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清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置的制作方法

文檔序號:12621627閱讀:327來源:國知局
清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置的制作方法

本發(fā)明屬于多晶硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置。



背景技術(shù):

在多晶硅片的制造過程中,需要把硅棒粘在一起形成硅錠,然后對硅錠進(jìn)行切片處理。硅錠在切片時,硅錠兩端的受力情況、漿料工作狀態(tài)和中間部分的工況不同:中間部分的品質(zhì)均一,而兩端部分(約3毫米)的硅錠往往不能達(dá)到質(zhì)量要求。因此,如果硅錠的兩端不能達(dá)到質(zhì)量要求,切片時就需要在硅錠的兩端留出3mm的寬度不再布線網(wǎng)切片,以保證中間部分的硅片質(zhì)量良好。這種硅錠兩端留下來的部分就被稱作線網(wǎng)厚片。

線網(wǎng)厚片是硅錠兩端約3mm厚156x156的厚片,由于在切片工藝中線網(wǎng)厚片粘了約2mm厚的膠層,且操作時兩端與手的接觸的也比較多,因此硅錠兩端留下來的線網(wǎng)厚片受到膠、漿料、手指等各種污染,需要對線網(wǎng)厚片進(jìn)行打磨、清洗以去除各種污染,處理干凈后才能作為回收料使用。

目前對于這種線網(wǎng)厚片,較為常見的是酸洗且采用手動酸洗處理:在對線網(wǎng)厚片的酸洗過程中,把一堆線網(wǎng)厚片放在籃子里,通過人工上下翻動酸洗籃子,線網(wǎng)厚片遇到酸液后粘連在一起,使酸液不能充分進(jìn)入到兩片線網(wǎng)厚片之間;而且線網(wǎng)厚片容易破碎,使整張的線網(wǎng)厚片變成破碎的小碎片,這就導(dǎo)致小碎片更容易黏連在一起,不能與酸液充分接觸,使破碎的片料表面積增大、污染程度增加,裝料時空隙率大、裝填密度下降,使酸洗處理達(dá)不到效果,使用后也往往造成鑄錠的雜質(zhì)高、少子壽命偏低,嚴(yán)重的甚至經(jīng)常出現(xiàn)因少子壽命低、黑陰影多而失效。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的線網(wǎng)厚片采用手動清洗容易導(dǎo)致破碎、增加污染面的技術(shù)問題,本發(fā)明提供一種清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置。

為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:

一種清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置,包括

籃筐,其具有開口端和與所述開口端相對的承載條,所述承載條上沿其長度方向設(shè)有多個承接槽;

至少一層檔條層,每層所述檔條層均由相平行的多個檔條形成,每個所述檔條的兩端分別連接于所述籃筐上,且屬于同一檔條層的相鄰的兩個所述檔條之間形成與所述承接槽一一對應(yīng)的插槽,以隔離并固定線網(wǎng)厚片。

作為優(yōu)選,所述承載條上的所述承接槽的形狀為底部寬度小于開口端寬度的梯形,從而使所述承載條呈鋸齒狀。

作為優(yōu)選,所述承載條間隔設(shè)置為位于同一平面內(nèi)的多個,且多個所述承載條上的多個承接槽一一對應(yīng)設(shè)置。

作為優(yōu)選,所述承載條的下方設(shè)有網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的籃筐底。

作為優(yōu)選,所述籃筐為由側(cè)棱圍成的矩形框架結(jié)構(gòu)。

作為進(jìn)一步優(yōu)選,與所述承載條相平行的兩個相對的側(cè)面上設(shè)置有與所述承載條平行的加強(qiáng)肋,所述加強(qiáng)肋的兩端分別連接于所述籃筐的側(cè)棱上,每個所述檔條的兩端分別連接于所述加強(qiáng)肋上。

作為優(yōu)選,所述檔條為直徑為2-3mm的圓柱體。

作為優(yōu)選,每層所述檔條層的多個檔條位于同一平面內(nèi)。

作為進(jìn)一步優(yōu)選,共設(shè)置兩層所述檔條層,且兩層所述檔條層的插槽一一對應(yīng)設(shè)置。

作為優(yōu)選,所述檔條、加強(qiáng)肋及籃筐的材質(zhì)均為塑料。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明所具有的有益效果是:本發(fā)明通過在籃筐內(nèi)設(shè)置檔條層和承載條,使籃筐可以承載多個互相隔離的線網(wǎng)厚片,因此能夠保證清洗過程中的線網(wǎng)厚片在籃筐內(nèi)不黏連、不破碎,以保證線網(wǎng)厚片免受更多的污染,且整個清洗過程能夠在自動清洗機(jī)上連續(xù)運(yùn)行,如酸洗機(jī),節(jié)省人力,提高了線網(wǎng)厚片處理的有效性。

附圖說明

圖1為本發(fā)明中的清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為圖1中的A部分的放大圖;

圖3為本發(fā)明中的清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置的檔條層的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4為本發(fā)明中的清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置中的具有籃筐底的籃筐的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中:

1-籃筐; 2-承載條;

21-承接槽;

3-檔條層; 31-插槽;

4-加強(qiáng)肋; 5-籃筐底;

6-線網(wǎng)厚片。

具體實施方式

為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好的理解本發(fā)明的技術(shù)方案,下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作詳細(xì)說明。

如圖1至圖4所示,本發(fā)明的實施例公開了一種清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置,包括籃筐1和至少一層檔條層3,籃筐1具有開口端和與開口端相對的承載條2,承載條2上沿其長度方向設(shè)有多個承接槽21;承載條2可間隔設(shè)置為位于同一平面內(nèi)的多個,承載條2間隔設(shè)置可以使酸液從間隔處漏下,以縮短酸液在承載條2上的停留時間。多個承載條2上的多個承接槽21一一對應(yīng)設(shè)置,以利于將線網(wǎng)厚片6插入承接槽21內(nèi)。每層檔條層3均由相平行的多個檔條形成,每個檔條的兩端分別連接于籃筐1上,且屬于同一檔條層3的相鄰的兩個檔條之間形成與承接槽21一一對應(yīng)的插槽31。其中檔條可以為立方體結(jié)構(gòu)或圓柱體結(jié)構(gòu),當(dāng)檔條為圓柱體結(jié)構(gòu),其直徑為2-3mm時,既能夠保證檔條的強(qiáng)度達(dá)到要求,又能夠形成更多的插槽31以隔離盡量多的線網(wǎng)厚片6。

本實施例中,如圖2所示,為了簡化加工工藝,承載條2上的承接槽21的形狀為底部寬度小于開口端寬度的梯形,從而使承載條2呈鋸齒狀,這樣線網(wǎng)厚片6只卡接于承接槽21的底部,承接槽21的上部兩側(cè)與線網(wǎng)厚片6之間還留有間隙,使線網(wǎng)厚片6能夠減少隱裂或破碎的產(chǎn)生。

本實施例中,如圖4所示,籃筐1具有網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的籃筐底5,籃筐底5位于承載條2的下方。通過設(shè)置網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的籃筐底5可以在線網(wǎng)厚片6產(chǎn)生隱裂時,產(chǎn)生的碎片落到籃筐底5上,而不會掉入清洗槽內(nèi)。

本實施例中,繼續(xù)結(jié)合圖1,籃筐1為框架結(jié)構(gòu),能夠降低整體重量,便于搬運(yùn);為了簡化加工工藝,籃筐1設(shè)計為由側(cè)棱圍成的矩形框架結(jié)構(gòu),與承載條2相平行的兩個相對的側(cè)面上分別設(shè)置有與承載條2平行的加強(qiáng)肋4,加強(qiáng)肋4的兩端分別連接于籃筐1的側(cè)棱上,以便能夠增加籃筐1的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度并使每個檔條的兩端分別連接于加強(qiáng)肋4上。

在籃筐1內(nèi)可設(shè)置多層檔條層3,多層檔條層3的插槽31均一一對應(yīng)設(shè)置,以利于插入線網(wǎng)厚片6。本實施例中,在籃筐1內(nèi)設(shè)置兩層檔條層3,既能夠保證線網(wǎng)厚片6更牢固地插接于插槽31和承接槽21內(nèi),又能使線網(wǎng)厚片6在插入時快速對準(zhǔn);其中屬于同一檔條層3的多個檔條既可以錯位分布,也可以使多個檔條位于同一平面內(nèi);當(dāng)多個檔條位于同一平面內(nèi)時,可以將檔條的兩端直接焊接于加強(qiáng)肋4上,因此能夠簡化加工工藝,降低制造成本。

本實施例中,當(dāng)該清洗線網(wǎng)厚片裝載裝置應(yīng)用于酸洗時,籃筐1、檔條及加強(qiáng)肋4的材質(zhì)均采用耐酸性腐蝕材質(zhì),可優(yōu)選四氟塑料,以降低成本。而當(dāng)清洗線網(wǎng)厚片裝載裝置應(yīng)用于堿洗、水洗、氧化劑氧化等方式時,籃筐1、檔條及加強(qiáng)肋4的材質(zhì)需采用能夠適應(yīng)其使用環(huán)境的材質(zhì)。

以酸洗機(jī)為例,本實施例中的清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置在使用時,可以在插槽31內(nèi)沿著檔條的長度方向插入一個或依次插入多個線網(wǎng)厚片6,并使線網(wǎng)厚片6的底部卡接于承接槽21內(nèi),然后將籃筐1搬運(yùn)到自動酸洗機(jī)的位于酸洗槽上方的運(yùn)輸帶上,以實現(xiàn)通過酸液自動酸洗,由于檔條的隔離作用和承接槽21的固定作用,使線網(wǎng)厚片6在籃筐1內(nèi)不黏連、不破碎,能夠保證線網(wǎng)厚片6免受更多的污染,且整個酸洗過程能夠在自動酸洗機(jī)上連續(xù)運(yùn)行,節(jié)省人力,提高了線網(wǎng)厚片6處理的有效性。

以上實施例僅為本發(fā)明的示例性實施例,不用于限制本發(fā)明,本發(fā)明的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本發(fā)明的實質(zhì)和保護(hù)范圍內(nèi),對本發(fā)明做出各種修改或等同替換,這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

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