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一種位置控制設(shè)備和真空干燥裝置的制作方法

文檔序號(hào):12703195閱讀:199來源:國(guó)知局
一種位置控制設(shè)備和真空干燥裝置的制作方法
本發(fā)明涉及干燥技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種位置控制設(shè)備和真空干燥裝置。

背景技術(shù):
在制作顯示器件的涂布工藝中,涂布機(jī)完成基板涂布之后,基板通過機(jī)械手臂搬送進(jìn)入真空干燥設(shè)備中進(jìn)行干燥。真空干燥設(shè)備主體由密封室、兩側(cè)擋門、底板和基板支撐針構(gòu)成。基板進(jìn)入真空干燥設(shè)備后,放在基板支撐針上,兩側(cè)擋門關(guān)閉并開始抽真空,將密封室內(nèi)的溶劑、揮發(fā)物等抽除,以達(dá)到對(duì)基板表面的真空干燥效果。根據(jù)不同的生產(chǎn)要求和不同的型號(hào),顯示器件的尺寸是不同的(例如14寸、18.5寸、32寸等),這樣基板的尺寸也是不同的。因?yàn)楣饪棠z在基板的表面具有流動(dòng)性,為了防止因基板支撐針頂起部位與周圍部位存在高度差而出現(xiàn)膜厚不均一的問題?,F(xiàn)有的生產(chǎn)中一般采用人工手動(dòng)更換的方法,使得基板支撐針與基板的接觸點(diǎn)分布在基板的非顯示區(qū)域。但是這種感覺人工操作的方法成本較高,位置精度較低,而且會(huì)破壞生產(chǎn)空間中的無塵環(huán)境。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的實(shí)施例提供一種位置控制設(shè)備和真空干燥裝置,在生產(chǎn)工藝中對(duì)于不同尺寸的顯示器件,可以自動(dòng)確定基板支撐針在基板上的位置,并可以針對(duì)不同尺寸的基板進(jìn)行基板支撐針的位置的切換,無需人工操作,降低了生產(chǎn)成本,提高了位置精度,保證了生產(chǎn)空間的無塵環(huán)境。為達(dá)到上述目的,本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:第一方面,提供一種位置控制設(shè)備,所述設(shè)備包括:驅(qū)動(dòng)模塊、送料模塊、第一推送板和控制器,其中:所述驅(qū)動(dòng)模塊與所述送料模塊的第一端連接,所述驅(qū)動(dòng)模塊還與所述控制器連接;所述送料模塊中靠近所述送料模塊的第二端處設(shè)置有推送孔;所述第一推送板設(shè)置在所述送料模塊中且靠近所述送料模塊的第一端;所述第一推送板與所述控制器連接;所述驅(qū)動(dòng)模塊能夠根據(jù)所述控制器發(fā)送的位置坐標(biāo)確定目標(biāo)位置,并驅(qū)動(dòng)所述位置控制設(shè)備使得所述推送孔位于所述目標(biāo)位置的上方;所述第一推送板用于在所述控制器的控制下將所述送料模塊中的基板支撐針推送到所述推送孔中;所述基板支撐針能夠通過所述推送孔到達(dá)所述目標(biāo)位置??蛇x的,所述驅(qū)動(dòng)模塊包括:第一方位移動(dòng)部件、第一方位控制馬達(dá)、傳送部件、升降驅(qū)動(dòng)部件、升降桿、第二方位控制馬達(dá)和伸縮桿,其中:所述第一方位移動(dòng)部件與所述傳送部件滑動(dòng)連接;所述傳送部件與所述第一方位控制馬達(dá)連接;所述升降驅(qū)動(dòng)部件固定在所述第一方位移動(dòng)部件上;所述升降桿與所述升降驅(qū)動(dòng)部件連接,所述升降驅(qū)動(dòng)部件能夠驅(qū)動(dòng)所述升降桿升降;所述伸縮桿的一端與所述升降桿連接,所述伸縮桿的另一端與所述第二方位控制馬達(dá)連接;所述第一方位控制馬達(dá)、所述升降驅(qū)動(dòng)部件和所述第二方位控制馬達(dá)均與所述控制器連接,所述控制器能夠控制所述第一方位控制馬達(dá)和第二方位控制馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù);所述第二方位控制馬達(dá)還與所述送料模塊的第一端連接??蛇x的,所述傳送部件為傳送皮帶,所述驅(qū)動(dòng)模塊還包括:第一從動(dòng)輪和第二從動(dòng)輪,其中:所述第一從動(dòng)輪和第二從動(dòng)輪與所述第一方位移動(dòng)部件在同一水平線上;所述第一從動(dòng)輪、所述第二從動(dòng)輪、所述第一方位移動(dòng)部件和所述第一方位控制馬達(dá)均與所述皮帶連接;所述第一方位控制馬達(dá)能夠驅(qū)動(dòng)所述皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)同時(shí)帶動(dòng)所述第一從動(dòng)輪和所述第二從動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng),并驅(qū)使所述第一方位移動(dòng)部件在第一方位上移動(dòng)??蛇x的,所述驅(qū)動(dòng)模塊還包括:第二方位導(dǎo)向軸,其中:所述第二方位導(dǎo)向軸的一端與所述升降桿連接,所述第二方位導(dǎo)向軸的另一端與所述送料模塊滑動(dòng)連接??蛇x的,所述設(shè)備還包括:第二推送板,其中:所述第二推送板設(shè)置在所述送料模塊上,且位于所述推送孔與所述送料模塊的第二端之間;所述第二推送板還與所述控制器連接;所述第二推送板能夠在所述控制器的控制下,將所述推送孔中的所述基板支撐針推送回到所述送料模塊中??蛇x的,所述升降驅(qū)動(dòng)部件為氣缸??蛇x的,所述控制器為可編程邏輯控制單元。第二方面,提供一種真空干燥裝置,所述真空干燥裝置包括第一方面所述的任一位置控制設(shè)備。本發(fā)明的實(shí)施例提供的位置控制設(shè)備和真空干燥裝置,該位置控制設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)模塊、第一推送板、控制器和設(shè)置在送料模塊中靠近送料模塊第二端的推送孔。這樣,對(duì)于不同尺寸的基板,可以將基板上需要放置基板支撐針的目標(biāo)位置信息預(yù)先存儲(chǔ)在控制器中,控制器控制驅(qū)動(dòng)模塊、第一推送板和控制器工作,驅(qū)動(dòng)模塊根據(jù)控制器中的目標(biāo)位置信息將推送孔移動(dòng)到相應(yīng)基板的目標(biāo)位置的上方,之后第一推送板將送料模塊中的基板支撐針通過推送孔推送到基板上的目標(biāo)位置上,從而在生產(chǎn)工藝中對(duì)于不同尺寸的顯示器件,可以自動(dòng)確定基板支撐針在基板上的位置,并可以針對(duì)不同尺寸的基板進(jìn)行基板支撐針的位置的切換,無需人工操作,降低了生產(chǎn)成本,提高了位置精度,保證了生產(chǎn)空間的無塵環(huán)境。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明的實(shí)施例提供的一種位置控制設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明的實(shí)施例提供的另一種位置控制設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本發(fā)明的實(shí)施例提供的又一種位置控制設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明的另一實(shí)施例提供的一種位置控制設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;圖5為本發(fā)明的另一實(shí)施例提供的另一種位置控制設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記:1-驅(qū)動(dòng)模塊;2-送料模塊;3-第一推送板;4-控制器;5-推送孔;6-基板支撐針;10-第一方位移動(dòng)部件;11-第一方位控制馬達(dá);12-傳送部件;13-升降驅(qū)動(dòng)部件;14-升降桿;15-第二方位控制馬達(dá);16-伸縮桿;17-第一從動(dòng)輪;18-第二從動(dòng)輪;19-第二方位導(dǎo)向軸;7-第二推送板。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明的實(shí)施例提供一種位置控制設(shè)備,參照?qǐng)D1所示,該位置控制設(shè)備包括:驅(qū)動(dòng)模塊1、送料模塊2、第一推送板3和控制器4,其中:驅(qū)動(dòng)模塊2與送料模塊2的第一端連接,驅(qū)動(dòng)模塊1還與控制器4連接。送料模塊2中靠近送料模塊2的第二端處設(shè)置有推送孔5。第一推送板3設(shè)置在送料模塊2中且靠近送料模塊2的第一端;第一推送板3與控制器4連接。驅(qū)動(dòng)模塊1能夠根據(jù)控制器4發(fā)送的位置坐標(biāo)確定目標(biāo)位置,并驅(qū)動(dòng)位置控制設(shè)備使得推送孔5位于目標(biāo)位置的上方。第一推送板3用于在控制器的控制下將送料模塊2中的基板支撐針6推送到推送孔5中;基板支撐針6能夠通過推送孔5到達(dá)目標(biāo)位置。其中,可以預(yù)先根據(jù)待干燥基板的尺寸計(jì)算好需要放置的基板支撐針的目標(biāo)位置信息,并將該目標(biāo)位置信息存儲(chǔ)在控制器中,之后控制器可以根據(jù)已經(jīng)存儲(chǔ)的目標(biāo)位置信息控制驅(qū)動(dòng)模塊移動(dòng),最終使得位置控制設(shè)備中的推送孔移動(dòng)到目標(biāo)位置的上方,然后控制器控制第一推送器,將送料模塊中的基板支撐針推送到推送孔中,并掉落到基板上的目標(biāo)位置上。本發(fā)明的實(shí)施例提供的位置控制設(shè)備,該位置控制設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)模塊、第一推送板、控制器和設(shè)置在送料模塊中靠近送料模塊第二端的推送孔。這樣,對(duì)于不同尺寸的基板,可以將基板上需要放置基板支撐針的目標(biāo)位置信息預(yù)先存儲(chǔ)在控制器中,控制器控制驅(qū)動(dòng)模塊、第一推送板和控制器工作,驅(qū)動(dòng)模塊根據(jù)控制器中的目標(biāo)位置信息將推送孔移動(dòng)到相應(yīng)基板的目標(biāo)位置的上方,之后第一推送板將送料模塊中的基板支撐針通過推送孔推送到基板上的目標(biāo)位置上,從而在生產(chǎn)工藝中對(duì)于不同尺寸的顯示器件,可以自動(dòng)確定基板支撐針在基板上的位置,并可以針對(duì)不同尺寸的基板進(jìn)行基板支撐針的位置的切換,無需人工操作,降低了生產(chǎn)成本,提高了位置精度,保證了生產(chǎn)空間的無塵環(huán)境。進(jìn)一步,如圖2中所示,驅(qū)動(dòng)模塊1包括:第一方位移動(dòng)部件10、第一方位控制馬達(dá)11、傳送部件12、升降驅(qū)動(dòng)部件13、升降桿14、第二方位控制馬達(dá)15和伸縮桿16,其中:第一方位移動(dòng)部件10與傳送部件12滑動(dòng)連接;傳送部件12還與第一方位控制馬達(dá)11連接。升降驅(qū)動(dòng)部件13固定在第一方位移動(dòng)部件10上。具體的,升降驅(qū)動(dòng)部件13可以為氣缸;控制器4可以為可編程邏輯控制單元。升降桿14與升降驅(qū)動(dòng)部件13連接,升降驅(qū)動(dòng)部件13能夠驅(qū)動(dòng)升降桿14升降。伸縮桿16的一端與升降桿14連接,伸縮桿16的另一端與第二方位控制馬達(dá)15連接。第一方位控制馬達(dá)11、升降驅(qū)動(dòng)部件13和第二方位控制馬達(dá)15均與控制器4連接,控制器4能夠控制第一方位控制馬達(dá)11和第二方位控制馬達(dá)15的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)。第二方位控制馬達(dá)15還與送料模塊2的第一端連接。第一方位移動(dòng)部件在第一方位控制馬達(dá)的控制下在第一方向上移動(dòng),伸縮桿在第二方位控制馬達(dá)的控制下在第二方向上移動(dòng);其中以第一方向?yàn)閅軸方向,第二方向?yàn)閄軸方向,伸縮桿具體為螺紋絲桿為例進(jìn)行說明;控制器可以根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的目標(biāo)位置信息計(jì)算得到第一方位控制馬達(dá)和第二方位控制馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù),同時(shí),控制器根據(jù)計(jì)算得到的第一方位控制馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)控制第一方位控制馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng),從而帶動(dòng)傳送部件移動(dòng)使得第一方位移動(dòng)部件移動(dòng)到Y(jié)軸上的目標(biāo)位置;控制器還可以根據(jù)計(jì)算得到的第二方位控制馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)控制第二方位控制馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng),從而帶動(dòng)螺紋絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)使得推送孔移動(dòng)到X軸方向上的目標(biāo)位置;因?yàn)樯禇U與螺紋絲桿固定連接并且升降桿與升降驅(qū)動(dòng)部件連接,升降驅(qū)動(dòng)部件固定在第一方位移動(dòng)部件上,因此當(dāng)?shù)谝环轿灰苿?dòng)部件到達(dá)Y軸方向上的目標(biāo)位置后,推送孔即可以到達(dá)Y軸方向上的目標(biāo)位置。之后,控制器控制升降驅(qū)動(dòng)部件工作使升降桿升降,從而讓推送孔降低至與待干燥基板之間的間距盡可能的小(在允許升降的范圍內(nèi)),進(jìn)而在第一推送板推送基板支撐針的時(shí)候可以保證基板支撐針從推送孔中平穩(wěn)的掉落到基板的目標(biāo)位置上。需要說明的是,在移動(dòng)推送孔到達(dá)目標(biāo)位置的過程中,可以是選擇先到達(dá)X軸方向或者Y軸方向上的最遠(yuǎn)的位置(即對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)值較大的位置),這樣可以避免位置控制設(shè)備在移動(dòng)過程中影響已經(jīng)放置在指定位置的基板支撐針。進(jìn)一步,如圖3中所示,傳送部件12為傳送皮帶,該驅(qū)動(dòng)模塊還包括:第一從動(dòng)輪17和第二從動(dòng)輪18,其中:第一從動(dòng)輪17和第二從動(dòng)輪18與第一方位移動(dòng)部件10在同一水平線上。第一從動(dòng)輪17、第二從動(dòng)輪18、第一方位移動(dòng)部件10和第一方位控制馬達(dá)11均與皮帶連接。第一方位控制馬達(dá)11能夠驅(qū)動(dòng)皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)同時(shí)帶動(dòng)第一從動(dòng)輪17和第二從動(dòng)輪18轉(zhuǎn)動(dòng),并驅(qū)使第一方位移動(dòng)部件10在第一方位上移動(dòng)。具體的,第一方位移動(dòng)部件也可以是在第一從動(dòng)輪、第二從動(dòng)輪和第二方位控制馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)下移動(dòng)到目標(biāo)位置;第一從動(dòng)輪和第二從動(dòng)輪可以保證第一方位移動(dòng)部件沿第一方向上移動(dòng),并且保證移動(dòng)可以平穩(wěn)的進(jìn)行。具體的,如圖4中所示,驅(qū)動(dòng)模塊1還包括:第二方位導(dǎo)向軸19,其中:第二方位導(dǎo)向軸19的一端與升降桿14連接,第二方位導(dǎo)向軸的另一端與送料模塊2滑動(dòng)連接。第二方位導(dǎo)向軸可以使得送料模塊與升降桿的連接更加的穩(wěn)固,保證整個(gè)位置控制設(shè)備在移動(dòng)使得推送孔到達(dá)目標(biāo)位置的過程更平穩(wěn)。如圖5中所示,該位置控制設(shè)備還包括第二推送板7,其中:第二推送板7設(shè)置在送料模塊上,且位于推送孔5與送料模塊2的第二端之間;第二推送板7還與控制器4連接。第二推送板7能夠在控制器4的控制下,將推送孔5中的基板支撐針推送回到送料模塊2中。具體的,當(dāng)一個(gè)尺寸的基板的干燥完成之后,可以通過第二推送板將干燥完成的基板上的基板支撐針收回,進(jìn)行回收再利用,降低生產(chǎn)成本。具體實(shí)現(xiàn)方式如下:控制器控制推送孔到達(dá)基板上需要回收的基板支撐針?biāo)诘闹付ㄎ恢茫⑹沟没逯吾槾┻^推送孔,然后控制器控制第二推送板移動(dòng)將基板支撐針推送回到送料模塊中。需要說明的是,可以設(shè)置推送孔與送料模塊的邊緣平滑連接,例如可以采用平滑的斜坡狀連接,減少第一推送板和第二推送板推送基板支撐針過程中產(chǎn)生的阻力。在回收基板支撐針的時(shí)候可以先回收X軸方向或者Y軸方向上的最近的位置(即對(duì)應(yīng)的坐標(biāo)值較小的位置)的基板支撐針,這樣可以避免位置控制設(shè)備在移動(dòng)過程中將還未回收的在指定位置的基板支撐針撞倒,不利于后續(xù)的回收工作的進(jìn)行。本發(fā)明的實(shí)施例提供的位置控制設(shè)備,該位置控制設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)模塊、第一推送板、控制器和設(shè)置在送料模塊中靠近送料模塊第二端的推送孔。這樣,對(duì)于不同尺寸的基板,可以將基板上需要放置基板支撐針的目標(biāo)位置信息預(yù)先存儲(chǔ)在控制器中,控制器控制驅(qū)動(dòng)模塊、第一推送板和控制器工作,驅(qū)動(dòng)模塊根據(jù)控制器中的目標(biāo)位置信息將推送孔移動(dòng)到相應(yīng)基板的目標(biāo)位置的上方,之后第一推送板將送料模塊中的基板支撐針通過推送孔推送到基板上的目標(biāo)位置上,從而在生產(chǎn)工藝中對(duì)于不同尺寸的顯示器件,可以自動(dòng)確定基板支撐針在基板上的位置,并可以針對(duì)不同尺寸的基板進(jìn)行基板支撐針的位置的切換,無需人工操作,降低了生產(chǎn)成本,提高了位置精度,保證了生產(chǎn)空間的無塵環(huán)境。本發(fā)明的實(shí)施例提供一種真空干燥裝置,該真空干燥裝置包括附圖1~5對(duì)應(yīng)的實(shí)施例提供的任一位置控制設(shè)備。本發(fā)明的實(shí)施例提供的真空干燥裝置,該真空干燥裝置中的位置控制設(shè)備包括驅(qū)動(dòng)模塊、第一推送板、控制器和設(shè)置在送料模塊中靠近送料模塊第二端的推送孔。這樣,對(duì)于不同尺寸的基板,可以將基板上需要放置基板支撐針的目標(biāo)位置信息預(yù)先存儲(chǔ)在控制器中,控制器控制驅(qū)動(dòng)模塊、第一推送板和控制器工作,驅(qū)動(dòng)模塊根據(jù)控制器中的目標(biāo)位置信息將推送孔移動(dòng)到相應(yīng)基板的目標(biāo)位置的上方,之后第一推送板將送料模塊中的基板支撐針通過推送孔推送到基板上的目標(biāo)位置上,從而在生產(chǎn)工藝中對(duì)于不同尺寸的顯示器件,可以自動(dòng)確定基板支撐針在基板上的位置,并可以針對(duì)不同尺寸的基板進(jìn)行基板支撐針的位置的切換,無需人工操作,降低了生產(chǎn)成本,提高了位置精度,保證了生產(chǎn)空間的無塵環(huán)境。以上所述,僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式,但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi),可輕易想到變化或替換,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此,本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
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