技術(shù)編號(hào)：12621627
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于多晶硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種清洗用線網(wǎng)厚片裝載裝置。背景技術(shù)在多晶硅片的制造過程中，需要把硅棒粘在一起形成硅錠，然后對(duì)硅錠進(jìn)行切片處理。硅錠在切片時(shí)，硅錠兩端的受力情況、漿料工作狀態(tài)和中間部分的工況不同：中間部分的品質(zhì)均一，而兩端部分(約3毫米)的硅錠往往不能達(dá)到質(zhì)量要求。因此，如果硅錠的兩端不能達(dá)到質(zhì)量要求，切片時(shí)就需要在硅錠的兩端留出3mm的寬度不再布線網(wǎng)切片，以保證中間部分的硅片質(zhì)量良好。這種硅錠兩端留下來的部分就被稱作線網(wǎng)厚片。線網(wǎng)厚片是硅錠兩端約3mm厚156x156的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。