專利名稱：：從含磷酸水中回收磷酸的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種通過反滲透裝置從含磷酸水(phosphoricacid-containingwater)中回收磷酸的方法和裝置，特別是涉及一種適于從蝕刻液晶基板或晶片和其他電子設(shè)備后的含有磷酸的清洗排水中回收磷酸等有價(jià)值的物質(zhì)和作為處理水的純水的回收磷酸的方法和裝置。
背景技術(shù)：
：在液晶基板或晶片和其他電子設(shè)備的蝕刻中使用含有磷酸的蝕刻液。在蝕刻工序中產(chǎn)生的高濃度廢蝕刻液被回收再生利用，但用純水清洗蝕刻后的電子設(shè)備時(shí)，生成大量的低濃度清洗排水。在這樣的清洗排水中，除了蝕刻液成分磷酸、硝酸、醋酸、其他酸成分等以外，另外還含有由于蝕刻所溶出的金屬離子和其他雜質(zhì)，但大部分是純水。這樣的蝕刻清洗排水在之前是通過與其他排水混合而進(jìn)行處理的。通常的含有磷酸或氟酸的排水的處理技術(shù)可列舉混凝沉淀(coagulationsedimentation)處理。然而在進(jìn)行磷酸或氟酸的混凝沉淀處理時(shí)，由于使用大量的藥劑并且產(chǎn)生大量的污泥而產(chǎn)生處理成本上升、對(duì)環(huán)境的負(fù)擔(dān)增大等問題。另外，由于在混凝沉淀處理中大量添加的藥劑而使水溶性離子增加，隨之造成在進(jìn)行水回收時(shí)，由于反滲透膜處理的操作壓力上升而使動(dòng)力成本增大、處理水質(zhì)惡化、產(chǎn)生水垢且在離子交換法中再生劑的使用量增力口。在專利文獻(xiàn)l(日本專利公開2006-75820號(hào))中，利用離子交換樹脂來去除磷酸、硝酸等離子，回收純水和磷酸鹽。然而，在此方法中，回收為磷酸鹽(磷酸二氫鈉等)，但磷酸鹽基本無(wú)銷路，并且磷酸的鈉鹽的溶解度較小，因此在液狀下磷酸的含有率較低，搬運(yùn)困難，制成鉀鹽所需的苛性鉀比較昂貴。另外，揭示了為了使其成為磷酸二氫鈉而將液體通入到H型陽(yáng)離子樹脂中的方法，但存在如下缺點(diǎn)陽(yáng)離子樹脂的再生需消耗鹽酸等酸，且陰離子樹脂的再生中使用的氫氧化鈉也白白浪費(fèi)而被排出等。專利文獻(xiàn)1:日本專利公開2006-75820號(hào)本發(fā)明的課題在于提出一種回收磷酸的方法和裝置，可以利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成和操作，低成本、高效率地從含磷酸水中回收可以在高濃度的液狀下進(jìn)行搬運(yùn)、并且可以用作回收物的高純度磷酸。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是如下的從含磷酸離子水中回收磷酸的方法和裝置。(1)一種磷酸的回收方法，其是從含磷酸水中回收磷酸的方法，其特征在于在pH值為小于或等于3的條件下，將含磷酸水供給到反滲透裝置中進(jìn)行反滲透處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸來回收磷酸濃縮液。(2)—種磷酸的回收方法，其是從含磷酸水中回收磷酸的方法，其特征在于在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為l重量百分比-15重量百分比的條件下，將含磷酸水供給到反滲透裝置中進(jìn)行膜分離處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸來回收磷酸濃縮液。(3)根據(jù)上述(1)或(2)所述的方法，其特征在于具有將濃縮液室的濃縮液抽出后循環(huán)到濃縮液室中的過程，并在循環(huán)的濃縮液中添加被處理含磷酸水而進(jìn)行反滲透處理。(4)根據(jù)上述(1)或(2)所述的方法，其特征在于具有將濃縮液室的濃縮液抽出后循環(huán)到濃縮液室中的過程，并在循環(huán)的濃縮液中添加稀釋水而進(jìn)行膜分離處理。(5)根據(jù)上述(1)或(2)所述的方法，其特征在于在將含磷酸水供給到反滲透裝置之前，進(jìn)行預(yù)處理來去除包含陽(yáng)離子和/或陰離子的雜質(zhì)。(6)根據(jù)上述(1)或(2)所述的方法，其特征在于從反滲透裝置的滲透水中去除包含酸的雜質(zhì)而回收純水。(7)4艮據(jù)上述(6)所述的方法，其特征在于通過離子交換裝置進(jìn)行雜質(zhì)的去除。(8)根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于通過陰離子交換來從磷酸濃縮液中去除磷酸以外的酸而進(jìn)行純化。(9)根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于蒸發(fā)濃縮磷酸濃縮液，將水與揮發(fā)性成分一同去除而加以濃縮。(10)—種磷酸回收裝置，其是從含磷酸水中回收磷酸的裝置，其特征在于具有反滲透裝置，在pH值為小于或等于3的條件下對(duì)含磷酸水進(jìn)行膜分離處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸；原水供給部，在pH值為小于或等于3的條件下將含磷酸水供給到反滲5透膜裝置的濃縮液室側(cè)；滲透液抽出部，從反滲透裝置的滲透液室側(cè)抽出滲透液；以及濃縮磷酸液抽出部，從反滲透裝置的濃縮液室側(cè)抽出濃縮磷酸液。(11)一種磷酸回收裝置，其是從含磷酸水中回收磷酸的裝置，其特征在于具有反滲透裝置，在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為1重量百分比~15重量百分比的條件下對(duì)含磷酸水進(jìn)行膜分離處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸；含磷酸水供給部，在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為l重量百分比~15重量百分比的條件下將含磷酸水供給到反滲透裝置的濃縮液室側(cè)；滲透液抽出部，從反滲透裝置的滲透液室側(cè)抽出滲透液；濃縮磷酸液抽出部，從反滲透裝置的濃縮液室側(cè)抽出濃縮磷酸液；以及循環(huán)路徑，使從濃縮磷酸液抽出部中抽出的濃縮磷酸液循環(huán)到濃縮液室側(cè)。(12)根據(jù)上述(10)或(11)所述的裝置，其特征在于具有稀釋水供給部，在沿循環(huán)路徑循環(huán)的濃縮液中添加稀釋水。(13)根據(jù)上述(10)或(11)所述的裝置，其特征在于在原水供給部具有預(yù)處理裝置，去除包含陽(yáng)離子和/或陰離子的雜質(zhì)。(14)根據(jù)上述(10)或(11)所述的裝置，其特征在于具有雜質(zhì)去除裝置，從反滲透裝置的滲透水中去除包含酸的雜質(zhì)。(15)根據(jù)上述(14)所述的裝置，其特征在于雜質(zhì)去除裝置是離子交換裝置。(16)根據(jù)上述(10)或(11)所述的裝置，其特征在于具有純化裝置，通過陰離子交換從磷酸濃縮液中去除磷酸以外的酸。(17)根據(jù)上述(10)或(11)所述的裝置，其特征在于具有蒸發(fā)濃縮裝置，蒸發(fā)濃縮磷酸濃縮液，將揮發(fā)性成分與水一同去除而加以濃縮。在本發(fā)明中，成為處理對(duì)象的含磷酸水，只要是含有磷酸的水那么就可沒有限制地成為對(duì)象，優(yōu)選含有50mg/L~10000mg/L的磷酸離子、特別是含有50mg/L~2000mg/L的磷酸離子，pH值為小于或等于3、特別是pH值為小于或等于2.8，并且在任意情況下也可以pH值為大于或等于1、特別是pH值為大于或等于1.8的酸性水作為處理對(duì)象，除磷酸離子以外，還可以含有硝酸離子、醋酸離子等酸成分，其他陰離子以及金屬離子等陽(yáng)離子，其他雜質(zhì)。本發(fā)明特別適于從含有硝酸離子、醋酸離子等其他酸成分的含磷酸水中，去除硝酸離子、醋酸離子等其他酸成分而回收純度較高的磷酸。特別是作為處理對(duì)象而優(yōu)選的含磷酸水可以是在對(duì)液晶基板或晶片以及其他電子設(shè)備利用含磷酸蝕刻液進(jìn)行蝕刻后，進(jìn)行純水清洗時(shí)產(chǎn)生的低濃度清洗排水。這樣的蝕刻后的清洗排水的例子可以是含有50mg/L~2000mg/L的磷酸離子、10mg/L~500mg/L的硝酸離子、5mg/L~300mg/L的醋酸離子，且pH值為1.8-2.8的酸性水。在本發(fā)明中，為了從含磷酸水中回收磷酸，優(yōu)選在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為1重量百分比~15重量百分比的條件下，將含磷酸水供給到反滲透膜裝置中而進(jìn)行膜分離處理。并且在本發(fā)明中，在將含磷酸水供給到反滲透膜裝置中之前，優(yōu)選進(jìn)行預(yù)處理，去除含有陽(yáng)離子和/或陰離子的雜質(zhì)。此時(shí)，可以通過沉淀分離、過濾等除去固形物，通過陽(yáng)離子交換樹脂除去金屬離子等陽(yáng)離子，以及通過陰離子交換樹脂除去過氯酸或鉬酸、有機(jī)酸絡(luò)合物等陰離子等。作為這樣的預(yù)處理工序中使用的預(yù)處理裝置可根據(jù)上述目的而采用的通常的裝置。蝕刻后的清洗排水中含有的銦、鐵、鋁等金屬離子成為在膜分離工序中反滲透(R0)膜堵塞的原因，如果過氯酸或鉬酸等達(dá)到高濃度那么會(huì)成為膜損傷的原因，因此通過去除這些陽(yáng)離子和陰離子，可以防止膜堵塞或損傷等而優(yōu)選。陽(yáng)離子交換樹脂可以使用強(qiáng)酸性或弱酸性陽(yáng)離子交換樹脂，如果使用H型強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂來交換去除這些陽(yáng)離子，那么容易使處理液中的酸成分增加而調(diào)節(jié)為pH值小于或等于3，因此優(yōu)選。陽(yáng)離子交換樹脂也可以是螯合樹脂(chelateresin)。陰離子交換樹脂可以使用強(qiáng)堿性或弱堿性陽(yáng)離子交換樹脂。陰離子交換樹脂使用磷酸型等酸型，使磷酸、硝酸、醋酸等經(jīng)過而去除其他雜質(zhì)陰離子。在本發(fā)明中，膜分離工序中的反滲透裝置也稱為R0裝置，是以如下的方式構(gòu)成的由反滲透(R0)膜劃分為滲透液室和濃縮液室，在pH值為小于或等于3的條件下，并且優(yōu)選進(jìn)一步在磷酸濃度為1重量百分比~15重量百分比的條件下，將含磷酸水供給到濃縮液室側(cè)來進(jìn)行反滲透膜處理，使磷酸以外的酸和水一同滲透到滲透液室側(cè)，并且在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸。在反滲透膜裝置的濃縮液室側(cè)形成了供給含磷酸水的含磷酸水供給部、以及抽出濃縮磷酸液的濃縮磷酸液抽出部。在反滲透膜裝置的滲透液室側(cè)形成了抽出滲透液的滲透液抽出部。在濃縮磷酸液抽出部和含磷酸水供給部之間形成了循環(huán)路徑，使從濃縮磷酸液抽出部抽出的濃縮磷酸液循環(huán)到濃縮液室側(cè)。反滲透膜是利用滲透壓使水滲透，或者相反地加壓到比滲透壓更高的壓力來供給被處理液，通過反滲透使水滲透，另一方面并不使鹽分、有機(jī)物、其他溶質(zhì)滲透而將其阻止的半透膜。反滲透膜的材質(zhì)如果具有上述特性則并無(wú)特別限制，例如可列舉聚酰胺系滲透膜、聚酰亞胺系滲透膜、纖維素系滲透膜等，也可以是非對(duì)稱反滲透膜，優(yōu)選在微多孔性載體上形成了實(shí)質(zhì)上具有選擇分離性的活性表層的復(fù)合反滲透膜。反滲透裝置如果具有這樣的反滲透膜即可，優(yōu)選具有使反滲透膜和支撐機(jī)構(gòu)、集水機(jī)構(gòu)等一體化而成的膜組件(membranemodule)。膜組件并無(wú)特別限制，例如可列舉管狀膜組件、平面膜組件、螺旋膜組件、中空纖維膜(hollowfibermembrane)組件等。具有這些組件的反滲透裝置可以使用公知的反滲透裝置，優(yōu)選在低壓下操作的高滲透性反滲透裝置。本發(fā)明中，在膜分離工序中，在pH值為小于或等于3的條件下、并且優(yōu)選進(jìn)一步在磷酸濃度為1重量百分比~15重量百分比的條件下，進(jìn)一步優(yōu)選為2重量百分比~10重量百分比的條件下，將含磷酸水供給到反滲透膜裝置中來進(jìn)行膜分離(反滲透)處理。在pH值為小于或等于3的狀態(tài)下獲得含磷酸水時(shí)，可以并不調(diào)節(jié)pH值而直接供給到反滲透膜裝置中，也可以根據(jù)需要通過添加鹽酸、硝酸等pH值調(diào)節(jié)劑而調(diào)節(jié)pH值。在預(yù)處理中通過利用陽(yáng)離子交換樹脂去除金屬離子等陽(yáng)離子來調(diào)節(jié)為pH值為小于或等于3時(shí)也相同。在蝕刻液晶基板或晶片等之后的清洗排水，通常在pH值為小于或等于3的狀態(tài)下獲得，因此可以并不調(diào)節(jié)pH值而直接供給到反滲透膜裝置中，即使在調(diào)節(jié)pH值的情況下pH值調(diào)節(jié)劑的添加量也變少。在磷酸濃度為1重量百分比-15重量百分比下獲得含磷酸水時(shí)，可以直接進(jìn)行膜分離處理而進(jìn)行利用反滲透的分離，然而在磷酸濃度不足1重量百分比時(shí)，一面使?jié)饪s液通過循環(huán)路徑循環(huán)一面進(jìn)行膜分離處理，由此可以將其濃縮到磷酸濃度為大于或等于1重量百分比。或者可以通過另外設(shè)置的RO裝置等濃縮裝置預(yù)先進(jìn)行濃縮處理，也可以添加回收的高濃度磷酸液。通過一面使?jié)饪s液通過循環(huán)路徑循環(huán)一面進(jìn)行膜分離處理，濃縮到磷酸濃度為大于或等于1重量百分比時(shí)，也可以進(jìn)行一面使低濃度的含磷酸水循環(huán)一面進(jìn)行濃縮，在濃縮到磷酸濃度為大于或等于1重量百分比的時(shí)間點(diǎn)換入新的循環(huán)液的批次式處理；或者，優(yōu)選地一面使?jié)饪s到磷酸濃度為1重量百分比~15重量百分比的濃縮液循環(huán)，一面在循環(huán)的濃縮液中添加低濃度的被處理含磷酸水，每次抽出一部分濃縮液作為磷酸濃縮液，而進(jìn)行外觀上的總括式處理。在抽出濃縮液室的濃縮液后循環(huán)到濃縮液室中的過程中，通過在循環(huán)的濃縮液中添加稀釋水來進(jìn)行反滲透處理，可以提高磷酸以外的酸的去除率。稀釋水可以使用從滲透水中去除了雜質(zhì)的回收水。如果在pH值為小于或等于3的條件下將含磷酸水供給到反滲透裝置中來進(jìn)行膜分離處理，那么硝酸、醋酸等磷酸以外的酸與水一同從反滲透膜中滲透而轉(zhuǎn)移到滲透液室側(cè)，并從滲透液室側(cè)抽出。磷酸阻止反滲透膜的滲透，殘留在濃縮液室側(cè)而^皮濃縮，因此可從濃縮液室側(cè)以磷酸濃縮液的8形式回收。濃縮液室側(cè)的濃縮液也可以總括式通過，另外也可以^吏其循環(huán)而提高濃縮率。在pH值為小于或等于3(并且磷酸濃度不足1重量百分比)的條件下，將含磷酸水供給到反滲透裝置中來進(jìn)行膜分離處理時(shí)，可使供給到反滲透裝置中的含磷酸水的壓力為0.3MPa~3MPa、優(yōu)選為0.5MPa~1.5MPa。雖然在濃縮液中殘留了少量的磷酸以外的酸，但是如果在磷酸濃度為1重量百分比~15重量百分比的條件下進(jìn)行膜分離處理，那么磷酸以外的酸的阻止率會(huì)變低，且滲透率變高，因此可以回收純度的磷酸濃縮液。在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為1重量百分比15重量百分比的條件下，將含磷酸水供給到反滲透裝置中來進(jìn)行膜分離處理時(shí)，可使供給到反滲透裝置中的含磷酸水的壓力為0.3MPa~5MPa、優(yōu)選為0.5MPa~3MPa。如果將在反滲透膜滲透中的離子性物質(zhì)與非離子性物質(zhì)的滲透加以比較，那么可以說即使在相同程度的分子量的情況下，離子性物質(zhì)與非離子性物質(zhì)相比，離子性物質(zhì)的反滲透膜阻止率更容易受到壓倒性的阻止。然而，本發(fā)明者等人進(jìn)行了反復(fù)研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)與這樣的常識(shí)不同的是，如果在磷酸難以解離的pH值為小于或等于3的條件下進(jìn)行反滲透膜處理，那么磷酸與硝酸或醋酸相比，磷酸的阻止率壓倒性地變高，可以將硝酸或醋酸等磷酸以外的酸和磷酸分開而進(jìn)行回收。推測(cè)在較低的pH值下磷酸被反滲透膜較強(qiáng)地阻止的原因是磷酸變成重磷酸的形態(tài)而導(dǎo)致分子量變大，阻止率升高。在pH值為小于或等于3的條件下，硝酸、醋酸等磷酸以外的酸的阻止率較低，且在對(duì)通常的含磷酸蝕刻液進(jìn)行膜處理時(shí)的阻止率為小于或等于1%,然而磷酸濃度越高，則磷酸以外的酸的阻止率變得越低，在磷酸濃度為大于或等于1重量百分比時(shí)磷酸以外的酸的阻止率成為負(fù)值。其中，所謂阻止率是反滲透膜阻止溶質(zhì)滲透的比例，如下述式(1)所示。阻止率U)=(1一(V(dC2)1/2)xi00…(1)(式(1)中，C,是供給液入口的溶質(zhì)濃度、C2是濃縮液出口的溶質(zhì)濃度、C3是滲透液的溶質(zhì)濃度。)在式(1)中，((C,C2)1/2)表示幾何平均值(geometricaverage)，(C3/(C,C2)1/2)表示滲透液溶質(zhì)的濃度相對(duì)于濃縮液溶質(zhì)的(幾何)平均濃度的比。因此阻止率越低，表示溶質(zhì)越滲透到滲透液側(cè)。在通常的概念中容易認(rèn)為阻止率并不成為負(fù)值，但是在式(l)中由于式子的構(gòu)成而會(huì)存在阻止率成為負(fù)值的現(xiàn)象，這種情況表示滲透液的溶質(zhì)濃度高于濃縮液的溶質(zhì)濃度，溶質(zhì)以高滲透率滲透。當(dāng)磷酸濃度為大于或等于1重量百分比時(shí)磷酸以外的酸的阻止率成為負(fù)值，這意味著當(dāng)磷酸濃度為大于或等于1重量百分比、特別是大于或等于2重量百分比時(shí)，殘留在濃縮液中的磷酸以外的酸濃度變低，獲得純度較高的磷酸濃縮液。如果濃縮液的磷酸濃度過高，那么由于滲透壓的關(guān)系而變得不能進(jìn)行膜處理，因此濃縮液的磷酸濃度的上限為15重量百分比、優(yōu)選為10重量百分比。一面使這樣磷酸濃度的濃縮液循環(huán)，一面在循環(huán)的濃縮液中添加被處理含磷酸水，每次抽出一部分濃縮液作為磷酸濃縮液來進(jìn)行總括式處理，那么可以維持上述磷酸濃度而高效率地進(jìn)行處理。一面使?jié)饪s液循環(huán)一面進(jìn)行膜處理時(shí)，濃縮液的循環(huán)次數(shù)越多，那么磷酸以外的酸與反滲透膜接觸而從膜中滲透的機(jī)會(huì)變得越多，可以進(jìn)一步降低磷酸以外的酸在濃縮液中的濃度。此時(shí)如果磷酸濃度超過15重量百分比，那么滲透壓(操作壓)變得過高，變得不能進(jìn)行膜處理，因此通過在濃縮液中添加稀釋水進(jìn)行稀釋而使其循環(huán)，進(jìn)行反滲透處理，可以進(jìn)一步降低磷酸以外的酸的濃度，可以回收高純度的磷酸濃縮液。稀釋水可以循環(huán)使用從滲透水中去除了雜質(zhì)的回收水。從滲透液室側(cè)抽出的反滲透膜裝置的滲透水中含有滲透的磷酸、硝酸、醋酸等酸，因此通過利用雜質(zhì)去除裝置從反滲透膜裝置的滲透水中去除這些酸以及其他雜質(zhì)，可以回收純水。此時(shí)，雜質(zhì)去除裝置可采用使用了離子交換樹脂的離子交換裝置。使?jié)B透水通過陰離子交換樹脂層，可以去除這些酸、其他陰離子；另外使?jié)B透水通過陽(yáng)離子交換樹脂層和陰離子交換樹脂層、或它們的混床(mixedbed),可以去除醋酸或硝酸等磷酸以外的酸、其他陰離子以及殘留的陽(yáng)離子，從而回收純水。這里使用的陰離子交換樹脂優(yōu)選為OH型強(qiáng)堿性或弱堿性陰離子交換樹脂，另外，陽(yáng)離子交換樹脂優(yōu)選為H型強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂。在通常的離子交換裝置中，在離子交換樹脂的再生中，再生陽(yáng)離子交換樹脂時(shí)使用酸作為再生劑，再生陰離子交換樹脂時(shí)使用堿作為再生劑，但在這些的再生方法中存在必需再生劑，并且產(chǎn)生再生廢液等不利因素，因此優(yōu)選采用電再生式離子交換裝置。電再生式離子交換裝置是用陽(yáng)離子交換樹脂膜和陰離子交換樹脂膜劃分離子交換樹脂層，在兩端部配置了陰極和陽(yáng)極的裝置，與電滲析器相同，一面在陰極和陽(yáng)極上通電進(jìn)行再生一面通入液體而進(jìn)行離子交換。此時(shí)，可以無(wú)需用來再生的特別操作和再生劑，連續(xù)抽出酸以及其他雜質(zhì)而回收純水。在電再生式離子交換裝置中使用的離子交換樹脂僅僅是為了去除酸以及其他陰離子時(shí)，可以僅填充陰離子交換樹脂，在以去除殘留的其他陽(yáng)離子為目的的情況下，可以填充陽(yáng)離子交換樹脂和陰離子交換樹脂的混床。由于再生而排出的酸濃縮液成為磷酸、硝酸、醋酸等的濃縮液，因此可以通過生物脫氮法進(jìn)行處理。另一方面，從濃縮液室側(cè)抽出的磷酸濃縮液已經(jīng)去除了硝酸或醋酸等磷酸以外的酸中的大部分，可以進(jìn)一步進(jìn)行利用后處理的純化，用來將它們?nèi)コ岣呋厥樟姿嵋旱募兌?、濃度。利用后處理的純化可以是通過陰離子交換從磷酸濃縮液中去除磷酸以外的酸來進(jìn)行純化。此時(shí)，設(shè)置陰離子交換裝置作為純化裝置，使?jié)饪s液通過陰離子交換樹脂層，可以從濃縮液中去除硝酸等強(qiáng)酸離子，回收基本上不含硝酸等強(qiáng)酸離子的高濃度磷酸。在反滲透裝置中使?jié)饪s液循環(huán)而進(jìn)行濃縮時(shí)，純化裝置可以設(shè)置在反滲透裝置的濃縮液循環(huán)線路上，或者優(yōu)選設(shè)置在從循環(huán)線路中抽出濃縮液的線路上。陰離子交換樹脂優(yōu)選為0H型或P04型的強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂。在磷酸濃縮液中殘留著醋酸時(shí)，醋酸并不能被陰離子交換樹脂完全去除，為了去除醋酸等揮發(fā)性成分來提高回收磷酸液的純度、濃度，可以在蒸發(fā)濃縮裝置中蒸發(fā)濃縮磷酸濃縮液，將揮發(fā)性成分與水一同去除而進(jìn)行濃縮，回收基本上不含醋酸等揮發(fā)性成分的高濃度磷酸。蒸發(fā)濃縮裝置可以使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器等公知的裝置。通過上述方式而回收的磷酸可以用作回收物，且可以在高濃度的液狀下搬運(yùn)，并且可以回收為高純度的濃縮磷酸。此時(shí)，在pH值為小于或等于3的條件下進(jìn)行反滲透處理，作為原水的含磷酸水通常在pH值為小于或等于3的酸性狀態(tài)下獲得，因此可以通過注入鹽酸等pH調(diào)節(jié)劑而容易地調(diào)節(jié)。另外，用以回收的方法和裝置，可以利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成和操作，在pH值為小于或等于3、根據(jù)情況進(jìn)一步在磷酸濃度為1重量百分比-l5重量百分比的條件下進(jìn)行反滲透處理，由此回收磷酸濃縮液。通過此方式可以減少再生劑的使用量、廢棄物的生成量，降低處理成本，回收高純度的濃縮磷酸和純水。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，通過在pH值為小于或等于3的條件下，將含磷酸水供給到反滲透裝置中來進(jìn)行反滲透處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸來回收磷酸濃縮液，可以利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成和操作，低成本、高效率地從含磷酸水中回收可以在高濃度的液狀下進(jìn)行搬運(yùn)、并且可以用作回收物的高純度磷酸。另外，根據(jù)本發(fā)明，通過在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為l重量百分比~15重量百分比的條件下將含磷酸水供給到反滲透裝置中進(jìn)行反滲透處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸，回收磷酸濃縮液，可以利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成和操作，進(jìn)一步低成本、高效率地從含磷酸水中回收可以在高濃度的液狀下進(jìn)行搬運(yùn)、并且可以用作回收物的高純度磷酸。圖1是一個(gè)實(shí)施形態(tài)中的磷酸回收方法和裝置的流程圖。圖2是其他實(shí)施形態(tài)中的磷酸回收方法和裝置的流程圖。圖3是表示實(shí)施例3的結(jié)果的坐標(biāo)圖。1:原水槽la:原水2:陽(yáng)離子交換塔2a:陽(yáng)離子交換樹脂層3:濃縮液槽3a:濃縮液4:反滲透裝置4a:反滲透膜4b:滲透液室4c:濃縮液室5:陰離子交換塔5a、5c:陰離子交換樹脂層5b:第2陰離子交換塔6:電再生式離子交換裝置6a:脫鹽室6b:濃縮室6c:陰離子交換膜6d、6f:陽(yáng)離子交換膜6e:陰極室6g:陽(yáng)極室6h、6i:混床式離子交換層7:回收水槽7a:回收水8:蒸發(fā)濃縮裝置9:回收磷酸槽9a:回收磷酸液10:生物脫氮裝置P:加壓泵P2:泵Ll、L2、L3、L4、L5、L6、L7、L8、L9、LIO、Lll、L12、L13、L14、L15、L16、L17、L18、L21、L22、L23、L24、L25、L26、L27、L28、L31、L32、L33、L34、L35、L36、L37、L38、L39、L40、L41、L42、L43:線路具體實(shí)施例方式通過圖1對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施形態(tài)加以說明。圖l是一個(gè)實(shí)施形態(tài)中的磷酸回收裝置的流程圖。l是原水槽，用來蓄積原水la。2是陽(yáng)離子交換塔，具有陽(yáng)離子交換樹脂層2a。3是濃縮液槽，用來蓄積濃縮液3a。4是反滲透裝置，由反滲透膜4a劃分為滲透液室4b和濃縮液室4c。5是陰離子交換塔，具有陰離子交換樹脂層5a。7是回收水槽，用來蓄積回收水7a。5b是第2陰離子交換塔，具有陰離子交換樹脂層5c。8是蒸發(fā)濃縮裝置，通過蒸餾使揮發(fā)性成分與水一同蒸發(fā)而進(jìn)行分離，濃縮磷酸液。9是回收磷酸槽，用來蓄積回收磷酸液9a。在圖1中，P是加壓泵，與原水槽l、陽(yáng)離子交換塔2和濃縮液槽3—同構(gòu)成原水供給部，其中陽(yáng)離子交換塔2構(gòu)成預(yù)處理裝置。陰離子交換塔5和回收水槽7構(gòu)成滲透液抽出部，其中陰離子交換塔5構(gòu)成雜質(zhì)去除裝置。另外，第2陰離子交換塔5b、蒸發(fā)濃縮裝置8和回收磷酸槽9構(gòu)成濃縮磷酸液抽出部，其中第2陰離子交換塔5b和蒸發(fā)濃縮裝置8構(gòu)成純化裝置。將在上述磷酸回收裝置中，進(jìn)行了預(yù)處理工序來利用沉淀分離、過濾等去除雜質(zhì)的原水la(含磷酸離子水)從線路L1導(dǎo)入到原水槽1中。將原水槽l中的原水la從線路L2中導(dǎo)入到陽(yáng)離子交換塔2中并通過，在陽(yáng)離子交換樹脂層2a進(jìn)行陽(yáng)離子交換，將原水中含有的鋁、銦、其他金屬離子等陽(yáng)離子交換吸著而去除。優(yōu)選在陽(yáng)離子交換樹脂層2a中使用H型強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂。在陽(yáng)離子交換樹脂層2a達(dá)到飽和時(shí)，從線路L3通入含有鹽酸等酸的再生劑來使其再生，從線路L4中回收溶離的陽(yáng)離子。將陽(yáng)離子交換塔2的處理水即脫陽(yáng)離子水從線路L5導(dǎo)入到濃縮液槽3中而蓄積。通常在pH值為小于或等于3的酸性狀態(tài)下獲得作為原水的含磷酸水，并且即使在pH值較高的情況下，通過作為預(yù)處理的陽(yáng)離子交換來生成酸而使其成為pH值為小于或等于3的狀態(tài)，因此在pH值為小于或等于3的條件下進(jìn)行反滲透處理時(shí)，可以直接供給到反滲透裝置4中。在對(duì)pH值較高的原水進(jìn)行pH值調(diào)節(jié)時(shí)，在pH值接近3的狀態(tài)下獲得含磷酸水，因此可以通過在線路L5或濃縮液槽3中注入鹽酸等pH調(diào)節(jié)劑來容易地進(jìn)行調(diào)節(jié)。濃縮液槽3的脫陽(yáng)離子水(濃縮液3a)由加壓泵P進(jìn)行加壓而從線路L6中導(dǎo)入到反滲透裝置4的濃縮液室4c中，通過反滲透膜4a進(jìn)行反滲透處理，使硝酸、醋酸等磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室仆側(cè)，在濃縮液室4c側(cè)濃縮磷酸。如果對(duì)含磷酸水進(jìn)行中和，在中性的狀態(tài)下進(jìn)行反滲透處理，那么硝酸、醋酸等磷酸以外的酸的鹽和磷酸的鹽都不能從反滲透膜4a滲透過，在濃縮液室4c側(cè)濃縮。相對(duì)于此，如果并不對(duì)含磷酸水進(jìn)行中和，在pH值為小于或等于3的條件下導(dǎo)入到反滲透裝置4中而進(jìn)行反滲透處理，那么由于磷酸被反滲透膜"阻止?jié)B透而在濃縮液室化側(cè)濃縮，硝酸、醋酸等磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室4b側(cè)而分離。導(dǎo)入到反滲透裝置4中的含磷酸水被脫陽(yáng)離子，因此并不堵塞反滲透膜4a，可以將反滲透處理的效率維持為較高水平。滲透到反滲透裝置4的滲透液室4b中的滲透液從線路L7導(dǎo)入到陰離子交換塔5中，通過陰離子交換樹脂層5a而進(jìn)行陰離子交換。由此通過交換吸著而去除滲透液中含有的硝酸、醋酸等磷酸離子以外的陰離子來進(jìn)行純化，將處理水從線路L8中抽出到回收水槽7中，作為回收水"7a而蓄積。在陰離子交換塔5中使用填充了OH型強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂的陰離子交換樹脂層5a，也可以采用和H型陽(yáng)離子交換樹脂的多層或混床式，去除陰離子以外的雜質(zhì)。陰離子交換樹脂層5a在磷酸離子以外的陰離子達(dá)到飽和時(shí)，可以從線路L9中通入氫氧化鈉、氫氧化鉀等的2重量百分比~10重量百分比的堿性水溶液之類的含有堿的再生劑來使其再生，將溶離的鹽從線路LIO排出。在使用陽(yáng)離子交換樹脂時(shí)，可以通入含有酸的再生劑而使其再生。13在反滲透裝置4的濃縮液室4c濃縮的濃縮液從線路Lll中導(dǎo)入到第2陰離子交換塔5b中而通過，且在陰離子交換樹脂層5c進(jìn)行陰離子交換，將濃縮液中殘留的硝酸、醋酸等磷酸離子以外的陰離子交換吸著而去除，以進(jìn)行純化。此時(shí)，陰離子交換樹脂層5c使用0H型或P04型的強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂。陰離子交換樹脂對(duì)于硝酸等磷酸離子以外的陰離子的選擇性，在低pH值范圍內(nèi)高于磷酸離子，因此容易與磷酸離子分離。陰離子交換樹脂層5c在磷酸離子以外的陰離子達(dá)到飽和時(shí)，從線路L12通入含有堿的再生劑而使其再生，將溶離的鹽從線路L13排出。在第2陰離子交換塔5b中已經(jīng)去除磷酸離子以外的陰離子的磷酸溶液尚且含有醋酸等揮發(fā)性成分時(shí)，從線路L14中導(dǎo)入到蒸發(fā)濃縮裝置8中進(jìn)行蒸餾，使揮發(fā)性成分與水一同蒸發(fā)而將其分離，從線路L15中排出。在蒸發(fā)濃縮裝置8中除去揮發(fā)性成分并濃縮的磷酸濃縮液，從線路L16導(dǎo)入到回收磷酸槽9中，作為回收磷酸液9a而蓄積。蒸發(fā)濃縮裝置8可以使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器等公知的蒸發(fā)濃縮裝置。反滲透裝置4的濃縮液室4c中的濃縮液可以從線路L17或L18循環(huán)到濃縮液槽3中來提高濃縮率，并蓄積為濃縮液3a。利用上述方法回收的磷酸液9a可用作回收物，且由于是在高濃度的液狀下進(jìn)行回收而可以進(jìn)行實(shí)用上的搬運(yùn)，并且可以作為高純度的濃縮磷酸而回收。此時(shí)，雖然在pH值為小于或等于3的條件下進(jìn)行反滲透處理，但是通常在pH值為小于或等于3的酸性狀態(tài)下獲得作為原水的含磷酸水，并且即使在pH值較高的情況下，也可以通過作為預(yù)處理的陽(yáng)離子交換來使其成為pH值為小于或等于3的狀態(tài)，因此在pH值為小于或等于3的條件下進(jìn)行處理時(shí)，可以直接供給，而無(wú)需特別地調(diào)節(jié)pH值。酸、堿等藥劑僅限于陽(yáng)離子交換塔2中的陽(yáng)離子用再生劑、以及陰離子交換塔5和第2陰離子交換塔5b中的陰離子用再生劑，無(wú)需用于回收磷酸的藥劑。另外，用以回收的方法和裝置，可以通過利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成和操作，在pH值為小于或等于3的條件下進(jìn)行反滲透處理，作為磷酸濃縮液而回收。由此可以減少再生劑的使用量、廢棄物的生成量，降低處理成本，回收高純度的濃縮磷酸和純水。如上所述，在pH值為小于或等于3的條件下，將含磷酸水供給到反滲透裝置4中，利用反滲透膜4a進(jìn)行反滲透處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室4b側(cè)，在濃縮液室4c側(cè)濃縮磷酸，回收純水和磷酸濃縮液，由此可以利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成和操作，低成本、高效率地從含磷酸水中回收可以在高濃度的液狀下進(jìn)行搬運(yùn)、并且可以用作回收物的高純度磷酸。接著通過圖2對(duì)本發(fā)明的其他實(shí)施形態(tài)加以說明。圖2是其他實(shí)施形態(tài)中的磷酸回收方法和裝置的流程圖。l是原水槽，用以蓄積原水la。2是陽(yáng)離子交換塔，具有陽(yáng)離子交換樹脂層2a。3是濃縮液槽，用來蓄積濃縮液3a。4是反滲透裝置，由反滲透膜4a劃分為滲透液室4b和濃縮液室4c。5是陰離子交換塔，具有陰離子交換樹脂層5a。6是電再生式離子交換裝置，由陰離子交換膜6c劃分為脫鹽室6a和濃縮室6b，在脫鹽室6a的外側(cè)由陽(yáng)離子交換膜6d劃分出陰極室6e，在濃縮室6b的外側(cè)由陽(yáng)離子交換膜6f劃分出陽(yáng)極室6g，在脫鹽室6a和濃縮室6b設(shè)置著混床式離子交換層6h、6i,在陰極室6e設(shè)置著陰極(-)，在陽(yáng)極室6g設(shè)置著陽(yáng)極(+)。7是回收水槽，用來蓄積回收水7a。8是蒸發(fā)濃縮裝置，通過蒸餾使揮發(fā)性成分與水一同蒸發(fā)而進(jìn)行分離，并濃縮磷酸液。9是回收磷酸槽，用來蓄積回收磷酸液9a。1Q是生物脫氮裝置。在圖2中，P是加壓泵，與原水槽l、陽(yáng)離子交換塔2、陰離子交換塔5和濃縮液槽4一同構(gòu)成原水供給部，其中陽(yáng)離子交換塔2和陰離子交換塔5構(gòu)成預(yù)處理裝置。電再生式離子交換裝置6和回收水槽7構(gòu)成滲透液抽出部，其中電再生式離子交換裝置6構(gòu)成雜質(zhì)去除裝置。另外，蒸發(fā)濃縮裝置8和回收磷酸槽9構(gòu)成濃縮磷酸液抽出部，其中蒸發(fā)濃縮裝置8構(gòu)成純化裝置。將在上述磷酸回收裝置中，進(jìn)行了預(yù)處理工序而通過沉淀分離、過濾等去除雜質(zhì)的原水la(含磷酸離子水)從線路L21導(dǎo)入到原水槽1中。原水槽l中的原水la從線路L22導(dǎo)入到陽(yáng)離子交換塔2中并通過，在陽(yáng)離子交換樹脂層2a進(jìn)行陽(yáng)離子交換，將原水中含有的鋁或銦、其他金屬離子等陽(yáng)離子交換吸著而去除。優(yōu)選在陽(yáng)離子交換樹脂層2a中使用H型強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂。在陽(yáng)離子交換樹脂層2a達(dá)到飽和時(shí)，從線路L23中通入含有鹽酸等酸的再生劑而使其再生，從線路L24回收溶離的陽(yáng)離子。將陽(yáng)離子交換塔2中的處理水即脫陽(yáng)離子水從線路L25中導(dǎo)入到陰離子交換塔5中并通過，在陰離子交換樹脂層5a進(jìn)行陰離子交換，將原水中含有的過氯酸或鉬酸、有機(jī)酸絡(luò)合物等陰離子交換吸著而去除。優(yōu)選在陰離子交換樹脂層5a中使用磷酸型的強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂。當(dāng)陰離子交換樹脂層5a達(dá)到飽和時(shí)，從線路L26中通入含有氫氧化鈉等堿的再生劑使其再生，從線路L27回收溶離的陰離子。其后，從線路L26中通入磷酸等酸，使陰離子交換樹脂成為磷酸型。將陰離子交換塔5中的處理水從線路L28導(dǎo)入到濃縮液槽3中。通，在pH值為小于或等于3的酸性狀態(tài)下獲得作為原水的含磷酸水，于在pH值為小于或等于3的條件下進(jìn)行反滲透處理時(shí)，可以直接供給到反滲透裝置4中。在對(duì)pH較高的原水進(jìn)行pH值調(diào)節(jié)時(shí)，在pH值接近3的狀態(tài)下獲得含磷酸水，因此可以通過在線路L28或濃縮液槽3中注入鹽酸等pH調(diào)節(jié)劑而容易地進(jìn)行調(diào)節(jié)。濃縮液槽3中的含磷酸水由加壓泵P進(jìn)行加壓而從線路L31中導(dǎo)入到反滲透裝置4的濃縮液室4c中，通過反滲透膜4a進(jìn)行膜分離(反滲透處理)，使硝酸、醋酸等磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室4b側(cè)，在濃縮液室4c側(cè)濃縮磷酸。如果將含磷酸水中和而在中性的狀態(tài)下進(jìn)行反滲透處理，那么硝酸、醋酸等磷酸以外的酸的鹽和磷酸鹽均不能從反滲透膜4a滲透過，在濃縮液室4c側(cè)濃縮。相對(duì)于此，如果并不對(duì)含磷酸水進(jìn)行中和，在pH值為小于或等于3的條件下導(dǎo)入到反滲透裝置4中來進(jìn)行反滲透處理，那么由于磷酸被反滲透膜4a阻止?jié)B透，而使磷酸在濃縮液室4c側(cè)濃縮，硝酸、醋酸等磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室4b側(cè)而分離。導(dǎo)入到反滲透裝置4中的含磷酸水被脫陽(yáng)離子，因此并不堵塞反滲透膜4a，可以將反滲透處理的效率維持為較高水平。從線路L28獲得的作為原水的含磷酸水以磷酸濃度為1重量百分比15重量百分比獲得時(shí)，可以直接進(jìn)行膜分離處理而利用反滲透進(jìn)行分離，在磷酸濃度不足1重量百分比時(shí)，將從濃縮液室4c中通過線路L32抽出的濃縮液，一面從循環(huán)路徑即線路L33循環(huán)到濃縮液槽3中一面進(jìn)行膜分離處理，由此可濃縮到磷酸濃度為大于或等于1重量百分比。此時(shí)，可以進(jìn)行一面使低濃度的含磷酸水循環(huán)一面進(jìn)行濃縮，在濃縮到磷酸濃度為1重量百分比或1重量百分比以上的時(shí)間點(diǎn)換入循環(huán)液的批次式處理；或者，優(yōu)選地一面使?jié)饪s到磷酸濃度為1重量百分比-15重量百分比的濃縮液循環(huán)，一面在循環(huán)的濃縮液中添加低濃度的被處理含磷酸水，從線路L34中每次抽出一部分濃縮液作為磷酸濃縮液，而進(jìn)行外觀上的總括式處理。滲透到反滲透裝置4的滲透液室4b中的滲透液從線路L35導(dǎo)入到電再生式離子交換裝置6的脫鹽室6a中，一面在陽(yáng)極(+)和陰極(-)之間施加電壓而進(jìn)行電再生，一面通過離子交換進(jìn)行脫鹽。由此通過交換吸著而去除滲透液中含有的磷酸、硝酸、醋酸等陰離子以及殘留的陽(yáng)離子來進(jìn)行純化，將處理水從線路L36抽出到回收水槽7中，作為回收水7a而蓄積。在脫鹽室6a中，吸著在混床式離子交換層6h的酸等陰離子通過陰離子交換膜6c而滲透到濃縮室6b中，吸著在混床式離子交換層6i上，因此一面使?jié)B透液的一部分從線路L37流入到濃縮室6b中，一面利用再生使吸著的陰離子溶離，從線路L38送到生物脫氮裝置10中進(jìn)行生物脫氮處理。吸著在混床式離子交換層6h的陽(yáng)離子滲透到陰極室6e中，因此電極液從陽(yáng)極室6g通過線路L39流到陰極室6e，從線路L40排出。在反滲透裝置4的濃縮液室4c濃縮、從線路L34抽出的濃縮液的一部分導(dǎo)入到蒸發(fā)濃縮裝置8中進(jìn)行蒸餾，使醋酸等揮發(fā)性成分與水一同蒸發(fā)而使其分離，從線路L41排出。在蒸發(fā)濃縮裝置8中去除揮發(fā)性成分并加以濃縮的磷酸濃縮液，從線路L42導(dǎo)入到回收磷酸槽9中，作為回收磷酸液9a而蓄積。蒸發(fā)濃縮裝置8可以使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器等公知的蒸發(fā)濃縮裝置。通過在含磷酸水的pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為1重量百分比~15重量百分比的條件下進(jìn)行反滲透裝置4的膜分離(反滲透處理)，可以使磷酸以外的酸以高滲透率滲透，提高磷酸的純度，然而為了進(jìn)一步降低濃縮液中磷酸以外的酸的濃度，通過使?jié)饪s液循環(huán)而增多膜分離的機(jī)會(huì)，可以增多這些酸滲透的機(jī)會(huì)而提高滲透率。此時(shí)，也引起水的滲透，因此循環(huán)液被濃縮。因此，通過在循環(huán)的濃縮液中添加稀釋水而進(jìn)行反滲透處理，可以提高磷酸以外的酸的去除率。稀釋水可以使用從滲透水中去除了雜質(zhì)的回收水。因此，在圖2中，從回收水槽7中將回收水7a用泵P2通過線路L43供給到濃縮液槽3中作為稀釋水，稀釋循環(huán)的濃縮液3a而進(jìn)行反滲透處理，由此可以進(jìn)一步降低磷酸以外的酸的濃度，可以回收高純度的磷酸濃縮液。供給到濃縮液槽3中的回收水7a的量是循環(huán)的濃縮液維持磷酸濃度為1重量百分比~15重量百分比的條件的量。由此可以防止循環(huán)的濃縮液高度濃縮所造成的磷酸以外的酸的滲透效率降低，并且可以提高濃縮液的磷酸純度。通過上述方法回收的回收磷酸液9a可以用作回收物，且由于是在高濃度的液狀下進(jìn)行回收而可以進(jìn)行實(shí)用上的搬運(yùn)，并且可以作為高純度的濃縮磷酸而回收。此時(shí)，在pH值為小于或等于3的條件下進(jìn)行反滲透處理，通常在pH值為小于或等于3的酸性狀態(tài)下獲得作為原水的含磷酸水，因此可以直接供給，無(wú)需特別地調(diào)節(jié)pH值。酸、堿等藥劑僅限于陽(yáng)離子交換塔2中的陽(yáng)離子用再生劑、以及陰離子交換塔3中的陰離子用再生劑，無(wú)需用于回收磷酸的藥劑以及用于純化滲透水的藥劑。另外，用以回收的方法和裝置，可以通過利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成和操作，在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為1重量百分比-15重量百分比的條件下進(jìn)行反滲透處理，而回收磷酸濃縮液。由此可以減少藥劑的使用量、廢棄物的生成量，降低處理成本，回收高純度的濃縮磷酸和純水。在圖2的磷酸回收方法和裝置中，在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為1重量百分比-15重量百分比的條件下將含磷酸水供給到反滲透裝置4中，通過反滲透膜4a進(jìn)行反滲透處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室4b側(cè)，在濃縮液室4c側(cè)濃縮磷酸，回收純水和磷酸濃縮液，由此可以利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成和操作，低成本、高效率地從含磷酸水中回收可以在高濃度的液狀下進(jìn)行搬運(yùn)、并且可以用作回收物的高純度磷酸。另外，本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)并非限定于圖1、圖2，例如在圖2中，為了進(jìn)一步提高回收磷酸液的純度，也可以在線路L34的蒸發(fā)濃縮裝置8的前段設(shè)置第2陰離子交換塔。另外，在本實(shí)施形態(tài)中，純化來自反滲透裝置417的滲透液的電再生式離子交換裝置6使用的是被陰離子交換膜6c劃分為脫鹽室6a和濃縮室6b的筒易電再生式離子交換裝置，也可以使用在陰極室和陽(yáng)極室之間交互排列陰離子交換膜和陽(yáng)離子交換膜而形成脫鹽室和濃縮室，并且在該脫鹽室中填充了離子交換體的通常的電脫離子裝置。實(shí)施例以下，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例加以說明。在各例中，y。除了表示阻止率以及特別的指示以外，表示重量百分比。[實(shí)施例1、比較例l]:<反滲透處理>:將含有磷酸550mg/L、硝酸50mg/L、醋酸50mg/L的電導(dǎo)率為122mS/m、pH值為2.4的原水，在0.7MPa下通入到日東電工股份有限公司制造的反滲透膜ES-20中進(jìn)行反滲透處理，獲得濃縮了6倍的濃縮液(鹽水)(實(shí)施例l)。另一方面，在原水中注入氫氧化鈉水溶液將pH值調(diào)節(jié)為6,同樣地進(jìn)行試驗(yàn)(比較例1)。將磷酸、硝酸、醋酸的阻止率的結(jié)果表示于表1中，可以知道在實(shí)施例1中磷酸被去除，硝酸、醋酸滲透而分離，相對(duì)于此，在比較例l中均被去除，并沒有分離。表1去除率<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>:<反滲透處理>:將含有磷酸550mg/L、硝酸50mg/L、醋酸50mg/L的電導(dǎo)率為122mS/m、pH值為2，4的原水，在0.7MPa下通入到日東電工股份有限公司制造的反滲透膜ES-2Q中進(jìn)行反滲透處理，獲得濃縮了5倍的濃縮液(鹽水)(參考例l)。另一方面，在原水中注入氫氧化鈉水溶液將pH值調(diào)節(jié)為6,同樣地進(jìn)行試驗(yàn)(參考例2)。將磷酸、硝酸、醋酸的阻止率的結(jié)果表示于表3中，可以知道在參考例1中磷酸被阻止，硝酸、醋酸滲透，相對(duì)于此，在參考例2中均被阻止，并沒有滲透。表3阻止率<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>[實(shí)施例3]:在參考例1中，將提高濃縮液的循環(huán)次數(shù)時(shí)濃縮液中的磷酸濃度變化和硝酸的阻止率的關(guān)系表示于圖3中。由圖3可以知道濃縮液中的磷酸濃度為1重量百分比或1重量百分比以上時(shí)硝酸的阻止率變成負(fù)值而直線性下降，特別是在磷酸濃度為2重量百分比或2重量百分比以下、進(jìn)一步在磷酸濃度為4重量百分比或4重量百分比以下時(shí)促進(jìn)硝酸的滲透。關(guān)于醋酸，也獲得同樣的結(jié)果。[實(shí)施例4、實(shí)施例5]:在圖2的裝置中，使用和參考例1中相同的反滲透膜，將和參考例1中相同的含磷酸水用填充了H型強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂(三菱化學(xué)股份有限公司制造、DiaionSK1B)的陽(yáng)離子交換塔和填充了磷酸型弱堿性陰離子交換樹脂(三菱化學(xué)股份有限公司制造、DiaionWA30)的陰離子交換塔進(jìn)行處理后，供給到反滲透裝置中進(jìn)行濃縮液的稀釋，一面使其循環(huán)，一面進(jìn)行膜分離而濃縮100倍(實(shí)施例4);另外將滲透液在電再生式離子交換裝置中脫鹽后形成的回收水作為稀釋水，供給到濃縮液槽中(供給原水量的20體積百分比)，稀釋濃縮液，一面使其循環(huán)一面進(jìn)行膜分離而濃縮100倍(實(shí)施例5)，將這兩種情況的濃縮液中的溶質(zhì)濃度表示于表4中。假設(shè)將參考例1中所得的濃縮液通過蒸餾而整體濃縮100倍，將根據(jù)計(jì)算求出的溶質(zhì)濃度作為參考例1一并記入表中。表4溶質(zhì)濃度<table>tableseeoriginaldocumentpage20</column></row><table>由表4可知，通過在濃縮液中的磷酸濃度成為大于或等于1重量百分比的條件進(jìn)行反滲透處理，濃縮液中的磷酸以外的酸濃度降低，進(jìn)一步稀釋濃縮液一面使其循環(huán)一面進(jìn)行反滲透處理，由此可以進(jìn)一步降低濃縮液中的磷酸以外的酸濃度，回收高純度的磷酸濃縮液。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明可用于從含磷酸水中回收磷酸和純水的方法和裝置，特別是適于從蝕刻液晶基板或晶片和其他電子設(shè)備后的清洗排水中回收磷酸等有價(jià)值的物質(zhì)和作為處理水的純水的回收磷酸的方法和裝置中。權(quán)利要求1、一種磷酸的回收方法，其是從含磷酸水中回收磷酸的方法，其特征在于在pH值為小于或等于3的條件下，將含磷酸水供給到反滲透裝置中進(jìn)行反滲透處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸來回收磷酸濃縮液。2、一種磷酸的回收方法，其是從含磷酸水中回收磷酸的方法，其特征在于在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為1重量百分比15重量百分比的條件下，將含磷酸水供給到反滲透裝置中進(jìn)行膜分離處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸來回收磷酸濃縮液。3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于具有將濃縮液室的濃縮液抽出后循環(huán)到濃縮液室中的過程，并在循環(huán)的濃縮液中添加被處理含磷酸水而進(jìn)行反滲透處理。4、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于具有將濃縮液室的濃縮液抽出后循環(huán)到濃縮液室中的過程，并在循環(huán)的濃縮液中添加稀釋水而進(jìn)行膜分離處理。5、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于在將含磷酸水供給到反滲透裝置之前，進(jìn)行預(yù)處理來去除包含陽(yáng)離子和/或陰離子的雜質(zhì)。6、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于從反滲透裝置的滲透水中去除包含酸的雜質(zhì)而回收純水。7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于通過離子交換裝置進(jìn)行雜質(zhì)的去除。8、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于通過陰離子交換來從磷酸濃縮液中去除磷酸以外的酸而進(jìn)行純化。9、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于蒸發(fā)濃縮磷酸濃縮液，將水與揮發(fā)性成分一同去除而加以濃縮。10、—種磷酸回收裝置，其是從含磷酸水中回收磷酸的裝置，其特征在于具有反滲透裝置，在pH值為小于或等于3的條件下，對(duì)含磷酸水進(jìn)行膜分離處理，4吏磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮原水供給部，在pH值為小于或等于3的條件下，將含磷酸水供給到反滲透膜裝置的濃縮液室側(cè)；滲透液抽出部，從反滲透裝置的滲透液室側(cè)抽出滲透液；以及濃縮磷酸液抽出部，從反滲透裝置的濃縮液室側(cè)抽出濃縮磷酸液。11、一種磷酸回收裝置，其是從含磷酸水中回收磷酸的裝置，其特征在于具有反滲透裝置，在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為1重量百分比-15重量百分比的條件下，對(duì)含磷酸水進(jìn)行膜分離處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸；含磷酸水供給部，在pH值為小于或等于3、且磷酸濃度為1重量百分比~15重量百分比的條件下，將含磷酸水供給到反滲透裝置的濃縮液室側(cè)；滲透液抽出部，從反滲透裝置的滲透液室側(cè)抽出滲透液；濃縮磷酸液抽出部，從反滲透裝置的濃縮液室側(cè)抽出濃縮磷酸液；以及循環(huán)路徑，使從濃縮磷酸液抽出部中抽出的濃縮磷酸液循環(huán)到濃縮液室側(cè)。12、根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的裝置，其特征在于具有稀釋水供給部，在沿循環(huán)路徑循環(huán)的濃縮液中添加稀釋水。13、根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的裝置，其特征在于在原水供給部具有預(yù)處理裝置，去除包含陽(yáng)離子和/或陰離子的雜質(zhì)。14、根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的裝置，其特征在于具有雜質(zhì)去除裝置，從反滲透裝置的滲透水中去除包含酸的雜質(zhì)。15、根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于雜質(zhì)去除裝置是離子交換裝置。16、根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的裝置，其特征在于具有純化裝置，通過陰離子交換從磷酸濃縮液中去除磷酸以外的酸。17、根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的裝置，其特征在于具有蒸發(fā)濃縮裝置，蒸發(fā)濃縮磷酸濃縮液，將揮發(fā)性成分與水一同去除而加以濃縮。全文摘要一種回收磷酸的方法和裝置，可以利用簡(jiǎn)單的構(gòu)成和操作，低成本、高效率地從含磷酸水中回收可以在高濃度的液狀下進(jìn)行搬運(yùn)、并且可以用作回收物的高純度磷酸。在對(duì)含磷酸水進(jìn)行了陽(yáng)離子交換和陰離子交換后，在pH值為小于或等于3的條件下、優(yōu)選為pH值為小于或等于3且磷酸濃度為1重量百分比～15重量百分比的條件下供給到反滲透裝置中進(jìn)行反滲透處理，使磷酸以外的酸與水一同滲透到滲透液室側(cè)，在濃縮液室側(cè)濃縮磷酸，在離子交換裝置中對(duì)滲透液進(jìn)行脫鹽而回收純水，對(duì)于濃縮液，在蒸發(fā)濃縮裝置中將水與揮發(fā)性成分一同去除而回收磷酸濃縮液。文檔編號(hào)C02F1/04GK101511452SQ20078003192公開日2009年8月19日申請(qǐng)日期2007年9月27日優(yōu)先權(quán)日2006年9月28日發(fā)明者一柳直人,織田信博申請(qǐng)人:栗田工業(yè)株式會(huì)社