技術編號：12387433
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。：本發(fā)明涉及陶瓷基板生產(chǎn)技術領域，具體涉及一種陶瓷基板生產(chǎn)線轉(zhuǎn)運設備。背景技術：隨著高功率電力電子、電子信息、半導體技術向高集成化、高速化、微型化、智能化發(fā)展，對其中起承載元件、外聯(lián)、保護和冷卻等作用的主要元件之一的陶瓷基板的要求越來越高，主要集中體現(xiàn)在對其熱導率和介電性能方面的要求。其中，氮化鋁(AlN)陶瓷以其優(yōu)異的高熱導率、低介電常數(shù)、與Si相匹配的熱膨脹系數(shù)以及其它優(yōu)良的物理化學性能，受到了國內(nèi)外學術界和生產(chǎn)廠家的廣泛關注，被譽為新一代高密度封裝的理想基板材料。氮化鋁陶瓷基板的熱導率理論...
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