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晶片自動清洗裝置的制作方法

文檔序號:12532939閱讀:286來源:國知局
晶片自動清洗裝置的制作方法

本實用新型涉及一種清洗裝置,尤其涉及對晶片清洗裝置的改進(jìn)。



背景技術(shù):

目前,晶片的清洗大多采用人工清洗,步驟繁瑣,勞動強(qiáng)度大,由于人工清洗的時間以及步驟難以掌握,所以清洗的質(zhì)量參差不齊,降低產(chǎn)品合格率。目前使用手動開關(guān)水,需要人工每次手動打開閥門開水、關(guān)閉閥門關(guān)水的作業(yè),由于每個人精力集中度不一樣,大部分時間忘記關(guān)水,造成水資源的白白浪費(fèi),也有的員工由于忙其他的工作,忘記關(guān)水,浪費(fèi)水資源。

國家知識產(chǎn)權(quán)局2011-4-20公開了一項發(fā)明專利申請(申請?zhí)枺?01010571390X,名稱:水箱液位控制器)具體公開了一種水箱液位控制器液位控制系統(tǒng),采用雙閉環(huán)串級控制,對上下水箱的液位進(jìn)行控制,使下水箱液位保持恒定,液位傳感器對上下水管進(jìn)行實時控制,液位控制系統(tǒng)采用單神經(jīng)元自適應(yīng)PID控制器進(jìn)行控制,由主控和副控兩個回路,主調(diào)解器的控制對象為下水箱,副調(diào)解器的控制對象為上水箱,主調(diào)解器的輸出作為副調(diào)解器的給定,副調(diào)解器的輸出直接驅(qū)動電動調(diào)節(jié)閥,從而達(dá)到控制下水箱液位的目的;其優(yōu)點是,改善了系統(tǒng)的性能,取得了較好的效果。采用單神經(jīng)自適應(yīng)PID控制輸出幾乎沒有超調(diào),過渡時間短,動態(tài)響應(yīng)速度快。主要用于控制上水箱水位,節(jié)約水資源,同時不需要人工進(jìn)行開關(guān)操作,降低了工人的勞動強(qiáng)度,但是僅僅只有水位控制的功能,對清洗質(zhì)量難以保證這個問題并沒有提出有效的解決方案。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型針對以上問題,提供了一種自動控制水位,防止水資源浪費(fèi)、清洗質(zhì)量好、工人勞動強(qiáng)度小的晶片自動清洗裝置。

本實用新型的技術(shù)方案是:包括無蓋的上水槽和設(shè)有密封蓋的下水槽,所述下水槽置于所述上水槽的下方,所述上水槽的底部設(shè)有壓力傳感器,所述上水槽的側(cè)面設(shè)進(jìn)水口一、進(jìn)水口二和出水口,所述下水槽上設(shè)一個進(jìn)口和一個出口,所述進(jìn)口設(shè)在所述下水槽的密封蓋上;所述進(jìn)水口一的內(nèi)徑大于所述進(jìn)水口二的內(nèi)徑;

所述進(jìn)水口一和進(jìn)水口二分別通過管道與所述進(jìn)水泵的輸出口連通,所述出水口與所述進(jìn)口通過管道相連,所述出口與所述進(jìn)水泵的輸入口相連;

所述進(jìn)水口一上設(shè)進(jìn)水閥一,所述進(jìn)水口二上設(shè)進(jìn)水閥二,所述出水口上設(shè)出水閥;

還包括設(shè)在所述上水槽上的控制面板,所述控制面板上設(shè)有控制器、蜂鳴器和上位機(jī);

所述上位機(jī)與所述控制器連接;所述進(jìn)水閥一、進(jìn)水閥二、出水閥和蜂鳴器分別與所述控制器連接。

所述控制器包括中央處理器、信號變送模塊、IO端口模塊、計時器和存儲器,所述上位機(jī)與存儲器相連,向存儲器讀取或?qū)懭胄畔ⅲ?/p>

所述計時器與所述中央處理器相連;

所述中央處理器與所述存儲器相連,讀取存儲器中的信息;

所述IO端口模塊、信號變送模塊、中央處理器依次連接;

所述進(jìn)水閥一、進(jìn)水閥二、出水閥、壓力傳感器、蜂鳴器、進(jìn)水泵分別通過所述IO端口模塊和信號變送模塊與所述中央處理器連接。

所述上水槽的底部還設(shè)有電動機(jī),所述電動機(jī)的軸上套設(shè)有攪拌葉片,所述電動機(jī)通過IO端口模塊和信號變送模塊與所述中央處理器連接。

所述上水槽中還設(shè)有隔板,所述隔板設(shè)于所述攪拌葉片的上方且固定于所述上水槽的內(nèi)壁上;

所述隔板上設(shè)有若干通孔。

所述下水槽中設(shè)有濾網(wǎng),所述濾網(wǎng)固定于所述下水槽的內(nèi)壁上。

本實用新型利用壓力傳感器監(jiān)測上水槽中的水壓信息,從而能判斷出上水槽中的液位,使得液位自動控制,防止手動操作時出現(xiàn)的溢出現(xiàn)象,節(jié)約水資源。在沖洗晶片時利用流水沖洗,利用水流的沖力清洗晶片,實現(xiàn)自動沖洗,避免人工沖洗質(zhì)量參差不齊的弊端,提升了晶片的清洗效果,且降低了工人的勞動強(qiáng)度。降低了成本,為進(jìn)一步提升沖洗效果,在上水槽的底部設(shè)置了電動機(jī),用來攪動上水槽中的水,提升清洗效果,蜂鳴器的設(shè)置,即使工人遠(yuǎn)離清洗裝置,在清洗完成或者達(dá)到固定水位時,蜂鳴器的鳴叫聲也能夠提醒工人,從而做到無人值守,解放了勞動力。利用上水槽和下水槽的設(shè)計,使得清洗用水能夠循環(huán)利用,節(jié)約水資源。

附圖說明

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖,

圖2是本實用新型上水槽結(jié)構(gòu)示意圖,

圖3是本實用新型隔板結(jié)構(gòu)示意圖,

圖4是本實用新型電氣連接框圖;

圖中1是上水槽,11是進(jìn)水閥一,12是進(jìn)水閥二,13是電動機(jī),14是隔板,

2是下水槽,21是濾網(wǎng),22是出水閥,

3是進(jìn)水泵,4是壓力傳感器。

具體實施方式

本實用新型如圖1-4所示,包括無蓋的上水槽和設(shè)有密封蓋的下水槽,所述下水槽置于所述上水槽的下方,所述上水槽的底部設(shè)有壓力傳感器,壓力傳感器能夠獲取上水槽的壓力信息,從而能夠從壓力信息中判斷上水槽的液位,防止上水槽水位過高溢出,節(jié)約水資源。

所述上水槽的側(cè)面設(shè)進(jìn)水口一、進(jìn)水口二和出水口,所述下水槽上設(shè)一個進(jìn)口和一個出口,所述進(jìn)口設(shè)在所述下水槽的密封蓋上;所述進(jìn)水口一的內(nèi)徑大于所述進(jìn)水口二的內(nèi)徑;

所述進(jìn)水口一和進(jìn)水口二分別通過管道與所述進(jìn)水泵的輸出口連通,所述出水口與所述進(jìn)口通過管道相連,所述出口與所述進(jìn)水泵的輸入口相連。

進(jìn)水口一與進(jìn)水口二連通到同一個進(jìn)水泵上,在進(jìn)水泵輸出功率不便的前提下,因為進(jìn)水口一比進(jìn)水口二大(即進(jìn)水口一的內(nèi)徑大于進(jìn)水口二的內(nèi)徑),所以,在相同流量的條件下,進(jìn)水口二的流速大于金水口一的流速,這樣進(jìn)水口二的水流的沖力比進(jìn)水口一的沖力大。,在進(jìn)行清洗的時候,進(jìn)水口二進(jìn)水,同時出水口排水,進(jìn)水量與排水量相同,在保持液位不變的前提下,在進(jìn)水口二沖力的作用下使得待清洗的晶片在水中不處于靜止?fàn)顟B(tài),提升清洗能力。

還包括設(shè)在所述上水槽上的控制面板,所述控制面板上設(shè)有控制器、蜂鳴器和上位機(jī);所述上位機(jī)與所述控制器連接;所述進(jìn)水閥一、進(jìn)水閥二、出水閥和蜂鳴器分別與所述控制器連接。所述進(jìn)水口一上設(shè)進(jìn)水閥一,所述進(jìn)水口二上設(shè)進(jìn)水閥二,所述出水口上設(shè)出水閥;控制水流通斷。進(jìn)水閥一、進(jìn)水閥二和出水閥均可在控制器的控制下實現(xiàn)不同開度,從而控制水流量。

所述控制器包括中央處理器、信號變送模塊、IO端口模塊、計時器和存儲器,所述計時器與所述中央處理器相連,用于清洗時的計時。所述上位機(jī)與存儲器相連,向存儲器讀取或?qū)懭胄畔?;所述中央處理器與所述存儲器相連,讀取存儲器中的信息;所述IO端口模塊、信號變送模塊、中央處理器依次連接;所述進(jìn)水閥一、進(jìn)水閥二、出水閥、壓力傳感器、蜂鳴器、進(jìn)水泵分別通過所述IO端口模塊和信號變送模塊與所述中央處理器連接。在中央處理器的統(tǒng)一調(diào)度控制下實現(xiàn)不同開度,控制水流量。

所述上水槽的底部還設(shè)有電動機(jī),所述電動機(jī)的軸上套設(shè)有攪拌葉片,所述電動機(jī)通過IO端口模塊和信號變送模塊與所述中央處理器連接。為了增強(qiáng)清洗效果,可在上水槽一的底部設(shè)立電動機(jī)用來攪拌上水槽中的水,使得晶片上的殘渣在水流的作用下迅速清洗,請效果好且勞動強(qiáng)度低。

所述上水槽中還設(shè)有隔板,所述隔板設(shè)于所述攪拌葉片的上方且固定于所述上水槽的內(nèi)壁上;所述隔板上設(shè)有若干通孔。使得攪拌葉片在隔板之下待清洗的晶片置于隔板之上,在攪拌葉片攪拌的過程中由于隔板的作用,晶片與水流接觸而不和攪拌葉片接觸,避免攪拌葉片在高速旋轉(zhuǎn)的過程中損壞晶片。

所述下水槽中設(shè)有濾網(wǎng),所述濾網(wǎng)固定于所述下水槽的內(nèi)壁上。上水槽中清洗晶片的水通過管道流入下水槽中,在濾網(wǎng)的作用下水中的殘渣被過濾,使得清洗用水可以反復(fù)使用,避免浪費(fèi),節(jié)約了水資源。

晶片自動清洗裝置的工作原理是在控制器的作用下自動實現(xiàn)晶片的沖洗以及水位監(jiān)測的功能,從而降低了工人的勞動強(qiáng)度,節(jié)約水資源,提高晶片的清洗效率。在清洗裝置工作時,控制器首先讀取上位機(jī)寫入存儲器中的數(shù)據(jù),主要是預(yù)設(shè)的壓力數(shù)據(jù)和定時數(shù)據(jù),同時壓力傳感器開始工作,進(jìn)水閥一、進(jìn)水閥二在控制器的命令下開度最大,同時進(jìn)水泵工作,使得下水槽中預(yù)存的水通過進(jìn)水泵的作用輸入到上水槽中,給上水槽底面造成壓力,當(dāng)壓力傳感器壓力達(dá)到預(yù)設(shè)的壓力值時,控制器即控制進(jìn)水閥一關(guān)閉,而出水閥打開,且與進(jìn)水口二的流量一致,從而達(dá)到上水槽中的液位平衡。此時,控制器控制蜂鳴器鳴叫,提醒工人放入晶片,放入晶片時由于液位短暫升高,即壓力傳感器檢測到本來平穩(wěn)的壓力值達(dá)到短暫的峰值,此時中央處理器觸發(fā)計時器工作,裝置開始進(jìn)入清洗狀態(tài),晶片在進(jìn)水口二強(qiáng)力水流的帶動下與水流進(jìn)行動態(tài)接觸,提高了清洗效率且清洗效果好。為進(jìn)一步提高清洗效果,控制器可以控制設(shè)置在上水槽下方的電動機(jī)工作,增強(qiáng)流水的重新能力,從而提升清洗效果。同時節(jié)約了人力,降低工人的勞動強(qiáng)度,使得清洗的效率和清洗質(zhì)量均提高,避免現(xiàn)有技術(shù)中人工沖洗質(zhì)量不均勻的弊端。當(dāng)計時器記錄的時間與存儲器中預(yù)設(shè)的時間一致時,中央處理器再次觸發(fā)蜂鳴器,提醒工作人員清洗完成,同時進(jìn)水閥二關(guān)閉,出水閥開度最大,將上水槽中的水排入下水槽中,方便工人拾取清洗完成的晶片。同時,排入下水槽中的水經(jīng)過濾后,為下次清洗做好準(zhǔn)備。這樣清洗用的水能夠循環(huán)使用,最大程度的節(jié)約水資源。

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