技術(shù)編號：4834639
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及 一 種通過反滲透裝置從含磷酸水(phosphoric acid - containing water)中回收磷酸的方法和裝置，特別是涉及一種適于 從蝕刻液晶基板或晶片和其他電子設(shè)備后的含有磷酸的清洗排水中回收磷 酸等有價值的物質(zhì)和作為處理水的純水的回收磷酸的方法和裝置。背景技術(shù)在液晶基板或晶片和其他電子設(shè)備的蝕刻中使用含有磷酸的蝕刻液。 在蝕刻工序中產(chǎn)生的高濃度廢蝕刻液被回收再生利用，但用純水清洗蝕刻 后的電子設(shè)備時，生成大量的低濃度清洗排水。...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。