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一種位置控制設(shè)備和真空干燥裝置的制作方法

文檔序號:12703195閱讀:來源:國知局
一種位置控制設(shè)備和真空干燥裝置的制作方法

技術(shù)特征:
1.一種位置控制設(shè)備,其特征在于,所述設(shè)備包括:驅(qū)動模塊、送料模塊、第一推送板和控制器,其中:所述驅(qū)動模塊與所述送料模塊的第一端連接,所述驅(qū)動模塊還與所述控制器連接;所述送料模塊中靠近所述送料模塊的第二端處設(shè)置有推送孔;所述第一推送板設(shè)置在所述送料模塊中且靠近所述送料模塊的第一端;所述第一推送板與所述控制器連接;所述驅(qū)動模塊能夠根據(jù)所述控制器發(fā)送的位置坐標確定目標位置,并驅(qū)動所述位置控制設(shè)備使得所述推送孔位于所述目標位置的上方;所述第一推送板用于在所述控制器的控制下將所述送料模塊中的基板支撐針推送到所述推送孔中;所述基板支撐針能夠通過所述推送孔到達所述目標位置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置控制設(shè)備,其特征在于,所述驅(qū)動模塊包括:第一方位移動部件、第一方位控制馬達、傳送部件、升降驅(qū)動部件、升降桿、第二方位控制馬達和伸縮桿,其中:所述第一方位移動部件與所述傳送部件滑動連接;所述傳送部件與所述第一方位控制馬達連接;所述升降驅(qū)動部件固定在所述第一方位移動部件上;所述升降桿與所述升降驅(qū)動部件連接,所述升降驅(qū)動部件能夠驅(qū)動所述升降桿升降;所述伸縮桿的一端與所述升降桿連接,所述伸縮桿的另一端與所述第二方位控制馬達連接;所述第一方位控制馬達、所述升降驅(qū)動部件和所述第二方位控制馬達均與所述控制器連接,所述控制器能夠控制所述第一方位控制馬達和第二方位控制馬達的轉(zhuǎn)動圈數(shù);所述第二方位控制馬達還與所述送料模塊的第一端連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的位置控制設(shè)備,其特征在于,所述傳送部件為傳送皮帶,所述驅(qū)動模塊還包括:第一從動輪和第二從動輪,其中:所述第一從動輪和第二從動輪與所述第一方位移動部件在同一水平線上;所述第一從動輪、所述第二從動輪、所述第一方位移動部件和所述第一方位控制馬達均與所述傳送皮帶連接;所述第一方位控制馬達能夠驅(qū)動皮帶輪轉(zhuǎn)動同時帶動所述第一從動輪和所述第二從動輪轉(zhuǎn)動,并驅(qū)使所述第一方位移動部件在第一方位上移動。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的位置控制設(shè)備,其特征在于,所述驅(qū)動模塊還包括:第二方位導向軸,其中:所述第二方位導向軸的一端與所述升降桿連接,所述第二方位導向軸的另一端與所述送料模塊滑動連接。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置控制設(shè)備,其特征在于,所述設(shè)備還包括:第二推送板,其中:所述第二推送板設(shè)置在所述送料模塊上,且位于所述推送孔與所述送料模塊的第二端之間;所述第二推送板還與所述控制器連接;所述第二推送板能夠在所述控制器的控制下,將所述推送孔中的所述基板支撐針推送回到所述送料模塊中。6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的位置控制設(shè)備,其特征在于,所述升降驅(qū)動部件為氣缸。7.根據(jù)權(quán)利要求1、2或5任一所述的位置控制設(shè)備,其特征在于,所述控制器為可編程邏輯控制單元。8.一種真空干燥裝置,其特征在于,所述真空干燥裝置包括權(quán)利要求1~7任一所述的位置控制設(shè)備。
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