技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及一種防損傷的激光清洗裝置，包括激光器、光束整形系統(tǒng)、掃描振鏡系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，由所述激光器出射的激光束依次通過所述光束整形系統(tǒng)和掃描振鏡和聚焦系統(tǒng)聚焦在待清洗工件表面，所述控制系統(tǒng)控制所述激光器和掃描振鏡系統(tǒng)實時動態(tài)調(diào)整激光束焦點(diǎn)位置以完成清洗工作；所述光束整形系統(tǒng)用于將入射的高斯光束先整形為平頂光束再進(jìn)行勻束變換，使激光邊緣更加銳利且光強(qiáng)更加均勻，使用經(jīng)變換的激光束可清洗物體表面而不造成損傷；所述檢偏單元可隔離被激光表面反射的激光，避免反射的激光損傷光學(xué)器件。

技術(shù)研發(fā)人員：龔傳波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：龔傳波
文檔號碼：201621011542
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2017.08.11