專利名稱：：利用改進(jìn)燃料線路的用于智能減廢的方法與設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明有關(guān)于電子組件制造，更具體而言是關(guān)于改進(jìn)燃料線路以及使用該改進(jìn)燃料線路來減少電子組件處理廢液的方法和設(shè)備。
背景技術(shù)：
：來自電子材料與組件制造處理中的氣態(tài)廢液可能包含在處理中使用及/或產(chǎn)生的多種化學(xué)化合物。在處理中(例如，沉積、擴(kuò)散、蝕刻、清潔、外延生長(zhǎng)等)，某些處理可能產(chǎn)生不想要的副產(chǎn)物，例如包含全氟化合物(perfluorocompounds，PFCs)，或是產(chǎn)生可能會(huì)分解而形成PFC的副產(chǎn)物。PFC被認(rèn)為是地球暖化的主力原因。以下，將這些化合物和也可能傷害人體或環(huán)境的其它化合物稱為“有害化學(xué)物質(zhì)”，并且可能以“目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)(chemicalspeciesofinterest)”這類用語來概括。并且希望在將氣態(tài)廢液排放至大氣中以前，能先將氣態(tài)廢液中的有害化學(xué)物質(zhì)移除，或者將有害化學(xué)物質(zhì)轉(zhuǎn)換成傷害性較小或無害的化學(xué)物質(zhì)。
發(fā)明內(nèi)容在某些方面中，提供一種減少來自電子組件制造處理中的廢液的方法，該方法包括在熱減量工具中減少該廢液以產(chǎn)生已減量廢液、判斷已減量的廢液是否含有一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)，以及根據(jù)判斷結(jié)果來改變熱減量工具的一個(gè)或多個(gè)操作參數(shù)。在某些方面中，提供一種減少來自電子組件制造處理中的廢液的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括熱減量工具、傳感器以及控制器；該熱減量工具用以減量廢液并且形成已減量的廢液；該傳感器用以判斷已減量的廢液是否含有一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)；以及，該控制器用以接收來自該傳感器的信號(hào)；其中，該信號(hào)指示已減量的廢液是否含有一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)；以及該控制器更可依據(jù)信號(hào)來改變熱減量工具的一個(gè)或多個(gè)操作參數(shù)。在某些方面中，提供一種提高電子組件制造廢液熱減量工具的燃料效率的方法，該方法包括以第一流率供應(yīng)燃料至熱減量工具、在熱減量工具中減少廢液以形成已減量的廢液、判斷已減量的廢液是否含有一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)，以及根據(jù)判斷結(jié)果使用第二流率供應(yīng)燃料至熱減量工具。由下述詳細(xì)說明、附圖以及后附權(quán)利要求可更加了解本發(fā)明的其它特征與方面。圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，使燃料流率優(yōu)化的系統(tǒng)示意圖。圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例，使燃料流率優(yōu)化的示例方法的流程圖。圖3是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，使燃料流率優(yōu)化的示例方法的流程圖。圖4是根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例，使燃料流率優(yōu)化的示例方法的流程圖。圖5是根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例，使氧化劑流率優(yōu)化的示例方法的流程圖。具體實(shí)施例方式可利用減量(abatement)處理從電子材料與組件制造處理的廢液(effluent)中移除有害化學(xué)物質(zhì)，或者將有害化學(xué)物質(zhì)轉(zhuǎn)換成無害或傷害性較小的化學(xué)物質(zhì)。在減量過程中，電子組件制造處理中所使用或產(chǎn)生的有害化學(xué)物質(zhì)可能會(huì)被消滅或轉(zhuǎn)換成無害或傷害性較小的化學(xué)物質(zhì)，經(jīng)過減量后的廢液可接受進(jìn)一步處理或是排放到大氣中。本文中所使用“減少廢液中的有害化學(xué)物質(zhì)”和“減量廢液”等用語，在工業(yè)上通常所稱“減少廢液(abatingeffluent)”，其意包含“減少廢液中的有害化學(xué)物質(zhì)”。已知，在熱減量反應(yīng)器中(thermalabatementreactor)可能會(huì)加熱及/或氧化該廢液，進(jìn)而將有害化學(xué)物質(zhì)轉(zhuǎn)換成無害或是傷害性較小的化學(xué)物質(zhì)，來減少廢液。熱反應(yīng)器可能包含引導(dǎo)裝置(Pilotdevice)、燃料供應(yīng)裝置、氧化劑供應(yīng)裝置、燃燒器噴嘴(burnerjet)以及廢液入口。引導(dǎo)裝置可用來點(diǎn)燃燃燒器噴嘴，以產(chǎn)生燃燒器噴射火焰。燃燒器噴射火焰可產(chǎn)生用來減量廢液所需要的高溫。用來減量廢液所需要的熱能量取決于廢液的性質(zhì)，并且可以熱反應(yīng)器的溫度來估量熱量。由于熱減量工具可能連接到一個(gè)或多個(gè)處理室及/或處理工具，或是接收來自一個(gè)或多個(gè)處理室及/或處理工具的廢液混合物，因此，抵達(dá)熱減量反應(yīng)器的廢液的性質(zhì)可能會(huì)隨著時(shí)間改變。該些處理室和處理工具可能彼此獨(dú)立運(yùn)作，并且依照不同行程規(guī)劃來執(zhí)行不同處理。這可能造成廢液混合物的性質(zhì)頻繁地改變。因此，難以預(yù)測(cè)在任何特定時(shí)間進(jìn)入減量工具或熱反應(yīng)器中的廢液性質(zhì)。此種不可預(yù)測(cè)性，造成在任何不同時(shí)間點(diǎn)上用來減量進(jìn)入熱減量反應(yīng)器中的廢液所需要的熱量也難以預(yù)估。其中一種解決減少變化性廢液混合物所需熱量/燃料的不可預(yù)測(cè)性的已知方法是，判斷出所有廢液減量過程中最糟糕的廢液情況(例如，可能需要最多熱量和燃料來進(jìn)行減量的廢液或廢液混合物)，并且使用足夠用于最糟糕廢液減量過程中的熱量/燃料量。然而實(shí)際上，此種方法可能效果不佳，因?yàn)楹芏喾N廢液或廢液混合物可能需要較少量的熱或燃料就能達(dá)到有效減量。因此，需要一種能提供燃料及/或氧化劑流量的動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法和設(shè)備，以降低熱能/燃料的浪費(fèi)。供應(yīng)至減量單元中的燃料量在本文中有時(shí)稱為“燃料燃燒率(fuelburnrate)”或“燃料流率(fuelrate)，，。本發(fā)明提供用于減量反應(yīng)室中的燃料燃燒率的動(dòng)態(tài)優(yōu)化方法和設(shè)備。如本文中所使用者，燃料燃燒率的優(yōu)化是指，調(diào)整燃料燃燒率以降低燃料的使用量，同時(shí)持續(xù)有效減少在任何特定時(shí)間點(diǎn)進(jìn)入熱反應(yīng)器中的廢液混合物。燃料燃燒率的優(yōu)化可能包括提高燃料燃燒率以及降低燃料燃燒率的步驟，其將進(jìn)一步詳述如下。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，傳感器可用來判斷已減量的廢液(例如，已在熱減量反應(yīng)器中減量)是否含有目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)(例如，含有濃度高于臨界濃度的目標(biāo)化學(xué)物質(zhì))。目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)可能是熱減量性(thermallyabatable)化學(xué)物質(zhì)、燃料及/或氧化劑中的其中一者或多者。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，如果傳感器判斷出該已減量的廢液含有臨界濃度的熱減量性化學(xué)物質(zhì)時(shí)，控制器可提高燃料及/或氧化劑的流量，進(jìn)而提高反應(yīng)室的溫度?？刂破骺沙掷m(xù)提高該溫度，直到傳感器將已減量廢液中不含臨界濃度的熱減量性化學(xué)物質(zhì)的信號(hào)傳送給控制器為止。臨界濃度(thresholdconcentration，或稱閾限濃度)可為零、“無法測(cè)得(undetectable)”或是選定的可偵測(cè)濃度。本領(lǐng)域中一般技術(shù)人員將理解如何選擇臨界濃度。如本文中所使用者，臨界濃度和臨界含量(thresholdamount)及/或流量(flow)等用語可互換使用。在一些實(shí)施例中，如果傳感器判斷出該已減量廢液中含有低于臨界濃度的熱減量性化學(xué)物質(zhì)時(shí)，控制器可降低流至反應(yīng)器室的燃料流量，進(jìn)而降低反應(yīng)室的溫度，直到傳感器偵測(cè)且發(fā)送出已減量廢液含有高于臨界濃度的熱減量性化學(xué)物質(zhì)的信號(hào)為止。當(dāng)已減量廢液中的熱減量性化學(xué)物質(zhì)的濃度升高至高于臨界濃度時(shí)，控制器接著可提高流至反應(yīng)室的燃料流量，以及提高反應(yīng)室的溫度，直到傳感器報(bào)告該已減量廢液中的熱減量性化學(xué)物質(zhì)濃度已降至低于臨界濃度為止。此為一種能降低燃料用量同時(shí)持續(xù)有效減量廢液的方法。在另一實(shí)施例中，如果目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)是燃料，并且傳感器判斷出已減量廢液中含有高于臨界濃度的燃料時(shí)，控制器可適當(dāng)?shù)靥岣哐趸瘎┝髀驶蚪档腿剂狭髀?，直到傳感器將已減量廢液中的燃料濃度已降至低于臨界濃度的信號(hào)報(bào)告給控制器為止?；氐綀D1，本發(fā)明的熱減量系統(tǒng)100可包含第一洗滌器102，第一洗滌器102與熱反應(yīng)器104流體連通，而熱反應(yīng)器104可與第二洗滌器106流體連通。反饋控制系統(tǒng)107可包含至少一個(gè)傳感器108，傳感器108可設(shè)置在第二洗滌器106和控制器的流出處。其它位置也可能設(shè)置傳感器108，例如，熱反應(yīng)器104的流出處。傳感器108可用來偵測(cè)該廢液是否含有一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)或其濃度。如上所述，目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)可能是任何有害的化學(xué)物質(zhì)、熱減量性化學(xué)物質(zhì)、燃料、氧化劑或不完全減量或燃料不完全燃燒所產(chǎn)生的副產(chǎn)物等等。傳感器108可將這類信息提供給控制器110(可能是系統(tǒng)控制器)，控制器可用來改變減量處理操作參數(shù)，例如，燃料流量、燃料成分、試劑流量、試劑成分、冷卻劑流量、減量反應(yīng)室溫度以及氧化劑流量，或是任何可受控制且能影響廢液的減量作用的其它參數(shù)。如上所述，減量系統(tǒng)100可包含第一洗滌器102。可將來自一個(gè)或多個(gè)處理室114的至少氣態(tài)廢液流體(effluentstream)112引導(dǎo)到第一洗滌器102中，以移除該廢液流體中的SiF4*其它化合物?？闪私獾?，第一洗滌器102可接收來自任意數(shù)目(例如，1、2、3、4、5、6個(gè)等等)的處理工具(未顯示)及/或處理室114的氣態(tài)廢液流體112。第一洗滌器102可采用水霧來移除或減少氣態(tài)廢液流體中出現(xiàn)的一種或多種污染物，例如SiF4。從氣態(tài)廢液流體112分離出來的污染物或微粒(包括SiF4)可引導(dǎo)至污物槽(sump，未顯示)。第一洗滌器102是可選的。來自第一洗滌器102的廢液可經(jīng)由管道116引入熱反應(yīng)室104中。除了廢液之外，可從燃料供應(yīng)裝置118經(jīng)由管道120供應(yīng)燃料和從氧化劑供應(yīng)裝置122經(jīng)由管道123供應(yīng)氧化劑至反應(yīng)室104。雖然顯示出管道120與透過管道116所輸送的廢液是分開的，但在一些實(shí)施例中，可在管道中混合燃料與廢液，并且燃料與廢液的混合物引入室中。此外，可使燃料與一定量的氧化劑先行混合(未顯示)。操作時(shí)，可在反應(yīng)室中混合燃料和氧化劑，并且將其點(diǎn)燃以產(chǎn)生火焰。隨后，在氧化劑存在的情況下，使廢液受到高溫，并且燃燒或氧化而形成含有傷害性較低或無害化學(xué)物質(zhì)的廢液。從該反應(yīng)室104引導(dǎo)該廢液通過管道124而進(jìn)入第二洗滌器106中。第二洗滌器106可采用填充床式水洗滌器，以移除或減少氣態(tài)廢液流體中所出現(xiàn)的一種或多種污染物，這些污染物可能是在反應(yīng)室中產(chǎn)生的。利用第二洗滌器106從氣態(tài)廢液流體中分離出來的污染物和微?？梢龑?dǎo)至污物槽(未顯示)中。隨后透過管道126將離開第二洗滌器106的廢液流體引導(dǎo)至例如廢液收容裝置(houseexhaust，未顯示)或收容洗滌器(housescrubber，未顯示)，或者排放至大氣中。第二洗滌器106可為可選的?？稍O(shè)置傳感器108并且透過管道126從第二洗滌器106所排放的廢液流體中取樣。傳感器108更可用來偵測(cè)一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)的存在，例如透過管道112進(jìn)入減量系統(tǒng)且需要在反應(yīng)室中進(jìn)行減量的化學(xué)物質(zhì)?；蛘?，目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)可能是沒有透過管道126進(jìn)入熱反應(yīng)器中，但卻是在熱反應(yīng)器中所產(chǎn)生的化學(xué)物質(zhì)。如果熱化學(xué)反應(yīng)器未在足夠高的溫度下操作，則可能會(huì)在該熱反應(yīng)器中產(chǎn)生這類目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)。在一些實(shí)施例中，傳感器108更可用來偵測(cè)此類目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)的濃度。在又一實(shí)施例中，傳感器108更可用來偵測(cè)下列一種或多種情況廢液流率、燃料的存在、燃料濃度、氧化劑的存在以及氧化劑濃度。燃料和氧化劑也可能是目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)?？刂破?10可透過信號(hào)線128接收來自傳感器108的信號(hào)，該信號(hào)可能指示下列情況的其中一種或其任意組合1)是否出現(xiàn)一種或多種欲減量的目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)；2)—種或多種欲減量的目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)的濃度；3)廢液的流率(flowrate)；4)燃料的存在；5)燃料濃度；6)氧化劑的存在；以及7)氧化劑濃度等等。信號(hào)線128可能是有線或無線連接，或是任何能從傳感器108攜帶信號(hào)至控制器110的其它裝置?？刂破?10可響應(yīng)從傳感器108所接收到的信號(hào)來改變或命令改變減量處理操作參數(shù)。例如，控制器110可改變下列參數(shù)其中一者或下列任意組合燃料流率、氧化劑流率、氧化劑組成、可移動(dòng)的檔板(movablebaffle)、廢液的流量、來源及/或流率、試劑流量、試劑成分、冷卻劑流量及減量反應(yīng)室的溫度，或是改變?nèi)魏慰煽刂魄夷苡绊憦U液的減量的其它參數(shù)?？刂破?10可透過信號(hào)線130連接至燃料供應(yīng)裝置118、及/或透過信號(hào)線132連接至氧化劑供應(yīng)裝置122。可透過操作閥(未顯示)、泵(未顯示)和調(diào)節(jié)器(未顯示)等如該領(lǐng)域中所知悉的其它裝置來改變減量處理的操作參數(shù)。每個(gè)處理工具(未顯示)可能包含一個(gè)或多個(gè)處理室114。處理工具可能包括，例如，化學(xué)氣相沉積室、物理氣相沉積室、化學(xué)機(jī)械研磨室等等。可在這些處理室中執(zhí)行的處理可包括，例如，沉積、擴(kuò)散、蝕刻、清潔和外延生長(zhǎng)等等。欲從這些處理中除去的化學(xué)副產(chǎn)物可包括，例如，銻、砷、硼、鍺、氮、磷、硅、硒(selenium)的氫化物、硅烷(silane)、硅烷與磷化氫(phosphine)、氬、氫的混合物、有機(jī)硅烷、商化硅烷、商素、有機(jī)金屬化合物和其它有機(jī)化合物。需要減量的各種成分中，鹵素(例如，氟(F2))與其它氟化物的問題特別大。電子工業(yè)經(jīng)常在基板處理工具中使用被稱為全氟化物(PFC)的這類氟化物來移除沉積步驟的殘留物以及蝕刻薄膜。一些最常用的PFC范例包括CF4、C2F6,SF6,C3F8,NF3、CHF3>CH3F和CH2F2ο如上所述，第一洗滌器102適于使用水霧來移除從處理室114所排出的氣態(tài)廢液流體中的污染物。例如，可使用多個(gè)高壓噴嘴在第一洗滌器106中創(chuàng)造出噴霧。任合適當(dāng)?shù)臐袷较礈炱鞫伎墒褂?。洗滌器的范例詳述?007年2月9日申請(qǐng)且名稱為“METHODSANDAPPARATUSFORPFCABATEMENTUSINGACDOCHEMBER”(代理人編號(hào)10910)的美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?1/673，542中。本發(fā)明可與任合適當(dāng)?shù)臒岱磻?yīng)器室并用，例如，2004年11月12號(hào)申請(qǐng)且名稱為"REACTORDESIGNTOREDUCEPARTICLEDEPOSITIONDURINGPROCESSABATEMENT”(代理人編號(hào)9985)的共同受讓美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?0/987,921中所揭露的熱反應(yīng)室。除了燃料燃燒式熱減量室，本發(fā)明也可與電加熱式及/或電漿式減量室并用。在電加熱式及/或電漿式減量室的情況中，控制器可改變用來減量廢液的能量，而不是改變用來減量廢液的燃料量。在一些實(shí)施例中，反應(yīng)室的室壁可能由多孔性材料制成(例如，陶瓷材料)，舉例而言，以允許氧化劑(如，潔凈干空氣、氧氣)擴(kuò)散進(jìn)入或流入該反應(yīng)室中?；蛘?，可利用其它方式將氧化劑流入反應(yīng)室中。燃料源可供應(yīng)燃料(例如，天然氣、甲烷、氫氣)至反應(yīng)室中。在一些實(shí)施例中，減量系統(tǒng)100可能包含一個(gè)以上的燃料源，或是來自單個(gè)燃料源的燃料混合物，其中，多個(gè)燃料源可提供不同的燃料，或多個(gè)燃料的組合，以更有效地減少不同廢液。例如，可如本
技術(shù)領(lǐng)域：
中所熟知般，使用引導(dǎo)光線(pilotlight)或其它點(diǎn)燃方法來點(diǎn)燃反應(yīng)室中的燃料和氧化劑的混合物，以在反應(yīng)室中創(chuàng)造出減量廢液所需要的溫度。傳感器108可能包括電化學(xué)電池(electrochemicalcells)、光學(xué)傳感器(例如，熱電堆與FTIR傳感器)或是質(zhì)譜儀等等。任何可感測(cè)燃料、氧化劑、熱減量性化學(xué)物質(zhì)、不完全燃燒的副產(chǎn)物以及其它目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)其中一種或多種的存在或濃度的適當(dāng)傳感器都可能使用?？刂破?10可能是微電腦、微處理器、邏輯電路、硬件及軟件的組合，或類似物?？刂破鱅io可專用于反饋控制系統(tǒng)107，也可作為減量單元的系統(tǒng)控制器?？刂破?10亦可耦合至一個(gè)或多個(gè)幫浦、閥及/或調(diào)節(jié)器(regulators，未顯示)，該些幫浦、閥及/或調(diào)節(jié)器可能耦接至處理工具的處理室114的多個(gè)入口、耦接至燃料源、耦接至氧化劑供應(yīng)裝置以及耦接至管道112的反應(yīng)室端，管道112將一個(gè)或多個(gè)工具連接至一個(gè)或多個(gè)減量系統(tǒng)100。這些幫浦、閥及/或調(diào)節(jié)器讓控制器110能夠操控和改變廢液、燃料及/或氧化劑的各種流量。依據(jù)傳感器108傳來的信號(hào)，例如，控制器110可透過操作該些閥、幫浦及/或調(diào)節(jié)器來允許/中止/限制/降低或提高各種流量，以調(diào)整減量單元的操作參數(shù)，而來選擇性地操控該些處理工具、燃料源118以及反應(yīng)室104，此類范例將進(jìn)一步詳述于下文中?？刂破?10可以有線或無線的方式連接至該些幫浦、閥及/或調(diào)節(jié)器。在一些實(shí)施例中，控制器110亦可與處理工具和減量系統(tǒng)100連接及/或通訊，及/或控制處理工具和減量系統(tǒng)100的運(yùn)作，此將進(jìn)一步詳述如下。操作時(shí)，經(jīng)由管道112將來自一個(gè)或多個(gè)電子組件處理室的廢液流體引導(dǎo)至第一洗滌器102中。第一洗滌器102可從廢液流體中移除微粒材料以及水溶性化合物?？赏高^管道116將來自第一洗滌器102的廢液流體引導(dǎo)至熱反應(yīng)器104中，在熱反應(yīng)器104中點(diǎn)燃(ignite)燃料和氧化物以產(chǎn)生燃燒火焰，該燃燒火焰可產(chǎn)生約500°C至約2000°C的高溫。在熱反應(yīng)器104中，廢液流體中的有害化學(xué)物質(zhì)可被氧化，而形成傷害性較低或無害的化學(xué)物質(zhì)。一些或所有的低傷害性或無害性化學(xué)物質(zhì)可能是水溶性的?？山?jīng)由管道124從熱反應(yīng)器104引導(dǎo)該廢液流體進(jìn)入第二洗滌器106，在第二洗滌器106中，移除廢液流體中的微粒物質(zhì)和水溶性化合物。隨后，可利用傳感器108來分析從第二洗滌器106排放出來的已減量廢液。在一些實(shí)施例中，傳感器可用來偵測(cè)一種或多種熱減量性有害化學(xué)物質(zhì)的存在及/或濃度。熱減量性有害化學(xué)物質(zhì)可能是目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)(chemicalspeciesofinterest)的其中一種型式。如果偵測(cè)出一種或多種熱減量性化學(xué)物質(zhì)的濃度高于臨界濃度，傳感器108可傳送一指示此種情況的信號(hào)給控制器110。當(dāng)控制器110接收到這種指示時(shí)，控制器110可能命令處理參數(shù)變化，而處理參數(shù)的變化可能提高熱反應(yīng)器104中的溫度。在某些實(shí)施例中，控制器110可造成熱反應(yīng)器的溫度逐漸提高，直到傳感器108回報(bào)該一種或多種熱減量性化學(xué)物質(zhì)的濃度已降至低于臨界濃度的時(shí)候?yàn)橹?。此種處理參數(shù)變化可能包括提高流入熱反應(yīng)室中的燃料量及/或氧化劑流量。在一些實(shí)施例中，傳感器可用來偵測(cè)熱減量性的一種或多種有害化學(xué)物質(zhì)。如果廢液流體中偵測(cè)不到熱減量性化合物，或者所偵測(cè)到的濃度低于臨界濃度，傳感器108可傳送一指示此種情況的信號(hào)給控制器110。此種情況可能表示在熱反應(yīng)器104中使用過多的燃料。當(dāng)控制器110接收到這種指示時(shí)，控制器110可能命令處理參數(shù)變化，而處理參數(shù)的變化可能降低熱反應(yīng)器104中的溫度。處理參數(shù)變化可能包括降低進(jìn)入熱反應(yīng)器中的燃料量或氧化劑流量?？刂破?10可持續(xù)命令熱反應(yīng)器104中的溫度逐漸下降，直到傳感器108回報(bào)來自第二洗滌器106的廢液中的熱減量性化合物濃度已回升至高于臨界濃度的時(shí)候?yàn)橹埂Ｔ诹硪粚?shí)施例中，可替代或額外地使用傳感器108來判斷是否要將比完全減量該廢液所需燃料要更多的燃料流至燃燒器噴嘴。例如，如果控制器110判斷該廢液組成中不含有害或熱減量性化學(xué)物質(zhì)時(shí)，控制器110可傳送一信號(hào)至該些閥，以使流入燃燒器噴嘴中的燃料流率減少一預(yù)定量，從而降低該反應(yīng)室中的溫度。如果，控制器110之后接收到來自傳感器108的信號(hào)，指示該廢液組成中仍然不含有害化學(xué)物質(zhì)時(shí)，控制器110可傳送一信號(hào)至該些閥，以使流入燃燒器噴嘴中的燃料流率減少一預(yù)設(shè)量。逐漸降低流入燃燒器噴嘴中的燃料流率的循環(huán)可持續(xù)進(jìn)行，例如，直到偵測(cè)到有害化合物為止。以此種方式，可避免把比必要燃料要多的燃料供應(yīng)至燃燒器噴嘴(進(jìn)而供應(yīng)至反應(yīng)室)，也使燃料流率優(yōu)化。在另一實(shí)施例中，如果逐漸減少燃料所產(chǎn)生的結(jié)果是在廢液中的偵測(cè)到有害化合物，則控制器可下令提高燃料流量，直到不再偵測(cè)到有害化合物為止。在相同或其它實(shí)施例中，傳感器108可用來偵測(cè)從第二洗滌器106中排放的廢液中是否存在燃料。如果偵測(cè)到該廢液流體中的存在有燃料，或是燃料的量或濃度高于預(yù)定量時(shí)，傳感器108可將指示此種狀況的信號(hào)傳送至控制器110。當(dāng)控制器110接收到此信號(hào)時(shí)，控制器Iio可命令處理參數(shù)改變，這些處理參數(shù)改變可能提高該熱反應(yīng)器104中的燃料氧化效率。處理參數(shù)變化可能包括，例如，提高氧化劑流量或減少燃料流量進(jìn)入熱反應(yīng)器104中?？刂破?10可命令持續(xù)此種處理參數(shù)變化，直到傳感器108回報(bào)來自第二洗滌器106的廢液中的燃料濃度已降至低于臨界濃度的時(shí)候?yàn)橹?。在又一?shí)施例中，傳感器可用來偵測(cè)從第二洗滌器106中排放的廢液中是否存在氧化劑。如果偵測(cè)到該廢液流體中的氧化劑濃度高于臨界濃度，傳感器108可將指示此種狀況的信號(hào)傳送至控制器110。當(dāng)控制器110接收到此信號(hào)時(shí)，控制器110可命令處理參數(shù)改變，以提高熱反應(yīng)器104中的氧化劑使用效率，例如，提高燃料流量或減少氧化劑流量進(jìn)入熱反應(yīng)器104中?？刂破?10可命令持續(xù)此種處理參數(shù)變化，直到傳感器108回報(bào)來自第二洗滌器106的廢液中的氧化劑濃度已降至低于臨界濃度的時(shí)候?yàn)橹?。在又另一?shí)施例中，當(dāng)廢液離開第二洗滌器106時(shí)，該廢液可能流經(jīng)位于第二洗滌器106下游處的傳感器108(例如，位在管道126中)。傳感器108可分析該廢液，并且將表示廢液組成的信號(hào)傳送至控制器110?？刂破?10隨后可判斷該廢液是否已被減量至一預(yù)定程度。如果控制器110判斷該廢液已減量至預(yù)定程度，則保持該用于反應(yīng)室中減量該廢液的燃料流率。如果控制器110判斷該廢液尚未充分減量，則控制器可能將一信號(hào)傳送至多個(gè)閥，以進(jìn)一步開啟閥門，以提高進(jìn)入燃燒器噴嘴(未顯示)中的燃料流率，從而使額外燃料與氧化劑混合并且點(diǎn)燃額外的燃料，而產(chǎn)生減量更多廢液所需的更高溫度。在一些實(shí)施例中，控制器110可能依據(jù)有害化合物、燃料、氧化劑等物質(zhì)的偵測(cè)結(jié)果，而對(duì)處理參數(shù)做出經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)化的預(yù)選漸進(jìn)調(diào)整(incrementaladjustments)。在一些其它實(shí)施例中，控制器100可能依據(jù)有害化學(xué)物質(zhì)、燃料及/或氧化劑的濃度，而做出未經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)化(non-standardized)的漸進(jìn)處理參數(shù)調(diào)整。在又另一實(shí)施例中，控制器110可能做出透過改變?nèi)剂霞?或氧化劑流率所能造成的處理控制范圍不足以應(yīng)付需求的判斷，并且取而代之的是，改變?cè)摴?yīng)至減量系統(tǒng)的廢液輸入量(effluentinput)。第2圖是流程圖，其顯示根據(jù)本發(fā)明使燃料燃燒率優(yōu)化的示例方法200。在選用性步驟202中，在第一洗滌器中洗滌一廢液流體。在步驟204，在一熱反應(yīng)室中減少廢液。可使用任何順序來執(zhí)行步驟202和204。在熱反應(yīng)室內(nèi)減量該廢液的步驟204之后，在選用步驟206中，在第二洗滌器內(nèi)洗滌該已被氧化的廢液。在步驟210中判斷是否出現(xiàn)一種或多種熱減量性化學(xué)物質(zhì)。如果在步驟210中判斷出該廢液流體不含熱減量性化學(xué)物質(zhì)，則在步驟212中保持供應(yīng)至熱反應(yīng)器的燃料流量。并且該方法從步驟212回到步驟204，而在步驟204中在熱減量工具內(nèi)減少該廢液，并且如上述般接續(xù)執(zhí)行該方法。如果在步驟210中判斷出該廢液流體含有熱減量性化合物，則在步驟214中增加供應(yīng)至熱反應(yīng)器的燃料流量。提高燃料流量通常可能會(huì)提高熱反應(yīng)器的溫度。在步驟214中提高供應(yīng)至熱反應(yīng)器的燃料流量，可能是增加一預(yù)定量的漸增量。也可能是由控制器響應(yīng)該一種或多種熱減量性化學(xué)物質(zhì)的濃度，而決定該燃料流量的增加量。接續(xù)在增加供應(yīng)至熱反應(yīng)器的燃料流量的步驟214之后，該方法回到步驟204，而在步驟204中在熱減量工具內(nèi)減少該廢液，并且如上述般執(zhí)行該方法?？赡茉诓僮麟娮咏M件處理系統(tǒng)的過程中持續(xù)實(shí)施方法200第3圖是流程圖，其顯示根據(jù)本發(fā)明使燃料燃燒率或燃料效率優(yōu)化的另一個(gè)示例方法300。方法300類似方法200，只除了用步驟312來取代步驟212，并且僅針對(duì)此一不同步驟進(jìn)行說明。如果在步驟210判斷出該廢液流體中不含熱減量性化學(xué)物質(zhì)，則方法300進(jìn)行步驟312，在步驟312中，將供應(yīng)至反應(yīng)器的燃料流量減少漸進(jìn)量(incrementalamount)，而不是如步驟212般保持該燃料流量。隨后，方法300執(zhí)行步驟204，并且如上參照?qǐng)D2所示般在步驟204中在熱減量工具內(nèi)減少該廢液的減量。圖4是流程圖，其顯示根據(jù)本發(fā)明使燃料燃燒率優(yōu)化的另一個(gè)示例方法400。方法400類似方法200，只除了用步驟410,412和414來分別取代類似步驟210,212和214。以下僅針對(duì)方法400的不同步驟進(jìn)行說明。因此，方法400在其步驟410中，改為判斷該廢液流體是否含有未被氧化的燃料，來取代判斷該廢液流體是否含有未減量的廢液的步驟。在已減量的廢液中出現(xiàn)未被氧化的燃料可能表示供應(yīng)過多燃料至熱反應(yīng)器，或是供應(yīng)給反應(yīng)器的氧化劑不足。如果判斷出該廢液中含有未被氧化的燃料，則方法500進(jìn)行步驟414，減少供應(yīng)至熱反應(yīng)器的燃料流量(例如，減少預(yù)定量)，或是提高供應(yīng)至熱反應(yīng)器的氧化劑流量(例如，增加預(yù)定量)。接續(xù)在步驟414之后，方法400回到參照?qǐng)D2所述的步驟204。如果在步驟410中判斷出已減量的廢液流體中不含未被氧化的燃料，在已減量的廢液中不含未燃燒的燃料可能表示供應(yīng)足夠量的燃料到熱反應(yīng)器中。在一些實(shí)施例中，方法400前進(jìn)至步驟412，在步驟412中保持該燃料的流量。接續(xù)在步驟412之后，方法400回到如上參照?qǐng)D2所述的步驟204。已減量的廢液中不含未燃燒的燃料，也可能代表供應(yīng)到熱反應(yīng)器中的燃料量不足。因此，在一些實(shí)施例中，在步驟412增加燃料流量，而非簡(jiǎn)單地保持燃料流量。方法400，可如上述般，從步驟412回到步驟204。圖5是流程圖，其顯示根據(jù)本發(fā)明使氧化劑流率優(yōu)化的示例方法500。方法500類似方法400，只除了用步驟510、512和514來分別取代類似步驟410、412和414。以下僅針對(duì)方法500的不同步驟進(jìn)行說明。因此，方法500在其步驟510中，改判斷該廢液流體是否含有未反應(yīng)的氧化劑，來取代判斷該廢液流體是否含有已被氧化的燃料的步驟。在已減量的廢液中出現(xiàn)未反應(yīng)的氧化劑可能代表供應(yīng)過多氧化劑至熱反應(yīng)器，或是供應(yīng)給反應(yīng)器的燃料不足。如果判斷出該廢液中含有未反應(yīng)的氧化劑，則方法500進(jìn)行步驟514，減少供應(yīng)至熱反應(yīng)器的氧化劑流量(例如，減少預(yù)定量)，或是提高供應(yīng)至熱反應(yīng)器的燃料流量(例如，增加預(yù)定量)。接續(xù)在步驟514之后，方法500回到參照?qǐng)D2所述的步驟204，并且如上所述般，從步驟204繼續(xù)執(zhí)行方法500。在已減量的廢液中不含未反應(yīng)的氧化劑，可能代表供應(yīng)足夠量的氧化劑到熱反應(yīng)器中。在一些實(shí)施例中，如果在步驟510判斷出該廢液中不含未反應(yīng)的氧化劑，則方法500前進(jìn)至步驟512，在步驟512中保持該氧化劑的流量。并且，方法500從步驟512回到如參照?qǐng)D2所示的步驟204。已減量的廢液中不含未反應(yīng)的氧化劑，也可能代表供應(yīng)到熱反應(yīng)器中的氧化劑用量不足。因此，在一些實(shí)施例中，在步驟512增加氧化劑的流量，而非簡(jiǎn)單地保持氧化劑流量。方法500可從步驟512回到如上述的步驟204。雖然已參照多個(gè)示范性實(shí)施例來揭示本發(fā)明，但應(yīng)了解到，尚有其它實(shí)施例可能落在后附權(quán)利要求所界定的本發(fā)明精神與范圍中。權(quán)利要求一種減少來自電子組件制造處理中的廢液廢液的方法，包括在熱減量工具中減少所述廢液，以形成已減量的所述廢液；判斷已減量的所述廢液是否含有一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)；以及根據(jù)判斷結(jié)果來改變所述熱減量工具的一個(gè)或多個(gè)操作參數(shù)。2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中判斷已減量的所述廢液是否含有所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)的步驟還包括判斷所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)的濃度。3.如權(quán)利要求第1項(xiàng)所述的方法，其中所述一個(gè)或多個(gè)操作參數(shù)包括下列至少一者燃料流量、燃料成分、試劑流量、試劑成分、冷卻劑流量、氧化劑流量以及減量反應(yīng)溫度。4.如權(quán)利要求第1項(xiàng)所述的方法，其中所述目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)包括下列一者或多者有害化學(xué)物質(zhì)、熱減量性化學(xué)物質(zhì)、燃料以及氧化劑。5.一種減少來自電子組件制造處理中的廢液的系統(tǒng)，包括熱減量工具，用以減量所述廢液并形成已減量的所述廢液；傳感器，用以判斷已減量的所述廢液是否含有一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)；以及控制器，用以接收來自所述傳感器的信號(hào)；其中，所述信號(hào)指示已減量的所述廢液是否含有所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)；以及其中，所述控制器更用以依據(jù)所述信號(hào)來改變所述熱減量工具的一個(gè)或多個(gè)操作參數(shù)。6.如權(quán)利要求第5項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中所述傳感器還用以判斷所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)的濃度。7.如權(quán)利要求第6項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中所述一個(gè)或多個(gè)操作參數(shù)包括下列至少一者燃料流量、燃料成分、試劑流量、試劑成分、冷卻劑流量、氧化劑流量和減量反應(yīng)溫度。8.如權(quán)利要求第5項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中所述目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)包括下列一者或多者有害化學(xué)物質(zhì)、熱減量性化學(xué)物質(zhì)、燃料以及氧化劑。9.一種提高電子組件制造廢液熱減量工具的燃料效率的方法，包括以第一流率將燃料提供至所述熱減量工具；在所述熱減量工具中減少所述廢液，以形成已減量的所述廢液；判斷已減量的所述廢液是否含有一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)；以及根據(jù)判斷結(jié)果，以第二流率將燃料提供至所述熱減量工具。10.如權(quán)利要求第9項(xiàng)所述的方法，其中所述判斷結(jié)果是已減量的所述廢液含有所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)，并且所述第二流率大于所述第一流率。11.如權(quán)利要求第9項(xiàng)所述的方法，其中所述判斷結(jié)果是已減量的所述廢液不含所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)，并且所述第二流率小于所述第一流率。12.如權(quán)利要求第9項(xiàng)所述的方法，其中所述判斷步驟還包括判斷所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)的濃度。13.如權(quán)利要求第12項(xiàng)所述的方法，其中所述判斷結(jié)果是已減量的所述廢液含有濃度高于臨界濃度的所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)，并且所述第二流率大于所述第一流率。14.如權(quán)利要求第12項(xiàng)所述的方法，其中所述判斷結(jié)果是已減量的所述廢液不含有濃度高于臨界濃度的所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)，并且所述第二流率小于所述第一流率。15.如權(quán)利要求第12項(xiàng)所述的方法，其中所述判斷結(jié)果是已減量的所述廢液含有濃度等于臨界濃度的所述一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)，并且所述第二流率等于所述第一流率。16.如權(quán)利要求第9項(xiàng)所述的方法，其中所述目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)包括下列一者或多者有害化學(xué)物質(zhì)、熱減量性化學(xué)物質(zhì)、燃料以及氧化劑。全文摘要本發(fā)明提供一種減少來自電子組件處理中的廢液的方法，包括在一熱減量工具中減量該廢液以產(chǎn)生已減量的廢液；判斷該已減量的廢液是否含有一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)；以及根據(jù)判斷結(jié)果來改變熱減量工具的一個(gè)或多個(gè)操作參數(shù)。本發(fā)明提供多種其它實(shí)施例。文檔編號(hào)B01D45/00GK101835521SQ200880113307公開日2010年9月15日申請(qǐng)日期2008年10月25日優(yōu)先權(quán)日2007年10月26日發(fā)明者丹尼爾·O·克拉克,優(yōu)瑟夫·A·羅勒迪,杰伊·J·俊,洪-曼·羅德尼·邱,羅伯特·沃梅嵐,肖恩·W·柯若弗德申請(qǐng)人:應(yīng)用材料公司