本實(shí)用新型涉及板玻璃的清洗裝置的技術(shù)。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，在例如使用于液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置等平板顯示器的板玻璃(玻璃基板)中，來(lái)自顧客的要求規(guī)格日益嚴(yán)格，從而進(jìn)行各種品質(zhì)管理是不可缺少的。

基于這樣的狀況，在板玻璃的制造工序中，通常將成形后的板玻璃切斷成矩形狀且規(guī)定的大小，在對(duì)其切斷端面實(shí)施研磨加工之后，進(jìn)行用于使該板玻璃的表背面成為清潔的面的清洗處理以及干燥處理，由此得到作為最終產(chǎn)品的玻璃基板。

在此，所述清洗處理一般來(lái)說(shuō)通過(guò)一邊散布清洗劑一邊擦拭清洗板玻璃的表背面的清洗工序、以及利用清洗水(純水)沖洗清洗工序中散布的清洗劑的漂洗工序等來(lái)實(shí)施(例如，參照“專利文獻(xiàn)1”)。

具體地說(shuō)，所述清洗工序以及所述漂洗工序沿著連續(xù)搬運(yùn)多個(gè)板玻璃的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)方向依次配置，并且通過(guò)相互鄰接的多個(gè)隔間而被各自區(qū)分開(kāi)。

另外，在清洗工序的隔間內(nèi)，具備散布清洗劑的噴灑單元、以及擦拭清洗板玻璃的表背面的海綿塊等，另一方面，在漂洗工序的隔間內(nèi)，配備有散布清洗水的噴灑單元、以及刷洗板玻璃的表背面的輥刷等。

并且，通過(guò)一邊利用所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行搬運(yùn)一邊依次通過(guò)清洗工序、漂洗工序而對(duì)多個(gè)板玻璃實(shí)施清洗處理。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2002-113430公報(bào)

在由這樣的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的具備清洗工序以及漂洗工序的板玻璃的清洗裝置中，例如清洗工序中使用的清洗劑的液滴飛濺而進(jìn)入漂洗工序，由此漂洗工序中使用的清洗液混入清洗劑，擔(dān)心這成為引起清洗處理后的板玻璃的品質(zhì)降低的重要因素。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

實(shí)用新型要解決的課題

本實(shí)用新型是鑒于以上所示的現(xiàn)有問(wèn)題點(diǎn)而完成的，其課題在于提供能夠防止清洗劑混入漂洗工序中使用的清洗液的板玻璃的清洗裝置。

用于解決課題的手段

本實(shí)用新型要解決的課題如上所述，接下來(lái)對(duì)用于解決該課題的手段進(jìn)行說(shuō)明。

即，本實(shí)用新型所涉及的板玻璃的清洗裝置其具備將板玻璃以大致水平姿態(tài)搬運(yùn)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，且沿該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)方向依次相鄰地配置一邊散布清洗劑一邊清洗板玻璃的平面的清洗工序、以及利用清洗水沖洗在該清洗工序中散布的清洗劑的漂洗工序，其特征在于，在所述清洗工序中，沿所述搬運(yùn)方向依次配置有擦拭清洗所述板玻璃的平面的海綿塊、以及除去附著于所述板玻璃的所述清洗劑的擠壓輥，在所述海綿塊與所述擠壓輥之間配置有覆蓋所述擠壓輥的外周面的第一防飛濺罩。

這樣，在本實(shí)用新型中，通過(guò)在海綿塊與擠壓輥之間設(shè)置有第一防飛濺罩，能夠防止因海綿塊飛濺的清洗劑直接與下游側(cè)的擠壓輥接觸，能夠防止清洗劑向清洗工序的外部(漂洗工序)飛出。

另外，在本實(shí)用新型所涉及的板玻璃的清洗裝置中，優(yōu)選為，在所述第一防飛濺罩的上部配置有朝向所述海綿塊突出的第二防飛濺罩。

這樣，在本實(shí)用新型中，由于從設(shè)置在海綿塊與擠壓輥之間的第一防飛濺罩的上部配置朝向海綿塊突出的第二防飛濺罩，因此，例如在清洗工序中散布的清洗劑中，即便液滴碰到板玻璃的上表面而彈起，也能夠利用第二防飛濺罩防止該液滴朝向周圍飛濺，能夠抑制清洗劑向清洗工序的外部(漂洗工序)飛出。

另外，在本實(shí)用新型所涉及的板玻璃的清洗裝置中，優(yōu)選為，在所述清洗工序中，在所述海綿塊的所述搬運(yùn)方向的上游側(cè)也設(shè)置有擠壓輥，且另外設(shè)置有配置在該擠壓輥與該海綿塊之間的第一防飛濺罩、以及從該第一防飛濺罩的上部朝向所述海綿塊突出設(shè)置的第二防飛濺罩。

這樣，在本實(shí)用新型中，由于至少在清洗工序的上游側(cè)以及下游側(cè)配置有擠壓輥、第一防飛濺罩以及第二防飛濺罩，因此附著于搬運(yùn)中途的板玻璃的大部分清洗劑在所述上游側(cè)與所述下游側(cè)之間的區(qū)域內(nèi)從板玻璃滴下。

其結(jié)果是，清洗工序中使用的大部分清洗劑留在清洗工序中，能夠?qū)崿F(xiàn)清洗劑的有效利用。

另外，在本實(shí)用新型所涉及的板玻璃的清洗裝置中，優(yōu)選為，所述第二防飛濺罩由彼此能夠裝卸地連結(jié)的多個(gè)板狀的單位罩體構(gòu)成，多個(gè)所述板狀的單位罩體朝向所述板玻璃的寬度方向依次配置。

這樣，在本實(shí)用新型中，由于利用由多個(gè)單位罩體構(gòu)成的分割構(gòu)造構(gòu)成第二防飛濺罩，因此與例如由一張板狀構(gòu)件構(gòu)成的情況相比更容易攜帶，向第一防飛濺罩配置時(shí)的安裝操作也容易。

另外，通過(guò)改變各個(gè)單位罩體的配置位置，能夠容易地改變第二防飛濺罩整體的長(zhǎng)度尺寸(板玻璃的寬度方向的尺寸)。

另外，在本實(shí)用新型所涉及的板玻璃的清洗裝置中，優(yōu)選為，所述第二防飛濺罩從所述板玻璃的寬度方向的一側(cè)朝向另一側(cè)向下方傾斜地配置，在相互鄰接的任意的一對(duì)所述單位罩體中，位于所述一側(cè)的所述單位罩體的端部重疊地載置在位于所述另一側(cè)的所述單位罩體的端部上。

通過(guò)具有這樣的結(jié)構(gòu)，在第二防飛濺罩的上表面?zhèn)?，在鄰接的單位罩體的連結(jié)位置，位于一側(cè)(即，傾斜方向的上方側(cè))的單位罩體的端部始終存在于位于另一側(cè)(即，傾斜方向的下方側(cè))的單位罩體的端部的上部，形成相互重疊的狀態(tài)。

因此，例如在附著于第二防飛濺罩的上表面的液滴經(jīng)過(guò)各個(gè)單位罩體朝向傾斜方向的下方側(cè)依次移動(dòng)時(shí)，在鄰接的單位罩體的連結(jié)位置處，位于另一側(cè)的單位罩體的端部不會(huì)成為阻礙，故而更加優(yōu)選。

實(shí)用新型效果

作為本實(shí)用新型的效果，能夠發(fā)揮以下所示的效果。

即，根據(jù)本實(shí)用新型所涉及的板玻璃的清洗裝置，能夠抑制清洗工序中散布的清洗劑混入清洗工序的外部(漂洗工序)的情況。

附圖說(shuō)明

圖1是示出本實(shí)用新型所涉及的板玻璃的清洗裝置的整體結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖2是示出清洗工序中的下游側(cè)的擠壓輥附近的圖，且是從圖1中的箭頭X的方向觀察時(shí)的剖視圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1 清洗裝置

2 搬運(yùn)機(jī)構(gòu)

10 清洗工序

12 海綿塊

12U 上側(cè)海綿塊

13 擠壓輥

13U 上側(cè)擠壓輥

14 第一防飛濺罩

15 第二防飛濺罩

15A 單位罩體

20 漂洗工序

G 板玻璃

具體實(shí)施方式

接下來(lái)，根據(jù)圖1以及圖2對(duì)用于將本實(shí)用新型具體化的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。

需要說(shuō)明的是，關(guān)于以下說(shuō)明，為了方便而將圖1以及圖2的上下方向規(guī)定為板玻璃的清洗裝置1的上下方向進(jìn)行記述。

另外，在圖1中，將箭頭A的方向規(guī)定為板玻璃G的搬運(yùn)方向進(jìn)行記述。

本實(shí)施方式的板玻璃的清洗裝置1(以下，簡(jiǎn)要記載為“清洗裝置1”)將板玻璃切斷成矩形狀且規(guī)定的大小，并進(jìn)行對(duì)切斷端面實(shí)施了研磨加工后的板玻璃G的清洗處理。

如圖1所示，清洗裝置1具備以大致水平姿態(tài)的狀態(tài)(更具體地說(shuō)，如圖2所示相對(duì)于水平姿態(tài)傾斜約5°的狀態(tài))搬運(yùn)板玻璃G的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)2，沿該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)2的搬運(yùn)方向(圖1中的箭頭A的方向)至少依次鄰接地配置清洗工序10以及漂洗工序20等。

在此，上述的清洗工序10以及漂洗工序20被在搬運(yùn)方向的上游側(cè)以及下游側(cè)具備出入口部(未圖示)的隔間10A、20A分別隔絕。

并且，通過(guò)利用搬運(yùn)機(jī)構(gòu)2在上述的清洗工序10以及漂洗工序20中依次搬運(yùn)板玻璃G，從而清潔板玻璃G的表面(上表面)以及背面(下表面)。

清洗工序10為如下的工序：一邊向投入到清洗裝置1的板玻璃G散布清洗劑一邊進(jìn)行擦拭清洗，使固著在板玻璃G的上表面以及下表面的玻璃粉、粉塵等剝離，由此清洗板玻璃G的平面。

在清洗工序10中，配設(shè)有噴灑單元11、海綿塊12、擠壓輥13、第一防飛濺罩14以及第二防飛濺罩15等。

噴灑單元11包括貯存有規(guī)定的清洗劑的貯存罐11A、將貯存罐11A內(nèi)的清洗劑以規(guī)定的水壓排出的泵11B、以及成為利用泵11B將清洗劑向外部排出時(shí)的噴出口的噴灑嘴11C等，上述的構(gòu)成設(shè)備11A、11B、11C經(jīng)由配管構(gòu)件11D而相互連通。

在此，噴灑嘴11C、11C…在搬運(yùn)機(jī)構(gòu)2的正上方以及正下方設(shè)置有多個(gè)，使噴出方向朝向搬運(yùn)中途的板玻璃G的上表面?zhèn)然蛘呦律媳砻鎮(zhèn)龋⑶已匕徇\(yùn)方向并列設(shè)置。

在由這樣的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的噴灑單元11中，貯存罐11A內(nèi)的清洗劑通過(guò)泵11B從噴灑嘴11C噴出，分別向板玻璃G的上表面以及下表面散布。

之后，散布的大部分清洗劑形成液滴而從板玻璃G滴下，在隔間10A的底部聚集，之后經(jīng)由過(guò)濾器11A1再次注入到貯存罐11A內(nèi)。

換句話說(shuō)，形成清洗工序10中使用的清洗劑通過(guò)噴灑單元11在隔間10A內(nèi)循環(huán)的結(jié)構(gòu)。

海綿塊12由例如圓盤形狀的海綿構(gòu)件等構(gòu)成，配設(shè)為以軸心方向作為上下方向，并與搬運(yùn)中途的板玻璃G的平面(上表面或者下表面)緊密接觸。

具體地說(shuō)，海綿塊12、12…在清洗工序10內(nèi)設(shè)置有多個(gè)，且構(gòu)成為，在搬運(yùn)中途的板玻璃G的上表面?zhèn)瘸蚋┮晻r(shí)與搬運(yùn)方向正交的方向配置成一列的上側(cè)的海綿塊12、12…(以下，酌情記載為“上側(cè)海綿塊12U”)、以及在所述板玻璃G的下表面?zhèn)瘸蚋┮晻r(shí)與搬運(yùn)方向正交的方向配置成一列的下側(cè)的海綿塊12、12…(以下，酌情記載為“下側(cè)海綿塊12D”)朝向所述搬運(yùn)方向配置成多列(本實(shí)施方式中是兩列)。

并且，上述的海綿塊12、12…經(jīng)由連結(jié)機(jī)構(gòu)部(未圖示)與未圖示的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連結(jié)而被驅(qū)動(dòng)，各海綿塊12構(gòu)成為能夠以軸心作為中心而旋轉(zhuǎn)。

擠壓輥13由例如圓柱形狀的海綿構(gòu)件等構(gòu)成，配設(shè)為沿水平方向上的、俯視時(shí)與搬運(yùn)方向正交的方向延伸，并且與搬運(yùn)中途的板玻璃G的平面(上表面或者下表面)緊密接觸。

具體地說(shuō)，擠壓輥13、13…配設(shè)為，將與上下方向平行地配置的一對(duì)擠壓輥13、13作為一組而設(shè)置有多組，在清洗工序10內(nèi)的至少上游側(cè)以及下游側(cè)沿厚度方向(上下方向)夾持搬運(yùn)中途的板玻璃G。

換言之，在俯視時(shí)，擠壓輥13、13…以將多個(gè)海綿塊12、12…夾在之間的方式配設(shè)在清洗工序10內(nèi)的上游側(cè)以及下游側(cè)。

并且，上述的擠壓輥13、13…經(jīng)由連結(jié)機(jī)構(gòu)部(未圖示)與未圖示的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連結(jié)而被驅(qū)動(dòng)，各擠壓輥13構(gòu)成為能夠以軸心作為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

由此，搬運(yùn)中途的板玻璃G被上下一對(duì)擠壓輥13、13沿厚度方向(上下方向)夾持，從而附著在板玻璃G的上表面以及下表面的大部分清洗劑被除去。

這樣，在清洗工序10中，由于至少在其上游側(cè)以及下游側(cè)配設(shè)有上下一對(duì)擠壓輥13、13…，因此附著于搬運(yùn)中途的板玻璃G的清洗劑的大部分在所述上游側(cè)與所述下游側(cè)之間的區(qū)域內(nèi)從板玻璃G滴下。

其結(jié)果是，清洗工序10中使用的清洗劑的大部分保留在清洗工序10內(nèi)，而不會(huì)伴隨著搬運(yùn)中途的板玻璃G被帶向下一工序的漂洗工序20。

另外，通過(guò)在清洗工序10的下游側(cè)配置有擠壓輥13，例如，即便在下一工序的漂洗工序20中使用的清洗水的液滴向清洗工序10內(nèi)飛濺，該液滴也基本不會(huì)越過(guò)所述擠壓輥13而到達(dá)清洗工序10的內(nèi)部，能夠防止在清洗工序10中使用的清洗劑的濃度降低。

需要說(shuō)明的是，擠壓輥13的配置位置不限于本實(shí)施方式，例如出于更可靠地除去附著在板玻璃G上的清洗劑的目的，也可以采用在板玻璃G的搬運(yùn)方向的中途部(即，多列海綿塊12、12…之間)配置有一組或多組的上下的一對(duì)擠壓輥13、13的結(jié)構(gòu)。

第一防飛濺罩14由彎曲成大致“L”字形狀的板狀構(gòu)件構(gòu)成。

具體地說(shuō)，第一防飛濺罩14包括將厚度方向作為搬運(yùn)方向且沿搬運(yùn)中途的板玻璃G的寬度方向延伸的垂直罩部14a、以及從垂直罩部14a的上端略微傾斜地延伸設(shè)置的傾斜罩部14b。

并且，第一防飛濺罩14、14分別設(shè)置在清洗工序10的上游側(cè)以及下游側(cè)，分別沿上下的一對(duì)擠壓輥13、13中的上側(cè)的擠壓輥13(以下，酌情記載為“上側(cè)擠壓輥13U”)配設(shè)。

具體地說(shuō)，在所述上游側(cè)，上側(cè)擠壓輥13U以及上側(cè)海綿塊12U沿搬運(yùn)方向依次配置，第一防飛濺罩14配設(shè)為如下姿態(tài)：垂直罩部14a位于上側(cè)擠壓輥13U與上側(cè)海綿塊12U之間，并且傾斜罩部14b從所述垂直罩部14a的上端隨著朝向搬運(yùn)方向的上游側(cè)而逐漸向上方傾斜。

另外，在所述下游側(cè)，上側(cè)海綿塊12U以及上側(cè)擠壓輥13U沿搬運(yùn)方向依次配置，第一防飛濺罩14配設(shè)為如下姿態(tài)：垂直罩部14a位于上側(cè)擠壓輥13U與上側(cè)海綿塊12U之間，并且傾斜罩部14b從所述垂直罩部14a的上端隨著朝向搬運(yùn)方向的下游側(cè)而逐漸向上方傾斜。

換句話說(shuō)，在所述上游側(cè)以及下游側(cè)，各第一防飛濺罩14覆蓋上側(cè)擠壓輥13U的外周面，并配置在上側(cè)擠壓輥13U與上側(cè)海綿塊12U之間。

通過(guò)設(shè)置有通過(guò)這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的第一防飛濺罩14，例如，即便附著于板玻璃G的一部分清洗劑通過(guò)被驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的海綿塊12卷起，也會(huì)碰到第一防飛濺罩14，直接成為液滴而經(jīng)過(guò)該第一防飛濺罩14滴下。

由此，能夠防止通過(guò)海綿塊12而卷起的一部分清洗劑直接與擠壓輥13碰撞，并且能夠防止一部分清洗劑向清洗工序10的外部(例如后述的漂洗工序20等)流出。

如圖2所示，第二防飛濺罩15由例如由多個(gè)(本實(shí)施方式中是四片)矩形板狀的丙烯板構(gòu)成的單位罩體15A、15A…等構(gòu)成。

并且，上述的多個(gè)單位罩體15A、15A…朝向俯視時(shí)與搬運(yùn)方向正交的方向、即搬運(yùn)中途的板玻璃G的寬度方向依次排列配置，經(jīng)由未圖示的螺栓等連結(jié)為能夠彼此裝卸。

具體地說(shuō)，在相互鄰接的任意的單位罩體15A、15A中，位于所述配置方向的一側(cè)(例如，圖2中的左側(cè))的單位罩體15A的端部始終存在于位于所述配置方向的另一側(cè)(例如，圖2中的右側(cè))的單位罩體15A的端部的上側(cè)，上述的單位罩體15A、15A以使端部相互重疊的方式配置。

另外，在相互重疊的端部，相互鄰接的任意的單位罩體15A、15A連結(jié)為能夠裝卸。

由這樣的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的第二防飛濺罩15沿第一防飛濺罩14的傾斜罩部14b在俯視時(shí)與搬運(yùn)方向正交的方向(第一防飛濺罩14的延伸突出方向)上延伸，并且如圖1所示朝向與所述第一防飛濺罩14鄰接的上側(cè)海綿塊12U從傾斜罩部14b突出，經(jīng)由未圖示的螺栓等以可裝卸的方式配置在該傾斜罩部14b的上表面。

并且，由于本實(shí)施方式的第二防飛濺罩15由利用多個(gè)單位罩體15A、15A…構(gòu)成的分割構(gòu)造構(gòu)成，因此與例如利用一張板狀構(gòu)件構(gòu)成的情況相比更容易攜帶，向第一防飛濺罩14配置時(shí)的安裝操作也容易。

另外，通過(guò)改變各個(gè)單位罩體15A(參照?qǐng)D2)的配置位置，能夠容易地改變第二防飛濺罩15整體的長(zhǎng)度尺寸(俯視時(shí)與搬運(yùn)方向正交的方向上的尺寸)。

然而，如圖2所示，在本實(shí)施方式中，為了使附著于板玻璃G的平面的液滴容易地從該平面滴下，使搬運(yùn)機(jī)構(gòu)2(參照?qǐng)D1)搬運(yùn)板玻璃G的搬運(yùn)姿態(tài)形成為與水平姿態(tài)相比以傾斜角度θ傾斜的狀態(tài)。

具體地說(shuō)，對(duì)于搬運(yùn)機(jī)構(gòu)2搬運(yùn)板玻璃G的搬運(yùn)姿態(tài)，例如，通過(guò)使俯視時(shí)與搬運(yùn)方向正交的方向的一側(cè)(圖2中的左側(cè))比另一側(cè)(圖2中的右側(cè))略高，由此形成以約5°的傾斜角度θ傾斜的狀態(tài)。

另外，與這樣的板玻璃G的搬運(yùn)姿態(tài)相應(yīng)地，對(duì)于上述的噴灑單元11、擠壓輥13、第一防飛濺罩14、以及固定設(shè)置于該第一防飛濺罩14的第二防飛濺罩15等，也配置為以傾斜角度θ傾斜的狀態(tài)。

在此，在本實(shí)施方式的第二防飛濺罩15中形成為如下?tīng)顟B(tài)：如上所述，相互鄰接的任意的一對(duì)單位罩體15A、15A中的、位于所述一側(cè)(即，傾斜方向的上方側(cè))的單位罩體15A的端部載置在位于所述另一側(cè)(即，傾斜方向的下方側(cè))的單位罩體15A的端部上并相互重疊的狀態(tài)。

因此，例如優(yōu)選為，在附著于第二防飛濺罩15的上表面的液滴經(jīng)過(guò)各個(gè)單位罩體15A、15A…向傾斜方向的下方側(cè)依次移動(dòng)時(shí)，在鄰接的單位罩體15A、15A的連結(jié)位置處，位于另一側(cè)的單位罩體15A的端部不會(huì)成為阻礙。

需要說(shuō)明的是，第二防飛濺罩15的結(jié)構(gòu)不限定于本實(shí)施方式，例如也可以采用相互鄰接的任意的單位罩體15A、15A中的、位于所述另一側(cè)的單位罩體15A的端部載置在位于所述一側(cè)的單位罩體15A的端部上并相互重疊的結(jié)構(gòu)。

通過(guò)采用這樣的結(jié)構(gòu)，形成為如下的狀態(tài)：在第二防飛濺罩15的下表面?zhèn)?，在鄰接的單位罩體15A、15A的連結(jié)位置，位于一側(cè)(即，傾斜方向的上方側(cè))的單位罩體15A的端部與位于另一側(cè)(即，傾斜方向的下方側(cè))的單位罩體15A的端部的下表面重合的狀態(tài)。

因此，例如，在附著于第二防飛濺罩15的下表面?zhèn)鹊囊旱谓?jīng)過(guò)各個(gè)單位罩體15A、15A…的下表面向傾斜方向的下方側(cè)依次移動(dòng)的情況下，在鄰接的單位罩體15A、15A的連結(jié)位置處，位于另一側(cè)的單位罩體15A的端部不會(huì)成為阻礙，因此更加優(yōu)選。

接下來(lái)，對(duì)漂洗工序20進(jìn)行說(shuō)明。

在漂洗工序20中，將少量殘留的清洗劑與清洗工序10中剝離的玻璃粉或與粉塵等一起通過(guò)清洗水(純水)從板玻璃G沖洗掉。

如圖1所示，漂洗工序20中配設(shè)有噴灑單元21、輥刷22、擠壓輥23以及第三防飛濺罩24等。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施方式的漂洗工序20的噴灑單元21、擠壓輥23以及第三防飛濺罩24的結(jié)構(gòu)具有與上述的清洗工序10的噴灑單元11、擠壓輥13以及第一防飛濺罩14大致相同的結(jié)構(gòu)，另一方面不具備與第二防飛濺罩15相當(dāng)?shù)臉?gòu)成部件，另外在代替海綿塊12而具備輥刷22這一點(diǎn)與清洗工序10不同。

由此，在以下說(shuō)明中，主要記載與清洗工序10的不同點(diǎn)，省略與該清洗工序10相同的結(jié)構(gòu)的記載。

噴灑單元21具備貯存罐21A，在該貯存罐21A中預(yù)先貯存有規(guī)定的清洗水。

并且，貯存罐21A內(nèi)的清洗水通過(guò)泵21B從噴灑嘴21C噴出，分別向板玻璃G的上表面以及下表面散布。

之后，散布的大部分清洗水成為液滴而從板玻璃G滴下，在隔間20A的底部聚集，之后經(jīng)由過(guò)濾器21A1再次注入貯存罐21A內(nèi)。

換句話說(shuō)，形成漂洗工序20中使用的清洗水通過(guò)噴灑單元21在隔間20A內(nèi)循環(huán)的結(jié)構(gòu)。

輥刷22例如通過(guò)在圓柱形狀上植入由熱塑性樹(shù)脂構(gòu)成的大量毛而成，配設(shè)為沿水平方向上的、俯視時(shí)與搬運(yùn)方向正交的方向延伸，并且與搬運(yùn)中途的板玻璃G的平面(上表面或者下表面)緊密接觸。

具體地說(shuō)，輥刷22、22設(shè)置為與上下方向平行地配置的一對(duì)輥刷22、22，配設(shè)為在漂洗工序20內(nèi)的搬運(yùn)方向中央部沿厚度方向(上下方向)夾持搬運(yùn)中途的板玻璃G。

并且，一對(duì)輥刷22、22經(jīng)由連結(jié)機(jī)構(gòu)部(未圖示)與未圖示的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連結(jié)而被驅(qū)動(dòng)，各輥刷22構(gòu)成為能夠以軸心作為中心而旋轉(zhuǎn)。

由此，搬運(yùn)中途的板玻璃G被上下一對(duì)輥刷22、22刷洗上表面以及下表面，從而將被剝離的玻璃粉、粉塵等與清洗劑一起除去。

隨著依次通過(guò)由以上這種結(jié)構(gòu)構(gòu)成的清洗工序10以及漂洗工序20而進(jìn)行板玻璃G的清洗處理。

具體地說(shuō)，通過(guò)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)2搬入到清洗工序10內(nèi)的板玻璃G首先被上下一對(duì)擠壓輥13、13夾持。

由此，即便例如在清洗工序10的前工序中，液滴等附著于板玻璃G，也能夠在清洗工序10的之前除去該液滴等，能夠防止該液滴等隨著板玻璃G進(jìn)入清洗工序10內(nèi)。

在板玻璃G通過(guò)上下一對(duì)擠壓輥13、13后，通過(guò)噴灑單元11向板玻璃G散布清洗劑，并且通過(guò)海綿塊12擦拭清洗板玻璃G的上表面以及下表面。

由此，附著于板玻璃G的上表面以及下表面的玻璃粉、粉塵等被剝離。

需要說(shuō)明的是，利用分別設(shè)置在清洗工序10的上游側(cè)以及下游側(cè)的第二防飛濺罩15、15防止散布的清洗劑中的、與板玻璃G的上表面接觸而彈起的液滴向周圍飛濺，進(jìn)而抑制向清洗工序10的隔間10A外飛出。

在通過(guò)海綿塊12后，板玻璃G再次被上下一對(duì)擠壓輥13、13夾持，之后從清洗工序10搬出。

由此，能夠?qū)⑼ㄟ^(guò)噴灑單元11散布的清洗劑中的、成為液滴而附著于板玻璃G的大部分清洗劑在從清洗工序10搬出之前除去。

其結(jié)果是，能夠抑制與板玻璃G一起向清洗工序10的隔間10A外排出的清洗劑的量。

從清洗工序10搬出的板玻璃G接著被搬入漂洗工序20。

搬入到漂洗工序20內(nèi)的板玻璃G被上下一對(duì)擠壓輥23、23夾持。

由此，能夠在漂洗工序20的之前再次除去例如附著在板玻璃G上的清洗劑的液滴，能夠抑制隨著板玻璃G進(jìn)入漂洗工序20內(nèi)的清洗劑的量。

在板玻璃G通過(guò)上下一對(duì)擠壓輥23、23后，通過(guò)噴灑單元21向板玻璃G散布清洗水(純水)，并通過(guò)輥刷22刷洗板玻璃G的上表面以及下表面。

由此，將從板玻璃G的上表面以及下表面剝離并與清洗劑一起附著的玻璃粉、粉塵等從該板玻璃G除去。

在通過(guò)輥刷22后，板玻璃G再次被上下一對(duì)擠壓輥23、23夾持，之后從漂洗工序20搬出。

由此，能夠在從漂洗工序20搬出之前將通過(guò)噴灑單元11散布的清洗水中的、成為液滴而附著于板玻璃G的大部分清洗水除去。

其結(jié)果是，能夠抑制與板玻璃G一起向漂洗工序20的隔間20A外排出的清洗水的量。

這樣，對(duì)于通過(guò)噴灑單元21散布的清洗水，能夠利用分別設(shè)置在漂洗工序20的上游側(cè)以及下游側(cè)的擠壓輥23、23…抑制向該漂洗工序20的隔間20A外排出的清洗水的量。

因此，能夠防止漂洗工序20中使用的清洗水進(jìn)入前工序的清洗工序10內(nèi)。

從漂洗工序20搬出的板玻璃G向清洗裝置1的外部搬出，由此，基于該清洗裝置1的一系列的清洗處理結(jié)束。

工業(yè)實(shí)用性

本實(shí)用新型能夠適當(dāng)?shù)厥褂糜谶M(jìn)行如下清洗處理的玻璃板的清洗裝置，該清洗處理為：例如在液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置等平板顯示器所使用的板玻璃的制造工序中，將成形后的板玻璃切斷成矩形狀且規(guī)定大小，對(duì)其切斷端面實(shí)施研磨加工之后，用于使該板玻璃的表背面成為清潔的面的處理。