技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及干燥設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域公開(kāi)了一種干燥裝置，用于基板去光阻設(shè)備，包括：機(jī)架和設(shè)置于機(jī)架上的傳送機(jī)構(gòu)；該干燥裝置還包括翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括固定于機(jī)架上的用于翻轉(zhuǎn)基板的轉(zhuǎn)動(dòng)部，以及設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)部上的用于固定基板的固定部；該干燥機(jī)構(gòu)還包括位于由多個(gè)第一傳送輥直線排列形成的傳送路徑上的風(fēng)刀，風(fēng)刀朝向第一傳送輥。上述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)將被固定在翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上的待干燥的基板旋轉(zhuǎn)大于或者等于90°，將基板上的色組之間狹縫當(dāng)中的一些殘留物可以傾倒一部分出來(lái)，再經(jīng)過(guò)風(fēng)刀，使后續(xù)鍍銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜的時(shí)候，不會(huì)因?yàn)樵讵M縫中存在殘留物而導(dǎo)致銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜與金屬層接觸不良，從而提高了產(chǎn)品的合格率。

技術(shù)研發(fā)人員：簡(jiǎn)重光
受保護(hù)的技術(shù)使用者：惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
文檔號(hào)碼：201720201988
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.03
技術(shù)公布日：2017.10.27