專利名稱：在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造方法和制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造方法和制造裝置。在表面 具有微細(xì)的凹凸圖案的膜作為光學(xué)介質(zhì)或者光學(xué)制品的形成材料使用
背景技術(shù)：
作為導(dǎo)光板、光擴(kuò)散板、透鏡等光學(xué)介質(zhì)中使用的光學(xué)膜的制造方法，已知有這樣 的方法將膜按壓到在表面形成有微細(xì)的凹凸圖案的原板的表面，從而將上述原板的微細(xì) 的凹凸圖案轉(zhuǎn)印到該膜的表面上。在專利文獻(xiàn)1或者專利文獻(xiàn)2中提出了這樣的光學(xué)制品 的制造方法作為膜，使用長條的樹脂膜，將該長條的膜的預(yù)定的長度部分作為被處理膜， 并間歇地供給到在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的轉(zhuǎn)印板(模具)的該表面，將所述被處理膜 按壓到所述轉(zhuǎn)印板的表面上，從而將所述圖案轉(zhuǎn)印到所述被處理膜的表面上，在轉(zhuǎn)印完成 之后，將成形有所述圖案的所述被處理膜作為處理過的膜，通過沿著所述轉(zhuǎn)印板的表面的 縱長方向牽拉該處理過的膜，將該處理過的膜從所述轉(zhuǎn)印板的表面剝離，領(lǐng)取剝離下來的 被處理膜，并且將新的預(yù)定長度的被處理膜供給到所述轉(zhuǎn)印板的所述表面。該公知的方法具有將所述處理過的膜從所述轉(zhuǎn)印板的表面剝離的剝離工序；以 及將所述新的預(yù)定長度的被處理膜供給到所述轉(zhuǎn)印板的表面的供給工序。所述剝離工序是 使成形有圖案的膜從形成有圖案的表面即模具脫模的工序，因此，有時(shí)稱為脫模工序。在該 公知的方法中，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生以下問題。S卩，在該剝離工序或者脫模工序中，由于所應(yīng)用的膜的特性和模具表面的脫模劑 的消耗，存在膜貼在模具表面從而使模具表面破損或者在膜轉(zhuǎn)印面上留下傷痕那樣的脫模 痕跡的問題。在供給工序中，由于膜的厚度和特性的影響，存在供給到模具表面的膜產(chǎn)生褶皺、 在圖案成形面產(chǎn)生褶皺狀的成形不良這樣的問題。另外，供給到處于加熱狀態(tài)下的模具表面的膜在被按壓到所述轉(zhuǎn)印板的表面之 前，在其局部部分溫度升高而軟化，軟化的部分由于作用于膜的張力而伸長，從而存在在圖 案成形面產(chǎn)生局部的起伏的問題。該局部的起伏的產(chǎn)生在剛性低的膜和厚度薄的膜中顯著 地發(fā)生。專利文獻(xiàn)1 日本特開2005-199455號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2005-310286號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是在為了解決上述問題的手法的研究過程中而獲得的。本發(fā)明的目的之一 在于，當(dāng)將在長條的膜中的預(yù)定的長度部分成形有微細(xì)的凹凸圖案的處理過的膜從模具表 面剝離，并將所述長條的膜的下一預(yù)定長度部分的新的被處理膜沿著所述模具表面進(jìn)行供 給時(shí)，通過沿著模具表面無褶皺地供給該新的被處理膜，來抑制圖案的成形不良。另外本發(fā) 明的另一目的在于，在將被處理膜向模具表面按壓之前，還抑制該膜的由于局部的熱負(fù)荷所產(chǎn)生的起伏。本發(fā)明的在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造方法如下所述。一種在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造方法包括以下工序(Ι-a)膜供給工序，將從位于上游側(cè)的長條的膜的供給源取出的被處理膜以預(yù)定 長度量間歇地供給到具有微細(xì)的凹凸圖案的模具表面；(Ι-b)圖案成形工序，通過將在上述膜供給工序中供給到上述模具表面的上述被 處理膜按壓到上述模具表面上，來將上述模具表面的上述圖案轉(zhuǎn)印到上述被處理膜的表 面，從而在上述被處理膜的表面成形微細(xì)的凹凸圖案；(1-c)膜剝離工序，將在上述圖案成形工序中在表面成形了上述圖案的處理過的 膜從上述模具表面剝離；(Ι-d)膜輸送工序，將在上述膜剝離工序從上 述模具表面剝離的上述處理過的膜 輸送到位于下游側(cè)的長條的膜的收納源，在上述圖案成形工序中成形的處理過的膜在上述膜剝離工序中從上述模具表面 剝離，然后，接下來將被處理的膜在上述膜供給工序中以預(yù)定長度量間歇地供給到上述模 具表面，與此相對應(yīng)，上述處理過的膜在上述膜輸送工序中被輸送到上述膜的收納源，由 此，以預(yù)定的長度量依次反復(fù)地制造上述處理過的膜，其特征在于，(Ι-e)上述膜剝離工序中的上述處理過的膜的剝離通過使把持有上述處理過的膜 的膜把持機(jī)構(gòu)從上述處理過的膜的縱長方向的下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)來進(jìn)行，(Ι-f)上述膜供給工序中的上述被處理膜的供給與防褶皺產(chǎn)生機(jī)構(gòu)的從上述被處 理膜的縱長方向的上游側(cè)向下游側(cè)的移動(dòng)一起進(jìn)行，其中上述防褶皺產(chǎn)生機(jī)構(gòu)用于防止供 給到上述模具表面的上述被處理膜中產(chǎn)生褶皺。上述本發(fā)明的膜的制造方法優(yōu)選為以下三個(gè)實(shí)施方式中的任一個(gè)。膜的制造方法的第一實(shí)施方式在上述本發(fā)明的膜的制造方法中，(2-a)上述膜把持機(jī)構(gòu)由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥與上述膜的上述圖 案成形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥與上述膜的上述圖案成形的面接觸，在該組合 中，上述主輥和上述輔助輥各自的輥軸朝向上述膜的寬度方向，上述主輥和上述輔助輥隔 開以上述膜能夠通過的間隔彼此平行地配置，而且上述主輥和上述輔助輥分別是能夠旋轉(zhuǎn) 的輥，(2-b)上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助輥上，由此形成上 述主輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)，在形成該把持狀態(tài)之后，上述膜把持 機(jī)構(gòu)沿著上述模具表面從上述下游側(cè)向上述上游側(cè)移動(dòng)，由此，上述處理過的膜被從上述 模具表面剝離，(2-c)在上述膜把持機(jī)構(gòu)在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止期間，通過上述主輥 和上述輔助輥旋轉(zhuǎn)，使得經(jīng)上述主輥和上述輔助輥向上述下游側(cè)進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的 被處理膜的供給，在該新的預(yù)定長度的被處理膜的供給完成后，(2-d)使用上述主輥?zhàn)鳛樯鲜龇礼薨櫘a(chǎn)生機(jī)構(gòu)，(2-e)在上述膜把持機(jī)構(gòu)沿著上述模具表面從上述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)期間，使上述主輥一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此，一邊防止上述被處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模 具表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。膜的制造方法的第二實(shí)施方式在上述本發(fā)明的膜的制造方法中，(3-a)上述膜把持機(jī)構(gòu)由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥與上述膜的上述圖 案成形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥與上述膜的上述圖案成形的面接觸，在該組合 中，上述主輥和上述輔助輥各自的輥軸朝向上述膜的寬度方向，上述主輥和上述輔助輥以 上述膜能夠通過的間隔彼此平行地配置，而且上述主輥和上述輔助輥分別是能夠旋轉(zhuǎn)的 輥，(3-b)上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助輥上，由此形成上 述主輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)，在形成該把持狀態(tài)之后，上述膜把持 機(jī)構(gòu)沿著上述模具表面從上述下游側(cè)向上述上游側(cè)移動(dòng)，由此，上述處理過的膜被從上述 模具表面剝離，(3-c)在上述膜把持機(jī)構(gòu)在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止期間，通過上述主輥 和上述輔助輥旋轉(zhuǎn)，使得經(jīng)上述主輥和上述輔助輥向上述下游側(cè)進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的 被處理膜的供給，在該新的預(yù)定長度的被處理膜的供給完成后，(3-d)使用能夠旋轉(zhuǎn)的褶皺展平輥來作為上述防褶皺產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，該褶皺展平輥在 上述主輥的上述上游側(cè)與上述主輥隔開間隔地平行配置，并且該褶皺展平輥與上述膜的上 述圖案成形的面的相反側(cè)的面接觸，(3-e)在上述膜把持機(jī)構(gòu)沿著上述模具表面從上述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)期 間，使上述褶皺展平輥跟隨上述膜把持機(jī)構(gòu)的移動(dòng)而一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此，一邊防止上 述被處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模具表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。膜的制造方法的第三實(shí)施方式在上述本發(fā)明的膜的制造方法中，(4-a)上述膜把持機(jī)構(gòu)由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥與上述膜的上述圖 案成形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥與上述膜的上述圖案成形的面接觸，在該組合 中，上述主輥和上述輔助輥各自的輥軸朝向上述膜的寬度方向，上述主輥和上述輔助輥以 上述膜能夠通過的間隔平行地配置，而且上述主輥和上述輔助輥分別是能夠旋轉(zhuǎn)的輥，(4-b)上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助輥上，由此形成上 述主輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)，在形成該把持狀態(tài)之后，上述膜把持 機(jī)構(gòu)沿著上述模具表面從上述下游側(cè)向上述上游側(cè)移動(dòng)，由此，上述處理過的膜被從上述 模具表面剝離，(4-c)在上述膜把持機(jī)構(gòu)在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止之后，在上述主輥的 旋轉(zhuǎn)被阻止的狀態(tài)下，通過上述膜把持機(jī)構(gòu)從上述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)，由此來進(jìn)行 上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給，(4-d)使用能夠旋轉(zhuǎn)的褶皺展平輥來作為上述防褶皺產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，該褶皺展平輥在 上述主輥的上述上游側(cè)與上述主輥隔開間隔地平行配置，并且該褶皺展平輥與上述膜的上 述圖案成形的面的相反側(cè)的面接觸，(4-e)在上述被處理膜的供給中，在上述膜把持機(jī)構(gòu)沿著上述模具表面從上述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)期間，使上述褶皺展平輥跟隨上述膜把持機(jī)構(gòu)的移動(dòng)而一邊旋轉(zhuǎn)一 邊移動(dòng)，由此，一邊防止上述被處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模具表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長 度的被處理膜的供給。本發(fā)明的在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造裝置如下所述。一種在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造裝置，其包括(5-a)在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的模具；(5-b)從位于上游側(cè)的長條的膜的供給源取出被處理膜的膜取出裝置；(5-c)將上述被處理膜按壓到上述模具的表面上的膜按壓裝置；(5-d)膜剝離裝置，其用于將具有微細(xì)的凹凸圖案的處理過的膜從上述模具的表 面剝離，該處理過的膜是這樣成形的利用上述膜按壓裝置將由上述膜取出裝置取出并間 歇地供給到上述模具的表面的被處理膜按壓到上述模具的表面，從而將上述模具的表面的 上述微細(xì)的凹凸圖案轉(zhuǎn)印到上述被處理膜的表面上；(5-e)膜領(lǐng)取裝置，其將通過該膜剝離裝置從上述模具的表面剝離并且輸送到下 游側(cè)的上述處理過的膜領(lǐng)取到位于下游側(cè)的上述長條的膜的收納源；利用上述膜剝離裝置將通過上述膜按壓裝置處理過的處理過的膜從上述模具表 面剝離，利用上述膜剝離裝置將通過上述膜取出裝置取出的被處理膜以預(yù)定長度供給到上 述模具表面，與此相對應(yīng)，通過將上述處理過的膜輸送至上述膜領(lǐng)取裝置，由此依次反復(fù)地 制造上述預(yù)定長度的處理過的膜，其特征在于，(5-f)上述膜剝離裝置包括膜把持裝置，該膜把持裝置在把持上述處理過的膜的 狀態(tài)下沿著上述處理過的膜的縱長方向從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)，并且(5-g)上述膜把持裝置包括防褶皺產(chǎn)生裝置，該防褶皺產(chǎn)生裝置用于防止供給到 上述模具的表面的上述被處理膜中產(chǎn)生褶皺，上述被處理膜的供給與該防褶皺產(chǎn)生裝置的 從上述被處理膜的縱長方向的上游側(cè)向下游側(cè)的移動(dòng)一起進(jìn)行。上述本發(fā)明的膜的制造裝置優(yōu)選是以下三個(gè)實(shí)施方式中的任一個(gè)。膜的制造裝置的第一方式在上述本發(fā)明的膜的制造裝置中，(6-a)上述膜把持裝置由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥能夠與上述膜的上 述圖案成形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥能夠與上述膜的上述圖案成形的面接觸，(6-b)上述主輥的輥軸和上述輔助輥的輥軸分別朝向上述膜的寬度方向，上述主 輥和上述輔助輥隔開上述膜能夠通過的間隔地平行配置，(6-c)上述主輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于主輥支承臂，(6-d)上述輔助輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于輔助輥支承臂，(6-e)上述主輥支承臂和上述輔助輥支承臂固定于底座，(6-f)該底座以能夠沿著上述膜的縱長方向移動(dòng)的方式支承于沿著上述膜的縱長 方向設(shè)置的底座移動(dòng)引導(dǎo)件，并且(6-g)相對于上述膜把持裝置裝備有使該膜把持裝置沿著上述底座移動(dòng)弓I導(dǎo)件移 動(dòng)的膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)，(6-h)在上述膜把持裝置中，上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助輥上，由此，在形成了上述主輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)的狀態(tài)下， 利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)，由此來將上述處 理過的膜從上述模具的表面剝離，(6-i)在上述膜把持裝置在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止期間，通過上述主輥 和上述輔助輥的旋轉(zhuǎn)，經(jīng)上述主輥和上述輔助輥向上述下游側(cè)進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被 處理膜的供給，(6-j)使用上述主輥?zhàn)鳛樯鲜龇礼薨櫘a(chǎn)生裝置，(6-k)在利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置沿著上述模具的表面從 上述上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)期間，使上述主輥一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此，一邊防止經(jīng)上述主輥 和上述輔助輥已經(jīng)向上述下游側(cè)供給的上述被處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模具的表面進(jìn) 行上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。在上述膜的制造裝置的第一方式中，優(yōu)選的是(7-a)上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)由以下兩個(gè)組合中的任一個(gè)組合或者這兩個(gè)組合 構(gòu)成，上述兩個(gè)組合分別是上述主輥與積極地驅(qū)動(dòng)該主輥旋轉(zhuǎn)的主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組 合；以及上述底座與積極地使上述底座沿著上述底座移動(dòng)引導(dǎo)件移動(dòng)的底座驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組
I=I O膜的制造裝置的第二方式在上述本發(fā)明的膜的制造裝置中，(8-a)上述膜把持裝置由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥能夠與上述膜的上 述圖案成形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥能夠與上述膜的上述圖案成形的面接觸，(8-b)上述主輥的輥軸和上述輔助輥的輥軸分別朝向上述膜的寬度方向，上述主 輥和上述輔助輥隔開上述膜能夠通過的間隔地平行配置，(8-c)上述主輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于主輥支承臂，(8-d)上述輔助輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于輔助輥支承臂，(8-e)上述主輥支承臂和上述輔助輥支承臂固定于底座，(8-f)該底座以能夠沿著上述膜的縱長方向移動(dòng)的方式支承于沿著上述膜的縱長 方向設(shè)置的底座移動(dòng)引導(dǎo)件，并且(8-g)相對于上述膜把持裝置裝備有使該膜把持裝置沿著上述底座移動(dòng)弓I導(dǎo)件移 動(dòng)的膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)，(8-h)在上述膜把持裝置中，上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述 輔助輥上，由此，在形成了上述主輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)的狀態(tài)下， 利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)，由此來將上述處 理過的膜從上述模具的表面剝離，(8-i)在上述膜把持裝置在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止期間，通過上述主輥 和上述輔助輥的旋轉(zhuǎn)，經(jīng)上述主輥和上述輔助輥向上述下游側(cè)進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被 處理膜的供給，(8-j)使用褶皺展平輥來作為上述防褶皺產(chǎn)生裝置，該褶皺展平輥在上述主輥的 上述上游側(cè)與上述主輥隔開間隔地平行配置，并且該褶皺展平輥與上述膜的上述圖案成形 的面的相反側(cè)的面接觸，
(8-k)該褶皺展平輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于褶皺展平輥支承 臂，該褶皺展平輥支承臂固定于上述底座，(8-1)在利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置沿著上述模具的表面從 上述上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)期間，使上述褶皺展平輥跟隨上述膜把持裝置的移動(dòng)而一邊旋轉(zhuǎn) 一邊移動(dòng)，由此，一邊防止經(jīng)上述主輥和上述輔助輥已經(jīng)向上述下游側(cè)供給的上述被處理 膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模具的表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。在上述膜的制造裝置的第二方式中，優(yōu)選的是(9-a)上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)由以下兩個(gè)組合中的任一個(gè)組合或者這兩個(gè)組合 構(gòu)成，上述兩個(gè)組合分別是上述主輥與積極地驅(qū)動(dòng)該主輥旋轉(zhuǎn)的主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組 合；以及上述底座與積極地使上述底座沿著上述底座移動(dòng)引導(dǎo)件移動(dòng)的底座驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組
I=I O膜的制造裝置的第三方式在上述本發(fā)明的膜的制造裝置中，(10-a)上述膜把持裝置由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥能夠與上述膜的上 述圖案成形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥能夠與上述膜的上述圖案成形的面接觸，(10-b)上述主輥的輥軸和上述輔助輥的輥軸分別朝向上述膜的寬度方向，上述主 輥和上述輔助輥隔開上述膜能夠通過的間隔地平行配置，(10-c)上述主輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于主輥支承臂，(10-d)上述輔助輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于輔助輥支承臂，(10-e)上述主輥支承臂和上述輔助輥支承臂固定于底座，(10-f)該底座以能夠沿著上述膜的縱長方向移動(dòng)的方式支承于沿著上述膜的縱 長方向設(shè)置的底座移動(dòng)引導(dǎo)件，并且(10-g)相對于上述膜把持裝置裝備有使該膜把持裝置沿著上述底座移動(dòng)引導(dǎo)件 移動(dòng)的膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)，(10-h)在上述膜把持裝置中，上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述 輔助輥上，由此，在形成了上述主輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)的狀態(tài)下， 利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)，由此來將上述處 理過的膜從上述模具的表面剝離，(10-i)在上述膜把持裝置在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止后，在上述主輥的旋 轉(zhuǎn)被阻止的狀態(tài)下，利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置沿著上述模具的表面 從上述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)，由此來對上述模具的表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處 理膜的供給，(10-j)使用褶皺展平輥來作為上述防褶皺產(chǎn)生裝置，該褶皺展平輥在上述主輥的 上述上游側(cè)與上述主輥隔開間隔地平行配置，并且該褶皺展平輥與上述膜的上述圖案成形 的面的相反側(cè)的面接觸，(10-k)該褶皺展平輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于褶皺展平輥支承 臂，該褶皺展平輥支承臂固定于上述底座，(10-1)在上述被處理膜的供給中，在利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持 裝置沿著上述模具的表面從上述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)期間，使上述褶皺展平輥跟隨上述膜把持裝置的移動(dòng)而一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此，一邊防止上述被處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對 上述模具的表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。在上述膜的制造裝置的第三方式中，優(yōu)選的是(11-a)上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)由以下兩個(gè)組合中的任一個(gè)組合或者這兩個(gè)組 合構(gòu)成，上述兩個(gè)組合分別是上述主輥與積極地驅(qū)動(dòng)該主輥旋轉(zhuǎn)的主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的 組合；以及上述底座與積極地使上述底座沿著上述底座移動(dòng)引導(dǎo)件移動(dòng)的底座驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組合。在上述膜的制造裝置的第一、第二以及第三方式的任一方式中，優(yōu)選的是(12-a)上述主輥的外表面由以硅酮類樹脂或者氟類樹脂為主要成分的發(fā)泡海綿 形成。在上述膜的制造裝置的第一、第二以及第三方式的任一方式中，優(yōu)選的是(13-a)上述褶皺展平輥的外表面由以硅酮類樹脂或者氟類樹脂為主要成分的發(fā) 泡海綿形成。根據(jù)本發(fā)明的膜的制造方法或者制造裝置，能夠制造出具有良好的圖案成形面的膜。更具體來說，根據(jù)本發(fā)明的膜的制造方法、或者本發(fā)明的膜的制造裝置，成形有圖 案的膜通過沿著模具表面的縱長方向移動(dòng)的膜把持機(jī)構(gòu)而沿著模具表面的縱長方向連續(xù) 地剝離，因此，抑制了膜表面上的剝離痕跡即脫模痕跡的產(chǎn)生。另外，通過與被處理膜的供 給同時(shí)移動(dòng)的防褶皺產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，抑制了沿著模具表面接下來被供給的新的預(yù)定長度的被處 理膜的自模具表面的局部浮起和褶皺產(chǎn)生。因此，即使使用的膜是厚度薄的膜或者剛性低 的膜，也能夠制造出成形褶皺和起伏少的具有良好的圖案成形面的膜。根據(jù)本發(fā)明的膜的制造方法的第一或第二實(shí)施方式、或者根據(jù)本發(fā)明的膜的制造 裝置的第一或第二實(shí)施方式，在模具表面的縱長方向的整個(gè)全長上，在旋轉(zhuǎn)的輥移動(dòng)的同 時(shí)沿著模具表面供給膜，因此，能夠在不會(huì)使膜擦到模具表面的情況下進(jìn)行膜的供給和褶 皺展平，能夠抑制對模具表面的破壞并且能夠抑制成形褶皺和起伏的產(chǎn)生。根據(jù)本發(fā)明的膜的制造方法的第三實(shí)施方式、或者根據(jù)本發(fā)明的膜的制造裝置的 第三實(shí)施方式，通過膜把持機(jī)構(gòu)的移動(dòng)，在從膜的供給源拉出膜的同時(shí)，沿著模具表面供給 膜，而且褶皺展平輥跟隨所述膜把持機(jī)構(gòu)的移動(dòng)而一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此也進(jìn)行膜的褶 皺展平，因此，縮短了對多個(gè)預(yù)定長度的膜的圖案成形的循環(huán)時(shí)間，并且能夠抑制成形褶皺 和起伏的產(chǎn)生。


圖1是本發(fā)明的膜的制造裝置的一例的概略側(cè)視圖。圖2是沿圖1中的X-X截面的箭頭方向視圖。圖3是說明使用圖1所示的裝置實(shí)施本發(fā)明的膜的制造方法的第一實(shí)施方式的情 況下的主要?jiǎng)幼饕氐膭?dòng)作狀態(tài)的圖，圖3中的(a)至(h)是說明該動(dòng)作狀態(tài)的時(shí)序變化 的圖。圖4是本發(fā)明的膜的制造裝置的另一例的部分概略側(cè)視圖。圖5是說明使用圖4所示的裝置實(shí)施本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式的情況下的主要?jiǎng)幼饕氐膭?dòng)作狀態(tài)的圖，圖5中的(a)至(h)是說明該動(dòng)作狀態(tài)的時(shí)序變化 的圖。圖6是說明使用圖4所示的裝置實(shí)施本發(fā)明的膜的制造方法的第三實(shí)施方式的情 況下的主要?jiǎng)幼饕氐膭?dòng)作狀態(tài)的圖，圖6中的(a)至(g)是說明該動(dòng)作狀態(tài)的時(shí)序變化 的圖。圖7是本發(fā)明的膜的制造裝置的又一例的概略側(cè)視圖。圖8是沿圖7中的Y-Y截面的箭頭方向視圖。圖9是說明使用圖7所示的裝置實(shí)施本發(fā)明的膜的制造方法的第三實(shí)施方式的情 況下的主要?jiǎng)幼饕氐膭?dòng)作狀態(tài)的圖，圖9中的(a)至(h)是說明該動(dòng)作狀態(tài)的時(shí)序變化
的圖。
標(biāo)號(hào)說明
1 膜的制造裝置
2 膜(被處理膜)
2A 膜搬送路徑
2F 膜收納源(處理過的膜的輥)
2Fa 膜輥
2S 膜供給源(被處理膜輥)
2Sa 膜輥
2a:膜的圖案成形的面(成形面)
2b:膜的圖案成形的面(成形面)的相反側(cè)的面
3:模具
3a 模具表面
10 膜按壓裝置
11 支柱
12 按壓缸
14a 上加壓板
14b 下加壓板
15a 上調(diào)溫板
15b 下調(diào)溫板
16S 移動(dòng)基座
16a:上固定基座
16b 下固定基座
17 彈性板
20 膜把持裝置
20A 膜剝離裝置
20B:防褶皺產(chǎn)生裝置
21 主輥(剝離輥)
2IAa,2IAb 一對主輥支承臂
22 輔助輥
22Aa、22Ab —對輔助輥公轉(zhuǎn)支承臂22Ba、22Bb —對輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸22Ca、22Cb —對輔助輥支承臂22Da、22Db —對褶皺展平輥支承臂22p 待機(jī)位置(原來的位置、初始位置)23 主輥(剝離輥)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24:輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)25a、25b —對底座移動(dòng)引導(dǎo)件26a、26b: —對底座28:主輥旋轉(zhuǎn)控制器29 膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30:加熱單元40 冷卻單元50:膜取出裝置51 放卷輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)52a、52b、52c、52d 搬送輥53:放卷緩沖部54:膜固定部55 盒體56:抽吸排氣機(jī)構(gòu)57a、57b:傳感器60:膜領(lǐng)取裝置61 卷繞輥驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)62a、62b、62c 搬送輥63:卷繞緩沖部64:搬送驅(qū)動(dòng)輥64a:夾持輥65:膜固定部66:盒體67:抽吸排氣機(jī)構(gòu)68a、68b 傳感器70:膜張力調(diào)整機(jī)構(gòu)71:引導(dǎo)輥72:張力檢測用輥73:張力檢測機(jī)構(gòu)401 膜的制造裝置420B:防褶皺產(chǎn)生裝置421 褶皺展平輥701 膜的制造裝置
A:上游側(cè)B:下游側(cè)C:正轉(zhuǎn)方向D 反轉(zhuǎn)方向H 主輥或者褶皺展平輥與模具表面之間的距離(間隙)
具體實(shí)施例方式說明用于實(shí)施本發(fā)明的膜的制造方法的若干個(gè)膜的制造裝置的各個(gè)實(shí)施方式。通 過閱讀各個(gè)制造裝置的說明，能夠理解本發(fā)明的膜的制造方法。圖1是本發(fā)明的膜的制造裝置的第一實(shí)施方式的一例的概略側(cè)視圖。圖2是沿圖 1中的X-X截面的箭頭方向視圖。圖3是說明使用圖1所示的膜的制造裝置實(shí)施本發(fā)明的 膜的制造方法的第一實(shí)施方式的情況下的主要?jiǎng)幼饕氐膭?dòng)作狀態(tài)的圖，圖3中的(a)至 (h)是說明該動(dòng)作狀態(tài)的時(shí)序變化的圖。圖1中示出了本發(fā)明的膜的制造裝置1。在膜的制造裝置1中裝備有模具3，在該 模具3的表面(模具表面)3a具有微細(xì)的凹凸圖案。在模具3的上游側(cè)裝備有膜取出裝置 50，該膜取出裝置50從長條的膜的供給源(被處理膜輥)2S取出膜(被處理膜)2。在膜的制造裝置1裝備有膜按壓裝置10，該膜按壓裝置10將供給到模具表面3a 的膜2按壓到模具表面3a上。在膜的制造裝置1中裝備有膜剝離裝置20A，該膜剝離裝置20A將具有微細(xì)的凹凸 圖案的膜(處理過的膜)從模具表面3a剝離，關(guān)于處理過的膜，通過將從膜取出裝置50取 出的膜2間歇地供給到模具的表面，并且借助膜按壓裝置10將膜2按壓到模具表面3a上， 從而將模具表面3a的微細(xì)的凹凸圖案轉(zhuǎn)印到膜2的表面(成形面)2a上而成形。在膜的制造裝置1中裝備有膜領(lǐng)取裝置60，膜領(lǐng)取裝置60將通過膜剝離裝置20A 從模具表面3a剝離并向下游側(cè)輸送的膜(處理過的膜)領(lǐng)取到位于下游側(cè)的長條的膜的 收納源(處理過的膜的輥)2F。在膜取出裝置50和膜領(lǐng)取裝置60之間形成有膜搬送路徑 2A。膜取出裝置50和膜領(lǐng)取裝置60形成將膜2的預(yù)定長度部分沿著膜搬送路徑2A進(jìn)行 搬送的膜搬送裝置。在膜剝離裝置20A裝備有膜把持裝置20。膜把持裝置20在把持有膜2的狀態(tài)下 沿著膜2的縱長方向移動(dòng)。當(dāng)膜把持裝置20從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)的時(shí)候，成形有圖案的 處理過的膜從模具表面3a剝離。另外，在膜把持裝置20裝備有防褶皺產(chǎn)生裝置20B。防褶 皺產(chǎn)生裝置20B沿著模具3的縱長方向移動(dòng)。當(dāng)防褶皺產(chǎn)生裝置20B與沿著模具表面3a 的被處理膜的供給一起從上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)的時(shí)候，防止沿著模具表面3a的被處理膜 產(chǎn)生褶皺。膜按壓裝置10具有下固定基座16b，在下固定基座16b設(shè)置有向上方延伸的四根 支柱11，在四根支柱11的上端安裝有上固定基座16a。在上固定基座16a的下側(cè)，移動(dòng)基 座16S以能夠上下運(yùn)動(dòng)的方式安裝于支柱11。在移動(dòng)基座16S的下表面安裝有上加壓板 14a，在上加壓板14a的下表面安裝有上調(diào)溫板15a。在下基座16b的上表面安裝有下加壓 板14b，在下加壓板14b的上表面安裝有下調(diào)溫板15b。在下調(diào)溫板15b的上表面安裝有模 具3。在模具表面3a形成有微細(xì)的凹凸圖案。
在上固定基座16a裝備有按壓缸12，從按壓缸12延伸的活塞桿與移動(dòng)基座16S結(jié) 合。通過按壓缸12的動(dòng)作，移動(dòng)基座16S向下方移動(dòng)，將膜2按壓到模具表面3a上。另外， 通過按壓缸12的動(dòng)作，移動(dòng)基座16S向上方移動(dòng)，從而釋放膜2向模具表面3a的按壓。上調(diào)溫板15a用于向模具表面3a按壓膜2時(shí)的膜2的加熱或者冷卻，其溫度控制 通過加熱單元30或者冷卻單元40來進(jìn)行。另外，下調(diào)溫板15b用于向模具表面3a按壓膜 2時(shí)的模具3的加熱或者冷卻，其溫度控制通過加熱單元30或者冷卻單元40來進(jìn)行。模具3也可以安裝于上調(diào)溫板15a的下表面。上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b的膜 按壓面?zhèn)鹊钠矫娑葍?yōu)選在10 μ m以下，更優(yōu)選在5 μ m以下。圖案的成形加工并不僅限定于 加熱成形方式，例如，也可以通過利用光的成形方式來進(jìn)行成形。在不使用加熱成形方式的 情況下，上下的調(diào)溫板以及與它們連接的加熱單元和冷卻單元也不再需要。按壓缸12與省略了圖示的液壓泵連接。利用液壓泵來進(jìn)行上加壓板14a的升降 動(dòng)作和加壓力的控制。按壓機(jī)構(gòu)也可以是除了液壓方式的按壓缸以外的能夠控制加壓力的 加壓機(jī)構(gòu)。用于圖案成形的壓力優(yōu)選為0. IMPa至20MPa。更優(yōu)選為IMPa至lOMPa。在壓力 超過20MPa的情況下，有時(shí)會(huì)使模具破損或者變形。在壓力不足0. IMPa的情況下，有時(shí)形 成膜的樹脂在成形時(shí)不能充分流動(dòng)，從而無法在膜的表面成形與模具表面的圖案一樣的圖案。按壓缸的升壓速度優(yōu)選為0. OlMPa/秒至IOMPa/秒。更優(yōu)選為0. 05MPa/秒至 5MPa/秒。在升壓速度超過了 IOMPa/秒的情況下，有時(shí)升壓時(shí)形成膜的樹脂的變形無法 跟隨升壓速度，從而在膜的表面無法成形與模具表面的圖案一樣的圖案。在升壓速度不到 0. OlMPa/秒的情況下，圖案成形耗費(fèi)時(shí)間，生產(chǎn)率會(huì)降低。模具表面3a的微細(xì)的凹凸圖案通過機(jī)械加工、激光加工、光刻法、電子束描繪方 法等來形成。微細(xì)的凹凸圖案中的凹凸的高度通常為IOnm至Imm的范圍，凹凸的周期通 常為IOnm至Imm的范圍。凹凸的高度優(yōu)選為1 μ m至100 μ m。凹凸的周期優(yōu)選為1 μ m至 IOOym0作為凹凸中的凸部，根據(jù)所希望的光學(xué)制品使用各種突起。突起在模具表面3a通 常配置成離散狀、點(diǎn)狀。作為突起的示例，有三棱錐形狀、圓錐形狀、四棱柱形狀、透鏡形狀 等。作為其他的突起的配置示例，有截面為三角形、四邊形、梯形、半圓形、橢圓形等的突起 配置成條紋狀的例子。形成模具的材料考慮按壓時(shí)的強(qiáng)度、圖案的加工精度、膜的脫模性來進(jìn)行選定。作 為材料，例如有不銹鋼、鎳、含有銅等的金屬材料、硅酮、玻璃、陶瓷、樹脂。根據(jù)需要，以提高 脫模性為目的，在模具的表面覆蓋有機(jī)膜。在上調(diào)溫板15a的下表面，優(yōu)選安裝有具有130°C以上的耐熱溫度的彈性板17。 即使膜2具有一定程度的厚度不均，由于介入有彈性板17，膜2也會(huì)在整個(gè)面上均勻地按 壓于模具表面3a。彈性板17例如由厚度為0. 3mm至1. Omm的三元乙丙橡膠(EPDM)、硅酮 橡膠、或者氟橡膠形成。彈性板17的表面優(yōu)選實(shí)施了使其相對于膜2的表面容易滑動(dòng)的處 理。這里，所謂的某一材料的耐熱溫度是將該材料放置24小時(shí)時(shí)該材料的抗拉強(qiáng)度的變化 率超過了 10%的時(shí)候的溫度。在圖2中，膜剝離裝置20A中的膜把持裝置20由主輥21和輔助輥22的組合構(gòu)成， 所述主輥21能夠與膜2的圖案成形的面(成形面)2a的相反側(cè)的面2b接觸，輔助輥22能夠與膜2的圖案成形的面2a接觸。主輥21的輥軸和輔助輥22的輥軸分別朝向膜2的寬 度方向，主輥21和輔助輥22隔開膜2能夠通過的間隔地平行配置。主輥21的兩端部能夠旋轉(zhuǎn)地支承于一對主輥支承臂21Aa、21Ab。輔助輥22的兩端 部能夠旋轉(zhuǎn)地支承于一對輔助輥公轉(zhuǎn)支承臂22Aa、22Ab，該一對輔助輥公轉(zhuǎn)支承臂22Aa、 22Ab固定于一對輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸22Ba、22Bb，該一對輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸22Ba、22Bb能夠 旋轉(zhuǎn)地支承于一對輔助輥支承臂22Ca、22Cb，在一個(gè)輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸22Ba結(jié)合有輔助輥 公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24，該輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24使輔助輥22沿著主輥21的周面向正方向和負(fù) 方向公轉(zhuǎn)。作為輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24，例如使用電磁馬達(dá)、利用了氣壓的致動(dòng)器。將輔助輥支承成能夠相對于主輥公轉(zhuǎn)的上述方式，是反復(fù)進(jìn)行在主輥和輔助輥之 間將膜懸掛成S字狀的動(dòng)作和釋放該懸掛狀態(tài)的動(dòng)作的情況的一個(gè)例子。主輥和輔助輥之 間的關(guān)系并不限定于上述方式。只要能夠在兩個(gè)輥之間將膜懸掛成S字狀，則使輔助輥在 主輥的周面附近移動(dòng)的機(jī)構(gòu)并不特別限定。只要能夠在主輥和輔助輥之間將膜懸掛成S字 狀即可，可以維持保持其懸掛狀態(tài)的情況，即，可以是其懸掛狀態(tài)不被釋放的結(jié)構(gòu)。一對主輥支承臂21Aa、21Ab的下端部固定于在沿著模具3的縱長方向的兩側(cè)設(shè)置 的一對底座26a、26b，另外，一對輔助輥支承臂22Ca、22Cb的下端部也固定于一對底座26a、 26b。一對底座26a、26b以能夠在模具3的縱長方向移動(dòng)的方式支承于一對底座移動(dòng)引 導(dǎo)件25a、25b，該一對底座移動(dòng)引導(dǎo)件25a、25b設(shè)置在沿著模具3的縱長方向的兩側(cè)，并且 相對于膜把持裝置20裝備有膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29，該膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29 使膜把持裝置20沿著一對底座移動(dòng)引導(dǎo)件25a、25b移動(dòng)。作為膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 29，適于使用線性驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(伺服馬達(dá))，但是也可以是電磁致動(dòng)器或氣壓致動(dòng)器等。在膜把持裝置20中，輔助輥22借助輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24相對于主輥21公轉(zhuǎn)， 處理過的膜呈S字狀地懸掛于主輥21和輔助輥22，由此，形成主輥21和輔助輥22對處理 過的膜的把持狀態(tài)，在形成該把持狀態(tài)之后，利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29使膜把持裝 置20從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)，由此，來將處理過的膜從模具表面3a剝離。然后，在膜把持裝置20在移動(dòng)至上游側(cè)的位置處停止期間，通過主輥21和輔助輥 22的旋轉(zhuǎn)，經(jīng)主輥21和輔助輥22向下游側(cè)進(jìn)行新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。接著，在該實(shí)施方式中，使用主輥21作為防褶皺產(chǎn)生裝置20B，在利用膜把持裝置 移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29使膜把持裝置20沿著模具表面3a從上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)期間，主輥21 一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此，一邊防止經(jīng)主輥21和輔助輥22已經(jīng)向下游側(cè)供給的被處理膜中 產(chǎn)生褶皺，一邊沿著模具表面3a進(jìn)行新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。在該實(shí)施方式中，裝備有與主輥21的輥軸結(jié)合的主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23、主輥旋轉(zhuǎn) 控制器28，該主輥旋轉(zhuǎn)控制器28與主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23結(jié)合并控制主輥21的旋轉(zhuǎn)方向和 轉(zhuǎn)速(輥的圓周速度)。作為主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23，優(yōu)選使用伺服馬達(dá)，作為主輥旋轉(zhuǎn)控制 器28，優(yōu)選使用伺服放大器。在利用主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23驅(qū)動(dòng)主輥21旋轉(zhuǎn)的情況下，優(yōu)選 以主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23對主輥21的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)速度(圓周速度)和膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)29使膜把持機(jī)構(gòu)20沿著一對底座移動(dòng)引導(dǎo)件25a、25b移動(dòng)的移動(dòng)速度同步的方式分別 進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。在剝離膜2的情況下，優(yōu)選一邊使主輥21旋轉(zhuǎn)，一邊利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29在使膜把持機(jī)構(gòu)20向上游側(cè)移動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行剝離。通過利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)29使膜把持機(jī)構(gòu)20往復(fù)移動(dòng)，能夠?qū)⑻幚磉^的膜從模具表面3a剝離，以及能夠沿模具 表面3a供給被處理膜，而無需從下游側(cè)強(qiáng)制性地牽拉膜2。由此，不僅防止了在模具表面 3a處產(chǎn)生褶皺，而且抑制了被處理膜的在模具表面3a受到熱負(fù)荷的部分處的局部的伸長， 抑制了圖案成形后的處理過的膜中起伏的產(chǎn)生。另外，還抑制了剛剝離之后的膜的搬送中 褶皺的產(chǎn)生。在膜2的表面與主輥21的周面之間的摩擦力足夠高的情況下，僅通過該摩擦力和 作用于膜2的張力，獲得膜把持機(jī)構(gòu)20的沿著一對底座移動(dòng)引導(dǎo)件25a、25b的移動(dòng)力。在 該情況下，不需要利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29使一對底座26a、26b積極地移動(dòng)。主輥21的周面中的至少與膜2接觸的周面優(yōu)選由以硅酮類樹脂或者氟類樹脂為 主要成分的發(fā)泡海綿來形成，以使得即使一邊使膜2接觸或者按壓于模具表面3a —邊供給 膜2，模具表面3a的微細(xì)的凹凸圖案也不會(huì)破損，并且主輥21的表面也不會(huì)由于高溫的模 具表面3a而劣化。通過主輥21使膜2 —邊接觸或者按壓于模具表面3a —邊進(jìn)行移動(dòng)，能 夠獲得更好的褶皺展平效果。主輥21的周面可以由具有一定的彈性和粘接性的橡膠形成。在該情況下，該橡膠 的橡膠硬度(Jis K6253)優(yōu)選為40到70，更優(yōu)選為50到60。主輥21的周面的粗糙度算 術(shù)平均偏差值(JIS B0601)優(yōu)選為0. 01 μ m到1. 0 μ m。更優(yōu)選為0. 01 μ m到0. 5 μ m。作 為適合的橡膠，有三元乙丙橡膠(EPDM)、硅酮橡膠、氟橡膠。在橡膠硬度大于70或者粗糙度算術(shù)平均偏差值大于1. 0 μ m的情況下，有時(shí)膜2 與主輥21之間的緊貼性不充分。在該情況下，在膜的剝離時(shí)，會(huì)存在以下情況膜2與主輥 21之間產(chǎn)生打滑，由于膜2的張力降低而導(dǎo)致剝離力降低。若橡膠硬度不到40，則剝離動(dòng) 作時(shí)的橡膠的變形變大，因此，有時(shí)剝離動(dòng)作變得不穩(wěn)定。在該情況下，有時(shí)會(huì)在膜的面上 產(chǎn)生剝離痕跡。粗糙度算術(shù)平均偏差值不到0. 01 μ m的主輥有時(shí)制作困難。在從模具表面剝離膜的時(shí)候或向模具表面供給膜的時(shí)候，主輥也可以與位于模具 表面的狀態(tài)的膜的與模具表面接觸的表面的相反側(cè)的表面接觸。這樣，優(yōu)選的是，當(dāng)在主輥 與位于模具表面的膜的表面接觸的狀態(tài)下進(jìn)行剝離動(dòng)作或供給動(dòng)作的情況下，能夠控制主 輥所帶來的膜對模具表面的按壓力。例如，優(yōu)選的是，在主輥的輥軸的兩端部附設(shè)由氣缸或 彈簧等彈性部件構(gòu)成的主輥按壓調(diào)整機(jī)構(gòu)，從而能夠控制主輥向模具表面方向的按壓力。 主輥與位于模具表面的膜的表面以適度的接觸壓力接觸，由此能夠增大剝離效果和褶皺展 平效果。在膜極薄或者在厚度方向容易變形而且模具表面的微細(xì)的凹凸圖案極其微細(xì)的 情況下，在主輥與模具表面接觸的時(shí)候，在有可能損傷模具表面的情況下，如圖2所示，優(yōu) 選將主輥的周面與模具表面之間的距離(間隙)H選定為0.1mm到5mm的范圍。更加優(yōu)選 的是0. Imm到Imm的范圍。從膜的剝離動(dòng)作和供給動(dòng)作的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選間隙H在5mm以下。即，在膜的剝離 動(dòng)作中，在間隙H在5mm以下的情況下，膜自模具表面的剝離點(diǎn)位于主輥的大致正下方，剝 離點(diǎn)與主輥的移動(dòng)一起連續(xù)地移動(dòng)，因此是優(yōu)選的。在膜的供給動(dòng)作中，在間隙H在5mm以 下的情況下，由于能夠沿著模具表面以平面性高的狀態(tài)供給膜，因此，從防止褶皺產(chǎn)生的觀 點(diǎn)出發(fā)，是優(yōu)選的。
在間隙H超過5mm的情況下，在膜的剝離動(dòng)作中，當(dāng)剝離點(diǎn)的移動(dòng)停止、或剝離點(diǎn) 以主輥的圓周速度以上的速度向上游側(cè)移動(dòng)時(shí)，有時(shí)剝離點(diǎn)的移動(dòng)會(huì)變成斷續(xù)性的。在剝 離點(diǎn)的移動(dòng)停止的部位，有時(shí)會(huì)在膜的寬度方向的范圍內(nèi)出現(xiàn)線狀的剝離痕跡。在膜的供 給動(dòng)作中，有時(shí)模具表面的膜的平面性會(huì)成為不良的狀態(tài)。如果間隙H不到0. 1mm，則模具表面與主輥可能接觸，在接觸的情況下，有時(shí)模具 表面的微細(xì)的凹凸圖案的形狀會(huì)破損。主輥與模具表面的平行度優(yōu)選在0.5mm以下，更加 優(yōu)選在0. Imm以下。主輥與模具表面的平行度可以以模具表面為基準(zhǔn)面通過安裝于膜寬度方向的兩 端面的移位傳感器來測量。即，測量在使主輥位于該移位傳感器的正上方時(shí)測量的模具表 面與輥外表面之間的距離在兩端處的差，并且將其值作為平行度。也可以使冷卻水在主輥和輔助輥雙方或者任一方循環(huán)以將該輥的溫度調(diào)節(jié)到一 定溫度。由于膜在從模具表面剝離的狀態(tài)下溫度高，因此，為了使在剝離時(shí)與膜接觸的主輥 和輔助輥的溫度盡量維持恒定，優(yōu)選在該輥上設(shè)置調(diào)溫機(jī)構(gòu)。這樣，能夠降低剝離時(shí)和剛剝 離之后的膜的溫度。另外，對于成形后的膜的搬送和卷繞的穩(wěn)定化也有幫助?？梢栽谥鬏伒妮佪S上附設(shè)振動(dòng)賦予機(jī)構(gòu)，以使得在膜的剝離時(shí)，主輥在其軸向微 細(xì)地振動(dòng)。作為振動(dòng)賦予機(jī)構(gòu)中的振動(dòng)驅(qū)動(dòng)要素，例如可以使用電磁致動(dòng)器、線性致動(dòng)器或 者超聲波振子。也可以設(shè)置僅使主輥的外表面振動(dòng)的振動(dòng)賦予機(jī)構(gòu)。通過主輥整體或者主 輥的外表面振動(dòng)，振動(dòng)經(jīng)卷繞在主輥上的膜傳遞到剝離點(diǎn)，從而帶來使膜順暢地剝離的效^ ο為了穩(wěn)定地進(jìn)行膜自模具表面的剝離動(dòng)作，優(yōu)選在主輥和膜之間獲得適合剝離的 摩擦力。為此，優(yōu)選能夠?qū)⒛づc主輥在膜縱長方向的接觸長度設(shè)定在30mm到300mm的范圍 內(nèi)。具體來說，主輥的直徑優(yōu)選在50mm到200mm的范圍。雖然與輔助輥相對于主輥的公轉(zhuǎn) 位置有關(guān)，但是大體來說，若主輥的直徑不到50mm，則主輥表面上的膜的包角小，因此有時(shí) 在接觸面無法獲得足夠的摩擦力。在該情況下，有可能不能產(chǎn)生足夠的剝離力或者主輥會(huì) 空轉(zhuǎn)。若主輥的直徑不到50mm，則在剛脫模之后的膜沿著主輥的周面的情況下，膜的曲率變 得過大，有可能使膜產(chǎn)生卷曲等變形。若主輥的直徑大于200mm，則為了完成剝離動(dòng)作，要求 更大的空間。在膜按壓裝置內(nèi)，確保這種大空間有時(shí)在裝置設(shè)計(jì)方面是困難的。為了提高膜的生產(chǎn)率，可以使剝離動(dòng)作高速化。但是，若使剝離動(dòng)作高速化，則在 剝離過程中，容易在主輥和膜之間產(chǎn)生空氣的進(jìn)入，從而在兩者之間容易產(chǎn)生滑動(dòng)。若產(chǎn)生 滑動(dòng)，則膜在模具表面的剝離點(diǎn)斷續(xù)性地移動(dòng)，從而產(chǎn)生剝離痕跡。在高速的剝離動(dòng)作中， 為了不產(chǎn)生滑動(dòng)，可以提高滑動(dòng)極限速度。為了提高滑動(dòng)極限速度，在將膜對主輥的包角維 持為適當(dāng)角度的同時(shí)使主輥小徑化并且增大主輥的表面粗糙度是有效的。剝離速度雖然與膜的材質(zhì)和成形的圖案的形狀等有關(guān)，但是大體上來講，優(yōu)選在 IOm/分鐘到IOOm/分鐘。更優(yōu)選為20m/分鐘到60m/分鐘。若剝離速度不到IOm/分鐘，則 生產(chǎn)率極低，若剝離速度超過IOOm/分鐘，則在主輥的表面和膜之間容易產(chǎn)生空氣的進(jìn)入， 其結(jié)果為容易產(chǎn)生滑動(dòng)。輔助輥22的周面中的至少與膜2接觸的周面可以由與上述的形成主輥21的周面 的材料相同的材料形成。在輔助輥和膜之間的摩擦阻力高的情況下，在輔助輥的表面有可 能誘發(fā)膜的褶皺。在該情況下，優(yōu)選輔助輥的周面由滑動(dòng)性高的氟樹脂或者金屬形成。
剝離動(dòng)作時(shí)作用于膜的張力雖然與膜的材質(zhì)和膜的溫度有關(guān)，但是大體上來說， 優(yōu)選為1到100N的范圍。更優(yōu)選為5到50N。形成主輥以及輔助輥的周面的材料的耐熱溫度優(yōu)選在100°C以上，更優(yōu)選為 130°C以上。各輥由于與高溫的膜接觸，因此，有時(shí)會(huì)帶來高溫所致的隨著時(shí)間經(jīng)過的尺寸 變化和強(qiáng)度降低，因此，形成周面的材料優(yōu)選具有上述的耐熱溫度的值。由此，能夠防止剝 離動(dòng)作不良。這里所說的耐熱溫度的定義如前所述。上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b由鋁合金形成，在各個(gè)板內(nèi)澆鑄有電熱加熱器。各 電熱加熱器的溫度由加熱單元30來控制?？梢栽诟髡{(diào)溫板內(nèi)設(shè)置熱媒流通通道，通過使熱 媒流通來進(jìn)行各板的溫度控制。作為熱媒，例如使用A — > >寸一 A (松村石油(株式會(huì)社)、NeoSK-0IL(綜研歹 η “(株式會(huì)社))或者加熱到ioo°c以上的水。為了能夠高效地傳熱，熱媒流道內(nèi) 部的雷諾數(shù)優(yōu)選為1. OX IO4到12 X IO4的范圍。作為調(diào)溫板的加熱機(jī)構(gòu)，例如在使用多個(gè)澆鑄加熱器或者筒式加熱器的情況下， 能夠分開控制調(diào)溫板的多個(gè)部分的溫度。調(diào)溫板在升溫、降溫以及維持恒定溫度的階段，板的多個(gè)部位的溫度差優(yōu)選在 10°c以內(nèi)，更加優(yōu)選在5°C以內(nèi)。關(guān)于模具3的溫度調(diào)整，也可以代替調(diào)溫板的使用，或者在使用調(diào)溫板的同時(shí)，在 模具中設(shè)置熱媒流通通道，利用熱媒直接對模具進(jìn)行調(diào)溫。在上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b內(nèi)設(shè)置有冷媒流通通道，通過使冷媒流通來進(jìn)行 各板的溫度控制。冷媒使各板形成的溫度通過冷卻單元40來控制。作為冷媒，水是最合適的，但是可以是乙二醇溶液等。冷媒的溫度優(yōu)選在10°C到 50°C的范圍。為了能夠高效地傳熱，冷媒流通通道內(nèi)部的雷諾數(shù)優(yōu)選在1.0X IO4到12X IO4 的范圍。膜取出裝置50包括膜供給源2S。膜供給源2S通常由卷繞有膜(被處理膜)的膜 輥2Sa構(gòu)成。膜輥2Sa通過安裝于從基座延伸的一對支承臂的輥旋轉(zhuǎn)軸而被支承成能夠旋 轉(zhuǎn)。在輥旋轉(zhuǎn)軸的一個(gè)端部設(shè)置有放卷輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)51。膜取出裝置50還包括搬送 輥52a、52b、52c和52d、放卷緩沖部53以及膜固定部54。膜領(lǐng)取裝置60包括膜收納源2F。膜收納源2F通常由卷繞有膜(處理過的膜)的 膜輥2Fa構(gòu)成。膜輥2Fa通過安裝于從基座延伸的一對支承臂的輥旋轉(zhuǎn)軸而被支承成能夠 旋轉(zhuǎn)。在輥旋轉(zhuǎn)軸的一個(gè)端部設(shè)置有卷繞輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61。膜領(lǐng)取裝置60還包括搬 送輥62a、62b和62c、卷繞緩沖部63、搬送驅(qū)動(dòng)輥64以及膜固定部65。放卷緩沖部53由盒體55及與其連接的抽吸排氣機(jī)構(gòu)56構(gòu)成。卷繞緩沖部63由 盒體66和與其連接的抽吸排氣機(jī)構(gòu)67構(gòu)成。各抽吸排氣機(jī)構(gòu)56、67是真空泵等只要能夠 對空氣進(jìn)行抽吸和排氣的機(jī)構(gòu)即可。通過將各盒體55、66內(nèi)的空氣排出，在插入到盒體內(nèi) 的膜的表背兩面產(chǎn)生壓力差，對膜賦予一定的張力，并且在盒體內(nèi)將膜保持為U字狀的狀 態(tài)。關(guān)于存在于盒體內(nèi)的膜的長度，在成形膜的前后間歇地搬送的膜的長度量是適當(dāng) 的。在盒體55內(nèi)安裝有傳感器57a、57b。在盒體66內(nèi)安裝有傳感器68a、68b。通過這些 傳感器來檢測存在于盒體內(nèi)的膜的位置。
在利用膜剝離裝置20A將膜剝離后，在將新的被處理膜朝向模具3供給的階段、以 及在將剝離后的處理過的膜從模具3領(lǐng)取的階段，進(jìn)行膜的搬送。在該膜的搬送時(shí)，在盒體 內(nèi)的傳感器檢測到膜偏離了預(yù)定的位置的時(shí)候，驅(qū)動(dòng)放卷輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)51或者卷繞輥 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61。通過放卷輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)51的驅(qū)動(dòng)，被處理膜被供給到盒體55，從而形 成預(yù)定長度的被處理膜位于盒體55內(nèi)的狀態(tài)。另外，通過卷繞輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61的驅(qū)動(dòng)， 處理過的膜被供給到盒體66，從而形成預(yù)定長度的處理過的膜位于盒體66內(nèi)的狀態(tài)。膜固定部54的位置面向膜搬送路徑2A，膜固定部54停止和容許膜向縱長方向的 移動(dòng)。膜固定部65的位置面向模具3與搬送輥62a之間的膜搬送路徑2A，膜固定部65停 止和容許膜向縱長方向的移動(dòng)。膜固定部54、65通常分別由利用上表面具有大量的抽吸孔 的平板形成的空氣抽吸盒構(gòu)成。也可以代替該空氣抽吸方式，而使用機(jī)械的夾緊方式，來停 止和容許膜的移動(dòng)。在通過膜按壓裝置10的動(dòng)作來按壓膜從而進(jìn)行圖案的成形的工序中，兩個(gè)膜固 定部54、65以約束膜的移動(dòng)的方式動(dòng)作。在膜從模具表面剝離的工序中，膜固定部54動(dòng)作， 將膜固定，而將膜固定部65釋放。在從上游側(cè)向下游側(cè)搬送膜的時(shí)候，兩個(gè)膜固定部54、65 被釋放。搬送驅(qū)動(dòng)輥64與馬達(dá)等旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(省略了圖示)連結(jié)。在搬送膜時(shí)，夾持輥 64a接近搬送驅(qū)動(dòng)輥64并夾持膜，在利用搬送驅(qū)動(dòng)輥64進(jìn)行轉(zhuǎn)矩控制的同時(shí)，以一定的張 力來搬送膜。接下來，使用用于實(shí)施上述的本發(fā)明的膜的制造方法的第一實(shí)施方式的圖1至圖 3所示的膜的制造裝置1來說明上述第一實(shí)施方式。一連串的膜的制造工序包括以下的各 工序㈧至⑷。(A)首先，將模具3安裝在下調(diào)溫板15b的上表面。接著，將膜輥(被處理膜輥)2Sa 設(shè)置于膜取出裝置50。然后，沿著從膜取出裝置50到膜領(lǐng)取裝置60的膜搬送路徑2A進(jìn)行 初始的膜的通過。即，使從膜取出裝置50中的膜輥2Sa放卷的膜2依次通過搬送輥52a、放 卷緩沖部53的盒體55內(nèi)、搬送輥52b、52c、52d、膜固定部54、模具表面3a、膜把持裝置20、 膜固定部65、搬送驅(qū)動(dòng)輥64、搬送輥62a、62b、卷繞緩沖部63的盒體66內(nèi)以及搬送輥62c， 在膜領(lǐng)取裝置60中卷繞為膜輥2Fa，從而完成膜在膜搬送路徑2A上的通過。(B)接著，使加熱單元30動(dòng)作，使上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b各自的溫度上升到 成形溫度。(C)然后，使膜按壓裝置10動(dòng)作，使上調(diào)溫板15a下降，在模具表面3a與上調(diào)溫 板15a之間壓制膜2。此時(shí)，使膜固定部54和膜固定部65分別成為動(dòng)作狀態(tài)，由此約束膜 2的移動(dòng)。用于在膜面上成形凹凸圖案的溫度、壓制壓力、升壓速度、加壓時(shí)間等條件取決于 膜的材質(zhì)、凹凸圖案形狀，特別取決于凹凸圖案中的凹凸的縱橫尺寸比等。通常，成形溫度 設(shè)定為100°C至180°C的范圍，壓制壓力設(shè)定為IMPa至IOMPa的范圍，加壓時(shí)間設(shè)定為1秒 至60秒的范圍，升壓速度設(shè)定為0. 05MPa/秒至IMPa/秒的范圍。(D)當(dāng)完成在加熱的同時(shí)所進(jìn)行的壓制之后，使冷卻單元40動(dòng)作，使上調(diào)溫板15a 和下調(diào)溫板15b降溫。另外，優(yōu)選的是即使在冷卻過程中仍繼續(xù)進(jìn)行壓制。冷卻一直進(jìn)行 到模具表面3a的溫度成為適于膜的剝離的溫度為止。例如，優(yōu)選將模具表面3a冷卻到使 模具表面3a的溫度成為膜的?；瘻囟纫韵?。
(E)在冷卻完成后，釋放壓制壓力。然后，使上調(diào)溫板15a上升到確保膜把持裝置 20能夠在膜按壓裝置10內(nèi)沿模具3的縱長方向移動(dòng)的空間的位置。(F)在上調(diào)溫板15a的上升完成之后，釋放膜固定部65，驅(qū)動(dòng)輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 24，使輔助輥22回轉(zhuǎn)至主輥21的上部。通過該輔助輥22相對于主輥21的公轉(zhuǎn)，膜2呈S 字狀地懸掛在主輥21與輔助輥22上，從而形成兩個(gè)輥對膜2的把持狀態(tài)。膜2在主輥21 和輔助輥22上的S字狀的懸掛狀態(tài)也可以稱為膜2在兩個(gè)輥上的抱緊狀態(tài)。從主輥21和輔助輥22的待機(jī)位置22P到該抱緊狀態(tài)的輔助輥22的移動(dòng)過程由 圖3 (a)至圖3(c)示意性地示出。當(dāng)輔助輥22從待機(jī)位置22P開始公轉(zhuǎn)的時(shí)候，膜固定部 65對膜2的約束被釋放。即，膜固定部65的動(dòng)作停止。該膜固定部65的動(dòng)作停止的狀態(tài) 在圖3(b)中通過表示膜固定部65的長方形被涂黑來表示。如圖3(f)所示，膜固定部54 的動(dòng)作停止的狀態(tài)同樣通過表示膜固定部54的長方形被涂黑來表示。(G)然后，在利用主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23使主輥21向正轉(zhuǎn)方向(圖3 (d)中箭頭C 的方式)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29使主輥21和輔助輥22在維持兩個(gè) 輥的相對位置的情況下即維持膜2的抱緊狀態(tài)的情況下，向上游側(cè)(圖3(d)中的箭頭A的 方向)移動(dòng)。此時(shí)，為了使膜2在主輥21的表面不打滑，優(yōu)選在主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23與膜把持 裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29之間取得彼此的速度的同步，以使得主輥21的圓周速度和膜把持裝 置20的移動(dòng)速度相同。膜把持裝置20在被一對底座移動(dòng)引導(dǎo)件25a、25b引導(dǎo)的同時(shí)進(jìn)行 移動(dòng)。通過該膜把持裝置20的移動(dòng)，與模具表面3a緊貼的膜(處理過的膜)2如圖3(d) 所示從模具表面3a剝離。(H)當(dāng)膜2的直到模具3的上游側(cè)端部的剝離完成時(shí)，如圖3(e)所示，主輥21停 止旋轉(zhuǎn)。(I)然后，如圖3(f)所示，成為以下狀態(tài)膜固定部54對膜2的約束釋放，并且膜 把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29的動(dòng)作停止，膜把持裝置20保持成不會(huì)沿著一對底座移動(dòng)引導(dǎo) 件25a、25b移動(dòng)。從該狀態(tài)起，利用主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23使主輥21向正轉(zhuǎn)方向(所述箭 頭C的方向)旋轉(zhuǎn)，從而將新的預(yù)定長度的膜(被處理膜)2向下游側(cè)輸送。該新的預(yù)定長 度的膜2的進(jìn)給相當(dāng)于膜2的間歇的進(jìn)給量。此時(shí)，為了使膜2在比輔助輥22靠下游側(cè)的位置不會(huì)松弛而且抑制褶皺的產(chǎn)生， 優(yōu)選利用搬送驅(qū)動(dòng)輥64對膜2施加適度的張力。該間歇的膜的進(jìn)給的動(dòng)作還可以通過以 下動(dòng)作來進(jìn)行從主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23釋放主輥21，將主輥21從驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)切換到隨動(dòng)旋 轉(zhuǎn)，使主輥21成為旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)，使處于下游側(cè)的搬送驅(qū)動(dòng)輥64旋轉(zhuǎn)。(J)然后，使膜固定部54成為動(dòng)作狀態(tài)。關(guān)于該膜固定部54或者膜固定部65的 動(dòng)作狀態(tài)，在圖3中，通過以下方式示出表示它們的長方形分別僅用框的描繪來表示。接 著，利用主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23使主輥21向反轉(zhuǎn)方向(圖3(g)中箭頭D的方向)旋轉(zhuǎn)，同 時(shí)利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29使主輥21和輔助輥22在維持兩個(gè)輥的相對位置的情 況下即維持膜2的抱緊狀態(tài)的情況下向下游側(cè)(圖3(g)中箭頭B的方向)移動(dòng)，從而沿著 模具表面3a供給新的預(yù)定長度的膜(被處理膜)2。此時(shí)，為了使膜2在主輥21的表面不打滑，優(yōu)選在主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23與膜把持 裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29之間取得彼此的速度的同步，以使得主輥21的圓周速度和膜把持裝置20的移動(dòng)速度相同。此時(shí)，優(yōu)選利用上游側(cè)的具有張力調(diào)整功能的放卷緩沖部53、搬送 輥52b、52c、52d中的任一個(gè)來調(diào)節(jié)作用于膜的張力，以避免從模具3的上游側(cè)端部對位于 上游側(cè)的膜2過度地作用張力。若對膜2過度地作用張力，則膜2在模具3的端部容易受到熱負(fù)荷。當(dāng)受到熱負(fù) 荷時(shí)，在受到熱負(fù)荷的部分，膜的彈性率降低，會(huì)產(chǎn)生在該部分膜局部地伸長的情況。關(guān)于 該問題，在考慮到膜2的厚度的基礎(chǔ)上，通過在主輥21的周面與模具表面3a之間保持略微 的間隙，可以解決該問題。(K)當(dāng)新的預(yù)定長度的膜(被處理膜)2向模具表面3a的供給完成并且膜把持裝 置20的主輥21和輔助輥22到達(dá)比模具3的下游側(cè)端靠下游側(cè)的位置時(shí)，如圖3(h)所示， 輔助輥22通過輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24的動(dòng)作而回轉(zhuǎn)，并回到原來的位置(待機(jī)位置22P)。 在該時(shí)刻，膜2從對主輥21和輔助輥22的抱緊狀態(tài)釋放。與形成該釋放狀態(tài)大致同時(shí)，利 用膜固定部65將膜2固定。此時(shí)，優(yōu)選利用下游側(cè)的具有張力調(diào)整功能的搬送驅(qū)動(dòng)輥64、搬送輥62a、62b、卷 繞緩沖部63中的任一個(gè)來調(diào)節(jié)作用于膜的張力，以避免從模具3的下游側(cè)端對位于下游側(cè) 的膜過度地作用張力。該作用于膜的張力的調(diào)整還可以通過調(diào)節(jié)輔助輥22的回轉(zhuǎn)下降和 膜固定部65的動(dòng)作的時(shí)機(jī)來進(jìn)行。當(dāng)對膜2過度地作用張力時(shí)，膜2在模具3的端部容易 受到熱負(fù)荷。當(dāng)受到熱負(fù)荷時(shí)，在受到熱負(fù)荷的部分，膜的彈性率降低，會(huì)產(chǎn)生在該部分膜 局部地伸長的情況。(L)通過將新的預(yù)定長度的膜供給到模具表面3a，呈U字狀地位于放卷緩沖部53 的盒體55內(nèi)的膜被向下游側(cè)拉出。該膜的拉出狀態(tài)被傳感器57a檢測到，基于該檢測，放 卷輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)51動(dòng)作，從膜輥2Sa拉出膜2，被拉出的膜2被供給到放卷緩沖部53的 盒體55內(nèi)。該膜2向盒體55內(nèi)的供給狀態(tài)被傳感器57b檢測到，基于該檢測，使放卷輥旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)51停止動(dòng)作，停止從膜輥2Sa向盒體55內(nèi)供給膜2。另一方面，從上游側(cè)搬送來 的完成了圖案的成形的預(yù)定長度的處理過的膜呈U字狀地臨時(shí)收納在卷繞緩沖部63的盒 體66內(nèi)。該收納狀態(tài)被傳感器68b檢測。接著，通過卷繞輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61的動(dòng)作來領(lǐng)取膜，直到傳感器68a檢測不到膜2 為止、即領(lǐng)取長度相當(dāng)于新積存量的長度的膜。被領(lǐng)取的膜被卷起，從而形成處理過輥2Fa。(M)作為接下來的新的被處理膜的成形加工的準(zhǔn)備，在完成膜自模具表面3a的剝 離的同時(shí)，或者在即將完成之前，開始上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b的加熱。使膜按壓裝置 10動(dòng)作，使上調(diào)溫板15a下降輥21通過一對主輥支承臂21Aa、21Ab安裝于一對底座26a、 26b，另外，輔助輥22通過一對輔助輥支承臂22Ca、22Cb安裝于一對底座26a、26b。一對底 座22Ca、22Cb能夠沿著一對底座移動(dòng)引導(dǎo)件25a、25b移動(dòng)。另外，設(shè)置有膜把持裝置移動(dòng) 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29，該膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29用于根據(jù)需要使一對底座22Ca、22Cb沿著一對 底座移動(dòng)引導(dǎo)件25a、25b積極地移動(dòng)。在膜的制造裝置401中，除了主輥21之外，在主輥21的上游側(cè)裝備有褶皺展平輥 421，該褶皺展平輥421與主輥21隔開間隔地平行地配置，并且與膜2的圖案形成的面相反 側(cè)的面接觸。褶皺展平輥421在其兩端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于一對褶皺展平輥支承臂 22Da、22Db。一對褶皺展平輥支承臂22Da、22Db的下端部分別固定于一對底座26a、26b。因此，褶皺展平輥421隨著一對底座26a、26b的移動(dòng)而能夠在膜2的縱長方向移動(dòng)。由此，形 成了膜的制造裝置401中的防褶皺產(chǎn)生裝置420B。在膜的制造裝置1中，如前所述，主輥21具有將膜從模具表面剝離、向模具表面供 給膜、以及在向模具表面供給膜的同時(shí)防止膜產(chǎn)生褶皺的作用。與此相對，在膜的制造裝 置401中，通過主輥21進(jìn)行膜自模具表面的剝離以及膜向模具表面的供給，而與利用主輥 21向模具表面供給膜同時(shí)進(jìn)行的防止膜產(chǎn)生褶皺則通過與主輥21分開設(shè)置的褶皺展平輥 421來進(jìn)行。在膜的制造裝置401中，在從模具表面3a剝離膜2的情況下，在使主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)23保持恒定轉(zhuǎn)矩的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29，使膜剝離裝置20A —邊向 上游側(cè)移動(dòng)一邊從模具表面3a將膜2剝離。在膜2的表面與主輥21的周面之間的摩擦力 足夠高的情況下，僅通過該摩擦力和作用于膜2的張力，就能夠獲得膜把持裝置20的沿著 一對底座移動(dòng)引導(dǎo)件25a、25b的移動(dòng)力。在該情況下，不需要利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)29使一對底座26a、26b積極地移動(dòng)。褶皺展平輥421的周面中的至少與膜2接觸的周面優(yōu)選由以硅酮類樹脂或者氟類 樹脂為主要成分的發(fā)泡海綿來形成，以使得即使一邊將膜2接觸或者按壓于模具表面3a — 邊供給膜2，模具表面3a的微細(xì)的凹凸圖案也不會(huì)破損，并且褶皺展平輥421的表面不會(huì)由 于高溫的模具表面3a而劣化。通過褶皺展平輥421使膜2 —邊接觸或者按壓于到膜2的 表面附近。在完成了準(zhǔn)備的階段，反復(fù)進(jìn)行自上述工序(C)起的動(dòng)作。通過上述工序(F)至(H)的動(dòng)作，能夠?qū)⒛哪＞弑砻?a順暢的剝離的剝離動(dòng)作 組入到間歇式膜的成形加工循環(huán)中，能夠制造出剝離痕跡少的成形膜。通過上述工序(I)的動(dòng)作，能夠?qū)㈨槙车哪みM(jìn)給動(dòng)作組入到間歇式膜的成形加工 循環(huán)中，能夠制造出搬送褶皺少的成形膜。通過上述工序(J)的動(dòng)作，能夠順暢地向模具表面供給膜，能夠以沒有褶皺的狀 態(tài)將膜供給到模具表面。在該工序(J)中，不僅以剝離為目的的張力不會(huì)作用于從下游側(cè) 位于模具表面的膜，而且膜向模具表面供給時(shí)的防止膜產(chǎn)生褶皺也在不對膜作用使褶皺產(chǎn) 生的張力的狀態(tài)下進(jìn)行，因此，能夠制造出也抑制了成形加工后的膜的起伏的成形膜。通過組合上述工序(C)至(M)的一連串的膜的剝離動(dòng)作和膜的供給動(dòng)作而成的成 形循環(huán)，能夠迅速地將在下一循環(huán)中成形的膜供給到膜按壓裝置內(nèi)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)具有高 生產(chǎn)率的間歇式的成形膜的制造方法。圖4是本發(fā)明的膜的制造裝置的第二實(shí)施方式的一例的部分概略側(cè)視圖。圖5是 說明使用圖4所示的裝置實(shí)施本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式的情況下的主要?jiǎng)?作要素的動(dòng)作狀態(tài)的圖，圖5中的(a)至(h)是說明該動(dòng)作狀態(tài)的時(shí)序變化的圖。圖6是 說明使用圖4所示的裝置實(shí)施本發(fā)明的膜的制造方法的第三實(shí)施方式的情況下的主要?jiǎng)?作要素的動(dòng)作狀態(tài)的圖，圖6中的(a)至(g)是說明該動(dòng)作狀態(tài)的時(shí)序變化的圖。在圖4中表示本發(fā)明的膜的制造裝置401。膜的制造裝置401與圖1所示的膜的 制造裝置1的不同部分僅在于防褶皺產(chǎn)生裝置的部分。因此，這里主要對膜的制造裝置401 中的防褶皺產(chǎn)生裝置的結(jié)構(gòu)及其作用進(jìn)行說明。另外，因而在圖4中，在膜的制造裝置401 的各裝置要素中，與膜的制造裝置1中的各裝置要素共同的裝置要素用與膜的制造裝置1 中的裝置要素相同的標(biāo)號(hào)進(jìn)行圖示。
膜的制造裝置401具有膜的制造裝置1中的膜剝離裝置20A。S卩，膜的制造裝置 401具有包括主輥21和輔助輥22的膜把持裝置20。主模具表面3a —邊移動(dòng)，能夠獲得更 高的褶皺展平效果。褶皺展平輥421的周面可以由金屬、樹脂或者橡膠形成。作為樹脂或橡膠的優(yōu)選 的示例，有氟類樹脂、三元乙丙橡膠(EPDM)、硅酮橡膠、氟橡膠，優(yōu)選為即使接觸或者接近高 溫的模具表面也不易因熱而劣化的材料。優(yōu)選對褶皺展平輥421的周面實(shí)施光滑處理以使 膜2與褶皺展平輥421的周面不緊貼。作為光滑處理，例如，優(yōu)選使用增大周面的表面粗糙 度或者以類金剛石為主要成分的表面涂敷處理。在增大表面粗糙度的情況下，將褶皺展平 輥421的周面的粗糙度算術(shù)平均偏差值(JIS B0601)選定為1. 0 μ m至100 μ m的范圍，能 夠確保適度的光滑性，因此是優(yōu)選的。在膜極薄而且模具表面的微細(xì)的凹凸圖案極其微細(xì)的情況下，當(dāng)在褶皺展平輥與 模具表面接觸時(shí)有可能損傷模具表面的情況下，優(yōu)選將褶皺展平輥的周面與模具表面之間 的距離(間隙)H選定在0. Imm至5mm的范圍。更加優(yōu)選的為0. Imm至Imm的范圍。關(guān)于 褶皺展平輥的周面與模具表面之間的距離(間隙)H，是在圖2所示的主輥的周面與模具表 面之間的距離(間隙)H中將主輥置換成褶皺展平輥的情況下的距離(間隙)H。在該間隙H超過5mm的情況下，褶皺展平輥的褶皺展平效果不充分。在該間隙H 不到0. Imm的情況下，模具表面與褶皺展平輥接觸的可能性變高，在發(fā)生了接觸的情況下， 會(huì)產(chǎn)生模具表面的微細(xì)的凹凸圖案破損的情況。褶皺展平輥與模具表面的平行度優(yōu)選在 0. 5mm以下，更優(yōu)選在0. Imm以下。褶皺展平輥421的周面優(yōu)選由具有一定的彈性和粘接性的橡膠形成。在該情況 下，該橡膠的橡膠硬度(JIS K6253)優(yōu)選為40到70，更優(yōu)選為50到60。褶皺展平輥421的 周面的粗糙度算術(shù)平均偏差值(JIS B0601)優(yōu)選為0. 01 μ m到1. 0 μ m。更優(yōu)選為0. 01 μ m 到0.5 μ m。作為合適的橡膠，有三元乙丙橡膠(EPDM)、硅酮橡膠、氟橡膠。在橡膠硬度大于70或者粗糙度算術(shù)平均偏差值大于1. 0 μ m的情況下，有時(shí)膜2 與褶皺展平輥421之間的緊貼性不充分。在該情況下，在防止褶皺產(chǎn)生時(shí)，有時(shí)會(huì)在膜2與 褶皺展平輥421之間產(chǎn)生滑動(dòng)，由于膜2的張力降低而導(dǎo)致防褶皺產(chǎn)生力出現(xiàn)降低。若橡 膠硬度不到40，則防止褶皺產(chǎn)生動(dòng)作時(shí)的橡膠的變形增大，因此，有時(shí)防止褶皺產(chǎn)生動(dòng)作變 得不穩(wěn)定。在該情況下，有時(shí)會(huì)在膜的面上產(chǎn)生褶皺展平痕跡。粗糙度算術(shù)平均偏差值不 到0. 01 μ m的褶皺展平輥有時(shí)制作困難。接下來使用圖4所示的膜的制造裝置401來說明前述的本發(fā)明的膜的制造方法的
第二實(shí)施方式。在本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式中，膜2從模具表面3a的剝離通過以下 方式進(jìn)行在一邊使主輥21和輔助輥22兩個(gè)輥旋轉(zhuǎn)一邊使膜2抱緊在兩個(gè)輥上的狀態(tài)下， 使主輥21在模具表面3a的附近與模具表面3a平行地從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)。該將膜2 從模具表面3a剝離的動(dòng)作與上述的本發(fā)明的膜的制造方法的第一實(shí)施方式的情況相同。接著，在使兩個(gè)輥停止向膜的縱長方向移動(dòng)的狀態(tài)下，在兩個(gè)輥的旋轉(zhuǎn)下進(jìn)行膜2 的進(jìn)給。該膜的進(jìn)給動(dòng)作與上述的本發(fā)明的膜的制造方法的第一實(shí)施方式的情況相同。接著，沿著模具表面3a進(jìn)行膜2的供給，并且，該膜的供給中的防止褶皺產(chǎn)生通過 使褶皺展平輥421 —邊旋轉(zhuǎn)一邊沿著模具表面3a從上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)來進(jìn)行。關(guān)于該防止褶皺產(chǎn)生動(dòng)作，在上述本發(fā)明的膜的制造方法的第一實(shí)施方式的情況下，如前所述，通 過主輥21的移動(dòng)來進(jìn)行，而在本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式的情況下，通過褶皺 展平輥421的移動(dòng)來進(jìn)行。在該點(diǎn)上，兩個(gè)實(shí)施方式是不同的。使用圖4和圖5說明本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式中的主要?jiǎng)幼?。在?從模具表面3a剝離的剝離動(dòng)作之前，膜把持裝置20在圖5 (a)所示的待機(jī) 位置22p待機(jī)。在圖5中，箭頭A表示上游側(cè)(膜的放卷側(cè))，箭頭B表示下游側(cè)(膜的卷 繞側(cè))。在開始剝離動(dòng)作時(shí)，如圖5(b)、圖5(c)所示，驅(qū)動(dòng)輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24，使輔助 輥22移動(dòng)到主輥21的大致上方。然后，如圖5(d)所示，利用主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23使主輥21向正轉(zhuǎn)方向(箭頭C 方向)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29使膜把持裝置20向上游側(cè)(箭頭A方 向)移動(dòng)。主輥21 —邊正轉(zhuǎn)(箭頭C方向)一邊沿著模具表面3a向上游側(cè)移動(dòng)。隨著該 移動(dòng)，貼在模具表面3a上的膜2 —邊維持膜2抱緊在主輥21上的狀態(tài)一邊被連續(xù)地剝離。當(dāng)如圖5 (e)所示在模具表面3a的整個(gè)區(qū)域完成了膜2的剝離時(shí)，如圖5 (f)所示， 成為主輥21不向上游側(cè)和下游側(cè)移動(dòng)的狀態(tài)。即，膜把持機(jī)構(gòu)移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29動(dòng)作從而 成為對膜把持裝置20實(shí)施了制動(dòng)的狀態(tài)，以使得膜把持裝置20不會(huì)移動(dòng)。在該狀態(tài)下，利 用主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23使主輥21向正轉(zhuǎn)方向(箭頭C方向)旋轉(zhuǎn)，從而向下游側(cè)輸送間 歇進(jìn)給長度量的膜2。優(yōu)選的是，在進(jìn)行該膜進(jìn)給期間，位于下游側(cè)的搬送驅(qū)動(dòng)輥64旋轉(zhuǎn)，以對膜2賦予 張力。通過該張力賦予，不僅能夠防止朝向模具表面3a的膜2的松弛，而且能夠防止膜2 產(chǎn)生在膜搬送時(shí)容易產(chǎn)生的褶皺。另一方面，向下游側(cè)輸送間歇進(jìn)給長度量的膜2也可以通過以下方式進(jìn)行操作 主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23使主輥21成為能夠自由旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)，而且使搬送驅(qū)動(dòng)輥64旋轉(zhuǎn)。接下來，如圖5(g)所示，利用主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23使主輥21向反轉(zhuǎn)方向(箭頭D 方向)旋轉(zhuǎn)，像將膜2供給到模具表面3a那樣，使先前輸送的間歇進(jìn)給長度量的膜2卷回， 同時(shí)利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29使膜把持裝置20向下游側(cè)(箭頭B方向)移動(dòng)，。通 過該移動(dòng)，與膜把持裝置20安裝于相同的底座26a、26b的褶皺展平輥421跟隨主輥21的 移動(dòng)而沿著膜2的表面向下游側(cè)一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)。此時(shí)，主輥21和褶皺展平輥421也可以與位于模具表面的狀態(tài)的膜的、與模具表 面接觸的表面的相反側(cè)的表面接觸，也可以配置成在與該表面之間保持有略微的間隙。接下來，如圖5(h)所示，當(dāng)膜2向模具表面3a的供給完成且膜把持裝置20到達(dá) 其移動(dòng)范圍的下游端時(shí)，利用輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24，使輔助輥22回轉(zhuǎn)移動(dòng)到主輥21的大 致下方，膜2被從主輥21和輔助輥22的把持釋放。在膜自模具表面剝離的剝離動(dòng)作中以及向模具表面供給膜的供給動(dòng)作中，優(yōu)選的 是，在主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23和膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29之間取得動(dòng)作和動(dòng)作程度的同 步，使得主輥21的圓周速度和膜把持裝置20的移動(dòng)速度一致，并使得在主輥21的表面和 膜2之間不會(huì)產(chǎn)生打滑。在膜自模具表面的剝離時(shí)和向模具表面的供給時(shí)，褶皺展平輥421也可以與位于 模具表面的狀態(tài)的膜的、與模具表面接觸的表面的相反側(cè)的表面接觸。這樣，當(dāng)在褶皺展平 輥與位于模具表面的膜的表面接觸的狀態(tài)下進(jìn)行防止褶皺產(chǎn)生動(dòng)作的情況下，優(yōu)選的是，能夠控制褶皺展平輥帶來的膜向模具表面的按壓力。例如，優(yōu)選的是，在褶皺展平輥的輥軸 的兩端部附設(shè)由氣缸或彈簧等彈性部件等構(gòu)成的褶皺展平輥按壓調(diào)整機(jī)構(gòu)，以便能夠控制 褶皺展平輥的向模具表面方向的按壓力。通過使褶皺展平輥以適度的接觸壓力與位于模具 表面的膜的表面接觸，能夠增大褶皺展平效果。接下來，使用圖4所示的膜的制造裝置401對前述的本發(fā)明的膜的制造方法的第 三實(shí)施方式進(jìn)行說明。前述的本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式和前述的本發(fā)明的膜 的制造方法的第三實(shí)施方式均可以使用圖4所示的膜的制造裝置401來實(shí)施，但是在各個(gè) 實(shí)施方式中，膜的制造裝置401中的若干個(gè)要素裝置的動(dòng)作方式不同。下面對該不同點(diǎn)進(jìn) 行說明。在本發(fā)明的膜的制造方法的第三實(shí)施方式中，膜2自模具表面3a的剝離通過以下 方式進(jìn)行在一邊使主輥21和輔助輥22兩個(gè)輥旋轉(zhuǎn)一邊使膜2抱緊在兩個(gè)輥上的狀態(tài)下， 使主輥21在模具表面3a的附近與模具表面3a平行地從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)。該將膜2 自模具表面3a剝離的動(dòng)作與前述的本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式的情況相同。接下來，通過以下方式進(jìn)行膜2向模具表面的供給在使兩個(gè)輥停止旋轉(zhuǎn)的狀態(tài) 下，而且在膜2抱緊在兩個(gè)輥上的狀態(tài)下，使主輥21在模具表面3a的附近與模具表面3a 平行地從上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)。即，膜2向模具表面3a的供給通過在主輥21和輔助輥22 的旋轉(zhuǎn)被阻止的狀態(tài)下使膜把持裝置20從上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)來進(jìn)行。該向模具表面3a供給膜2的供給動(dòng)作與前述的本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí) 施方式的情況不同。在本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式的情況下，通過兩個(gè)輥的旋 轉(zhuǎn)將間歇進(jìn)給長度量的膜一度送入到模具3的上方空間，接著，在兩個(gè)輥向相反方向旋轉(zhuǎn) 的同時(shí)，兩個(gè)輥沿著模具表面3a移動(dòng)，由此來進(jìn)行一度送入的膜2的供給。與此相對，在本 發(fā)明的膜的制造方法的第三實(shí)施方式的情況下，在事前不存在送入膜2的動(dòng)作，通過在兩 個(gè)輥的旋轉(zhuǎn)被阻止的狀態(tài)下使兩個(gè)輥沿著模具表面3a移動(dòng)，來直接沿著模具表面3a供給 膜2。一邊進(jìn)行上述的膜2的供給，一邊利用在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)沿著模具表面3a移動(dòng)的褶皺 展平輥421來防止供給到模具表面3a的膜2產(chǎn)生褶皺。該褶皺展平輥421所進(jìn)行的防止 褶皺產(chǎn)生的動(dòng)作與前述的本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式的情況相同。使用圖4和圖6說明本發(fā)明的膜的制造方法的第三實(shí)施方式中的主要?jiǎng)幼?。圖6(a)至圖6(e)所示的動(dòng)作與使用圖5 (a)至圖5(e)說明的上述的動(dòng)作相同， 因此這里省略說明。圖6(f)表示上游側(cè)的膜固定部54被釋放且對主輥21的旋轉(zhuǎn)實(shí)施了制動(dòng)的狀態(tài)。 在該狀態(tài)下，保持膜2卷繞在主輥21與輔助輥22上的狀態(tài)，利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 29使兩個(gè)輥即膜把持裝置20向下游側(cè)移動(dòng)，從放卷緩沖部53拉出間歇進(jìn)給長度量的膜2， 將拉出的膜2沿著模具表面3a供給。在該沿著模具表面3a供給膜2的同時(shí)，褶皺展平輥 421沿著模具表面3a —邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此防止膜2產(chǎn)生褶皺。此時(shí)，優(yōu)選的是，位于下游側(cè)的搬送驅(qū)動(dòng)輥64旋轉(zhuǎn)，從而對膜2賦予張力。通過該 張力賦予，不僅能夠防止朝向模具表面3a的膜2產(chǎn)生松弛，而且能夠防止膜2產(chǎn)生在膜搬 送時(shí)容易產(chǎn)生的褶皺。接著，如圖6(g)所示，當(dāng)膜2向模具表面3a的供給完成且膜把持裝置20到達(dá)其移動(dòng)范圍的下游端時(shí)，利用輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24使輔助輥22轉(zhuǎn)移動(dòng)到主輥21的大致下 方，膜2被從主輥21和輔助輥22的把持釋放。圖7是本發(fā)明的膜的制造裝置的第三實(shí)施方式的一個(gè)例子的概略側(cè)視圖。圖8是 沿圖7中的Y-Y截面的箭頭方向視圖。圖9是使用圖7所示的裝置說明實(shí)施本發(fā)明的膜的 制造方法的第二實(shí)施方式的情況下的主要?jiǎng)幼饕氐膭?dòng)作狀態(tài)的圖。圖9中的(a)至(h) 是說明該動(dòng)作狀態(tài)的時(shí)序變化的圖。另一方面，使用圖7所示的裝置，通過使該裝置中的若 干個(gè)裝置要素的動(dòng)作不同，還能夠?qū)嵤┍景l(fā)明的膜的制造方法的第三實(shí)施方式。圖7表示本發(fā)明的膜的制造裝置701。在圖4所示的膜的制造裝置401中，相對于 主輥21裝備有主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23，而膜的制造裝置701雖然具有主輥21，但是沒有相對 于該主輥21裝備主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，在膜的制造裝置701中，在模具3與設(shè)置于比 模具3靠下游側(cè)的位置的搬送驅(qū)動(dòng)輥64之間的膜搬送路徑2A中，具有用于調(diào)整膜的張力 的膜張力調(diào)整機(jī)構(gòu)。但是，膜的制造裝置401不具有該膜張力調(diào)整機(jī)構(gòu)。膜的制造裝置401和膜的制造裝置701在這些方面是不同的。其他裝置要素在膜 的制造裝置701和膜的制造裝置401中是共同的。因此，對于共同的裝置要素，在圖7中使 用與圖1、圖2以及圖4相同的標(biāo)號(hào)。對于兩個(gè)裝置中共同的裝置要素，由于已經(jīng)說明過，因 此這里省略說明。在膜的制造裝置701中，如圖8所示，主輥21不具有圖4中觀察到的與主輥21卡 合的主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23。在圖8中，主輥21在其兩端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于一對主 輥支承臂21Aa、21Ab。S卩，主輥21以能夠通過移動(dòng)的物體(例如行進(jìn)膜)的接觸而從動(dòng)旋 轉(zhuǎn)的方式支承于一對主輥支承臂2lAa、2IAb。在膜搬送方向上比主輥21靠下游側(cè)的位置，設(shè)置有用于對膜2適當(dāng)?shù)刭x予張力的 膜張力調(diào)整機(jī)構(gòu)70。膜張力調(diào)整機(jī)構(gòu)70例如如圖7所示，由沿著膜搬送路徑2A從上游側(cè) 朝向下游側(cè)排列的引導(dǎo)輥71、張力檢測用輥72、搬送驅(qū)動(dòng)輥64以及基于張力檢測用輥72 的動(dòng)作來檢測張力的張力檢測機(jī)構(gòu)73構(gòu)成。根據(jù)由膜張力檢測機(jī)構(gòu)73檢測到的膜的張力 的值，來調(diào)整搬送驅(qū)動(dòng)輥64的驅(qū)動(dòng)，控制膜張力調(diào)整機(jī)構(gòu)70對膜的張力的施加程度。如果使用膜的制造裝置701，則與膜的制造裝置401 —樣，能夠分別實(shí)施前述的本 發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式以及前述的本發(fā)明的膜的制造方法的第三實(shí)施方式。 接下來，使用膜的制造裝置701對本發(fā)明的膜的制造方法的第二實(shí)施方式的實(shí)施狀態(tài)進(jìn)行 說明。在從模具表面3a剝離膜2的動(dòng)作之前，如圖9 (a)所示，主輥21和輔助輥22在待 機(jī)位置22p待機(jī)。即，膜把持裝置20在主輥21和輔助輥22位于待機(jī)位置22p的狀態(tài)下待 機(jī)。在圖9中，箭頭A表示上游側(cè)，箭頭B表示下游側(cè)。在開始從模具表面3a剝離膜2的 動(dòng)作的情況下，如圖9 (b)、圖9 (c)所示，輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24動(dòng)作，使輔助輥22移動(dòng)到 主輥21的大致上方。然后，如圖9(d)所示，膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29動(dòng)作，膜把持裝置 20向上游側(cè)移動(dòng)。即，主輥21向上游側(cè)移動(dòng)。此時(shí)，下游側(cè)的搬送驅(qū)動(dòng)輥64同時(shí)動(dòng)作，對 膜2施加張力。主輥21 —邊向上游側(cè)移動(dòng)一邊沿著結(jié)束了模具表面3a上的圖案成形的膜 2旋轉(zhuǎn)，從而從模具表面3a將膜2從下游側(cè)朝向上游側(cè)剝離。當(dāng)如圖9 (e)所示在模具表面3a的整個(gè)區(qū)域完成了膜2的剝離時(shí)，如圖9 (f)所示， 上游側(cè)的膜固定部54成為釋放的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，利用膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29使膜把持裝置20處于移動(dòng)停止的狀態(tài)，以使得主輥21不會(huì)向上游側(cè)和下游側(cè)移動(dòng)，即，使得 膜把持裝置20不會(huì)沿著一對底座移動(dòng)引導(dǎo)件25a、25b移動(dòng)。在該狀態(tài)下，抱緊在旋轉(zhuǎn)自如 的主輥21和旋轉(zhuǎn)自如的輔助輥22上的膜2，通過搬送驅(qū)動(dòng)輥64的驅(qū)動(dòng)而被領(lǐng)取間歇進(jìn)給 長度量。此時(shí)，通過膜2的移動(dòng)，主輥21和輔助輥22借助與膜的摩擦力而從動(dòng)旋轉(zhuǎn)。接下來，如圖9 (g)所示，上游側(cè)的膜固定部54處于動(dòng)作狀態(tài)即閉合，膜把持裝置 移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29動(dòng)作，主輥21向下游側(cè)移動(dòng)。與此同時(shí)，通過搬送驅(qū)動(dòng)輥64的動(dòng)作對膜2 施加一定的張力，由此沿著模具表面3a來供給膜2。此時(shí)，旋轉(zhuǎn)自如的主輥21和旋轉(zhuǎn)自如 的輔助輥22也借助與膜2的摩擦力而從動(dòng)旋轉(zhuǎn)。與此同時(shí)通過一邊旋轉(zhuǎn)一邊沿著膜2移 動(dòng)的褶皺展平輥421來防止沿著模具表面3a供給的膜2產(chǎn)生褶皺。然后，如圖9(h)所示，當(dāng)膜2向模具表面3a的供給完成且膜把持裝置20到達(dá)了 其移動(dòng)范圍的下游端時(shí)，利用輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24使輔助輥22移動(dòng)到主輥21的大致下 方，使兩個(gè)輥對膜2的把持釋放。使用本發(fā)明的膜的制造方法和制造裝置，用于成形在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的 膜優(yōu)選為以熱塑性樹脂為主要成分的膜。其?；瘻囟萒g優(yōu)選在40°C至180°C的范圍。該 范圍更優(yōu)選為50°C至160°C，進(jìn)一步優(yōu)選為50°C至120°C。在?；瘻囟萒g不到40°C的情況下，成形品的耐熱性低，另外，其形狀有時(shí)會(huì)隨著 時(shí)間的經(jīng)過而變化。另外，在?；瘻囟萒g超過180°C的情況下，不得不提高成形溫度。高成 形溫度在能量方面效率低。另外，膜的加熱/冷卻時(shí)的體積變動(dòng)變大，有時(shí)膜會(huì)嚙入模具表 面而難以剝離。即使能夠剝離，有時(shí)圖案的轉(zhuǎn)印精度也會(huì)降低，或者在局部圖案有缺失而成 為缺點(diǎn)。作為所述以熱塑性樹脂為主要成分的膜的成分，例如優(yōu)選使用如下材質(zhì)聚對苯 二甲酸乙二醇酯、聚2，6_萘二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇 酯等聚酯類樹脂；聚乙烯、聚苯乙烯、聚丙烯、聚異丁烯、聚丁烯、聚甲基戊烯等聚烯烴類樹 脂；聚酰胺類樹脂；聚酰亞胺類樹脂；聚醚類樹脂；聚酯酰胺類樹脂；聚醚酯類樹脂；丙烯 酸類樹脂；聚氨酯類樹脂；聚碳酸酯類樹脂；或者聚氯乙烯類樹脂。這其中共聚的單體種類是多樣的，而且材料物性的調(diào)整因此而容易，因此，優(yōu)選使 用聚酯類樹脂、聚烯烴類樹脂、聚酰胺類樹脂、丙烯酸類樹脂、或者是它們的混合物。所使用 的膜優(yōu)選包含50重量％以上的上述的熱塑性樹脂。要使用本發(fā)明的膜的制造方法和制造裝置來成形圖案的原來的膜、即被加工膜 (被處理膜)可以是由以上所列舉的樹脂的單體構(gòu)成的單層膜，也可以是由多層樹脂層構(gòu) 成的層疊膜。在為層疊膜的情況下，與單層膜相比，容易對膜賦予易滑性和耐摩擦性等表面 特性、強(qiáng)度等機(jī)械特性、或者耐熱性等熱特性。在為層疊膜的情況下，優(yōu)選膜整體都滿足上 述的要件，但是即使作為膜整體不滿足上述要件，只要至少使?jié)M足上述要件的層形成在表 層，就能夠容易地在其表面上成形所希望的圖案。被加工膜(被處理膜)的厚度(膜厚)優(yōu)選在0. Olmm至Imm的范圍。若厚度不 到0. Olmm,則沒有成形所需的足夠的厚度，另外，在厚度超過了 Imm的情況下，由于膜的剛 性，有時(shí)膜在制造裝置中的搬送變難。被加工膜(被處理膜)例如可以含有有機(jī)微粒、無機(jī)微粒、分散劑、染料、熒光增 白齊IJ、防氧化劑、耐候劑、防靜電劑、脫模劑、增粘劑、可塑劑、PH調(diào)整劑以及鹽等。特別是作為用于使自模具表面的剝離性良好的脫模劑，優(yōu)選在被加工膜(被處理膜)中含有少量的 長鏈羧酸或者長鏈羧酸鹽等表面張力低的羧酸及其衍生物、以及長鏈乙醇及其衍生物、變 性硅油等表面張力低的乙醇化合物等。在被加工膜(被處理膜)的進(jìn)行圖案成形的面上優(yōu)選層疊有脫模層。通過在被加 工膜(被處理膜)的最表面即與模具表面接觸的面上預(yù)先設(shè)置脫模層，能夠提高賦予模具 表面的脫模涂層的耐久性(反復(fù)使用次數(shù))。例如即使是在使用部分地喪失了脫模效果的 模具的情況下，由于在膜側(cè)存在脫模層，因此膜自模具表面的剝離均一地進(jìn)行。即使對模具 表面完全不實(shí)施脫模處理，由于在膜側(cè)存在脫模層，也能夠順暢地進(jìn)行膜自模具表面的剝 離。在該情況下，能夠削減模具的脫模處理成本。由于在膜側(cè)存在脫模層，所以能夠防止將膜從模具表面剝離時(shí)由于樹脂粘接所導(dǎo) 致的成形圖案破壞。另外，能夠在更高的溫度下進(jìn)行膜的剝離，能夠縮短循環(huán)時(shí)間。此外， 通過提高膜表面的光滑性，耐劃傷性提高，能夠減少在制造工序等中產(chǎn)生的缺點(diǎn)。在被加工膜(被處理膜)的兩個(gè)最外層進(jìn)行圖案成形的情況下，可以在任一方預(yù) 定圖案成形的表面上設(shè)置脫模層，也可以在兩個(gè)最外層上設(shè)置脫模層。構(gòu)成脫模層的樹脂并不特別限定，但是，優(yōu)選為以硅酮類樹脂、氟類樹脂、脂肪酸 類樹脂、聚酯類樹脂、烯烴類樹脂、密胺類樹脂為主要成分的樹脂。這其中，更優(yōu)選為硅酮類 樹脂、氟類樹脂、脂肪酸類樹脂。在脫模層中，除了上述樹脂以外，也可以配合例如丙烯酸樹 脂、尿烷樹脂、環(huán)氧樹脂、尿素樹脂、酚醛樹脂等。另外，也可以配有各種添加劑、例如，防靜 電劑、界面活性劑、防氧化劑、耐熱穩(wěn)定劑、耐候穩(wěn)定劑、紫外線吸收劑、顏料、染料、有機(jī)或 無機(jī)微粒、填充劑、成核劑、交聯(lián)劑等。脫模層的厚度并不特別限定，但是優(yōu)選是0.01 μ m至 5 μ m的范圍。該脫模層的厚度若不到0. 01 μ m,則有時(shí)上述的脫模性提高效果會(huì)降低。作為在被加工膜(被處理膜)的表面形成脫模層的方法，并沒有特別限定，可以使 用各種涂布方法，例如逆涂法、凹版涂布法、棒涂法、刮棒涂布法、模壓涂布法或者噴涂法。 從生產(chǎn)率、涂布均一性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選通過在被加工膜(被處理膜)的制膜同時(shí)進(jìn)行的內(nèi) 嵌式膠衣涂布來進(jìn)行脫模層的形成。實(shí)施例1在制造具有微細(xì)的凹凸圖案的膜時(shí)使用了圖1所示的膜的制造裝置1。(1)所使用的模具3:模具3的尺寸500mm(膜2的寬度方向)X 800mm(膜2的行進(jìn)方向)X 20mm(厚度)。模具3的材質(zhì)銅形成在模具表面3a上的微細(xì)的凹凸圖案由朝向模具表面3a的縱長方向且在模 具表面3a的寬度方向上隔開間隔地配置的多根條紋構(gòu)成，各條紋的橫截面形狀為直角三 角形，該直角三角形的高度為10 μ m,底邊的長度為5 μ m,相鄰的直角三角形的底邊彼此相 鄰。(2)所使用的膜按壓裝置10 最大加壓力為3000kN的液壓泵加壓形式的按壓裝置。上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板 15b都由鋁合金制成，尺寸為700mm(膜2的寬度方向)X IOOOmm(膜2的行進(jìn)方向)。各調(diào) 溫板分別與加熱單元30和冷卻單元40卡合。加熱單元30為熱媒循環(huán)方式。熱媒為《一l· >寸一 #400 (松村石油株式會(huì)社制造)，熱媒的溫度為150°C，其流量為lOOL/min。冷卻 單元40為冷卻水循環(huán)方式。冷卻水的溫度為20°C，其流量為150L/min。(3)所使用的膜把持裝置20 由主輥21和輔助輥22的組合構(gòu)成。主輥21的外徑為150mm。其最外層為橡膠 硬度為60(JIS K6253)且表面的粗糙度算術(shù)平均偏差值為0. 5 μ m(JIS B0601)的硅酮橡 膠。主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23由能夠切換主輥21的旋轉(zhuǎn)方向的伺服馬達(dá)和伺服放大器的組合 構(gòu)成。輔助輥22的外徑為50mm。其最外層為氟樹脂。主輥21與模具表面3a之間的距離 (間隙H)為0. 5mm。使包括主輥21和輔助輥22的膜把持裝置20沿著模具表面3a往復(fù)移 動(dòng)的膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29由伺服馬達(dá)構(gòu)成。(4)所使用的膜2:膜2的形成材料為聚對苯二甲酸乙二醇酯。膜2的厚度為38μπι(厚度偏差 士3 μ m)，寬度為520mm。膜2從設(shè)置于膜按壓裝置10的上游側(cè)的膜取出裝置50被輸送，并 且被設(shè)置于膜按壓裝置10的下游側(cè)的膜領(lǐng)取裝置60卷繞。(5)在膜的制造裝置1中使用的主要裝置要素的動(dòng)作方法預(yù)先使膜2從膜取出裝置50經(jīng)由膜按壓裝置10沿著膜搬送路徑2A通到膜領(lǐng)取裝 置60。接著，將上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b都加熱為溫度達(dá)到120°C后，使上調(diào)溫板15a 下降，開始膜2的壓制。壓制在模具表面3a以5MPa的按壓力實(shí)施，按壓時(shí)間為30秒。然 后，在繼續(xù)進(jìn)行壓制的情況下，對上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b都進(jìn)行冷卻。在各調(diào)溫板的 溫度達(dá)到70°C的時(shí)候停止冷卻。在各調(diào)溫板的冷卻完成之后，釋放壓制。使上調(diào)溫板15a 上升到上限，然后使膜剝離裝置20A動(dòng)作。在釋放了膜搬送方向下游側(cè)的膜固定部65之后，使輔助輥22移動(dòng)到主輥21的上 側(cè)，使膜2呈S字狀地卷繞在兩個(gè)輥上(圖3(c)所示的狀態(tài))。一邊使主輥21以圓周速度 為20m/分的方式正轉(zhuǎn)一邊使膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29的伺服馬達(dá)動(dòng)作。與主輥21的 正轉(zhuǎn)同時(shí)，主輥21 —邊向上游側(cè)移動(dòng)一邊將膜2從模具表面3a剝離。在位于模具表面3a的膜2全部從模具表面3a剝離之后，釋放上游側(cè)的膜固定部 54，而且形成實(shí)施了制動(dòng)以使包括主輥21和輔助輥22的膜把持裝置20不會(huì)在膜2的搬送 方向上移動(dòng)的狀態(tài)。然后，使主輥21以20m/分的圓周速度正轉(zhuǎn)，使長度為850mm的間歇進(jìn) 給長度量的膜2通過主輥21和輔助輥22，并送入到模具3的上方的空間。由此來進(jìn)行間歇 進(jìn)給長度量的膜2向膜的制造裝置1的供給(圖3(f)所示的狀態(tài))。此時(shí)，利用下游側(cè)的 搬送驅(qū)動(dòng)輥64對膜2賦予一定的張力，以使得送入到模具3的上方空間中的膜2不會(huì)松弛 而與模具表面3a接觸。接下來，使主輥21以20m/分的圓周速度反轉(zhuǎn)，同時(shí)為了使膜把持裝置20以與該 圓周速度相同的速度移動(dòng)，而使膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29的伺服馬達(dá)動(dòng)作。由此，包括 主輥21和輔助輥22的膜把持裝置20向下游側(cè)移動(dòng)(圖3 (g)所示的狀態(tài))。通過該移動(dòng)， 先前送入到模具3的上方空間中的膜2被供給到模具表面3a，而且通過與該膜2的供給同 時(shí)移動(dòng)的主輥21，來防止所供給的膜2產(chǎn)生褶皺。在此期間，利用下游側(cè)的搬送驅(qū)動(dòng)輥64 對膜2賦予一定的張力，以使得膜2不會(huì)松弛而與模具表面3a接觸。然后，使輔助輥公轉(zhuǎn) 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24動(dòng)作，使輔助輥22返回到待機(jī)位置22P(從圖3(h)到圖3(a)的狀態(tài))。反復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作10次，制作10片成形膜。另外，膜的間歇進(jìn)給長度和成形膜的長度不一定要一致，也可以在各端部之間具有沒有成形圖案的部分，或者也可以在各端部 具有圖案成形重復(fù)的部分。這些部分在最終將所希望的長度的一片成形膜作成產(chǎn)品的時(shí)候 被適當(dāng)?shù)厍袛喑?。目視評(píng)價(jià)所獲得的成形膜的圖案成形面的結(jié)果為，確認(rèn)到獲得了完全看不到剝離 痕跡而且沒有成形褶皺、搬送褶皺以及起伏的整個(gè)面均勻的成形面。從開始自模具表面3a 進(jìn)行膜(處理過的膜)2的剝離動(dòng)作到新的膜(被處理膜)2的供給完成為止的時(shí)間是20秒。實(shí)施例2在制造具有微細(xì)的凹凸圖案的膜時(shí)使用了圖4所示的膜的制造裝置401。(1)所使用的模具3 與實(shí)施例1的模具3相同。(2)所使用的膜按壓裝置10 與實(shí)施例1的膜按壓裝置10相同。(3)所使用的膜把持裝置20 由主輥21和輔助輥22的組合構(gòu)成。主輥21的外徑為150mm。其最外層為橡膠硬 度為60(JIS K6253)且表面的粗糙度算術(shù)平均偏差值為0. 5 μ m(JIS B0601)的硅酮橡膠。 主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23為伺服馬達(dá)。輔助輥22的外徑為50mm。其最外層為氟樹脂。主輥 21與模具表面3a之間的距離(間隙H)為10mm。使包括主輥21和輔助輥22的膜把持裝 置20沿著模具表面3a往復(fù)移動(dòng)的膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29由伺服馬達(dá)構(gòu)成。(4)所使用的防褶皺產(chǎn)生裝置420B 褶皺展平輥421的外徑為50mm。其最外層為硅酮海綿。褶皺展平輥421與模具表 面3a之間的距離(間隙H)為大致0mm。即，褶皺展平輥421為與膜2的表面2b接觸的狀 態(tài)。(5)所使用的膜2 與實(shí)施例1的膜2相同。(6)在膜的制造裝置401中使用的主要裝置要素的動(dòng)作方法預(yù)先使膜2從膜取出裝置50經(jīng)由膜按壓裝置10沿著膜搬送路徑2A通到膜領(lǐng)取裝 置60。接著，將上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b都加熱為溫度達(dá)到120°C后，使上調(diào)溫板15a 下降，開始膜2的壓制。壓制在模具表面3a以5MPa的按壓力實(shí)施，按壓時(shí)間為30秒。然 后，在繼續(xù)進(jìn)行壓制的情況下，對上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b都進(jìn)行冷卻。在各調(diào)溫板的 溫度達(dá)到70°C的時(shí)候停止冷卻。在各調(diào)溫板的冷卻完成之后，釋放壓制。使上調(diào)溫板15a 上升到上限，然后使膜剝離裝置20A動(dòng)作。在釋放了膜搬送方向下游側(cè)的膜固定部65之后，使輔助輥22移動(dòng)到主輥21的上 側(cè)，使膜2呈S字狀地卷繞在兩個(gè)輥上(圖5(c)所示的狀態(tài))。一邊使主輥21以圓周速度 為20m/分的方式正轉(zhuǎn)一邊使膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29的伺服馬達(dá)動(dòng)作。與主輥21的 正轉(zhuǎn)同時(shí)，主輥21 —邊向上游側(cè)移動(dòng)一邊將膜2從模具表面3a剝離。在位于模具表面3a的膜2全部從模具表面3a剝離之后，釋放上游側(cè)的膜固定部 54，而且形成實(shí)施了制動(dòng)以使包括主輥21和輔助輥22的膜把持裝置20不會(huì)在膜2的搬送 方向上移動(dòng)的狀態(tài)。然后，使主輥21以20m/分的圓周速度正轉(zhuǎn)，使長度為850mm的間歇進(jìn) 給長度量的膜2通過主輥21和輔助輥22，并送入到模具3的上方的空間。由此來進(jìn)行間歇 進(jìn)給長度量的膜2向膜的制造裝置401的供給(圖5(f)所示的狀態(tài))。此時(shí)，利用下游側(cè) 的搬送驅(qū)動(dòng)輥64對膜2賦予一定的張力，以使得送入到模具3的上方空間中的膜2不會(huì)松弛而與模具表面3a接觸。接下來，使主輥21以20m/分的圓周速度反轉(zhuǎn)，同時(shí)為了使膜把持裝置20以與該 圓周速度相同的速度移動(dòng)，而使膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29的伺服馬達(dá)動(dòng)作。由此，包括 主輥21和輔助輥22的膜把持裝置20向下游側(cè)移動(dòng)(圖5 (g)所示的狀態(tài))。通過該移動(dòng)， 先前送入到模具3的上方空間中的膜2被供給到模具表面3a。另一方面，通過與該膜把持裝 置20的移動(dòng)同時(shí)移動(dòng)的褶皺展平輥421，來防止供給到模具表面3a的膜2產(chǎn)生褶皺。在此 期間，利用下游側(cè)的搬送驅(qū)動(dòng)輥64對膜2賦予一定的張力，以使得膜2不會(huì)松弛而與模具 表面3a接觸。然后，使輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24動(dòng)作，使輔助輥22返回到待機(jī)位置22P (從 圖5(h)到圖5(a)的狀態(tài))。反復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作10次，制作10片成形膜。目視評(píng)價(jià)所獲得的成形膜的成形面的 結(jié)果為，確認(rèn)到獲得了完全看不到剝離痕跡而且沒有成形褶皺、搬送褶皺以及起伏的整個(gè) 面均勻的成形面。從開始自模具表面3a進(jìn)行膜(處理過的膜)2的剝離動(dòng)作到新的膜(被 處理膜)2的供給完成為止的時(shí)間是20秒。實(shí)施例3在制造具有微細(xì)的凹凸圖案的膜時(shí)使用了圖4所示的膜的制造裝置401。(1)所使用的模具3 與實(shí)施例1的模具3相同。(2)所使用的按壓裝置10 與實(shí)施例1的按壓裝置10相同。(3)所使用的膜把持裝置20 與實(shí)施例2的膜把持裝置20相同。(4)所使用的防褶皺產(chǎn)生裝置420B 與實(shí)施例2的防褶皺產(chǎn)生裝置420B相同。(5)所使用的膜2 與實(shí)施例1的膜2相同。(6)在膜的制造裝置401中使用的主要裝置要素的動(dòng)作方法預(yù)先使膜2從膜取出裝置50經(jīng)由膜按壓裝置10沿著膜搬送路徑2A通到膜領(lǐng)取裝 置60。接著，將上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b都加熱為溫度達(dá)到120°C后，使上調(diào)溫板15a 下降，開始膜2的壓制。壓制在模具表面3a以5MPa的按壓力實(shí)施，按壓時(shí)間為30秒。然 后，在繼續(xù)進(jìn)行壓制的情況下，對上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b都進(jìn)行冷卻。在各調(diào)溫板的 溫度達(dá)到70°C的時(shí)候停止冷卻。在各調(diào)溫板的冷卻完成之后，釋放壓制。使上調(diào)溫板15a 上升到上限，然后使膜剝離裝置20A動(dòng)作。在釋放了膜搬送方向下游側(cè)的膜固定部65之后，使輔助輥22移動(dòng)到主輥21的上 側(cè)，使膜2呈S字狀地卷繞在兩個(gè)輥上(圖6(c)所示的狀態(tài))。一邊使主輥21以圓周速度 為20m/分的方式正轉(zhuǎn)一邊使膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29的伺服馬達(dá)動(dòng)作。與主輥21的 正轉(zhuǎn)同時(shí)，主輥21—邊向上游側(cè)移動(dòng)一邊將膜2從模具表面3a剝離(從圖6(d)到圖6(e) 的狀態(tài))。在位于模具表面3a的膜2全部從模具表面3a剝離之后，釋放上游側(cè)的膜固定部 54，而且在利用主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)23阻止了主輥21的旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，使膜把持裝置移動(dòng)驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)29動(dòng)作，使膜把持裝置20以20m/分的速度向下游側(cè)移動(dòng)。在此期間，通過與膜把 持裝置20的移動(dòng)同時(shí)移動(dòng)的褶皺展平輥421，來防止向模具表面3a供給的膜2產(chǎn)生褶皺 (圖6(f)所示的狀態(tài))。此時(shí)，利用下游側(cè)的搬送驅(qū)動(dòng)輥64對膜2賦予一定的張力，以使 得膜2不會(huì)松弛而與模具表面3a接觸。然后，使輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24動(dòng)作，使輔助輥22 返回到待機(jī)位置22P(從圖6(g)到圖6(a)的狀態(tài))。
反復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作10次，制作10片成形膜。目視評(píng)價(jià)所獲得的成形膜的成形面的 結(jié)果為，確認(rèn)到獲得了完全看不到剝離痕跡而且沒有成形褶皺、搬送褶皺以及起伏的整個(gè) 面均勻的成形面。從開始自模具表面3a進(jìn)行膜(處理過的膜)2的剝離動(dòng)作到新的膜(被 處理膜)2的供給完成為止的時(shí)間是15秒。實(shí)施例4在制造具有微細(xì)的凹凸圖案的膜時(shí)使用了圖7所示的膜的制造裝置701。(1)所使用的模具3 與實(shí)施例1的模具3相同。(2)所使用的按壓裝置10 與實(shí)施例1的按壓裝置10相同。(3)所使用的膜把持裝置20 由主輥21和輔助輥22的組合構(gòu)成。主輥21的外徑為150mm。其最外層為橡膠硬 度為60(JIS K6253)且表面的粗糙度算術(shù)平均偏差值為0. 5 μ m(JIS B0601)的硅酮橡膠。 主輥21以旋轉(zhuǎn)自如的方式安裝于一對主輥支承臂21Aa、21Ab。輔助輥22的外徑為50mm。其 最外層為氟樹脂。輔助輥22以旋轉(zhuǎn)自如的方式安裝于一對輔助輥公轉(zhuǎn)支承臂22Aa、22Ab。 主輥21與模具表面3a之間的距離(間隙H)為10mm。使包括主輥21和輔助輥22的膜把 持裝置20沿著模具表面3a往復(fù)移動(dòng)的膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29由伺服馬達(dá)構(gòu)成。(4)所使用的防褶皺產(chǎn)生裝置420B 褶皺展平輥421的外徑為50mm。其最外層為硅酮海綿。褶皺展平輥421以旋轉(zhuǎn)自 如的方式安裝于一對褶皺展平輥支承臂22Da、22Db。褶皺展平輥421與模具表面3a之間的 距離(間隙H)為大致0mm。即，褶皺展平輥421為與膜2的表面2b接觸的狀態(tài)。(5)所使用的膜張力調(diào)整機(jī)構(gòu)70 膜張力調(diào)整機(jī)構(gòu)70設(shè)置于膜把持裝置20與搬送驅(qū)動(dòng)輥64之間的膜搬送路徑2A。 也可以在搬送驅(qū)動(dòng)輥64上夾著膜2設(shè)置夾持輥64a。在圖7中，膜張力調(diào)整機(jī)構(gòu)70由以下 部分構(gòu)成引導(dǎo)輥71、搬送驅(qū)動(dòng)輥64、與從引導(dǎo)輥71到搬送驅(qū)動(dòng)輥64的膜2的表面接觸的 張力檢測用輥72、以及與該張力檢測用輥72卡合的張力檢測機(jī)構(gòu)(張力計(jì))73。在剝離膜 2期間，控制搬送驅(qū)動(dòng)輥64的驅(qū)動(dòng)，使得由張力計(jì)73檢測到的張力值恒定。該張力計(jì)73通 過在旋轉(zhuǎn)自如地被支承的張力檢測用輥72的兩端的軸承的支承部設(shè)置的測力傳感器，來 檢測作用于膜2的張力。(6)所使用的膜2 與實(shí)施例1的膜2相同。(7)在膜的制造裝置701中使用的主要裝置要素的動(dòng)作方法預(yù)先使膜2從膜取出裝置50經(jīng)由膜按壓裝置10沿著膜搬送路徑2A通到膜領(lǐng)取裝 置60。接著，將上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b都加熱為溫度達(dá)到120°C后，使上調(diào)溫板15a 下降，開始膜2的壓制。壓制在模具表面3a以5MPa的按壓力實(shí)施，按壓時(shí)間為30秒。然 后，在繼續(xù)進(jìn)行壓制的情況下，對上調(diào)溫板15a和下調(diào)溫板15b都進(jìn)行冷卻。在各調(diào)溫板的 溫度達(dá)到70°C的時(shí)候停止冷卻。在各調(diào)溫板的冷卻完成之后，釋放壓制。使上調(diào)溫板15a 上升到上限，然后使膜脫模裝置20A動(dòng)作。在釋放了膜搬送方向下游側(cè)的膜固定部65之后，使輔助輥22移動(dòng)到主輥21的上 側(cè)，使膜2呈S字狀地卷繞在兩個(gè)輥上(圖9(c)所示的狀態(tài))。使主輥21以圓周速度為 20m/分的狀態(tài)向上游側(cè)移動(dòng)，從而將膜2從模具表面3a剝離。在位于模具表面3a的膜2全部從模具表面3a剝離之后，釋放上游側(cè)的膜固定部54，而且形成實(shí)施了制動(dòng)以使得包括主輥21和輔助輥22的膜把持裝置20不會(huì)在膜2的搬 送方向上移動(dòng)的狀態(tài)。然后，利用搬送驅(qū)動(dòng)輥64以20m/分的速度作為間歇進(jìn)給量的長度 領(lǐng)取長度為IOOOmm的膜2 (圖9 (f)所示的狀態(tài))。接下來，使膜把持裝置移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)29的伺服馬達(dá)動(dòng)作，從而使膜把持裝置20以 20m/分的速度向下游側(cè)移動(dòng)。在此期間，褶皺展平輥421沿著所供給的膜2的表面移動(dòng)， 防止供給到模具表面3a的膜2產(chǎn)生褶皺(圖9(g)所示的狀態(tài))。此時(shí)，通過膜張力調(diào)整 機(jī)構(gòu)70的動(dòng)作，對膜2的整個(gè)寬度均等地賦予9. 8N的張力。然后，使輔助輥公轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 24動(dòng)作，使輔助輥22返回到待機(jī)位置22P(從圖9(h)到圖9(a)的狀態(tài))。反復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作10次，制作10片成形膜。目視評(píng)價(jià)所獲得的成形膜的成形面的 結(jié)果為，確認(rèn)到獲得了完全看不到剝離痕跡而且沒有成形褶皺、搬送褶皺以及起伏的整個(gè) 面均勻的成形面。從開始自模具表面3a進(jìn)行膜(處理過的膜)2的剝離動(dòng)作到新的膜(被 處理膜)2的供給完成為止的時(shí)間是20秒。比較例1在制造具有微細(xì)的凹凸圖案的膜時(shí)使用了在圖1所示的膜的制造裝置1中撤掉了 膜剝離裝置20A的膜的制造裝置。(1)所使用的模具3 與實(shí)施例1的模具3相同。(2)所使用的膜按壓裝置10 與實(shí)施例1的膜按壓裝置10相同。(3)所使用的從模具表面3a剝離膜2的剝離手法利用搬送驅(qū)動(dòng)輥64將膜2從模具表面3a向下游側(cè)輸送，由此來進(jìn)行膜2自模具 表面3a的剝離。另外，與該膜的輸送對應(yīng)地向模具表面3a供給新的膜2。除了與這些膜的 剝離方法和新的膜的供給方法有關(guān)的裝置要素以及制造條件以外的裝置要素和制造條件 與實(shí)施例1的情況相同。膜2自模具表面3a的剝離以及膜2向模具表面3a的供給借助于由搬送驅(qū)動(dòng)輥64 作用于膜2的張力來進(jìn)行。反復(fù)進(jìn)行該操作10次，制作出10片成形膜。目視評(píng)價(jià)所獲得的成形膜的圖案成形面的結(jié)果為，關(guān)于10片中的2片確認(rèn)到在自 模具表面3a剝離時(shí)產(chǎn)生的膜破損。關(guān)于剩余的8片確認(rèn)到朝向膜的寬度方向的線狀的大 量剝離痕跡。在沒有產(chǎn)生膜破損的膜中，確認(rèn)到了大量的成形褶皺、搬送褶皺以及起伏。從 開始膜的剝離動(dòng)作到完成新的膜的供給為止的時(shí)間為35秒。若為了以該時(shí)間不到35秒的 方式實(shí)施剝離動(dòng)作而增大作用于膜的張力，則清楚可知?jiǎng)冸x時(shí)的膜破損多發(fā)。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造方法和制造裝置用于，作為光學(xué) 介質(zhì)或者光學(xué)制品的形成材料使用的在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造。
權(quán)利要求
一種在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造方法，其包括以下工序(1 a)膜供給工序，將從位于上游側(cè)的長條的膜的供給源取出的被處理膜以預(yù)定的長度量間歇地供給到具有微細(xì)的凹凸圖案的模具表面；(1 b)圖案成形工序，通過將在上述膜供給工序中供給到上述模具表面的上述被處理膜按壓到上述模具表面上，來將上述模具表面的上述圖案轉(zhuǎn)印到上述被處理膜的表面，從而在上述被處理膜的表面成形微細(xì)的凹凸圖案；(1 c)膜剝離工序，將在上述圖案成形工序中在表面成形了上述圖案的處理過的膜從上述模具表面剝離；(1 d)膜輸送工序，將在上述膜剝離工序中從上述模具表面剝離的上述處理過的膜輸送到位于下游側(cè)的長條的膜的收納源，在上述圖案成形工序中成形的處理過的膜在上述膜剝離工序中從上述模具表面剝離，然后，接下來將被處理的膜在上述膜供給工序中以預(yù)定的長度量間歇地供給到上述模具表面，與此相對應(yīng)，上述處理過的膜在上述膜輸送工序中被輸送到上述膜的收納源，由此，以預(yù)定的長度量依次反復(fù)地制造上述處理過的膜，其特征在于，(1 e)上述膜剝離工序中的上述處理過的膜的剝離通過把持有上述處理過的膜的膜把持機(jī)構(gòu)從上述處理過的膜的縱長方向的下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)來進(jìn)行，(1 f)上述膜供給工序中的上述被處理膜的供給與防褶皺產(chǎn)生機(jī)構(gòu)的從上述被處理膜的縱長方向的上游側(cè)向下游側(cè)的移動(dòng)一起進(jìn)行，其中上述防褶皺產(chǎn)生機(jī)構(gòu)用于防止供給到上述模具表面的上述被處理膜中產(chǎn)生褶皺。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜的制造方法，其特征在于，(2-a)上述膜把持機(jī)構(gòu)由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥與上述膜的上述圖案成 形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥與上述膜的上述圖案成形的面接觸，在該組合中，上 述主輥和上述輔助輥各自的輥軸朝向上述膜的寬度方向，上述主輥和上述輔助輥以上述膜 能夠通過的間隔彼此平行地配置，而且上述主輥和上述輔助輥分別是能夠旋轉(zhuǎn)的輥，(2-b)上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助輥上，由此形成上述主 輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)，在形成該把持狀態(tài)之后，上述膜把持機(jī)構(gòu) 沿著上述模具表面從上述下游側(cè)向上述上游側(cè)移動(dòng)，由此，上述處理過的膜被從上述模具 表面剝離，(2-c)在上述膜把持機(jī)構(gòu)在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止期間，通過上述主輥和上 述輔助輥旋轉(zhuǎn)，使得經(jīng)上述主輥和上述輔助輥向上述下游側(cè)進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處 理膜的供給，在該新的預(yù)定長度的被處理膜的供給完成后， (2-d)使用上述主輥?zhàn)鳛樯鲜龇礼薨櫘a(chǎn)生機(jī)構(gòu)，(2-e)在上述膜把持機(jī)構(gòu)沿著上述模具表面從上述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)期間，使 上述主輥一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此，一邊防止上述被處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模具表面 進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜的制造方法，其特征在于，(3-a)上述膜把持機(jī)構(gòu)由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥與上述膜的上述圖案成 形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥與上述膜的上述圖案成形的面接觸，在該組合中，上述主輥和上述輔助輥各自的輥軸朝向上述膜的寬度方向，上述主輥和上述輔助輥以上述膜 能夠通過的間隔彼此平行地配置，而且上述主輥和上述輔助輥分別是能夠旋轉(zhuǎn)的輥，(3-b)上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助輥上，由此形成上述主 輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)，在形成該把持狀態(tài)之后，上述膜把持機(jī)構(gòu) 沿著上述模具表面從上述下游側(cè)向上述上游側(cè)移動(dòng)，由此，上述處理過的膜被從上述模具 表面剝離，(3-c)在上述膜把持機(jī)構(gòu)在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止期間，通過上述主輥和上 述輔助輥旋轉(zhuǎn)，使得經(jīng)上述主輥和上述輔助輥向上述下游側(cè)進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處 理膜的供給，在該新的預(yù)定長度的被處理膜的供給完成后，(3-d)使用能夠旋轉(zhuǎn)的褶皺展平輥來作為上述防褶皺產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，該褶皺展平輥在上述 主輥的上述上游側(cè)與上述主輥隔開間隔地平行配置，并且該褶皺展平輥與上述膜的上述圖 案成形的面的相反側(cè)的面接觸，(3-e)在上述膜把持機(jī)構(gòu)沿著上述模具表面從上述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)期間，使 上述褶皺展平輥跟隨上述膜把持機(jī)構(gòu)的移動(dòng)而一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此，一邊防止上述被 處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模具表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜的制造方法，其特征在于，(4-a)上述膜把持機(jī)構(gòu)由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥與上述膜的上述圖案成 形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥與上述膜的上述圖案成形的面接觸，在該組合中，上 述主輥和上述輔助輥各自的輥軸朝向上述膜的寬度方向，上述主輥和上述輔助輥以上述膜 能夠通過的間隔平行地配置，而且上述主輥和上述輔助輥分別是能夠旋轉(zhuǎn)的輥，(4-b)上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助輥上，由此形成上述主 輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)，在形成該把持狀態(tài)之后，上述膜把持機(jī)構(gòu) 沿著上述模具表面從上述下游側(cè)向上述上游側(cè)移動(dòng)，由此，上述處理過的膜被從上述模具 表面剝離，(4-c)在上述膜把持機(jī)構(gòu)在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止之后，在上述主輥的旋轉(zhuǎn) 被阻止的狀態(tài)下，通過上述膜把持機(jī)構(gòu)從上述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)，由此來進(jìn)行上述 新的預(yù)定長度的被處理膜的供給，(4-d)使用能夠旋轉(zhuǎn)的褶皺展平輥來作為上述防褶皺產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，該褶皺展平輥在上述 主輥的上述上游側(cè)與上述主輥隔開間隔地平行配置，并且該褶皺展平輥與上述膜的上述圖 案成形的面的相反側(cè)的面接觸，(4-e)在上述被處理膜的供給中，在上述膜把持機(jī)構(gòu)沿著上述模具表面從上述上游側(cè) 向上述下游側(cè)移動(dòng)期間，使上述褶皺展平輥跟隨上述膜把持機(jī)構(gòu)的移動(dòng)而一邊旋轉(zhuǎn)一邊移 動(dòng)，由此，一邊防止上述被處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模具表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的 被處理膜的供給。
5.一種在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的膜的制造裝置，其包括 (5-a)在表面具有微細(xì)的凹凸圖案的模具；(5-b)從位于上游側(cè)的長條的膜的供給源取出被處理膜的膜取出裝置；(5-c)將上述被處理膜按壓到上述模具的表面上的膜按壓裝置；(5-d)膜剝離裝置，其用于將具有微細(xì)的凹凸圖案的處理過的膜從上述模具的表面剝離，該處理過的膜是這樣成形的利用上述膜按壓裝置將由上述膜取出裝置取出并間歇地 供給到上述模具的表面的被處理膜按壓到上述模具的表面，從而將上述模具的表面的上述 微細(xì)的凹凸圖案轉(zhuǎn)印到上述被處理膜的表面上；(5-e)膜領(lǐng)取裝置，其將通過該膜剝離裝置從上述模具的表面剝離并且輸送到下游側(cè) 的上述處理過的膜領(lǐng)取到位于下游側(cè)的上述長條的膜的收納源；利用上述膜剝離裝置將通過上述膜按壓裝置處理過的處理過的膜從上述模具表面剝 離，利用上述膜剝離裝置將通過上述膜取出裝置取出的被處理膜以預(yù)定長度供給到上述模 具表面，與此相對應(yīng)，將上述處理過的膜輸送至上述膜領(lǐng)取裝置，由此依次反復(fù)地制造上述 預(yù)定長度的處理過的膜， 其特征在于，(5-f)上述膜剝離裝置包括膜把持裝置，該膜把持裝置在把持上述處理過的膜的狀態(tài) 下沿著上述處理過的膜的縱長方向從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)，并且(5-g)上述膜把持裝置包括防褶皺產(chǎn)生裝置，該防褶皺產(chǎn)生裝置用于防止供給到上述 模具的表面的上述被處理膜中產(chǎn)生褶皺，上述被處理膜的供給與該防褶皺產(chǎn)生裝置的從上 述被處理膜的縱長方向的上游側(cè)向下游側(cè)的移動(dòng)一起進(jìn)行。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的膜的制造裝置，其特征在于，(6-a)上述膜把持裝置由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥能夠與上述膜的上述圖 案成形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥能夠與上述膜的上述圖案成形的面接觸，(6-b)上述主輥的輥軸和上述輔助輥的輥軸分別朝向上述膜的寬度方向，上述主輥和 上述輔助輥隔開上述膜能夠通過的間隔地平行配置，(6-c)上述主輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于主輥支承臂， (6-d)上述輔助輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于輔助輥支承臂， (6-e)上述主輥支承臂和上述輔助輥支承臂固定于底座，(6-f)該底座以能夠沿著上述膜的縱長方向移動(dòng)的方式支承于沿著上述膜的縱長方向 設(shè)置的底座移動(dòng)引導(dǎo)件，并且(6-g)相對于上述膜把持裝置裝備有使該膜把持裝置沿著上述底座移動(dòng)弓I導(dǎo)件移動(dòng)的 膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)，(6-h)在上述膜把持裝置中，上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助 輥上，由此，在形成了上述主輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)的狀態(tài)下，利用 上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)，由此來將上述處理過 的膜從上述模具的表面剝離，(6-i)在上述膜把持裝置在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止期間，通過上述主輥和上 述輔助輥的旋轉(zhuǎn)，經(jīng)上述主輥和上述輔助輥向上述下游側(cè)進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理 膜的供給，(6-j)使用上述主輥?zhàn)鳛樯鲜龇礼薨櫘a(chǎn)生裝置，(6-k)在利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置沿著上述模具的表面從上述 上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)期間，上述主輥一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此，一邊防止經(jīng)上述主輥和上述 輔助輥已經(jīng)向上述下游側(cè)供給的上述被處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模具的表面進(jìn)行上述 新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的膜的制造裝置，其特征在于，上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)由以下兩個(gè)組合中的任一個(gè)組合或者這兩個(gè)組合構(gòu)成，上述 兩個(gè)組合分別是上述主輥與積極地驅(qū)動(dòng)該主輥旋轉(zhuǎn)的主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組合；以及上 述底座與積極地使上述底座沿著上述底座移動(dòng)引導(dǎo)件移動(dòng)的底座驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組合。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的膜的制造裝置，其特征在于，(8-a)上述膜把持裝置由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥能夠與上述膜的上述圖 案成形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥能夠與上述膜的上述圖案成形的面接觸，(8-b)上述主輥的輥軸和上述輔助輥的輥軸分別朝向上述膜的寬度方向，上述主輥和 上述輔助輥隔開上述膜能夠通過的間隔地平行配置，(8-c)上述主輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于主輥支承臂， (8-d)上述輔助輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于輔助輥支承臂， (8-e)上述主輥支承臂和上述輔助輥支承臂固定于底座，(8-f)該底座以能夠沿著上述膜的縱長方向移動(dòng)的方式支承于沿著上述膜的縱長方向 設(shè)置的底座移動(dòng)引導(dǎo)件，并且(8-g)相對于上述膜把持裝置裝備有使該膜把持裝置沿著上述底座移動(dòng)弓I導(dǎo)件移動(dòng)的 膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)，(8-h)在上述膜把持裝置中，上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助 輥上，由此，在形成了上述主輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)的狀態(tài)下，利用 上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)，由此來將上述處理過 的膜從上述模具的表面剝離，(8-i)在上述膜把持裝置在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止期間，通過上述主輥和上 述輔助輥的旋轉(zhuǎn)，經(jīng)上述主輥和上述輔助輥向上述下游側(cè)進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理 膜的供給，(8-j)使用褶皺展平輥來作為上述防褶皺產(chǎn)生裝置，該褶皺展平輥在上述主輥的上述 上游側(cè)與上述主輥隔開間隔地平行配置，并且該褶皺展平輥與上述膜的上述圖案成形的面 的相反側(cè)的面接觸，(8-k)該褶皺展平輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于褶皺展平輥支承臂，該 褶皺展平輥支承臂固定于上述底座，(8-1)在利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置沿著上述模具的表面從上述 上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)期間，上述褶皺展平輥跟隨上述膜把持裝置的移動(dòng)而一邊旋轉(zhuǎn)一邊移 動(dòng)，由此，一邊防止經(jīng)上述主輥和上述輔助輥已經(jīng)向上述下游側(cè)供給的上述被處理膜產(chǎn)生 褶皺，一邊對上述模具的表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的膜的制造裝置，其特征在于，上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)由以下兩個(gè)組合中的任一個(gè)組合或者這兩個(gè)組合構(gòu)成，上述 兩個(gè)組合分別是上述主輥與積極地驅(qū)動(dòng)該主輥旋轉(zhuǎn)的主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組合；以及上 述底座與積極地使上述底座沿著上述底座移動(dòng)引導(dǎo)件移動(dòng)的底座驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組合。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的膜的制造裝置，其特征在于，(10-a)上述膜把持裝置由主輥和輔助輥的組合構(gòu)成，上述主輥能夠與上述膜的上述圖 案成形的面的相反側(cè)的面接觸，上述輔助輥能夠與上述膜的上述圖案成形的面接觸，(10-b)上述主輥的輥軸和上述輔助輥的輥軸分別朝向上述膜的寬度方向，上述主輥和 上述輔助輥隔開上述膜能夠通過的間隔地平行配置，(10-c)上述主輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于主輥支承臂， (10-d)上述輔助輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于輔助輥支承臂， (10-e)上述主輥支承臂和上述輔助輥支承臂固定于底座，(10-f)該底座以能夠沿著上述膜的縱長方向移動(dòng)的方式支承于沿著上述膜的縱長方 向設(shè)置的底座移動(dòng)引導(dǎo)件，并且(10-g)相對于上述膜把持裝置裝備有使該膜把持裝置沿著上述底座移動(dòng)引導(dǎo)件移動(dòng) 的膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)，( ο-h)在上述膜把持裝置中，上述處理過的膜呈S字狀地懸掛在上述主輥和上述輔助 輥上，由此，在形成了上述主輥和上述輔助輥對上述處理過的膜的把持狀態(tài)的狀態(tài)下，利用 上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置從下游側(cè)向上游側(cè)移動(dòng)，由此來將上述處理過 的膜從上述模具的表面剝離，( ο-i)在上述膜把持裝置在移動(dòng)到上述上游側(cè)的位置處停止后，在上述主輥的旋轉(zhuǎn)被 阻止的狀態(tài)下，利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置沿著上述模具的表面從上 述上游側(cè)向上述下游側(cè)移動(dòng)，由此來對上述模具的表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理膜 的供給，( ο-j)使用褶皺展平輥來作為上述防褶皺產(chǎn)生裝置，該褶皺展平輥在上述主輥的上述 上游側(cè)與上述主輥隔開間隔地平行配置，并且該褶皺展平輥與上述膜的上述圖案成形的面 的相反側(cè)的面接觸，( ο-k)該褶皺展平輥以能夠以其輥軸為中心旋轉(zhuǎn)的方式支承于褶皺展平輥支承臂，該 褶皺展平輥支承臂固定于上述底座，(10-1)在上述被處理膜的供給中，在利用上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述膜把持裝置 沿著上述模具的表面從上述上游側(cè)向下游側(cè)移動(dòng)期間，上述褶皺展平輥跟隨上述膜把持裝 置的移動(dòng)而一邊旋轉(zhuǎn)一邊移動(dòng)，由此，一邊防止上述被處理膜產(chǎn)生褶皺，一邊對上述模具的 表面進(jìn)行上述新的預(yù)定長度的被處理膜的供給。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的膜的制造裝置，其特征在于，上述膜把持裝置移動(dòng)機(jī)構(gòu)由以下兩個(gè)組合中的任一個(gè)組合或者這兩個(gè)組合構(gòu)成，上述 兩個(gè)組合分別是上述主輥與積極地驅(qū)動(dòng)該主輥旋轉(zhuǎn)的主輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組合；以及上 述底座與積極地使上述底座沿著上述底座移動(dòng)引導(dǎo)件移動(dòng)的底座驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的組合。
12.根據(jù)權(quán)利要求6、8、10中的任一項(xiàng)所述的膜的制造裝置，其特征在于，上述主輥的外表面由以硅酮類樹脂或者氟類樹脂為主要成分的發(fā)泡海綿形成。
13.根據(jù)權(quán)利要求8或10所述的膜的制造裝置，其特征在于，上述褶皺展平輥的外表面由以硅酮類樹脂或者氟類樹脂為主要成分的發(fā)泡海綿形成。
全文摘要
本發(fā)明提供制造膜的方法，在將被處理膜從上游側(cè)間歇地供給到具有微細(xì)的凹凸圖案的模具表面的附近之后，通過將上述膜按壓于上述模具表面來將上述圖案轉(zhuǎn)印到上述膜的表面，將結(jié)束了圖案成形的處理過的膜從上述模具表面剝離，接著將新的被處理膜供給到上述模具，從而間歇地依次制造具有上述圖案的膜，在該方法中，通過把持上述處理過的膜并且使其向上述上游側(cè)移動(dòng)，將上述處理過的膜從上述模具表面剝離，然后，將間歇進(jìn)給長度量的被處理膜在防止褶皺產(chǎn)生的同時(shí)供給到上述模具表面。作為把持膜的機(jī)構(gòu)，使用主輥和與該主輥平行地配置的輔助輥。作為防止褶皺的產(chǎn)生的機(jī)構(gòu)，使用上述主輥或者使用與該主輥隔開間隔地平行配置的褶皺展平輥。
文檔編號(hào)B29C43/02GK101970210SQ200980109018
公開日2011年2月9日 申請日期2009年3月6日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月14日
發(fā)明者平井裕磨, 箕浦潔, 野村文保 申請人:東麗株式會(huì)社