1.一種傳送系統(tǒng)，所述傳送系統(tǒng)包括清潔裝置和多個(gè)傳送滾輪，其特征在于，所述清潔裝置包括多個(gè)第一噴灑頭，至少一個(gè)所述傳送滾輪對(duì)應(yīng)至少一個(gè)所述第一噴灑頭，每個(gè)所述傳送滾輪能夠相對(duì)于與之對(duì)應(yīng)的所述第一噴灑頭旋轉(zhuǎn)，所述第一噴灑頭能夠噴灑清潔劑，以清潔相應(yīng)的所述傳送滾輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一噴灑頭包括第一殼體，所述第一殼體朝向所述傳送滾輪的壁與所述傳送滾輪之間設(shè)置有間隙，所述第一殼體內(nèi)形成有第一容納腔，所述第一殼體朝向所述傳送滾輪的壁上形成有與所述第一容納腔連通的至少一個(gè)噴灑孔，且所述第一殼體上形成有與所述第一容納腔連通的進(jìn)液孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一噴灑頭的第一殼體上還形成有與所述第一容納腔連通的第一進(jìn)氣孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一殼體朝向所述傳送滾輪的壁向所述第一容納腔內(nèi)部凹陷，以形成容納槽，所述傳送滾輪的一部分位于所述容納槽中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，至少一個(gè)所述第一噴灑頭還包括設(shè)置在所述容納槽中的擦拭件，所述擦拭件與所述傳送滾輪的表面接觸，所述清潔劑能夠穿過所述擦拭件到達(dá)所述傳送滾輪上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述清潔裝置還包括第一干燥頭，所述傳送系統(tǒng)包括沿傳送方向排列的入口區(qū)、工作區(qū)和出口區(qū)，所述工作區(qū)包括沿傳送方向依次設(shè)置的液體清洗子區(qū)域和干燥子區(qū)域，在所述入口區(qū)、所述干燥子區(qū)域和所述出口區(qū)，每個(gè)所述傳送滾輪還對(duì)應(yīng)至少一個(gè)所述第一干燥頭，所述第一干燥頭包括第二殼體，所述第二殼體內(nèi)形成有第二容納腔，所述第二殼體朝向所述傳送滾輪的壁上形成有與所述第二容納腔連通的至少一個(gè)噴氣孔，且所述第二殼體上形成有與所述第二容納腔連通的第二進(jìn)氣孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述第一殼體和所述第二殼體對(duì)應(yīng)的所述傳送滾輪的圓心角不超過180°。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述工作區(qū)還包括設(shè)置在入口區(qū)和所述液體清洗子區(qū)域之間的刻蝕子區(qū)域，所述刻蝕子區(qū)域中的所述傳送滾輪不對(duì)應(yīng)所述第一噴灑頭。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述干燥子區(qū)域的寬度方向的至少一側(cè)設(shè)置有夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)包括沿所述送方向排列的多對(duì)夾持滾輪，每對(duì)所述夾持滾輪之間形成有用于夾持基片的間隔，每個(gè)所述夾持滾輪上設(shè)置有第二噴灑頭和第二干燥頭，所述第二噴灑頭用于清潔所述夾持滾輪，所述第二干燥頭用于對(duì)所述夾持滾輪的表面進(jìn)行干燥。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述第二噴灑頭的結(jié)構(gòu)與所述第一噴灑頭的結(jié)構(gòu)相同，所述第二干燥頭的結(jié)構(gòu)與所述第一干燥頭的結(jié)構(gòu)相同。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述夾持滾輪的表面設(shè)置有水晶O型環(huán)。
12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述清潔裝置還包括多組進(jìn)液管和多組進(jìn)氣管，每組所述進(jìn)液管包括至少一個(gè)所述進(jìn)液管，每組所述進(jìn)氣管包括至少一個(gè)所述進(jìn)氣管，每組所述進(jìn)液管的兩端分別與位于同一行或同一列中相鄰的兩個(gè)所述第一噴灑頭的進(jìn)液孔連通，每組所述進(jìn)氣管的兩端分別與位于同一行或同一列中相鄰的兩個(gè)所述第一干燥頭的所述第二進(jìn)氣孔連通。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的傳送系統(tǒng)，其特征在于，每組所述進(jìn)液管包括多個(gè)所述進(jìn)液管，
同一組進(jìn)液管中的多個(gè)所述進(jìn)液管輸入的所述清潔劑相同；或者
當(dāng)所述第一噴灑頭的第一殼體上還形成有與所述第一容納腔連通的第一進(jìn)氣孔時(shí)，同一組進(jìn)液管中的多個(gè)所述進(jìn)液管中的至少一個(gè)與所述第一噴灑頭的第一進(jìn)氣孔連通，并用于輸入與其他所述進(jìn)液管輸入的清潔劑不同的清潔劑。