和清潔干燥空氣(CDA)源3203的外部氣體回路3200,同樣在圖21A中示出。圖21A和圖22A的外部氣體回路3200可以包括至少四個機械閥。這些閥包括第一機械閥3202、第二機械閥3204、第三機械閥3206、和第四機械閥3208。這些各種閥位于允許非反應(yīng)性氣體和空氣源(諸如,清潔干燥空氣(CDA))的控制的各種流動管線中的位置。根據(jù)本教導(dǎo),非反應(yīng)性氣體可以是在一組限定條件下不經(jīng)歷化學(xué)反應(yīng)的任何氣體。非反應(yīng)性氣體的一些常用非限制示例可以包括氮、任何稀有氣體、以及它們的任何組合。外殼氣體管線3210從外殼氣體源3201延伸。外殼氣體管線3210作為低消耗歧管管線3212繼續(xù)線性延伸,該低消耗歧管管線3212與低消耗歧管3215流動連通。交叉管線第一區(qū)段3214從位于外殼氣體管線3210、低消耗歧管管線3212、和交叉管線第一區(qū)段3214的交匯處的第一流動接合3216延伸。交叉管線第一區(qū)段3214延伸至第二流動接合3218。壓縮機氣體管線3220從壓縮機回路3250的累積器3264延伸,并且在第二流動接合3218處終止。CDA管線3222從CDA源3203延伸,并且作為高消耗歧管管線3224而繼續(xù),該高消耗歧管管線與高消耗歧管3225流動連通。第三流動接合3226定位在交叉管線第二區(qū)段3228、清潔干燥空氣管線3222、和高消耗歧管管線3224的交匯處。交叉管線第二區(qū)段3228從第二流動接合3218延伸至第三流動接合3226。作為高消耗的各種部件可以在維護期間通過高消耗歧管3225的方式來供應(yīng)CDA。通過使用閥3204、3208、和3230來隔離壓縮機可以防止反應(yīng)性物種(諸如,臭氧、氧氣、和水蒸氣)污染壓縮機和累積器內(nèi)的氣體。與圖21A和22A相比,圖21B和22B大體上示出了如下構(gòu)造:在氣體包圍組件1005內(nèi)部的氣體的壓力可以維持在期望或者指定范圍內(nèi),諸如,使用聯(lián)接至壓力監(jiān)視器P的閥,其中,閥允許通過使用從壓力監(jiān)視器獲取的信息來將氣體排出至另一包圍、系統(tǒng)、或者氣體包圍組件1005周圍的區(qū)域。如在本文的其它示例中描述的,這種氣體可以回收并且再加工。如上文提及的,這種調(diào)節(jié)可以協(xié)助維持氣體包圍系統(tǒng)的輕微的正內(nèi)部壓力,因為還使加壓氣體同時引入氣體包圍系統(tǒng)中。各種裝置和設(shè)備的可變需求可以創(chuàng)建用于本教導(dǎo)的各種氣體包圍組件和系統(tǒng)的不規(guī)則壓力分布。因此,除了或者替代本文描述的其它方法,可以使用在圖21B和22B中示出的方法,以便協(xié)助維持保持在輕微正壓力處的氣體包圍系統(tǒng)相對于包圍周圍的環(huán)境的動態(tài)壓力平衡。圖22C大體上示出了用于集成和控制一種或者多種氣體或者空氣源,以便建立包括進來作為浮動輸送系統(tǒng)的一部分的浮動控制區(qū)的系統(tǒng)500E的另一示例。與圖1C、圖22A和圖22B的示例相似,圖22C大體上示出了浮動臺2250。在圖22C的例示性示例中另外示出了輸入?yún)^(qū)域2201和輸出區(qū)域2203。僅僅出于說明的目的,將區(qū)域2201、2202、2203稱作輸入、打印、和輸出。這種區(qū)域可以用于其他過程步驟,諸如,基板的輸送或者基板的支撐,諸如,在一個或者多個其它模塊中的基板的保持、干燥、和熱處理中的一個或者多個期間。在圖22C的示出中,第一鼓風(fēng)機3284A構(gòu)造為將加壓氣體提供在浮動臺設(shè)備的一個或者多個輸入或者輸出區(qū)域2201或者2203中。這種加壓氣體可以,諸如,使用聯(lián)接至第一熱交換器1502A的第一冷卻器142A進行溫度控制??梢允褂玫谝贿^濾器1503A來過濾這種加壓氣體。溫度監(jiān)視器8701A可以聯(lián)接至第一冷卻器142(或者其它溫度控制器)。類似地,第二鼓風(fēng)機3284B可以聯(lián)接至浮動臺的打印區(qū)域2202。單獨的冷卻器142B可以聯(lián)接至包括第二熱交換器1502B和第二過濾器1503B的回路。第二溫度監(jiān)視器8701B可以用于提供對由第二鼓風(fēng)機3284B提供的加壓氣體的溫度的獨立調(diào)節(jié)。在例示性示例中,如本文之前針對圖1C描述的,輸入和輸出區(qū)域2201和2203供應(yīng)有正壓力,但是打印區(qū)域2202可以包括使用正壓力和真空控制的結(jié)合來提供對基板位置的精確控制。例如,使用正壓力和真空控制的這種結(jié)合,可以通過使用由在打印區(qū)域2202限定出的區(qū)中的氣體包圍系統(tǒng)500D提供的浮動氣墊來專門控制基板。真空可以由第三鼓風(fēng)機3290建立,諸如,同樣提供用于鼓風(fēng)機外殼3282內(nèi)的第一和第二鼓風(fēng)機3284A或者3284B的補充氣體的至少一部分。應(yīng)該理解的是,可以采用對本文描述的公開的實施例的各種替代來實施該公開。例如,大量不同的領(lǐng)域(諸如,化學(xué)、生物技術(shù)、高科技、制藥技術(shù))可以受益于本教導(dǎo)。打印用于例證根據(jù)本教導(dǎo)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例的實用性。可以容置打印系統(tǒng)的氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例可以提供特征,諸如,但不限于,通過構(gòu)造和解構(gòu)的循環(huán)來提供氣密密封包圍的密封,包圍體積的最小化,和在處理期間以及維護期間從外部到內(nèi)部的進入。氣體包圍系統(tǒng)的各種實施例的這種特征可以對功能(諸如,但不限于,在處理期間提供維持反應(yīng)性物種的低水平的簡易性的結(jié)構(gòu)完整性,以及在維持周期期間最小化停機時間的快速包圍體積轉(zhuǎn)變)具有影響。同樣,提供基板打印的實用性的各種特征和規(guī)格還可以將益處提供給各種
技術(shù)領(lǐng)域
。雖然本文已經(jīng)示出并且描述了本公開的實施例,但是對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說明顯的是,這種實施例僅僅通過示例的方式提供。在不脫離所公開內(nèi)容的情況下,現(xiàn)在將由本領(lǐng)域的技術(shù)人員想到若干變型、改變、和替代。所附的權(quán)利要求書旨在限定本公開的范圍,并且這些權(quán)利要求的范圍內(nèi)的方法和結(jié)構(gòu)及其等效方案由該范圍涵蓋。當(dāng)前第1頁1 2 3 
當(dāng)前第1頁1 2 3 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1