專利名稱：一種高純化學(xué)品溶解器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及溶解裝置，具體來說涉及一種高純化學(xué)品溶解器。
技術(shù)背景
高純化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蝕。它的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。超凈高純化學(xué)品具有品種多、用量大、技術(shù)要求高、貯存有效期短和強(qiáng)腐蝕性等特點(diǎn)。
高純化學(xué)品中的堿金屬雜質(zhì)(Na、Ca等)會(huì)溶進(jìn)氧化膜中，從而導(dǎo)致耐絕緣電壓下降；若重金屬雜質(zhì)(CU、Fe、Cr、Ag等)附著在硅晶片的表面上，會(huì)使P-N結(jié)耐電壓降低。雜質(zhì)分子或離子的附著又是造成腐蝕或漏電等化學(xué)故障的主要原因。因此，隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展，對超凈高純化學(xué)品的要求也越來越高，不同級別超凈高純劑中的金屬雜質(zhì)和顆粒的含量要求各不相同。
目前結(jié)晶法是高純化學(xué)品純化的方法之一，即首先將純度較高的化學(xué)品冷卻降溫結(jié)晶，然后利用一定的手段將進(jìn)一步純化的晶體和雜質(zhì)含量較高的母液進(jìn)行分離，最后將晶體溶解成一定濃度的高純化學(xué)品。由于高純化學(xué)品的強(qiáng)腐蝕性，在溶解過程中，高純化學(xué)品容易對溶解設(shè)備造成一定的腐蝕，從而導(dǎo)致產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述高純化學(xué)品在溶解過程中腐蝕設(shè)備而提供的一種溶解器，以便高純化學(xué)品充分溶解，同時(shí)不會(huì)對產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染。
本發(fā)明提供的溶解器，它的上部分為圓柱形，下部分為錐形結(jié)構(gòu)；溶解器內(nèi)壁有一采用高純塑料制作的內(nèi)襯，以達(dá)到防腐、潔凈的效果；溶解器內(nèi)部設(shè)置有盤管，盤管上設(shè)有進(jìn)出口，可由盤管通入介質(zhì)，以滿足高純化學(xué)品溶解的需求；溶解器頂部設(shè)有液位計(jì)，便于觀察溶解器內(nèi)液位；同時(shí)溶解器頂部設(shè)有多個(gè)物料加入口 ；溶解器內(nèi)設(shè)有攪拌器；溶解器的側(cè)壁設(shè)置有取樣口，方便對高純化學(xué)品取樣分析；溶解器器壁開有密度計(jì)和溫度計(jì)插入孔。
上述攪拌器為變頻式攪拌器，可調(diào)速。
上述溶解器物料加入口 2、個(gè)。
上述溶解器取樣口廣3個(gè)。
上述溶解器溫度計(jì)插入孔2、個(gè)。
本發(fā)明的有益效果是①采用高純塑料作內(nèi)襯有較好的耐腐蝕性，可以有效地避免高純化學(xué)品對溶解器的腐蝕，同時(shí)克服了其他材質(zhì)帶入雜質(zhì)離子的缺點(diǎn)；②溶解器的底部采用錐形結(jié)構(gòu)，有效避免了不同批次的高純化學(xué)品之間的污染；③同時(shí)溶解器頂部設(shè)有多個(gè)物料加入口，便于原料加入、超純水加入和溶解器清洗，以便高純化學(xué)品達(dá)到混合的效果；④本溶解器也可用作不同高純化學(xué)品之間的混合器。


圖1為電子化學(xué)品溶解器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1為盤管進(jìn)口 ；2為溫度計(jì)插入孔；3為取樣口 ；4為溫度計(jì)插入孔；5為物料加入口 ；6為盤管出口 ；7為密度計(jì)插入孔；8為盤管；9為攪拌器；10為內(nèi)襯；11為液位計(jì)插入孔；M為電動(dòng)機(jī)。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1某廠所使用的高純化學(xué)品溶解器，如圖所示，其溶解器的上部分為圓柱形，下部分為錐形結(jié)構(gòu)；溶解器內(nèi)壁有一采用高純塑料制作的內(nèi)襯10 ；溶解器內(nèi)部設(shè)置有盤管8，盤管8上設(shè)有進(jìn)口 1和出口 6 ；溶解器頂部設(shè)有液位計(jì)插入孔11 ；同時(shí)溶解器頂部設(shè)有2個(gè)物料加入口 5 ；溶解器內(nèi)設(shè)有攪拌器9，可調(diào)速；溶解器的側(cè)壁設(shè)置有1個(gè)取樣口 3 ；溶解器器壁開有 1個(gè)密度計(jì)插入孔7和2個(gè)溫度計(jì)插入孔2、4。
該溶解器的主要尺寸為溶解器直徑2. 2m,總高2. 55m，其中圓柱高1. 6m，錐體高 0. 95m。
實(shí)施例2某廠所使用的高純化學(xué)品溶解器，如圖所示，其溶解器的上部分為圓柱形，下部分為錐形結(jié)構(gòu)；溶解器內(nèi)壁有一采用高純塑料制作的內(nèi)襯10 ；溶解器內(nèi)部設(shè)置有盤管8，盤管8上設(shè)有進(jìn)口 1和出口 6 ；溶解器頂部設(shè)有液位計(jì)插入孔11 ；同時(shí)溶解器頂部設(shè)有4個(gè)物料加入口 5;溶解器內(nèi)設(shè)有攪拌器9，可調(diào)速；溶解器的側(cè)壁設(shè)置3個(gè)有取樣口 3;溶解器器壁開有 1個(gè)密度計(jì)插入孔7和4個(gè)溫度計(jì)插入孔。
該溶解器的主要尺寸為溶解器直徑2. an，總高2. 55m，其中圓柱高1.6m，錐體高 0. 95m。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，任何未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種高純化學(xué)品溶解器，其特征在于它的上部分為圓柱形，下部分為錐形結(jié)構(gòu) ’溶解器內(nèi)壁有一采用高純塑料制作的內(nèi)襯(10)；溶解器內(nèi)部設(shè)置有盤管(8)，盤管(8)上設(shè)有進(jìn)口(1)和出口(6)；溶解器頂部設(shè)有液位計(jì)插入孔(11)；同時(shí)溶解器頂部設(shè)有物料加入口(5)；溶解器內(nèi)設(shè)有攪拌器(9)；溶解器的側(cè)壁設(shè)置有取樣口( ；溶解器器壁開有密度計(jì)插入孔(7)和溫度計(jì)插入孔(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純化學(xué)品溶解器，其特征在于所述物料加入口的數(shù)量為 2 4個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純化學(xué)品溶解器，其特征在于所述取樣口的數(shù)量為廣3個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純化學(xué)品溶解器，其特征在于所述溫度計(jì)插入孔的數(shù)量為2、個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純化學(xué)品溶解器，其特征在于所述的攪拌器為變頻攪拌器，可調(diào)速。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種高純化學(xué)品溶解器，其特征在于它的上部分為圓柱形，下部分為錐形結(jié)構(gòu)；溶解器內(nèi)壁有一內(nèi)襯(10)，采用高純塑料制作；溶解器內(nèi)部設(shè)置有盤管(8)，盤管(8)上設(shè)有進(jìn)口(1)和出口(6)；溶解器頂部設(shè)有液位計(jì)插入孔(11)；同時(shí)溶解器頂部設(shè)有物料加入口(5)；溶解器內(nèi)設(shè)有攪拌器(9)；溶解器的側(cè)壁設(shè)置有取樣口(3)；溶解器器壁開有密度計(jì)插入孔(7)和溫度計(jì)插入孔(2)。采用本發(fā)明的技術(shù)方案，可以有效地避免高純化學(xué)品對溶解器的腐蝕，有效避免不同批次的高純化學(xué)品之間的污染。
文檔編號(hào)B01F15/06GK102500251SQ201110310720
公開日2012年6月20日 申請日期2011年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月14日
發(fā)明者劉飛, 孟文祥, 楊正光, 楊毅, 陶志 申請人:甕福(集團(tuán))有限責(zé)任公司