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一種全自動單晶硅抓取機械手的制作方法

文檔序號:12099862閱讀:350來源:國知局
一種全自動單晶硅抓取機械手的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及一種機械手,具體地,涉及一種全自動單晶硅抓取機械手。



背景技術(shù):

在生產(chǎn)制造硅片時,需要將用來固定單晶硅的晶硅夾具、樹酯以及單晶硅通過膠水按序粘接起來。目前,在國內(nèi),將所述晶硅夾具、樹酯以及單晶硅粘接起來是通過手工來實現(xiàn)的。這樣使得硅片的生產(chǎn)效率比較低下、生產(chǎn)成本較高,不利于實現(xiàn)硅片的大規(guī)模生產(chǎn)。而要實現(xiàn)硅片的大規(guī)模自動化生產(chǎn),則必須解決單晶硅的取放問題?,F(xiàn)有的用來抓取單晶的機械手只能抓取一種規(guī)格的,對于不符合標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的小單晶硅則抓不起來。

鑒于上述問題,有必要提供一種機械手,以解決上述問題。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷和不足,提供了一種全自動單晶硅抓取機械手,不但能夠抓取不同規(guī)格的單晶硅,而且抓取效果好,使用壽命長。

為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供一種全自動單晶硅抓取機械手,包括傳動裝置、抓取裝置和控制機構(gòu);

所述傳動裝置包括絲桿和傳動板,所述絲桿與電機一電連接,所述傳動板上設(shè)有與所述絲桿相配的內(nèi)螺紋和用于連接抓取裝置的導(dǎo)軌,所述導(dǎo)軌包括主導(dǎo)軌和副導(dǎo)軌,所述主導(dǎo)軌與電機二相連,所述副導(dǎo)軌與電機三相連;

所述抓取裝置包括連接件和固定在連接件上的吸盤,所述連接件包括主連接件和副連接件,所述主連接件通過滑動裝置一滑動連接在所述主導(dǎo)軌上,所述副連接件通過滑動裝置二滑動連接在所述副導(dǎo)軌上;所述吸盤由若干個吸盤單元構(gòu)成,所述吸盤包括主吸盤和副吸盤,所述主吸盤固定在所述主連接件上,所述副吸盤固定在所述副吸盤上;

所述控制機構(gòu)包括用于控制所述電機一、電機二和電機三工作的可編程邏輯控制器。

優(yōu)選地,所述主導(dǎo)軌為L型。

優(yōu)選地,所述副導(dǎo)軌為L型。

優(yōu)選地,所述滑動裝置一為滾輪。

優(yōu)選地,所述滑動裝置二為滾輪。

優(yōu)選地,所述主吸盤為2個。

優(yōu)選地,所述副吸盤為1個。

本發(fā)明所達(dá)到的有益技術(shù)效果:本發(fā)明利用絲桿傳動的原理,將絲桿用于機械手的傳動裝置,可以讓抓取裝置沿著絲桿上下移動,同時,在傳動板上設(shè)置導(dǎo)軌,導(dǎo)軌可以帶動抓取裝置水平移動,以便單晶硅的抓取,該機械手結(jié)構(gòu)簡單,操作方便;用于直接抓取單晶硅的吸盤包括主吸盤和副吸盤,可以滿足對不同規(guī)格單晶硅的取放,且吸盤上設(shè)有若干個吸盤單元,每個吸盤單元實際上就是一個微型吸盤,在實際抓取過程中,有效增強了吸盤與單晶硅之間的吸附力,抓取效果更好,另外,若其中一個吸盤單元破損不影響吸盤的正常工作,在一定程度提高了吸盤的使用壽命;主導(dǎo)軌和副導(dǎo)軌均采用L型設(shè)計,可以讓不工作吸盤移至合適位置,不妨礙工作吸盤的正常工作。

附圖說明

圖1本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2本發(fā)明之傳動板仰視圖。

圖3本發(fā)明之吸盤結(jié)構(gòu)示意圖。

其中:1傳動裝置;11絲桿;12傳動板;13主導(dǎo)軌;14副導(dǎo)軌;2抓取裝置;21吸盤;211主吸盤;212副吸盤;22連接件;221主連接件;222副連接件;3單晶硅;4吸盤單元。

具體實施方式

為了能更好的了解本發(fā)明的技術(shù)特征、技術(shù)內(nèi)容及其達(dá)到的技術(shù)效果,現(xiàn)將本發(fā)明的附圖結(jié)合實施例進(jìn)行更詳細(xì)的說明。

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明專利進(jìn)一步說明。

如圖1-3所示,本發(fā)明提供一種全自動單晶硅抓取機械手,包括傳動裝置1、抓取裝置2和控制機構(gòu);

所述傳動裝置1包括絲桿11和傳動板12,所述絲桿11與電機一電連接,所述傳動板12上設(shè)有與所述絲桿11相配的內(nèi)螺紋和用于連接抓取裝置2的導(dǎo)軌,所述導(dǎo)軌包括主導(dǎo)軌13和副導(dǎo)軌14,所述主導(dǎo)軌13與電機二相連,所述副導(dǎo)軌14與電機三相連;

所述抓取裝置2包括連接件22和固定在連接件上的吸盤21,所述連接件22包括主連接件221和副連接件222,所述主連接件221通過滑動裝置一滑動連接在所述主導(dǎo)軌13上,所述副連接件222通過滑動裝置二滑動連接在所述副導(dǎo)軌14上;所述吸盤21由若干個吸盤單元4構(gòu)成,每個吸盤單元實際上就是一個微型吸盤,在實際抓取過程中,有效增強了吸盤與單晶硅之間的吸附力,抓取效果更好,另外,若其中一個吸盤單元破損不影響吸盤的正常工作,在一定程度提高了吸盤的使用壽命;所述吸盤21包括主吸盤211和副吸盤212,所述主吸盤211固定在所述主連接件221上,所述副吸盤212固定在所述副吸盤222上;

所述控制機構(gòu)包括用于控制所述電機一、電機二和電機三工作的可編程邏輯控制器。

所述主導(dǎo)軌13為L型。所述副導(dǎo)軌14為L型,可以讓不工作吸盤移至合適位置,不妨礙工作吸盤的正常工作。所述滑動裝置一為滾輪,所述滑動裝置二為滾輪,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便。所述主吸盤211為2個,便于抓取規(guī)格較大的單晶硅3。所述副吸盤212為1個,便于抓取規(guī)格較小的單晶硅。

本發(fā)明利用絲桿傳動的原理,將絲桿用于機械手的傳動裝置,可以讓抓取裝置沿著絲桿上下移動,同時,在傳動板上設(shè)置導(dǎo)軌,導(dǎo)軌可以帶動抓取裝置水平移動,以便單晶硅的抓取,該機械手結(jié)構(gòu)簡單,操作方便;用于直接抓取單晶硅的吸盤包括主吸盤和副吸盤,可以滿足對不同規(guī)格單晶硅的取放,且吸盤上設(shè)有若干個吸盤單元,每個吸盤單元實際上就是一個微型吸盤,在實際抓取過程中,有效增強了吸盤與單晶硅之間的吸附力,抓取效果更好,另外,若其中一個吸盤單元破損不影響吸盤的正常工作,在一定程度提高了吸盤的使用壽命;主導(dǎo)軌和副導(dǎo)軌均采用L型設(shè)計,可以讓不工作吸盤移至合適位置,不妨礙工作吸盤的正常工作。

以上已以較佳實施例公布了本發(fā)明,然其并非用以限制本發(fā)明,凡采取等同替換或等效變換的方案所獲得的技術(shù)方案,均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

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