1.一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，包括硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板（5），其特征在于：所述硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板（5）的上方設(shè)置有硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管（3），所述硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板（5）與硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管（3）的連接處設(shè)置有排風(fēng)管安裝墊片（4），所述排風(fēng)管安裝墊片（4）上設(shè)置有排風(fēng)管分管固定螺栓（1），所述硅片清洗機(jī)排風(fēng)管分管（3）的上方中間位置處設(shè)置有硅片清洗機(jī)排風(fēng)管匯流管（2），所述硅片清洗機(jī)機(jī)頂前板（5）的兩側(cè)設(shè)置有冷凝回流器滑板（14），所述兩個(gè)冷凝回流器滑板（14）之間設(shè)置有冷凝回流器安裝板（6），所述冷凝回流器安裝板（6）的前方設(shè)置有與冷凝回流器安裝板（6）垂直的水刮板（7），所述水刮板（7）的前方設(shè)置有集水槽（12），所述集水槽（12）與水刮板（7）的連接處設(shè)置有集水槽安裝螺栓（13），所述集水槽（12）的一側(cè)設(shè)置有冷凝回流器排水管（9），所述冷凝回流器排水管（9）與集水槽（12）的連接處設(shè)置有密封膠圈（8），所述冷凝回流器排水管（9）遠(yuǎn)離密封膠圈（8）的一端設(shè)置有雙通管（10）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，其特征在于：所述水刮板（7）與集水槽（12）通過集水槽安裝螺栓（13）固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，其特征在于：所述集水槽（12）的前表面上設(shè)置有把手（11）。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，其特征在于：所述排風(fēng)管安裝墊片（4）與硅片清洗機(jī)機(jī)頂頂蓋通過排風(fēng)管分管固定螺栓（1）固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，其特征在于：所述冷凝回流器安裝板（6）與硅片清洗機(jī)機(jī)頂側(cè)板通過冷凝回流器滑板（14）滑動(dòng)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗機(jī)排風(fēng)口冷凝回流裝置，其特征在于：所述集水槽（12）為凹槽型結(jié)構(gòu)。