技術(shù)編號(hào):12813446
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型是一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置,屬于硅片清洗機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
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- 曾老師:新型污水脫氮技術(shù)以及微生物包埋技術(shù)的開發(fā)與應(yīng)用
- 趙老師:水污染控制,固體廢物污染控制等
- 賈老師:1.環(huán)境污染控制:環(huán)境污染物的高級(jí)氧化去除及轉(zhuǎn)化機(jī)制 2.環(huán)境計(jì)算化學(xué):典型污染物的環(huán)境相關(guān)物性參數(shù)預(yù)測及構(gòu)效關(guān)系研究
- 宋老師:主要從事海洋生物醫(yī)藥及海洋污染物的微生物修復(fù)研究。 (1)海洋微生物中篩選免疫活性物質(zhì),用于抗氧化保健品以及抗腫瘤藥物的開發(fā)。 (2)開展石油烴降解菌的基因組學(xué)、轉(zhuǎn)錄組以及代謝組和關(guān)鍵酶基因研究,分析其降解石油烴途徑。利用分子生物學(xué)和生物信息學(xué)技術(shù)開展與海洋環(huán)境污染治理和修復(fù)相關(guān)的微生物分子數(shù)據(jù)
- 李老師:水污染控制工程,固體廢物資源化
- 曹老師:水污染防治技術(shù)
- 才老師:1.光合細(xì)菌及暗發(fā)酵細(xì)菌生物制氫技術(shù)研究 2. 有機(jī)廢水生物處理與資源化利用技術(shù)研究 3. 生物活性物質(zhì)篩選與利用研究