1.干燥裝置，用于基板去光阻設(shè)備，其特征在于，包括：
機(jī)架；
傳送機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述機(jī)架上，所述傳送機(jī)構(gòu)包括用于傳送所述基板且呈直線排列的多個(gè)第一傳送輥，以及用于驅(qū)動所述第一傳送輥轉(zhuǎn)動的第一驅(qū)動電機(jī)，所述第一驅(qū)動電機(jī)與所述第一傳送輥傳動連接；
翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括固定于所述機(jī)架上的用于翻轉(zhuǎn)所述基板的轉(zhuǎn)動部，以及設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動部上的用于固定所述基板的固定部；
干燥機(jī)構(gòu)，所述干燥機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述機(jī)架上并位于所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一側(cè)，所述干燥機(jī)構(gòu)包括位于由所述多個(gè)第一傳送輥直線排列形成的傳送路徑上的風(fēng)刀，所述風(fēng)刀朝向所述第一傳送輥。
2.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動部包括設(shè)置于所述機(jī)架上的轉(zhuǎn)軸、固定于所述轉(zhuǎn)軸上的轉(zhuǎn)動臺，以及用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動臺翻轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動驅(qū)動件，所述轉(zhuǎn)軸與所述轉(zhuǎn)動驅(qū)動件傳動連接；
所述固定部包括固定于所述轉(zhuǎn)動臺上的用于固定所述基板的夾具，以及用于驅(qū)動所述夾具的固定驅(qū)動件，所述夾具與所述固定驅(qū)動件傳動連接。
3.如權(quán)利要求2所述的干燥裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸呈水平布置，且所述轉(zhuǎn)軸與所述傳送路徑垂直。
4.如權(quán)利要求2所述的干燥裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動臺的翻轉(zhuǎn)角度大于或者等于90°。
5.如權(quán)利要求2所述的干燥裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動臺還包括多個(gè)呈直線排列的用于傳送所述基板且位于所述傳送路徑上的第二傳送輥，以及用于驅(qū)動所述第二傳送輥轉(zhuǎn)動的第二驅(qū)動電機(jī)，所述第二驅(qū)動電機(jī)與所述第二傳送輥傳動連接。
6.如權(quán)利要求2至5任一項(xiàng)所述的干燥裝置，其特征在于，所述固定驅(qū)動件為氣缸或液壓缸。
7.如權(quán)利要求2至5任一項(xiàng)所述的干燥裝置，其特征在于，所述夾具包括相對設(shè)置的第一夾具模塊和第二夾具模塊。
8.如權(quán)利要求7所述的干燥裝置，其特征在于，所述第一夾具模塊包括固定于所述轉(zhuǎn)動臺的第一固定件和固定于所述第一固定件上的第一轉(zhuǎn)動件；所述第二夾具模塊包括固定于所述轉(zhuǎn)動臺的第二固定件和固定于所述第二固定件上的第二轉(zhuǎn)動件。
9.如權(quán)利要求8所述的干燥裝置，其特征在于，所述第一固定件和所述第二固定件呈“一”字型，所述第一轉(zhuǎn)動件和所述第二轉(zhuǎn)動件呈“L”字型。
10.如權(quán)利要求8或9所述的干燥裝置，其特征在于，所述第一轉(zhuǎn)動件和所述第二轉(zhuǎn)動件翻轉(zhuǎn)的角度范圍為0°至180°。