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一種陶瓷基板生產(chǎn)線轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備的制作方法

文檔序號:12387433閱讀:350來源:國知局
一種陶瓷基板生產(chǎn)線轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及陶瓷基板生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種陶瓷基板生產(chǎn)線轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備。



背景技術(shù):

隨著高功率電力電子、電子信息、半導(dǎo)體技術(shù)向高集成化、高速化、微型化、智能化發(fā)展,對其中起承載元件、外聯(lián)、保護(hù)和冷卻等作用的主要元件之一的陶瓷基板的要求越來越高,主要集中體現(xiàn)在對其熱導(dǎo)率和介電性能方面的要求。

其中,氮化鋁(AlN)陶瓷以其優(yōu)異的高熱導(dǎo)率、低介電常數(shù)、與Si相匹配的熱膨脹系數(shù)以及其它優(yōu)良的物理化學(xué)性能,受到了國內(nèi)外學(xué)術(shù)界和生產(chǎn)廠家的廣泛關(guān)注,被譽(yù)為新一代高密度封裝的理想基板材料。氮化鋁陶瓷基板的熱導(dǎo)率理論值可達(dá)到320W.m-1.K-1,工業(yè)生產(chǎn)中制成的連續(xù)化產(chǎn)品一般在200W.m-1.K-1左右。已經(jīng)在大功率模塊電路、大功率晶體管、半導(dǎo)體激光器、開關(guān)電源以及其他既要求高導(dǎo)熱又要求良好絕緣性能的大功率器件上取得了廣泛應(yīng)用。目前陶瓷基板的成型方法主要有流延成型、干壓成型等。

然而,陶瓷基板具有高硬度及易脆等特性,使得加工、運(yùn)輸、包裝過程易出現(xiàn)損毀,以致于工藝良率降低。因此,如何實現(xiàn)陶瓷基板在生產(chǎn)線中的安全高效轉(zhuǎn)運(yùn)實屬當(dāng)前重要課題之一。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的就是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種陶瓷基板生產(chǎn)線轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備。

本發(fā)明的技術(shù)解決措施如下:

陶瓷基板生產(chǎn)線轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備包括垂直設(shè)置的第一輸送裝置和第二輸送裝置,第一輸送裝置和第二輸送裝置的銜接處設(shè)置有轉(zhuǎn)運(yùn)裝置,轉(zhuǎn)運(yùn)裝置包括位于上部的滑動軌道,滑動軌道內(nèi)部設(shè)置有滑槽,滑槽內(nèi)滑動安裝有連接臂,連接臂能夠進(jìn)行伸縮動作和旋轉(zhuǎn)動作,連接臂的下端連接有轉(zhuǎn)運(yùn)抓取部;轉(zhuǎn)運(yùn)抓取部包括上下設(shè)置的第一密封腔和第二密封腔,第二密封腔下端設(shè)置有多個伸縮吸盤,伸縮吸盤與真空管路連通,真空管路上設(shè)置有多個與伸縮吸盤一一對應(yīng)的電磁閥門,真空管路匯總后與真空泵連接;第二密封腔的側(cè)面設(shè)置有壓力表;伸縮吸盤包括底座,底座為“幾”字形結(jié)構(gòu),包括位于兩側(cè)的水平部分和中間的凸起部分,兩側(cè)的水平部分通過鎖緊螺栓和鎖緊螺母實現(xiàn)與第二密封腔之間的可拆卸連接;凸起部分的上部焊接有第一固定架,第一固定架正上方還設(shè)置有第二固定架,第二固定架上設(shè)置有吸氣孔,第二固定架的外側(cè)連接有吸盤部;第一固定架與第二固定架之間通過彈性密封管連接;第一固定架、第二固定架以及彈性密封管共同形成的空間內(nèi)設(shè)置有伸縮彈簧,伸縮彈簧上部連接有第二連接塊、下部連接有第一連接塊,第二連接塊與第二固定架的下部相抵,第一連接塊與第一固定架的上部相抵,第一連接塊下部與螺桿軸固定連接,螺桿軸穿過第一固定架和底座,螺桿軸下部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī),旋轉(zhuǎn)電機(jī)位于底座形成的腔室內(nèi),真空管路與彈性密封管連通。

吸盤部為喇叭狀,其由彈性橡膠制成。

第二固定架包括第二圓形板和位于第二圓形板上部的第二環(huán)形壁,第二圓形板上均勻設(shè)置有吸氣孔。

第一固定架包括第一圓形板和位于第一圓形板上部的第一環(huán)形壁。

第一輸送裝置包括兩個第一驅(qū)動滾筒,第一驅(qū)動滾筒設(shè)置在第一支架上,兩個第一滾筒的外部設(shè)置有第一皮帶,第一皮帶上部設(shè)置有第一真空吸盤。

第一真空吸盤均勻設(shè)置,其提供的負(fù)壓力維0-1Kpa。

第二輸送裝置包括兩個第二驅(qū)動滾筒,第二驅(qū)動滾筒設(shè)置在第二支架上,兩個第二滾筒的外部設(shè)置有第二皮帶,第二皮帶上部設(shè)置有第二真空吸盤。

第二真空吸盤均勻設(shè)置,其提供的負(fù)壓力維0-1Kpa。

本發(fā)明的有益效果在于:本發(fā)明利用真空吸盤進(jìn)行陶瓷基板的轉(zhuǎn)運(yùn),避免了傳統(tǒng)設(shè)備與陶瓷基板的直接接觸,有效防止陶瓷基板的損壞,轉(zhuǎn)運(yùn)效率高,結(jié)構(gòu)簡單。

附圖說明:

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為轉(zhuǎn)運(yùn)抓取部的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3為伸縮吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式:

為了使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂,下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式做出詳細(xì)的說明。

如圖1-3所示,陶瓷基板生產(chǎn)線轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備包括垂直設(shè)置的第一輸送裝置和第二輸送裝置,第一輸送裝置和第二輸送裝置的銜接處設(shè)置有轉(zhuǎn)運(yùn)裝置,轉(zhuǎn)運(yùn)裝置包括位于上部的滑動軌道11,滑動軌道11內(nèi)部設(shè)置有滑槽,滑槽內(nèi)滑動安裝有連接臂12,連接臂12能夠進(jìn)行伸縮動作和旋轉(zhuǎn)動作,連接臂12的下端連接有轉(zhuǎn)運(yùn)抓取部4;轉(zhuǎn)運(yùn)抓取部4包括上下設(shè)置的第一密封腔43和第二密封腔44,第二密封腔44下端設(shè)置有多個伸縮吸盤5,伸縮吸盤5與真空管路46連通,真空管路46上設(shè)置有多個與伸縮吸盤5一一對應(yīng)的電磁閥門45,真空管路46匯總后與真空泵40連接;第二密封腔44的側(cè)面設(shè)置有壓力表41;伸縮吸盤5包括底座57,底座57為“幾”字形結(jié)構(gòu),包括位于兩側(cè)的水平部分和中間的凸起部分,兩側(cè)的水平部分通過鎖緊螺栓91和鎖緊螺母92實現(xiàn)與第二密封腔44之間的可拆卸連接;凸起部分的上部焊接有第一固定架56,第一固定架56正上方還設(shè)置有第二固定架51,第二固定架51上設(shè)置有吸氣孔59,第二固定架51的外側(cè)連接有吸盤部50;第一固定架56與第二固定架51之間通過彈性密封管52連接;第一固定架56、第二固定架51以及彈性密封管52共同形成的空間內(nèi)設(shè)置有伸縮彈簧53,伸縮彈簧53上部連接有第二連接塊55、下部連接有第一連接塊54,第二連接塊55與第二固定架51的下部相抵,第一連接塊54與第一固定架56的上部相抵,第一連接塊54下部與螺桿軸固定連接,螺桿軸穿過第一固定架56和底座57,螺桿軸下部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)電機(jī)61,旋轉(zhuǎn)電機(jī)61位于底座57形成的腔室內(nèi),真空管路46與彈性密封管52連通。

吸盤部50為喇叭狀,其由彈性橡膠制成。

第二固定架51包括第二圓形板和位于第二圓形板上部的第二環(huán)形壁,第二圓形板上均勻設(shè)置有吸氣孔59。

第一固定架56包括第一圓形板和位于第一圓形板上部的第一環(huán)形壁。

第一輸送裝置包括兩個第一驅(qū)動滾筒21,第一驅(qū)動滾筒21設(shè)置在第一支架上,兩個第一滾筒21的外部設(shè)置有第一皮帶22,第一皮帶22上部設(shè)置有第一真空吸盤。

第一真空吸盤均勻設(shè)置,其提供的負(fù)壓力維0-1Kpa。

第二輸送裝置包括兩個第二驅(qū)動滾筒31,第二驅(qū)動滾筒31設(shè)置在第二支架上,兩個第二滾筒31的外部設(shè)置有第二皮帶32,第二皮帶32上部設(shè)置有第二真空吸盤。

第二真空吸盤均勻設(shè)置,其提供的負(fù)壓力維0-1Kpa。

所述實施例用以例示性說明本發(fā)明,而非用于限制本發(fā)明。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下,對所述實施例進(jìn)行修改,因此本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍,應(yīng)如本發(fā)明的權(quán)利要求所列。

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