本實(shí)用新型是一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，屬于硅片清洗機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)；堿金屬如鈉等，引起嚴(yán)重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等，會導(dǎo)致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。

現(xiàn)有技術(shù)中，沒有設(shè)置水刮板和集水槽，不能將硅片清洗機(jī)機(jī)頂上蓋板上凝聚的水刮落，收集在集水槽內(nèi)，在水汽抽排過程中，少量的水汽會凝結(jié)在硅片清洗機(jī)機(jī)頂上蓋板上，凝結(jié)成水珠就容易滴落在硅片上，導(dǎo)致硅片損壞。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型目的是提供一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的沒有設(shè)置水刮板和集水槽，不能將硅片清洗機(jī)機(jī)頂上蓋板上凝聚的水刮落，收集在集水槽內(nèi)，在水汽抽排過程中，少量的水汽會凝結(jié)在硅片清洗機(jī)機(jī)頂上蓋板上，凝結(jié)成水珠就容易滴落在硅片上，導(dǎo)致硅片損壞的問題，本實(shí)用新型使用方便，便于操作，穩(wěn)定性好，可靠性高。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，包括硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板，所述硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板的上方設(shè)置有硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管，所述硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板與硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管的連接處設(shè)置有排風(fēng)管安裝墊片，所述排風(fēng)管安裝墊片上設(shè)置有排風(fēng)管分管固定螺栓，所述硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管的上方中間位置處設(shè)置有硅片清洗機(jī)排風(fēng)管匯流管，所述硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板的兩側(cè)設(shè)置有冷凝回流器滑板，所述兩個(gè)冷凝回流器滑板之間設(shè)置有冷凝回流器安裝板，所述冷凝回流器安裝板的前方設(shè)置有與冷凝回流器安裝板垂直的水刮板，所述水刮板的前方設(shè)置有集水槽，所述集水槽與水刮板的連接處設(shè)置有集水槽安裝螺栓，所述集水槽的一側(cè)設(shè)置有冷凝回流器排水管，所述冷凝回流器排水管與集水槽的連接處設(shè)置有密封膠圈，所述冷凝回流器排水管遠(yuǎn)離密封膠圈的一端設(shè)置有雙通管。

進(jìn)一步地，所述水刮板與集水槽通過集水槽安裝螺栓固定連接。

進(jìn)一步地，所述集水槽的前表面上設(shè)置有把手。

進(jìn)一步地，所述排風(fēng)管安裝墊片與硅片清洗機(jī)機(jī)頂頂蓋通過排風(fēng)管分管固定螺栓固定連接。

進(jìn)一步地，所述冷凝回流器安裝板與硅片清洗機(jī)機(jī)頂側(cè)板通過冷凝回流器滑板滑動連接。

進(jìn)一步地，所述集水槽為凹槽型結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型的一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，集水槽的前表面上設(shè)置有把手，操作人員手握把手即可拉動水刮板進(jìn)行刮水工作，防止水汽聚集滴落在清洗機(jī)上的硅片上，對硅片造成損壞；排風(fēng)管安裝墊片與硅片清洗機(jī)機(jī)頂頂蓋通過排風(fēng)管分管固定螺栓固定連接，排風(fēng)管安裝墊片與硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管為一體式結(jié)構(gòu)，排風(fēng)管安裝墊片與硅片清洗機(jī)機(jī)頂頂蓋通過排風(fēng)管分管固定螺栓固定連接，即是將硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管與硅片清洗機(jī)機(jī)頂頂蓋固定連接，可通過硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管抽排清洗機(jī)產(chǎn)生的水汽；冷凝回流器安裝板與硅片清洗機(jī)機(jī)頂側(cè)板通過冷凝回流器滑板滑動連接，冷凝回流器滑板在硅片清洗機(jī)機(jī)頂側(cè)板上滑動，使冷凝回流器安裝板和水刮板滑動，從而進(jìn)行刮水排水工作；集水槽為凹槽型結(jié)構(gòu)，通過集水槽收集水刮板刮下來的水珠，并通過冷凝回流器排水管集中排出。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會變得更明顯：

圖1為本實(shí)用新型一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置的集水槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-排風(fēng)管分管固定螺栓、2-硅片清洗機(jī)排風(fēng)管匯流管、3-硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管、4-排風(fēng)管安裝墊片、5-硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板、6-冷凝回流器安裝板、7-水刮板、8-密封膠圈、9-冷凝回流器排水管、10-雙通管、11-把手、12-集水槽、13-集水槽安裝螺栓、14-冷凝回流器滑板。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施方式，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

請參閱圖1和圖2，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，包括硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板5，硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板5的上方設(shè)置有硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管3，硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板5與硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管3的連接處設(shè)置有排風(fēng)管安裝墊片4，排風(fēng)管安裝墊片4上設(shè)置有排風(fēng)管分管固定螺栓1，硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管3的上方中間位置處設(shè)置有硅片清洗機(jī)排風(fēng)管匯流管2，硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板5的兩側(cè)設(shè)置有冷凝回流器滑板14，兩個(gè)冷凝回流器滑板14之間設(shè)置有冷凝回流器安裝板6，冷凝回流器安裝板6的前方設(shè)置有與冷凝回流器安裝板6垂直的水刮板7，水刮板7的前方設(shè)置有集水槽12，集水槽12與水刮板7的連接處設(shè)置有集水槽安裝螺栓13，集水槽12的一側(cè)設(shè)置有冷凝回流器排水管9，冷凝回流器排水管9與集水槽12的連接處設(shè)置有密封膠圈8，冷凝回流器排水管9遠(yuǎn)離密封膠圈8的一端設(shè)置有雙通管10。

本實(shí)施例中，優(yōu)選的，水刮板7與集水槽12通過集水槽安裝螺栓13固定連接，能夠通過拆卸集水槽安裝螺栓13完成集水槽12的拆卸和更換，使用方便快捷。

本實(shí)施例中，優(yōu)選的，集水槽12的前表面上設(shè)置有把手11，操作人員手握把手11即可拉動水刮板7進(jìn)行刮水工作，防止水汽聚集滴落在清洗機(jī)上的硅片上，對硅片造成損壞。

本實(shí)施例中，優(yōu)選的，排風(fēng)管安裝墊片4與硅片清洗機(jī)機(jī)頂頂蓋通過排風(fēng)管分管固定螺栓1固定連接，排風(fēng)管安裝墊片4與硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管3為一體式結(jié)構(gòu)，排風(fēng)管安裝墊片4與硅片清洗機(jī)機(jī)頂頂蓋通過排風(fēng)管分管固定螺栓1固定連接，即是將硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管3與硅片清洗機(jī)機(jī)頂頂蓋固定連接，可通過硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管3抽排清洗機(jī)產(chǎn)生的水汽。

本實(shí)施例中，優(yōu)選的，冷凝回流器安裝板6與硅片清洗機(jī)機(jī)頂側(cè)板通過冷凝回流器滑板14滑動連接，冷凝回流器滑板14在硅片清洗機(jī)機(jī)頂側(cè)板上滑動，使冷凝回流器安裝板6和水刮板7滑動，從而進(jìn)行刮水排水工作。

本實(shí)施例中，優(yōu)選的，集水槽12為凹槽型結(jié)構(gòu)，通過集水槽12收集水刮板7刮下來的水珠，并通過冷凝回流器排水管9集中排出。

本實(shí)用新型中的雙通管10有兩個(gè)個(gè)開口的管接頭。雙通管廣泛用于輸送液體、氣體的管網(wǎng)中。因輸送介質(zhì)不同，雙通管的材質(zhì)分為:鑄鐵、鑄鋼、鑄銅、鑄鋁、塑料、玻璃等。

具體實(shí)施方式：在進(jìn)行使用時(shí)，首先工作人員對本實(shí)用新型進(jìn)行檢查，檢查是否存在缺陷，如果存在缺陷的話就無法進(jìn)行使用了，此時(shí)需要通知維修人員進(jìn)行維修，如果不存在問題的話就可以進(jìn)行使用，通過排風(fēng)管分管固定螺栓1將排風(fēng)管安裝墊片4與硅片清洗機(jī)機(jī)頂固定，將集水槽12與水刮板7通過集水槽安裝螺栓13固定，將兩個(gè)冷凝回流器滑板14分別架在兩個(gè)硅片清洗機(jī)機(jī)頂側(cè)板上，清洗機(jī)清洗硅片時(shí)，大部分的水蒸氣從硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管3處集中至硅片清洗機(jī)排風(fēng)管匯流管2處，由硅片清洗機(jī)排風(fēng)管匯流管2的出口排出，水汽抽排的過程中，一部分的水汽被隔離在硅片清洗機(jī)機(jī)頂上蓋板上，凝結(jié)形成細(xì)密的水珠，長時(shí)間抽排時(shí)，水珠越來越大，最后滴落至清洗機(jī)上的硅片上，為防止水珠滴落在硅片上，抽排的過程中，工作人員手持把手11，并施加一個(gè)平行于集水槽12的力，拉動冷凝回流器滑板14，使水刮板7將硅片清洗機(jī)機(jī)頂上蓋板上的水珠刮落，被刮的水珠滴至集水槽12內(nèi)，收集在集水槽12內(nèi)的水由冷凝回流器排水管9集中排出。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn),對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。