技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種硅片清洗機排風(fēng)口冷凝回流裝置，包括硅片清洗機機頂前板，所述硅片清洗機機頂前板的上方設(shè)置有硅片清洗機排風(fēng)管分管，所述硅片清洗機機頂前板與硅片清洗機排風(fēng)管分管的連接處設(shè)置有排風(fēng)管安裝墊片，所述排風(fēng)管安裝墊片上設(shè)置有排風(fēng)管分管固定螺栓，所述硅片清洗機排風(fēng)管分管的上方中間位置處設(shè)置有硅片清洗機排風(fēng)管匯流管，所述硅片清洗機機頂前板的兩側(cè)設(shè)置有冷凝回流器滑板，所述兩個冷凝回流器滑板之間設(shè)置有冷凝回流器安裝板，所述冷凝回流器安裝板的前方設(shè)置有與冷凝回流器安裝板垂直的水刮板，本實用新型的集水槽為凹槽型結(jié)構(gòu)，通過集水槽收集水刮板刮下來的水珠，并通過冷凝回流器排水管集中排出。

技術(shù)研發(fā)人員：王曉麗;景歡旺;呂海軍;高超;項望
受保護的技術(shù)使用者：江蘇晶鼎電子材料有限公司
文檔號碼：201621408746
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.21
技術(shù)公布日：2017.07.07